包含電感器的層疊型電子部件的制作方法

專利名稱：包含電感器的層疊型電子部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包含電感器的層疊型電子部件，特別是涉及不使用通孔那樣的貫通絕緣層的連接導(dǎo)體而將電感器形成于層疊體內(nèi)部的技術(shù)。
背景技術(shù)：
電感器被使用于高頻LC濾波電路或共振電路、阻抗匹配(impedance matching) 等各種各樣的用途中。另外，為了應(yīng)對(duì)電子部件的小型薄型化以及高功能化的要求而有將電感器形成于陶瓷層疊體的內(nèi)部來構(gòu)成各種電子部件或電子模塊的情況。
圖28 圖29是表示這樣的形成于層疊體的內(nèi)部的現(xiàn)有的電感器的一個(gè)例子的圖。 在如這些圖所示由遍及多個(gè)配線層形成的導(dǎo)體圖形而形成電感器的情況下，一直以來，以通孔等的貫通型的連接導(dǎo)體V連接分別形成于層疊體的內(nèi)部配線層的導(dǎo)體圖形2a、2b、2c、 2d、2e、2f、2g，由此，將作為整體而具有螺旋形狀的電感器形成于層疊體內(nèi)部。各個(gè)配線層的導(dǎo)體圖形2a 2g例如通過將導(dǎo)電膏體印刷于陶瓷生片IlTlh的表面而形成，并在層疊這些多個(gè)的生片IlTlh而芯片化之后，通過燒成而獲得電子部件。
另外，作為公開包含這樣的電感器的層疊型電子部件的文獻(xiàn)，有下述專利文獻(xiàn)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本專利申請(qǐng)公開平10-106838號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本專利申請(qǐng)公開2009-170737號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
但是，一直以來，對(duì)于在層疊體的內(nèi)部具備電感器來說，如上述圖28 圖29所示， 另外，如專利文獻(xiàn)所述的那樣有必要用貫通陶瓷層(生片)的通孔電連接印刷于各個(gè)配線層的電感器導(dǎo)體彼此。因此，無法僅由印刷工序進(jìn)行電感器的形成，且另外需要通孔的開孔加工或?qū)?dǎo)電膏體填充于孔內(nèi)的工序，從而會(huì)有制造工序變得復(fù)雜的困難。
另外，現(xiàn)有的使用通孔的線圈狀的電感器由構(gòu)成電感器的上下的導(dǎo)體圖形和連接它們的通孔所構(gòu)成，作為電感器用導(dǎo)體(圖形導(dǎo)體)，因?yàn)樗鼈儾贿B接且存在通孔與圖形導(dǎo)體的連接點(diǎn)，所以在高Q和低損耗化的方面會(huì)有不利的一面，因而期望在謀求電子部件的更進(jìn)一步的特性提高的基礎(chǔ)上不使用通孔而能夠僅由導(dǎo)體圖形構(gòu)成電感器的新型的電感器構(gòu)造的提供。特別是近年來，電子器械的多功能 高功能化的進(jìn)展較為顯著，因而要求實(shí)現(xiàn)能夠?qū)?yīng)于此的高Q以及低損耗的電感器。
因此，本發(fā)明的目的在于通過不使用通孔那樣的絕緣層貫通型的連接導(dǎo)體而能夠在層疊體的內(nèi)部遍及多層地形成電感器，從而簡(jiǎn)化包含電感器的層疊型電子部件的制造工序，并進(jìn)一步提聞電氣特性。
為了解決所述問題并達(dá)到目的，本發(fā)明所涉及的第一層疊型電子部件是包含具有通過絕緣層而層疊的2層以上的配線層的第一層疊體、具備至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體的第二層疊體的層疊型電子部件；所述第一層疊體的配線層與所述第二層疊體的配線層互相大致垂直，所述第一層疊體具有配置于所述2 層以上的配線層中的第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體、配置于所述2層以上的配線層中的第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體；所述第二層疊體具有以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第一層疊體的接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的端部的連接導(dǎo)體。
在本發(fā)明的層疊型電子部件中，電連接配置于層疊體(第一層疊體)內(nèi)部的不同的配線層的多個(gè)電感器用導(dǎo)體而構(gòu)成線圈狀的電感器，并不是如現(xiàn)有的那樣由通孔等的貫通絕緣層的層間連接導(dǎo)體連接該電感器用導(dǎo)體彼此，而是以該層疊體(第一層疊體)的配線層與配線層大致垂直的方式由接合于該第一層疊體的第二層疊體連接電感器用導(dǎo)體彼此。
該第二層疊體在成為與第一層疊體的接合面的表面上具備配線層，且在該配線層上形成將電感器用導(dǎo)體彼此連接的所述連接導(dǎo)體(圖形導(dǎo)體)。于是，通過分別將所述第一電感器用導(dǎo)體的端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的端部連接于該連接導(dǎo)體，從而通過連接導(dǎo)體電連接該第一電感器用導(dǎo)體和第二電感器用導(dǎo)體。
在第二層疊體中具備的上述連接導(dǎo)體可以由例如印刷導(dǎo)電膏體等的方法形成，根據(jù)具有這樣的構(gòu)造的本發(fā)明，以往需要的通孔的開孔加工或向孔內(nèi)的導(dǎo)電膏體的填充作業(yè)等變得不需要。另外，能夠僅由形成于絕緣層的表面的導(dǎo)體圖形構(gòu)成電感器，且可以在層疊體的內(nèi)部具備高Q以及低損耗的電感器。
另外，在上述第一層疊型電子部件中，作為其一個(gè)方式，所述第一層疊體具有長(zhǎng)方體的整體形狀，所述第一電感器用導(dǎo)體在所述第一配線層上被形成為環(huán)(loop )狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于與所述第二層疊體的接合面，所述第二電感器用導(dǎo)體在所述第二配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于與所述第二層疊體的接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向(在從垂直于第一層疊體的各個(gè)配線層的方向觀察的時(shí)候/以下相同)而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于與所述第二層疊體的接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置，所述連接導(dǎo)體電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部。
還有，在上述電子部件中，除了第一電感器用導(dǎo)體以及第二電感器用導(dǎo)體之外還具備更多的電感器用導(dǎo)體，通過與所述第一電感器用導(dǎo)體以及第二電感器用導(dǎo)體相同由連接導(dǎo)體連接它們從而作為整體而可以構(gòu)成I個(gè)電感器(關(guān)于后面所述的第二到第四的電子部件也相同)。
