專利名稱：一種清洗機籃筐的制作方法
技術領域：
一種清洗機籃筐技術領域：
本實用新型涉及硅片清洗領域，尤其是涉及ー種在硅片清洗エ序中裝載花籃的清洗機籃筐。背景技術：
公知的，硅片清洗做為硅片生產流程的最后一道エ序，其操作最為頻繁，而且其清洗效率也將直接影響到硅片的成品率，因此， 硅片清洗的操作在硅片生產中屬于至關重要的步驟之一；目前，在實際操作中發現，現有硅片清洗機的籃筐如果裝不滿花籃的話，花籃在清洗過程中容易出現傾倒或壓籃等現象，嚴重時會導致整籃硅片的損壞，如果將籃筐裝滿的話，不但裝籃時費時費カ，且多個花籃之間會產生擠壓，而擠壓過度的話也會造成花籃內的硅片邊緣破損；其次，現有清洗機的籃筐分為單晶硅片用籃筐和多晶硅片用籃筐兩種，即單晶硅片用籃筐只能安放單晶硅花籃，多晶硅片用籃筐只能安放多晶硅花籃，這導致了在清洗不同的硅片時需要選擇更換不同的籃筐，從而造成操作人員的勞動強度増大；此外，在硅片的清洗烘干過程中，由清洗烘干隧道出來的清洗機籃筐溫度較高，操作人員必須使用隔熱手套防護才能進行下一歩的相關操作，但是，由于高溫、摩擦或干燥等原因，清洗機的籃筐會帶有大量的靜電，而現有的隔熱手套又不能防靜電，這時一般是通過其他工具釋放完靜電再進行下一歩操作，因而導致了生產效率較低。
發明內容為了克服背景技術中的不足，本實用新型提供了一種清洗機籃筐，所述的籃筐不但能夠安放單晶硅花籃和多晶硅花籃，并且在清洗過程中不會發生籃筐內花籃傾倒或壓籃現象，同時所述的籃筐還能夠有效的處理靜電影響。為實現上述發明目的，本實用新型采用如下技術方案一種清洗機籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體、擋桿和導電體；所述的籃筐本體兩端上邊框中部固定設有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿，在籃筐本體兩端上邊框的下部面活動連接有兩根單晶硅花籃擋桿，且兩根單晶硅花籃擋桿位于多晶硅花籃擋桿的兩側；所述的籃筐本體兩端端面的對角位置分別安裝有一塊對應清洗機中感應裝置的擋板；所述的籃筐本體下邊框的角端設有接地的導電體。所述的清洗機籃筐，所述的單晶硅花籃擋桿的兩端分別與對應的籃筐本體上邊框定位卡接。所述的清洗機籃筐,所述的單晶娃花籃擋桿一端與對應的籃筐本體上邊框活動套接，另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體上邊框對應位置的螺帽絲接。由于采用如上所述的技術方案，本實用新型具有如下有益效果本實用新型所述的清洗機籃筐不但能夠通過裝卸擋桿達到安放單晶硅花籃和多晶硅花籃的目的，為使用方節省生產成本，而且在清洗過程中不會使籃筐內的花籃發生傾倒或壓籃現象，從而相應提高了硅片的成品率；此外，所述的籃筐還能夠有效的釋放靜電，即在保證操作安全的前提下提高了生產效率。
[0014]圖I是本實用新型的示意圖。圖中1、籃筐；2、單晶硅花籃擋桿；3、多晶硅花籃擋桿；4、導電體；5、擋板。
具體實施方式
通過下面的實施例可以更詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的g在保護本實用新型范圍內的一切變化和改進，本實用新型并不局限于下面的實施例；結合附圖I所述的清洗機籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體I、擋桿和導電體4 ;所述的籃筐本體I兩端上邊框中部固定設有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿2，即能夠通過多晶硅花籃擋桿2和籃筐本體I的側邊框使安放在籃筐本體I內的多晶硅花籃得到牢固定位；在籃筐本體I兩端上邊框的下部面活動連接有兩根單晶硅花籃擋桿3，即能夠通過單晶硅花籃擋桿3和籃筐本體I的側邊框使安放在籃筐本體I內的單晶硅花籃得到牢固定位，同吋，由于單晶硅花籃擋桿3和對應的籃筐本體I上邊框之間是活動連接的，因此，在清洗時只需通過裝卸所述的單晶硅花籃擋桿3即能夠達到在籃筐本體I內安放單晶硅花籃或多晶 