專利名稱：一種帶有溢流盒的反應槽的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅材處理設備，尤其涉及用于在清洗設備和濕法處理設備中的一種帶有溢流盒的反應槽。
背景技術：
在太陽能清洗設備和濕法處理設備中，尤其是鏈式太陽能清洗設備和濕法處理設備中，被處理的硅片在和化學藥品發生反應時，會造成反應槽內出現區域性藥液濃度不一致的問題，這將導致硅片表面處理的均勻性大大降低，因此，造成產品報廢率高，增加生產成本，阻礙技術的發展。
實用新型內容本實用新型為了解決現有技術的反應槽內區域性藥液濃度不一致的的技術問題， 提出一種可以加快反應槽內的換液速度，有效減少反應槽內各區域液體的差異性的帶有溢流盒的反應槽。為解決所述技術問題，本實用新型提出一種帶有溢流盒的反應槽，其包括反應槽體，設于該反應槽體內部上部的運輸滾筒。所述的相鄰兩運輸滾筒之間設有溢流盒，而溢流盒的下面設有聯通外部液體循環系統的管路。其中，所述溢流盒沿所述運輸滾筒的軸線展開設置，即可以是一個整體的溢流盒， 也可以是由幾個較小的溢流盒間隔的沿運輸滾筒的軸線設置。較優的，所述溢流盒的截面為“U”型。本實用新型在反應槽體內的運輸滾筒之間設置溢流盒，當槽體內藥液液面到達一定高度時，藥液就可從流入溢流盒，并通過溢流盒下面的管路進入藥液循環系統，從而加快反應槽內的藥液更換速度，以便有效地減少反應槽內各區域藥液濃度的差異性，從而使硅片表面處理更均勻。相比傳統的溢流裝置，新的溢流盒能在槽體內隨意分散開，克服了不同區域藥液濃度不一致的問題。因此，提高了產品合格率，降低了生產成本，促進了技術進步。
以下結合附圖和實施例對本實用新型作出詳細的說明，其中
圖1為本實用新型較佳實施例的剖視圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型較佳實施例提供的一種帶有溢流盒的反應槽，其包括反應槽體1，設于該反應槽體1內上部的運輸滾筒2，而相鄰兩運輸滾筒2之間設有溢流盒3， 而溢流盒的下面設有聯通外部液體循環系統的管路4。如圖1所示，本實施例中，反應槽體1的運輸滾筒2之間均設有溢流盒3，根據需要，也可以在一部分相鄰運輸滾筒之間設置溢流盒。一個整體的溢流盒3沿運輸滾筒2的軸線展開設置，根據需要，也可以是由幾個較小的溢流盒間隔的沿運輸滾筒的軸線設置；溢流盒3的截面為“U”型，根據需要，溢流盒3的截面可以為其它形狀，比如，矩形、梯形等等。本實用新型在反應槽體內的運輸滾筒之間設置溢流盒，當槽體內藥液液面到達一定高度時，藥液就可流入溢流盒，并通過溢流盒下面的管路進入藥液循環系統，從而加快反應槽內藥液的更換速度，以便有效地減少反應槽內各區域藥液濃度的差異性，從而使硅片表面處理更均勻。相比傳統的溢流裝置，新的溢流盒能在槽體內可以隨意分散開，克服了不同區域藥液濃度不一致的問題。以上接合較佳實施方式對本實用新型進行了具體描述，但是本技術領域內的技術人員可以對這些實施方式做出多種變更或變化，這些變更和變化應落入本實用新型保護的范圍之內。
權利要求1.一種帶有溢流盒的反應槽，包括反應槽體(1)，設于該反應槽體(1)內部上部的運輸滾筒(2)，其特征在于，所述的相鄰兩運輸滾筒(2)之間設有溢流盒(3)，而溢流盒的下面設有聯通外部液體循環系統的管路(4)。
2.根據權利要求1所述的帶有溢流盒的反應槽，其特征在于，所述溢流盒(3)沿所述運輸滾筒(2)的軸線展開設置。
3.根據權利要求1所述的帶有溢流盒的反應槽，其特征在于，所述溢流盒(3)的截面為 “U” 型。
專利摘要一種帶有溢流盒的反應槽，包括反應槽體，設于該反應槽體內部上部的運輸滾筒。所述的相鄰兩運輸滾筒之間設有溢流盒，而溢流盒的下面設有聯通外部液體循環系統的管路。本實用新型在反應槽體內的運輸滾筒之間設置溢流盒，以便加快反應槽內的藥液更換速度，而減少反應槽內各區域藥液濃度的差異性，是的使硅片表面處理更均勻。相比傳統的溢流裝置，新的溢流盒能在槽體內隨意分散開，克服了不同區域藥液濃度不一致的問題。
文檔編號H01L31/18GK202231047SQ201120319909
公開日2012年5月23日 申請日期2011年8月30日 優先權日2011年8月30日
發明者左國軍 申請人:常州捷佳創精密機械有限公司