另外，本發(fā)明的第二層疊型電子部件具備具有通過絕緣層而層疊的4層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀的第一層疊體、具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體的第二層疊體、具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體的第三層疊體。另外，在該第二層疊型電子部件中， 所述第二層疊體的配線層以及所述第三層疊體的配線層均與所述第一層疊體的配線層大致垂直；在將所述第一層疊體的表面中的接合有所述第二層疊體的面作為第一接合面的時(shí)候，所述第三層疊體被接合于作為與該第一接合面相對(duì)或者鄰接的第一層疊體的表面的第二接合面；在從位于更上層的配線層起依次將包含于所述第一層疊體的4層的配線層作為第一配線層、第二配線層、第三配線層以及第四配線層的時(shí)候，所述第一層疊體具有配置于第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體、配置于第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體、配置于第三配線層的第三電感器用導(dǎo)體、配置于第四配線層的第四電感器用導(dǎo)體。再有，所述第一電感器用導(dǎo)體在所述第一配線層上被形成為環(huán)狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于所述第一接合面；所述第二電感器用導(dǎo)體在所述第二配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于所述第二接合面；所述第三電感器用導(dǎo)體在所述第三配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置；所述第四電感器用導(dǎo)體在所述第四配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體、所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于所述第二接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于所述第二接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置；所述第二層疊體具有以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第一接合面上電連接該第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和該第三電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第一連接導(dǎo)體；所述第三層疊體具有以所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第四電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第二接合面上電連接該第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和該第四電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第二連接導(dǎo)體。
根據(jù)上述第二層疊型電子部件構(gòu)造，能夠?qū)㈦p重螺旋形態(tài)的電感器形成于層疊體的內(nèi)部。具體來說，由配置于第一層疊體的第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體和配置于第三配線層的第三電感器用導(dǎo)體形成的螺旋狀的電感器與由配置于第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體和配置于第四配線層的第四電感器用導(dǎo)體形成的螺旋狀的電感器在從平面觀察的時(shí)候(在從第一層疊體的層疊方向，換言之垂直于第一層疊體的各個(gè)配線層的方向觀察的時(shí)候)以互相重疊并且交替插入的方式進(jìn)行層疊。第一到第四的各個(gè)電感器用導(dǎo)體具有環(huán)狀的形狀，由第一電感器用導(dǎo)體和第三電感器用導(dǎo)體形成的螺旋狀的導(dǎo)體與由第二電感器用導(dǎo)體和第四電感器用導(dǎo)體形成的螺旋狀的導(dǎo)體以交替插入的方式進(jìn)行組合，作為整體而形成雙重螺旋的環(huán)。
再有，本發(fā)明的第三層疊型電子部件具備具有通過絕緣層而層疊的3層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀的第一層疊體、具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體的第二層疊體、具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體的第三層疊體。另外，在該第三層疊型電子部件中， 所述第二層疊體的配線層以及所述第三層疊體的配線層均與所述第一層疊體的配線層大致垂直；在將所述第一層疊體的表面中的接合有所述第二層疊體的面作為第一接合面的時(shí)候，所述第三層疊體被接合于作為與該第一接合面相對(duì)的第一層疊體的表面的第二接合面；在從位于更上層的配線層起依次將包含于所述第一層疊體的3層的配線層作為第一配線層、第二配線層以及第三配線層的時(shí)候，所述第一層疊體具有以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體、以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體、以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第三配線層的第三電感器用導(dǎo)體。再有，所述第一電感器用導(dǎo)體與所述第三電感器用導(dǎo)體以在從所述第一層疊體的層疊方向觀察的時(shí)候大致重疊的方式配置，而所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體與所述第二電感器用導(dǎo)體在從所述第一層疊體的層疊方向觀察的時(shí)候互相隔開間隔地配置；所述第二層疊體具有以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第一接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第一連接導(dǎo)體；所述第三層疊體具有以所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第二接合面上電連接所述第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和所述第三電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部的第二連接導(dǎo)體。
在該第三層疊型電子部件中，各個(gè)電感器用導(dǎo)體，典型的，能夠作為在第一接合面與第二接合面之間延伸的直線狀(長(zhǎng)方形或者條狀)的電極，但是例如也可以是彎曲或者描繪成弧等，電感器用導(dǎo)體的形狀除此之外也可以是各種各樣的形狀。