硅花籃的目的；為更便于裝卸所述的單晶硅花籃擋桿3，能夠將每一根單晶硅花籃擋桿3的兩端分別與對應的籃筐本體I上邊框定位卡接；或者，將每ー根單晶硅花籃擋桿3的一端與對應的籃筐本體I上邊框活動套接，將該根單晶硅花籃擋桿3的另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體I上邊框對應位置的螺帽絲接；所述的兩根單晶硅花籃擋桿3位于多晶硅花籃擋桿2的兩側，從而能夠滿足單晶硅花籃和多晶硅花籃的不同尺寸要求；所述的籃筐本體I兩端端面的對角位置分別安裝有一塊對應清洗機中感應裝置的擋板5，即通過擋板5提高清洗機上感應裝置的感應準確度，從而避免感應失誤的現象發生；為釋放靜電，能夠在所述的籃筐本體I下邊框的角端安裝設置ー始終接地的導電體4，即當所述的籃筐移動時，所述的導電體4能夠始終接地以釋放所述籃筐上的靜電。實施本實用新型所述的清洗機籃筐，當清洗多晶硅吋，就把單晶硅花籃擋桿3拆卸下來，通過多晶硅花籃擋桿2對多晶硅花籃進行定位，使多晶硅花籃不能偏移或傾倒；當清洗單晶硅時，則把單晶硅花籃擋桿3固定安裝在籃筐本體I上，通過單晶硅花籃擋桿3對單晶硅花籃進行定位，使單晶硅花籃不能偏移或傾倒；在清洗過程中，當所述的籃筐到達指定位置吋，清洗機上的光電開關通過擋板5準確感應到有料，并將有料信息傳送至PLC，PLC在收到信息后機械臂不會向同一位置吊裝所述的籃筐，從而有效防止了壓籃事故的發生；同吋，由于所述的導電體4始終與地接觸釋放著靜電，所以操作人員能夠直接使用隔熱手套對由清洗烘干隧道出來的所述籃筐進行下一歩的相關操作。以上內容中未細述部份為現有技術，故未做細述。
權利要求1.一種清洗機籃筐，其特征是所述的籃筐包含籃筐本體(I)、擋桿和導電體(4);所述的籃筐本體(I)兩端上邊框中部固定設有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿(2)，在籃筐本體(I)兩端上邊框的下部面活動連接有兩根單晶硅花籃擋桿(3)，且兩根單晶硅花籃擋桿(3)位于多晶硅花籃擋桿(2)的兩側；所述的籃筐本體(I)兩端端面的對角位置分別安裝有一塊對應清洗機中感應裝置的擋板(5);所述的籃筐本體(I)下邊框的角端設有接地的導電體⑷。
2.根據權利要求I所述的清洗機籃筐，其特征是所述的單晶硅花籃擋桿(3)的兩端分別與對應的籃筐本體(I)上邊框定位卡接。
3.根據權利要求I所述的清洗機籃筐，其特征是所述的單晶硅花籃擋桿(3)—端與對應的籃筐本體(I)上邊框活動套接，另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體(I)上邊框對應位置的螺帽絲接。
專利摘要一種涉及硅片清洗領域的清洗機籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體、擋桿和導電體；所述的籃筐本體兩端上邊框中部固定設有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿，在籃筐本體兩端上邊框的下部面活動連接有兩根單晶硅花籃擋桿，且兩根單晶硅花籃擋桿位于多晶硅花籃擋桿的兩側；所述的籃筐本體兩端端面的對角位置分別安裝有一塊對應清洗機中感應裝置的擋板；所述的籃筐本體下邊框的角端設有接地的導電體；所述的籃筐不但能夠安放單晶硅花籃和多晶硅花籃，并且在清洗過程中不會發生籃筐內花籃傾倒或壓籃現象，同時所述的籃筐還能夠有效的處理靜電影響。
文檔編號H01L21/67GK202394850SQ20112055878
公開日2012年8月22日 申請日期2011年12月28日 優先權日2011年12月28日
發明者任祖江, 周積勛, 張磊, 智兵強, 智旭強, 朱曉磊, 聶傳付, 谷金升, 鄧占鵬, 霍得生 申請人:上海超日(洛陽)太陽能有限公司