專利名稱：太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置的制作方法
技術領域：
太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置技術領域[0001]本實用新型涉及太陽能電池片制造設備技術領域，尤其是一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置。
背景技術：
[0002]太陽能電池的主要制造過程去除硅片表面損傷層、擴散制結、等離子邊緣腐蝕、 去除磷硅玻璃、沉積減反射膜、制作上下電極等工序。[0003]在太陽能電池的擴散工藝后，硅片表面會形成一層PSG，必須去除。擴散原理 POCl3在高溫600°C下分解，產生P2O5和PCl5,然后2P205+5Si——5Si02+4P,這樣生成的P就可以擴散到硅片里，實現P摻雜。在擴散中，我們還比通入足夠的氧氣，這樣PCl5和氧氣反應，生成P2O5和Cl2,從而避免產生的PCl5對硅片的不利影響。[0004]通過反應可以發現，在實現P摻雜的同時，在硅片表面還會有二氧化硅和五氧化二磷，所謂的PSG，通過酸溶液洗去。[0005]采用酸溶液進行去PSG，一般采用氫氟酸溶液洗去PSG，去除PSG后，再經過一些除酸操作才能進入下一工序。現有工藝中依次有酸洗槽、噴淋槽、漂洗槽、熱水慢提拉槽和烘箱。需要五個步驟才能在去除PSG后，并充分完全的去除殘余酸。此工藝效率低，設備投入大，若一個設備損壞，就整條生產線癱瘓，導致產能降低。實用新型內容[0006]本實用新型要解決的技術問題是為了解決現有技術中的不足，本實用新型提供一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設備的長度。[0007]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機。[0008]本實用新型的有益效果是，本實用新型太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設備的長度，投資成本減降低，占地減少，有利于車間的空間利用，甩干機的配備和調配靈活多變，保證產量穩定。
[0009]
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。[0010]圖1是現有技術的流程框圖。[0011]圖2是本實用新型的太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置最佳實施例的流程框圖。
具體實施方式
[0012]現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。[0013]圖2是本實用新型的太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、 噴淋槽和甩干機。[0014]酸洗槽中存放氫氟酸溶液，堿洗槽中選用弱堿性溶液為佳，噴淋槽優選采用無離子水。
權利要求1. 一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，其特征在于依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機。
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機。本實用新型太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設備的長度，投資成本減降低，占地減少，有利于車間的空間利用，甩干機的配備和調配靈活多變，保證產量穩定。
文檔編號H01L31/18GK202308019SQ20112044250
公開日2012年7月4日 申請日期2011年11月10日 優先權日2011年11月10日
發明者王煜輝 申請人:常州華盛恒能光電有限公司