再有，本發(fā)明的第四層疊型電子部件具備第一層疊體，具有通過絕緣層而層疊的 2層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀；第二層疊體，具有通過絕緣層而層疊的2層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀；第三層疊體，具有形成于表面的表面配線層和形成于背面的背面配線層，并介于所述第一層疊體與所述第二層疊體之間，以所述表面配線層接觸于所述第一層疊體并且所述背面配線層接觸于所述第二層疊體的方式被接合于所述第一層疊體和所述第二層疊體；所述第三層疊體的表面配線層與所述第一層疊體的配線層大致垂直，所述第三層疊體的背面配線層與所述第二層疊體的配線層大致垂直。另外， 在該第四層疊型電子部件中，所述第一層疊體具有配置于該第一層疊體的所述2層以上的配線層中的第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體、配置于該第一層疊體的所述2層以上的配線層中的第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體；所述第二層疊體具有配置于該第二層疊體的所述 2層以上的配線層中的第一配線層的第三電感器用導(dǎo)體、配置于該第二層疊體的所述2層以上的配線層中的第二配線層的第四電感器用導(dǎo)體；所述第三層疊體在所述表面配線層上具有以所述第一電感器用導(dǎo)體和所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第一層疊體的接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的端部的第一連接導(dǎo)體，并且在所述背面配線層上具有以所述第三電感器用導(dǎo)體和所述第四電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第二層疊體的接合面上電連接所述第三電感器用導(dǎo)體的端部和所述第四電感器用導(dǎo)體的端部的第二連接導(dǎo)體。
還有，在該第四層疊型電子部件中，上述電感器用導(dǎo)體(第一電感器用導(dǎo)體、第二電感器用導(dǎo)體、第三電感器用導(dǎo)體以及第四電感器用導(dǎo)體)可以如所述第一層疊型電子部件的一個(gè)方式那樣具有環(huán)形狀，也可以是在所述第三電子部件中所敘述的那樣的直線狀的 (從該層疊體的互相相對(duì)的一個(gè)面延伸到另一個(gè)面)電極。另外，在由這樣的直線狀的電極形成該電感器用導(dǎo)體的情況下，與所述第三電子部件相同，關(guān)于上述第一層疊體以及第二層疊體的各個(gè)，可以進(jìn)一步使具備連接導(dǎo)體的層疊體接合于與第三層疊體的接合面的相反側(cè)(與該接合面相對(duì)的面)的面并在該相對(duì)面(與第三層疊體的接合面的相反側(cè)的面)上電連接電感器用導(dǎo)體的端部彼此。
在上述本發(fā)明所涉及的各個(gè)電子部件中，包含電感器用導(dǎo)體的層疊體例如可以通過層疊陶瓷生片來形成。電感器用導(dǎo)體以及連接導(dǎo)體例如能夠由印刷法(例如絲網(wǎng)印刷)來形成。
另一方面，具備連接導(dǎo)體且相對(duì)于包含電感器用導(dǎo)體的層疊體被接合的層疊體， 具體來說，所述第一層疊型電子部件中的第二層疊體、所述第二以及第三層疊型電子部件中的第二層疊體以及第三層疊體、以及所述第四層疊型電子部件中的第三層疊體，如后面所述的實(shí)施方式那樣，典型的是能夠由僅在表面以及背面中的任意一方或者雙方具備配線層的薄片狀的構(gòu)造體來構(gòu)成，但是并不限于這樣的構(gòu)造體，例如也可以制成與例如包含上述電感器用導(dǎo)體的層疊體相同在內(nèi)部也具備配線層并在該內(nèi)部配線層具備本發(fā)明所說的連接導(dǎo)體以外的電路元件或?qū)w圖形的層疊體。
另外，對(duì)于接合包含上述電感器用導(dǎo)體的層疊體和具備連接導(dǎo)體的層疊體來說， 例如能夠通過一邊加熱一邊壓接由陶瓷生片構(gòu)成的兩個(gè)層疊體而一體化，其后通過進(jìn)行燒成來進(jìn)行，由該燒成而使兩個(gè)層疊體成為連接的燒結(jié)體并被牢固地接合。還有,包含這樣的接合工序的本發(fā)明所涉及的電子部件的制造能夠優(yōu)選應(yīng)用由本申請(qǐng)人先前提出的提案(日本專利申請(qǐng)2010-165398)。關(guān)于該制造方法，將在后面的實(shí)施方式的說明中參照附圖來進(jìn)一步進(jìn)行說明。
另外，本發(fā)明所說的“層疊型電子部件”也可以是僅具備電感器的單體部件(芯片電感器)，也可以是包含電容器或電阻的其他的受動(dòng)元件、或者、晶體三極管或FET那樣的主動(dòng)元件、IC那樣的主動(dòng)元件的集成電路等包含電感器以外的各種各樣的電路元件的復(fù)合電子部件。
另外，在從功能方面(部件的種類)掌握本發(fā)明所說的層疊型電子部件的情況下，例如帶通濾波器、低通濾波器以及高通濾波器等的濾波器、雙工器(duplexer)、雙信器 (diplexer)、功率放大器模塊、高頻重疊模塊、隔振器(isolator)、傳感器等各種各樣的電子部件或電子模塊包括于本發(fā)明所說的層疊型電子部件中。
還有，本發(fā)明并不禁止將通孔那樣的絕緣層貫通型的連接導(dǎo)體包含于本發(fā)明所涉及的電子部件中，例如也可以包含在與外部連接端子或其他的電路元件等的連接等中所使用的貫通型連接導(dǎo)體。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明，能夠不使用通孔那樣的絕緣貫通型的連接導(dǎo)體而遍及多層將線圈狀的電感器形成于層疊體的內(nèi)部，能夠簡(jiǎn)化包含線圈狀的電感器的層疊型電子部件的制造工序，并且能夠提高該電子部件的電氣特性。
本發(fā)明的其它目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)可以根據(jù)基于附圖所敘述的以下的本發(fā)明的實(shí)施方式的說明而明了。還有，本發(fā)明并不限定于下述的實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然能夠在權(quán)利要求的范圍內(nèi)進(jìn)行各種的變更。另外，在各個(gè)附圖中，相同的符號(hào)表示相同或者相當(dāng)?shù)牟糠帧?br>

圖I是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的外觀的立體圖。
圖2是表示所述第一實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的導(dǎo)體圖形的立體圖。
圖3是所述第一實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的分解立體圖。
圖4是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的外觀的立體圖。
圖5是表示所述第二實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的導(dǎo)體圖形的立體圖。
圖6是所述第二實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的分解立體圖。
圖7是在透視狀態(tài)下表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。
圖8是所述第三實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的分解立體圖。
圖9是將所述第三實(shí)施方式所涉及的層疊型電感器的Q值與現(xiàn)有的層疊型電感器相比較來進(jìn)行表示的曲線圖。
圖10是本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的層疊型帶通濾波器的等價(jià)電路圖。
圖11是在透視狀態(tài)下表示所述第四實(shí)施方式所涉及的層疊型帶通濾波器的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。
圖12是所述第四實(shí)施方式所涉及的層疊型帶通濾波器的分解立體圖。
圖13是表示所述第四實(shí)施方式所涉及的層疊型帶通濾波器的頻率特性的曲線圖。
圖14是示意性地表示對(duì)于制造本發(fā)明所涉及的層疊型電子部件來說優(yōu)選的制造方法的一個(gè)工序的立體圖。
圖的示意圖。
圖
圖
圖
