專利名稱：一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于太陽能光伏發電領域，涉及半導體設備，進一步是指晶體硅太陽能電池生產線中擴散設備的三氯氧磷控溫系統。
背景技術：
太陽能電池需要一個大面積的PN結以實現光能到電能的轉換，而擴散爐即為制造太陽能電池PN結的專用設備。在850—900攝氏度高溫下使用氮氣將三氯氧磷帶入石英容器中和硅片進行反應，形成PN結。制造PN結是太陽能電池生產最基本也是最關鍵的工序。太陽能電池所用的主要擴散雜質源有氣態源(磷化氫PH3)、液態源(三氯氧磷P0CL3)、 固態源(五氧化二磷P2O5)等，考慮到安全、操作保存、量產以及均勻性等因素，目前擴散工藝一般采用三氯氧磷液態源作為擴散源，三氯氧磷很容易發生水解，極易揮發，高溫下蒸汽壓很高，為了保持蒸汽壓的穩定，得到均勻性好的PN結，需要精確控制三氯氧磷的溫度，通常是把裝有三氯氧磷的源瓶放在20°C的恒溫槽中。由于以空氣做介質的低溫恒溫槽價格昂貴，因此，目前擴散爐大多把源瓶放入以水為介質的恒溫槽中來控制溫度，而三氯氧磷為無色澄清液體，有刺激性氣味，遇水猛烈分解，產生大量的熱和濃煙，甚至爆炸。一旦員工把裝有三氯氧磷的源瓶進氣與出氣管接反，或者出氣閥門由于故障未打開，源瓶就會爆破，使三氯氧磷與恒溫槽中的水直接反應，釋放有毒氣體并對恒溫槽形成腐蝕。其次，裝有三氯氧磷的源瓶，直接放置在恒溫槽的水浴堝中，隨著三氯氧磷的不斷消耗，瓶子由于變輕而慢慢的浮上水面，給控溫帶來不利影響，也影響源瓶進氣、出氣接口的密封性，進一步影響工藝穩定性和對擴散設備的腐蝕性威脅。現有的進口恒溫槽設備沒有有效的裝置解除以上威脅， 造成大量的設備損壞，影響穩定生產，增加生產成本。圖1所述為目前太陽能行業正在廣泛使用的三氯氧磷控溫系統，該系統由恒溫槽 1、控溫容器2、源瓶3三大部分組成，首先在控溫容器2中加入去離子水，再把裝滿三氯氧磷的源瓶3放入控溫容器2中，由恒溫槽1控制去離子水的溫度，達到控制三氯氧磷溫度的目的。在源瓶3的入口接入隊管，由擴散設備的氣體控制系統，控制通入一定量的N2進入源瓶3中的三氯氧磷液體中，再由隊攜帶三氯氧磷從源瓶3的出口離開進入擴散設備的工藝管中進行擴散工藝。從圖中可以看出，一旦把源瓶3的隊進氣口與出氣口接反，必然會造成源瓶3爆裂，致使源瓶3中的三氯氧磷與控溫容器2中的去離子水直接反應，產生危險， 進而腐蝕恒溫槽1。還有，由于源瓶3是直接放在控溫容器2的去離子水中，隨著三氯氧磷的消耗，源瓶3會慢慢浮起來，影響源溫的控制效果。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是，針對現有進口恒溫槽對源瓶爆破后，無法有效的防止三氯氧磷與水介質的直接反應帶來的危險，根據恒溫槽對源溫的控制要求以及員工對源瓶的操作要求，設計出一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，解決源瓶爆破后三氯氧磷與水反應帶來的危險，防止恒溫槽受到意外的腐蝕，而又不影響源溫的精確控制。本實用新型的技術方案是，一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，包括控溫容器和源瓶，其特征是，源瓶外部套裝保護筒，控溫容器上設有蓋板，并在蓋板頂部開孔，所述保護筒置于蓋板孔內，且保護筒固定在蓋板上。圖2所述為裝備了本實用新型恒溫槽保護裝置的三氯氧磷源溫控制系統，該系統由恒溫槽1、控溫容器2、源瓶3、控溫容器蓋板4、保護筒5五大部分組成，首先在控溫容器2 中加入去離子水，把控溫容器蓋板4蓋好，再把保護筒5插入控溫容器蓋板4的孔中并固定好；最后把裝滿三氯氧磷的源瓶3放入保護筒5中，由恒溫槽1控制去離子水的溫度來控制保護筒5中的空氣溫度，這樣就以空氣為介質，達到控制三氯氧磷溫度的目的，在源瓶3的入口接入隊管，由擴散設備的氣體控制系統，控制通入一定量的隊進入源瓶3中的三氯氧磷液體中，再由隊攜帶三氯氧磷從源瓶3的出口離開進入擴散設備的工藝管中進行擴散工藝。這樣，即使源瓶3的進氣口與出氣口接反造成源瓶3爆裂，源瓶3中的三氯氧磷也只會流入保護筒5中，不會與控溫容器2中的去離子水直接反應而產生嚴重的后果，有效的保護了恒溫槽1不受到腐蝕。同時，源瓶3是處在保護筒5中，無浮力的影響，無論三氯氧磷消耗多少，源瓶3都不會浮動，源溫控制、氣路密封性得到有效保障。由以上可知，本實用新型為一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，有效的隔斷了源瓶爆破后三氯氧磷與水的直接接觸反應，進而保護恒溫槽免受進一步腐蝕的危險。本實用新型造價低，改造簡單明了，效果顯著。
圖1為現有三氯氧磷控溫系統的結構示意圖；圖2為本實用新型所述帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統。
具體實施方式
如圖2所示，一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，包括控溫容器2和源瓶3，源瓶3外部套裝保護筒5，控溫容器2上設有蓋板4，并在蓋板4頂部開孔，所述保護筒 5置于蓋板孔內，且保護筒5固定在蓋板4上。
權利要求1. 一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，包括控溫容器( 和源瓶(3)，其特征是，源瓶( 外部套裝保護筒( ，控溫容器( 上設有蓋板(4)，并在蓋板(4)頂部開孔， 所述保護筒(5)置于蓋板孔內，且保護筒(5)固定在蓋板(4)上。
專利摘要本實用新型屬于太陽能光伏發電領域，涉及半導體設備，進一步是指晶體硅太陽能電池生產線中擴散設備的三氯氧磷控溫系統，包括控溫容器和源瓶，源瓶外部套裝保護筒，控溫容器上設有蓋板，并在蓋板頂部開孔，所述保護筒置于蓋板孔內，且保護筒固定在蓋板上。本實用新型為一種帶有恒溫槽保護裝置的三氯氧磷控溫系統，有效的隔斷了源瓶爆破后三氯氧磷與水的直接接觸反應，進而保護恒溫槽免受進一步腐蝕的危險。本實用新型造價低，改造簡單明了，效果顯著。
文檔編號H01L31/18GK202247018SQ20112039516
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月17日 優先權日2011年10月17日
發明者劉松, 周大良, 周小榮, 湯輝, 羅亮 申請人:湖南紅太陽新能源科技有限公司