圖151617181920 21 22232425262728 29是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的重組層疊薄片的截面(圖24的B-B截面)是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是示意性地表示所述制造方法中的一個(gè)工序的立體圖。是在透視狀態(tài)下表示現(xiàn)有的層疊型電感器的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。是所述現(xiàn)有的層疊型電感器的分解立體圖。
具體實(shí)施方式
11
[第I實(shí)施方式]
如圖f圖3所示，本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的電子部件是以第一層疊體10 與第二層疊體30的層疊方向互相垂直的方式(以第一層疊體10的配線層與第二層疊體30 的配線層互相成90°的角度的方式)接合以具備多層(圖示的例子的情況下為6層)內(nèi)部配線層的方式層疊陶瓷薄片11、12、13、14、15、16、17的第一層疊體10和在陶瓷薄片的表面上具備配線層的第二層疊體30的電子部件。
在第一層疊體10的各個(gè)內(nèi)部配線層上形成具有大致-字狀(大致U字狀)的平面形狀的電感器用導(dǎo)體21、22、23、24、25、26，配置于這些各個(gè)配線層的電感器用導(dǎo)體2廣26 以在從平面進(jìn)行觀察的時(shí)候(從圖I到圖3的z軸方向進(jìn)行觀察的時(shí)候)正好相重疊的方式進(jìn)行配置。另外，這些各個(gè)電感器用導(dǎo)體26的兩個(gè)端部(各一個(gè)端部21a 26a以及各另一個(gè)端部21lT26b)以與第二層疊體30所具備的連接導(dǎo)體的電連接成為可能的方式露出于接合有第二層疊體30的第一層疊體10的側(cè)面。
還有，在以下的說明中，從下起依次將第一層疊體10的內(nèi)部配線層設(shè)為第I層、第 2層……，將最上層的內(nèi)部配線層稱為第6層。另外，將形成于第I層的電感器用導(dǎo)體21作為第I電感器用導(dǎo)體，將形成于第2層的電感器用導(dǎo)體22作為第2電感器用導(dǎo)體，以下，將分別形成于第3層到第6層的電感器用導(dǎo)體23 26分別稱為第3電感器用導(dǎo)體、第4電感器用導(dǎo)體、第5電感器用導(dǎo)體、第6電感器用導(dǎo)體(對(duì)于后面所述的實(shí)施方式來說也相同)。 另外，層疊數(shù)(電感器用導(dǎo)體的數(shù)量)并不特別限定于該例子(6層或者6個(gè))，也可以比其少或者多。
在第二層疊體30的表面配線層上以從上述第I到第6的各個(gè)電感器用導(dǎo)體2廣26 作為整體起到作為電感器的作用的方式形成電連接該電感器用導(dǎo)體2廣26的多個(gè)連接導(dǎo)體 31、32、33、34、35。
具體來說，將具有露出于第一層疊體10的側(cè)面的第2電感器用導(dǎo)體22的一個(gè)端部22a所接觸的一個(gè)端部31a、以及第I電感器用導(dǎo)體21的另一個(gè)端部21b所接觸的另一個(gè)端部31b的第I連接導(dǎo)體31形成于成為與第一層疊體10的接合面的第二層疊體30的表面，從而由該第I連接導(dǎo)體31電連接第I電感器用導(dǎo)體21和第2電感器用導(dǎo)體22。
同樣，將具有露出于第一層疊體10的側(cè)面的第3電感器用導(dǎo)體23的一個(gè)端部23a 所接觸的一個(gè)端部32a、以及第2電感器用導(dǎo)體22的另一個(gè)端部22b所接觸的另一個(gè)端部 32b的第2連接導(dǎo)體32形成于第二層疊體30的表面，從而由該第2連接導(dǎo)體32電連接第 2電感器用導(dǎo)體22和第3電感器用導(dǎo)體23。以下，由同樣設(shè)置的第3連接導(dǎo)體33、第4連接導(dǎo)體34以及第5連接導(dǎo)體35，依次連接第3電感器用導(dǎo)體23到第6電感器導(dǎo)體26，第I 到第6的各個(gè)電感器用導(dǎo)體26在第一層疊體10的內(nèi)部以成為螺旋狀的方式形成電感器。
還有，在第一層疊體10的上面以及下面分別具備外部連接用的端子電極(沒有圖示)，或者進(jìn)一步也可以層疊陶瓷薄片并設(shè)置配線層來具備其他的電路元件，對(duì)于連接這些端子電極或其他的電路元件與上述電感器來說，可以與所述連接導(dǎo)體相同地分別將連接導(dǎo)體36、37設(shè)置于第二層疊體30的表面的上端部以及下端部，并由這些連接導(dǎo)體36、37進(jìn)行與端子電極或其他的電路元件的連接。
[第2實(shí)施方式]
本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的電子部件與所述第一實(shí)施方式的電感器相同，是具有在陶瓷層疊體的各個(gè)配線層上具備電感器用導(dǎo)體的第一層疊體、以及具備以形成電感器的方式連接這些電感器用導(dǎo)體的連接導(dǎo)體的層疊體的電子部件，但是與所述第一實(shí)施方式不同，如圖Γ圖6所示分別將第二層疊體80和第三層疊體90接合于第一層疊體40的相對(duì)的一對(duì)側(cè)面，且電感器具有雙重螺旋構(gòu)造。
具體來說，在第一層疊體40的各個(gè)配線層上具備與所述第一實(shí)施方式相同具有大致-字狀(大致U字狀)的平面形狀的電感器用導(dǎo)體70，但是以在每一層這些電感器用導(dǎo)體6Γ70的朝向互不相同的方式進(jìn)行層疊。即，形成于內(nèi)部配線層的第2層的第2電感器用導(dǎo)體62、形成于第4層的第4電感器用導(dǎo)體64、形成于第6層的第6電感器用導(dǎo)體 66、形成于第8層的第8電感器用導(dǎo)體68、形成于第10層的第10電感器用導(dǎo)體70 (以下， 將它們稱為“偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體”/其后的第三實(shí)施方式也相同)，它們的兩個(gè)端部與所述第一實(shí)施方式相同，以露出于成為與第二層疊體80的接合面的第一層疊體40的側(cè)面(第一接合面)的方式進(jìn)行配置。
另一方面，形成于第I層的第I電感器用導(dǎo)體61、形成于第3層的第3電感器用導(dǎo)體63、形成于第5層的第5電感器用導(dǎo)體65、形成于第7層的第7電感器用導(dǎo)體67、形成于第9層的第9電感器用導(dǎo)體69 (以下，將它們稱為“奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體”/其后的第三實(shí)施方式也相同)，它們的兩個(gè)端部以露出于所述側(cè)面(第一接合面)的相反側(cè)的(相對(duì)的) 側(cè)面(第二接合面)的方式向相反方向(以成為在水平面內(nèi)或者在x_y平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)180°的狀態(tài)的方式)進(jìn)行配置。于是，在該相對(duì)的側(cè)面(第二接合面)上接合第三層疊體。
另外，上述第I到第10的電感器用導(dǎo)體6廣70除去連接于連接導(dǎo)體8廣84、9廣94 的端部而在從平面進(jìn)行觀察的時(shí)候重疊地配置，由奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體61、63、65、67、69 形成的電感器和由偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體62、64、66、68、70形成的電感器形成雙重螺旋從而作為整體而構(gòu)成一個(gè)電感器。在第二層疊體80以及第三層疊體90上，在其表面(與第一層疊體40的接合面)上具備與所述第一實(shí)施方式相同的連接導(dǎo)體8廣84、91、4，由它們連接第一層疊體40的各個(gè)電感器用導(dǎo)體70從而分別形成螺旋狀的電感器。
還有，在本實(shí)施方式中，將第二層疊體80和第三層疊體90的接合面作為第一層疊體40的相對(duì)的側(cè)面，但是即使作為鄰接的側(cè)面也同樣能夠構(gòu)成雙重螺旋構(gòu)造的電感器。在此情況下，奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體61、63、65、67、69和偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體62、64、66、68、70 從平面進(jìn)行觀察時(shí)可以以互相成90°的角度的方式進(jìn)行配置。再有，如果應(yīng)用本實(shí)施方式的話，則也能夠同樣構(gòu)成具有三重到四重的螺旋構(gòu)造的電感器。
[第3實(shí)施方式]
如8所示，本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的電子部件與所述第一以及第二實(shí)施方式相同，是具有在陶瓷層疊體的各個(gè)配線層上具備電感器用導(dǎo)體111、112、113、114、 115、116、117的第一層疊體100、以及具備連接這些電感器用導(dǎo)體Ilf 117的連接導(dǎo)體121、 122、123、131、132、133的層疊體(第二層疊體120以及第三層疊體130)的電子部件，但是與所述實(shí)施方式不同，各個(gè)電感器用導(dǎo)體Ilf 117為遍及第一層疊體100的相對(duì)的一對(duì)側(cè)面之間而延伸的直線狀的電極，以形成電感器的方式由設(shè)置于第二層疊體120的連接導(dǎo)體 12Γ123和設(shè)置于第三層疊體130的連接導(dǎo)體13廣133來連接這些電極。
更為具體來說，第一層疊體100通過在前后方向(y軸方向)層疊陶瓷薄片IOf 109而成，以第一層疊體100的配線層與第二層疊體120的配線層互相垂直的方式將第二層疊體120接合于該第一層疊體100的一個(gè)側(cè)面(第一接合面)，并且以第一層疊體100的配線層與第三層疊體130的配線層互相垂直的方式將第三層疊體130接合于該第一層疊體100 的另一個(gè)側(cè)面(第二接合面)。
在第一層疊體100的內(nèi)部配線層的第I層到第7層上形成一個(gè)端部露出于所述第一接合面且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面的條狀的電感器電極(第I到第7電感器用導(dǎo)體)Ilf 117。但是，這些電感器用導(dǎo)體Ilf 117中的形成于奇數(shù)層的電感器用導(dǎo)體即形成于第I層的第I電感器用導(dǎo)體111、形成于第3層的第3電感器用導(dǎo)體113、形成于第5 層的第5電感器用導(dǎo)體115、形成于第7層的第7電感器用導(dǎo)體117以在接近于第一層疊體 100的底面的各個(gè)配線層的下部水平地延伸的方式進(jìn)行形成。
另一方面，形成于偶數(shù)層的電感器用導(dǎo)體即形成于第2層的第2電感器用導(dǎo)體 112、形成于第4層的第4電感器用導(dǎo)體114、形成于第6層的第6電感器用導(dǎo)體116以在接近于第一層疊體10的頂面的各個(gè)配線層的上部水平地延伸的方式形成。
另外，在從正面(從層疊方向/從y軸方向)看第一層疊體100的時(shí)候，奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體(第I電感器用導(dǎo)體111、第3電感器用導(dǎo)體113、第5電感器用導(dǎo)體115以及第7 電感器用導(dǎo)體117)彼此相重疊，偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體(第2電感器用導(dǎo)體112、第4電感器用導(dǎo)體、第6電感器用導(dǎo)體116)彼此相重疊。再有，同樣地，在從正面進(jìn)行觀察的時(shí)候，這些奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體111、113、115、117和偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體112、114、116以互相隔開一定的間隔并平行而且水平地延伸的方式進(jìn)行配置。
然后，在所述第一接合面上，由配置于第二層疊體120的表面的連接導(dǎo)體121連接第2電感器用導(dǎo)體112的一個(gè)端部112a和第3電感器用導(dǎo)體113的一個(gè)端部113a,由配置于第二層疊體120的表面的連接導(dǎo)體122連接第4電感器用導(dǎo)體114的一個(gè)端部114a和第5電感器用導(dǎo)體115的一個(gè)端部115a,由配置于第二層疊體120的表面的連接導(dǎo)體123 連接第6電感器用導(dǎo)體116的一個(gè)端部116a和第7電感器用導(dǎo)體117的一個(gè)端部117a。
同樣，在所述第二接合面上，由配置于第三層疊體130的表面的連接導(dǎo)體131連接第I電感器用導(dǎo)體111的另一個(gè)端部Illb和第2電感器用導(dǎo)體112的另一個(gè)端部112b, 由配置于第三層疊體130的表面的連接導(dǎo)體132連接第3電感器用導(dǎo)體113的另一個(gè)端部 113b和第4電感器用導(dǎo)體114的另一個(gè)端部114b，由配置于第三層疊體130的表面的連接導(dǎo)體133連接第5電感器用導(dǎo)體115的另一個(gè)端部115b和第6電感器用導(dǎo)體116的另一個(gè)端部116b。
由此，第I電感器用導(dǎo)體到第7電感器用導(dǎo)體依次電連接，能夠?qū)⒃趯盈B方向(前后方向Ii軸方向)上延伸的螺旋狀的電感器形成于第一層疊體的內(nèi)部。
還有，在第一層疊體100的前面和后面，能夠設(shè)置外部連接用的端子電極(沒有圖示)，為了連接該前面?zhèn)鹊亩俗与姌O和第I電感器用導(dǎo)體111的一個(gè)端部Illa而形成通孔 V，另外，為了連接該后面?zhèn)鹊亩俗与姌O和第7電感器用導(dǎo)體117的另一個(gè)端部117b而形成通孔V，但是這些連接也能夠與所述第二實(shí)施方式相同，由分別設(shè)置于第二層疊體120的表面和第三層疊體表面130的表面的連接導(dǎo)體來進(jìn)行。
圖9是將本第三實(shí)施方式的電感器的Q值與所述圖28 圖29所表示的現(xiàn)有的電感器的Q值相比較來進(jìn)行表示的曲線圖，圖中實(shí)線是本實(shí)施方式，點(diǎn)劃線是現(xiàn)有構(gòu)造。由該圖可以了解到，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠獲得較使用通孔來形成電感器的現(xiàn)有構(gòu)造更高的Q值。
[第4實(shí)施方式]
如圖10所示，本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的電子部件是通過在輸入輸出端子 141、142之間具備2段共振器、即由電感器LI和電容器Cl構(gòu)成的LC共振器143和由電感器L2和電容器C2構(gòu)成的LC共振器144來形成通過頻帶的帶通濾波器。
作為層疊構(gòu)造，如圖If圖12所示，由下述層疊體構(gòu)成第一層疊體150，內(nèi)置第 I段的共振器(第I段共振器)143 ;第二層疊體160，內(nèi)置第2段的共振器(第2段共振器) 144 ;第三層疊體170，以介于這些層疊體150、160之間的方式接合于第一層疊體150的后面和第二層疊體160的前面；第四層疊體180，接合于和與該第三層疊體170的接合面相對(duì)的(相反側(cè)的)第一層疊體150的面(前面);第五層疊體190，接合于和與第三層疊體170的接合面相對(duì)的(相反側(cè)的)第二層疊體160的面(前面)。
另外，第一層疊體150的配線層與第二層疊體160的配線層互相平行，第三層疊體 170、第四層疊體180以及第五層疊體190的各個(gè)配線層互相平行。另外，第一層疊體150 以及第二層疊體160的各個(gè)配線層與第三層疊體170、第四層疊體180以及第五層疊體190 的各個(gè)配線層互相垂直。
如果對(duì)本濾波器的具體的層疊構(gòu)造進(jìn)一步進(jìn)行敘述的話，則第一層疊體150以及第二層疊體160是以具有4層的內(nèi)部配線層的方式在垂直方向(z軸方向)上分別層疊5枚陶瓷薄片151、152、153、154、155 ;161、162、163、164、165的陶瓷層疊體，第四層疊體180和第五層疊體190與所述第三實(shí)施方式的第二層疊體120以及第三層疊體130相同在表面上具備連接導(dǎo)體，第三層疊體170在表背兩面上具備連接導(dǎo)體171、172 ;173、174。
然后，在第一層疊體的第I層到第3層上具備電感器用導(dǎo)體201、202、203，在第4 層上具備電容器電極220。第二層疊體160也同樣具備電感器用導(dǎo)體211、212、213和電容器電極220。這些電感器用導(dǎo)體20廣203、21廣213與所述第三實(shí)施方式相同為條狀的電極， 以一個(gè)端部201a、202a、203a露出于與第四層疊體180的接合面即第一層疊體150的前面， 另一個(gè)端部201b、202b、203b露出于與第三層疊體170的接合面即第一層疊體150的后面的方式在前后方向(y軸方向)上直線狀地延伸(第二層疊體160也相同)。
另外，奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體(第I層的第I電感器用導(dǎo)體201和第3層的第3電感器用導(dǎo)體203)在從平面進(jìn)行觀察的時(shí)候相重疊，偶數(shù)層電感器用導(dǎo)體(第2層的第2電感器用導(dǎo)體202)與該奇數(shù)層電感器用導(dǎo)體201、203隔開一定的間隔平行地配置。于是，通過由在第三層疊體170的表面(前面)具備的連接導(dǎo)體171、172以及在第四層疊體180的表面具備的連接導(dǎo)體181依次連接這些第I電感器用導(dǎo)體201、第2電感器用導(dǎo)體202以及第3 電感器用導(dǎo)體203,從而將在垂直方向(z軸方向)上延伸的螺旋狀電感器形成于第一層疊體150的內(nèi)部(第二層疊體160也相同)。
另外，電感器用導(dǎo)體與電容器電極的連接也能夠與電感器用導(dǎo)體彼此同樣地進(jìn)行。S卩，第一層疊體150的第3電感器用導(dǎo)體203與電容器電極220的連接可以由設(shè)置于第三層疊體170的表面(前面)的連接導(dǎo)體172來進(jìn)行，第二層疊體160的第3電感器用導(dǎo)體213與電容器電極220的連接可以由設(shè)置于第三層疊體170的背面(后面)的連接導(dǎo)體 174來進(jìn)行。還有，這些電容器電極220通過與形成于第一層疊體150以及第二層疊體160 的頂面的接地電極221相對(duì)從而構(gòu)成各個(gè)共振器143、144的電容器C1、C2。
再有，在第一層疊體150的底面的前側(cè)端部設(shè)置輸入端子電極(沒有圖示)，通過通孔V連接該輸入端子電極和第I電感器用導(dǎo)體201的一個(gè)端部201a。另外，在第二層疊體 160的底面的后側(cè)端部設(shè)置輸出端子電極(沒有圖示)，通過通孔V連接該輸出端子電極和第I電感器用導(dǎo)體211的另一個(gè)端部211b。另外，在這些輸入端子電極與輸出端子電極之間能夠遍及第一層疊體150、第三層疊體170以及第二層疊體160的各個(gè)底面來形成接地電極(沒有圖示)，并由以在第一層疊體150、第三層疊體170以及第二層疊體160的側(cè)面擴(kuò)展的方式形成的表面電極連接該接地電極與形成于所述第一層疊體150以及第二層疊體160 上面的接地電極221。
圖13是表示本實(shí)施方式的帶通濾波器的頻率特性的曲線圖，實(shí)線表示通過特性， 虛線表示截止特性。如同圖所示，根據(jù)本實(shí)施方式的帶通濾波器，在高速傳送為可能的無線 LAN規(guī)格中的一個(gè)即5GHz頻帶上能夠?qū)崿F(xiàn)大致I. OdB的通過特性。
[制造方法]
作為制造本發(fā)明所涉及的電子部件的方法，并不限定于此，能夠優(yōu)選應(yīng)用由本申請(qǐng)人先前提出的方案(日本專利申請(qǐng)2010-165398)。以下，關(guān)于該方法，參照?qǐng)D14 圖27， 并將所述第四實(shí)施方式的帶通濾波器作為例子來簡(jiǎn)單地進(jìn)行說明。
(I)層疊薄片·層疊棒的制作
如圖14所示，首先，準(zhǔn)備由陶瓷材料形成的未燒成的生片，通過涂布導(dǎo)電性膏體來將對(duì)應(yīng)于第一層疊體150、160的各個(gè)配線層的規(guī)定的導(dǎo)體圖形印刷于其表面從而制作出陶瓷薄片301、302、303、304、305。印刷于這些陶瓷薄片301 305的各個(gè)的導(dǎo)體圖形311 以僅對(duì)應(yīng)于制作的芯片數(shù)的數(shù)量在縱向和橫向上排列成矩陣狀的方式進(jìn)行形成。還有，圖 14 (對(duì)于圖15 圖27來說也相同)所表示的各個(gè)導(dǎo)體圖形311是用于表示該制造方法的概念的示意圖，并不是打算正確地表示所述實(shí)施方式的導(dǎo)體形狀的圖。
接著，對(duì)上述陶瓷薄片30廣305進(jìn)行定位并以規(guī)定的順序進(jìn)行疊疊，通過對(duì)其進(jìn)行熱壓接而一體化，從而獲得圖15所表示那樣的第一層疊薄片312。
然后，如圖16所示，將上述第一層疊薄片312切斷成條狀，從而制作出第一層疊棒 313。在該第一層疊棒313的長(zhǎng)邊方向(縱向)上,構(gòu)成第一層疊體150的導(dǎo)體圖形的組以被層疊的狀態(tài)被排列多個(gè)。另外，對(duì)于第二層疊體160來說，也經(jīng)過同樣的工序，從而制作出構(gòu)成第二層疊體160的導(dǎo)體圖形的組在長(zhǎng)邊方向上被排列多個(gè)的第二層疊棒323。
同樣，進(jìn)行第三層疊棒的制作。如圖17所示，與所述第一層疊薄片制作的時(shí)候相同，準(zhǔn)備未燒成的生片，制作通過將導(dǎo)電性膏體涂布從而將對(duì)應(yīng)于第三層疊體170的表面以及背面的規(guī)定的導(dǎo)體圖形印刷于其表面的陶瓷薄片401、402。分別形成于這些各個(gè)陶瓷薄片401、402的導(dǎo)體圖形與所述第一層疊薄片相同，在縱向和橫向上分別排列成矩陣狀。
接著，對(duì)該陶瓷薄片401、402進(jìn)行定位并重疊，通過對(duì)其進(jìn)行熱壓接而一體化，從而如圖18所示制作出第三層疊薄片412。之后，如圖19所示將第三層疊薄片412切斷成條狀而獲得第三層棒413。
另外，關(guān)于第四層疊體180以及第五層疊體190，也經(jīng)過同樣的工序，從而制作出構(gòu)成該第四層疊體180以及第五層疊體190的導(dǎo)體圖形181、191的組在長(zhǎng)邊方向上分別被排列多個(gè)的第四層疊棒423。在該第四層疊棒上，第四層疊體180的導(dǎo)體圖形(連接導(dǎo)體 181)被形成于表背兩面中的一個(gè)面，第五層疊體190的導(dǎo)體圖形(連接導(dǎo)體191)被形成于另一個(gè)面。
還有，對(duì)于制作該第四層疊棒423而言，因?yàn)榇_保在后面的芯片化的工序中切斷該第四層疊棒423的時(shí)候的切斷部分(參照?qǐng)D25 圖26的切斷線510)，所以可以以介于形成第四層疊體180的導(dǎo)體圖形的一個(gè)面?zhèn)鹊奶沾杀∑c形成第五層疊體190的導(dǎo)體圖形的另一個(gè)面?zhèn)鹊奶沾杀∑g的方式層疊陶瓷薄片。
(2)層疊薄片的重組
如圖20 圖21所示，以這些配線層(表背面)垂直地豎立的方式在該層疊棒413、 423的長(zhǎng)邊方向的周圍使第三層疊棒413以及第四層疊棒423旋轉(zhuǎn)90°。
然后，如圖22所示，交替地排列第一層疊棒313和第二層疊棒323，并且在以將所述旋轉(zhuǎn)了 90°的第三層疊棒413或者第四層疊棒423夾入到這些第一層疊棒313與第二層疊棒323之間的方式進(jìn)行配置后，如圖23所示，熱壓接這些第一到第四的各個(gè)層疊棒313、 323、413、423而一體化。由此，獲得圖24所表示的重組層疊薄片512。
該重組層疊薄片512，如圖25所示，鄰接的第四層疊棒423 (第四層疊體180)、第一層疊棒313 (第一層疊體150)、第三層疊棒413 (第三層疊體170)、第二層疊棒323 (第二層疊體160)、第四層疊棒423 (第五層疊體190)分別被接合，包含于各個(gè)鄰接的層疊棒中的導(dǎo)體彼此被電連接。
(3)芯片化以及燒成
如圖26所示，在切斷線510(也參照?qǐng)D25)上在縱向和橫向上將第三層疊薄片512 切斷成方格狀(丁塊狀)，如圖27所示，獲得芯片522。之后，對(duì)各個(gè)芯片522進(jìn)行燒成。由此，第一到第五的各個(gè)層疊體150、160、170、180、190的陶瓷層燒結(jié)而成為連續(xù)的一個(gè)燒結(jié)體。還有，在燒成后，可以將外部電極(端子電極)適當(dāng)形成于芯片522的外表面。
如以上所述能夠制造出所述第四實(shí)施方式的濾波器芯片。根據(jù)上述制造方法，能夠量產(chǎn)性良好地制造本發(fā)明所涉及的電子部件。還有，關(guān)于其他的實(shí)施方式所涉及的電子部件，也同樣能夠應(yīng)用上述制造方法。
符號(hào)的說明
C1、C2 電容器
L1、L2 電感器
V 通孔
la、lb、lc、ld、le、lf、lg、lh、ll、12、13、14、15、16、17、101、102、103、104、105、106、 107、108、109、151、152、153、154、155、161、162、163、164、165、301、302、303、304、305、401、402陶瓷生片
2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、21、22、23、24、25、26、61、62、63、64、65、66、67、68、69、70、 111、112、113、114、115、116、117、201、202、203、211、212、213 電感器用導(dǎo)體
10、40、100、150 第一層疊體
2la、22a、23a、24a、25a、26a、6la、62a、63a、64a、65a、66a、67a、68a、69a、70a、111a、 112a、113a、114a、115a、116a、117a、201a、202a、203a、211a、212a、213a 電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部
21b、22b、23b、24b、25b、26b、61b、62b、63b、64b、65b、66b、67b、68b、69b、70b、lllb、 112b、113b、114b、115b、116b、117b、201b、202b、203b、211b、212b、213b 電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部
30、80、120、160 第二層疊體
31、32、33、34、35、36、37、81、82、83、84、91、92、93、94、121、122、123、131、132、133、171、172、173、174、181、191 連接導(dǎo)體
3la、32a、33a、34a、35a、8la、82a、83a、84a、9la、92a、93a、94a 連接導(dǎo)體的一個(gè)端部
31b、32b、33b、34b、35b、81b、82b、83b、84b、91b、92b、93b、94b 連接導(dǎo)體的另一個(gè)端部
90、130、170第三層疊體
141輸入端子
142輸出端子
143第I段LC共振器
144第2段LC共振器
180第四層疊體
190第五層疊體
220電容器電極
221接地電極
311、411導(dǎo)體圖形
312第一層疊薄片
313第一層疊棒
323第二層疊棒
412第三層疊薄片
413第三層疊棒
423第四層疊棒
510切斷線
512重組層疊薄片
522濾波器芯片
權(quán)利要求
1.一種包含線圈狀的電感器的層疊型電子部件，其特征在于 包含 第一層疊體，具有通過絕緣層而層疊的2層以上的配線層； 第二層疊體，具備至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層，并且接合于所述第一層疊體， 所述第一層疊體的配線層與所述第二層疊體的配線層互相大致垂直， 所述第一層疊體具有 配置于所述2層以上的配線層中的第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體； 配置于所述2層以上的配線層中的第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體， 所述第二層疊體具有 連接導(dǎo)體，以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第一層疊體的接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的端部。
2.如權(quán)利要求I所述的層疊型電子部件，其特征在于 所述第一層疊體具有長(zhǎng)方體的整體形狀， 所述第一電感器用導(dǎo)體在所述第一配線層上被形成為環(huán)狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于與所述第二層疊體的接合面， 所述第二電感器用導(dǎo)體在所述第二配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于與所述第二層疊體的接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于與所述第二層疊體的接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置， 所述連接導(dǎo)體電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部。
3.一種包含線圈狀的電感器的層疊型電子部件，其特征在于 具備 第一層疊體，具有通過絕緣層而層疊的4層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀； 第二層疊體，具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層置體； 第三層疊體，具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體， 所述第二層疊體的配線層以及所述第三層疊體的配線層均與所述第一層疊體的配線層大致相垂直， 在將所述第一層疊體的表面中的接合有所述第二層疊體的面作為第一接合面的時(shí)候，所述第三層疊體被接合于作為與該第一接合面相對(duì)或者鄰接的第一層疊體的表面的第二接合面， 在從位于更上層的配線層起依次將包含于所述第一層疊體的4層的配線層作為第一配線層、第二配線層、第三配線層以及第四配線層的時(shí)候，所述第一層疊體具有配置于第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體； 配置于第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體； 配置于第三配線層的第三電感器用導(dǎo)體； 配置于第四配線層的第四電感器用導(dǎo)體， 所述第一電感器用導(dǎo)體在所述第一配線層上被形成為環(huán)狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于所述第一接合面， 所述第二電感器用導(dǎo)體在所述第二配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀且一個(gè)端部以及另一個(gè)端部分別露出于所述第二接合面， 所述第三電感器用導(dǎo)體在所述第三配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置， 所述第四電感器用導(dǎo)體在所述第四配線層上以與所述第一電感器用導(dǎo)體、所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體大致重疊的方式被形成為環(huán)狀，一個(gè)端部露出于所述第二接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部大致重疊的位置，并且，另一個(gè)端部露出于所述第二接合面并且關(guān)于所述第一層疊體的層疊方向而被配置于與所述第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部大致重疊的位置，所述第二層疊體具有以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第一接合面上電連接該第一電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和該第三電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第一連接導(dǎo)體， 所述第三層疊體具有以所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第四電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第二接合面上電連接該第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和該第四電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第二連接導(dǎo)體。
4.一種包含線圈狀的電感器的層疊型電子部件，其特征在于 具備 第一層疊體，具有通過絕緣層而層疊的3層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀； 第二層疊體，具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層置體； 第三層疊體，具有至少I層的絕緣層和形成于其表面的配線層并且接合于所述第一層疊體， 所述第二層疊體的配線層以及所述第三層疊體的配線層均與所述第一層疊體的配線層大致相垂直， 在將所述第一層疊體的表面中的接合有所述第二層疊體的面作為第一接合面的時(shí)候，所述第三層疊體被接合于作為與該第一接合面相對(duì)的第一層疊體的表面的第二接合面，在從位于更上層的配線層起依次將包含于所述第一層疊體的3層的配線層作為第一配線層、第二配線層以及第三配線層的時(shí)候，所述第一層疊體具有 以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體；以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體；以一個(gè)端部露出于所述第一接合面并且另一個(gè)端部露出于所述第二接合面且從所述第一接合面延伸到所述第二接合面的方式形成于所述第三配線層的第三電感器用導(dǎo)體，所述第一電感器用導(dǎo)體與所述第三電感器用導(dǎo)體被配置成在從所述第一層疊體的層疊方向觀察的時(shí)候大致重疊， 而所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體與所述第二電感器用導(dǎo)體在從所述第一層疊體的層疊方向觀察的時(shí)候互相隔開間隔地配置， 所述第二層疊體具有 以所述第一電感器用導(dǎo)體以及所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第一接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的一個(gè)端部的第一連接導(dǎo)體， 所述第三層疊體具有 以所述第二電感器用導(dǎo)體以及所述第三電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在所述第二接合面上電連接所述第二電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部和所述第三電感器用導(dǎo)體的另一個(gè)端部的第二連接導(dǎo)體。
5.一種包含線圈狀的電感器的層疊型電子部件，其特征在于 具備 第一層疊體，具有通過絕緣層而層疊的2層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀； 第二層疊體，具有通過絕緣層而層疊的2層以上的配線層并且具有長(zhǎng)方體的整體形狀； 第三層疊體，具有形成于表面的表面配線層和形成于背面的背面配線層，并介于所述第一層疊體與所述第二層疊體之間，以所述表面配線層接觸于所述第一層疊體并且所述背面配線層接觸于所述第二層疊體的方式被接合于所述第一層疊體和所述第二層疊體，所述第三層疊體的表面配線層與所述第一層疊體的配線層大致垂直， 所述第三層疊體的背面配線層與所述第二層疊體的配線層大致垂直， 所述第一層疊體具有 配置于該第一層疊體的所述2層以上的配線層中的第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體； 配置于該第一層疊體的所述2層以上的配線層中的第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體， 所述第二層疊體具有配置于該第二層疊體的所述2層以上的配線層中的第一配線層的第三電感器用導(dǎo)體；配置于該第二層疊體的所述2層以上的配線層中的第二配線層的第四電感器用導(dǎo)體，所述第三層疊體在所述表面配線層上具有以所述第一電感器用導(dǎo)體和所述第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第一層疊體的接合面上電連接所述第一電感器用導(dǎo)體的端部和所述第二電感器用導(dǎo)體的端部的第一連接導(dǎo)體， 并且在所述背面配線層上具有以所述第三電感器用導(dǎo)體和所述第四電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與所述第二層疊體的接合面上電連接所述第三電感器用導(dǎo)體的端部和所述第四電感器用導(dǎo)體的端部的第二 連接導(dǎo)體。
全文摘要
層疊型電子部件包含第一層疊體、具備表面配線層并且接合于第一層疊體的第二層疊體；第一層疊體與第二層疊體的配線層互相垂直，第一層疊體具有配置于第一配線層的第一電感器用導(dǎo)體、配置于第二配線層的第二電感器用導(dǎo)體，第二層疊體具有以第一電感器用導(dǎo)體以及第二電感器用導(dǎo)體形成線圈狀的電感器的方式在與第一層疊體的接合面上電連接第一電感器用導(dǎo)體的端部和第二電感器用導(dǎo)體的端部的連接導(dǎo)體。
文檔編號(hào)H01F27/00GK102985983SQ20118003418
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月9日
發(fā)明者木村一成, 戶蒔重光, 田端美咲, 阿部勇雄 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社