專利名稱：蓄水沖洗架的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種沖洗裝置，尤其涉及硅片切割后對硅片進行沖洗的裝置。
背景技術：
硅片切割成若干片后，硅片的上端還粘在玻璃上，需用沖洗架對硅片進行沖洗方可取下，在沖洗時水直接排出，從而浪費了大量的水資源。經實踐證明，在沖洗10分鐘硅片基本干凈后的水是可以再利用的。
發明內容本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種節約水資源的蓄水沖洗
^K O本實用新型的目的是這樣實現的蓄水沖洗架，包括進水管，進水管的兩個出水端分別連接第一水管，每根第一水管的另一端分別為盲端，每根第一水管上分別連接進水閥和至少一根第二水管，每根第二水管的另一端分別通過軟管連接沖洗架，所述沖洗架的下方設置同一蓄水箱，蓄水箱的下端連接至少一根排水管，每根排水管上分別連接排水閥；所述蓄水箱的下端還連接至少一根第一循環水管，每根第一循環水管的出水端分別連接循環泵，每個循環泵的出水端分別連接第二循環水管，每根第二循環水管的出水端旁接在相應的第一水管上，每根第二循環水管的出水端設置在相應的進水閥與端部第二水管之間，每根第二循環水管上分別連接循環水閥。本實用新型通過以上設計后，1、將硅棒放入沖洗架后，先將循環水閥關閉，后將自來水進水閥、沖洗閥、排水閥打開直接沖洗。2、待沖洗10分鐘硅片基本干凈后，將排水閥關閉，蓄水。3、蓄水兩分鐘后，將自來水進水閥關閉，將循環水閥打開，將循環泵運行，利用蓄水箱中水繼續沖洗。4、繼續沖洗40分鐘可撥片，后將排水閥打開，將蓄水箱中污水排出。本實用新型節約水資源，節約成本。為了方便蓄水箱兩側同時進行循環，蓄水箱底部的中間部分高于左右兩端。為了便于控制各沖洗架的開關，每根第二水管上分別連接沖洗閥。
圖1為本實用新型的一種結構示意圖。圖2為圖1的右視圖。圖中，1蓄水箱，2沖洗架，3第一水管，4軟管，5第二水管，6沖洗閥，7第二循環水管，8循環水閥，9循環泵，10連接板，11排水管，12排水閥，13進水管，14第一循環水管，15 控制箱，16進水閥。
具體實施方式
如圖1、2所示，為蓄水沖洗架，包括蓄水箱1，蓄水箱1底部的中間部分高于左右兩端，蓄水箱1的上方連接六個沖洗架2。蓄水沖洗架還包括進水管13，進水管13的兩個出水端分別連接第一水管3，每根第一水管3的另一端分別為盲端，每根第一水管3上分別連接進水閥16和三根第二水管5，每根第二水管5上分別連接沖洗閥6，每根第二水管5的另一端分別通過軟管4連接相應的沖洗架2。 蓄水箱1下端的左右兩側分別連接排水管11，每根排水管11上分別連接排水閥 12。蓄水箱1下端的左右兩側還分別連接第一循環水管14，每根第一循環水管14的出水端分別連接循環泵9，兩個循環泵9通過同一控制箱15控制，每個循環泵9分別通過連接板 10安裝在蓄水箱1的左右兩側，每個循環泵9的出水端分別連接第二循環水管7，每根第二循環水管7的出水端旁接在相應的第一水管3上，每根第二循環水管7的出水端設置在相應的進水閥16與端部第二水管5之間，每根第二循環水管7上分別連接循環水閥8。
權利要求1.蓄水沖洗架，包括進水管，進水管的兩個出水端分別連接第一水管，每根第一水管的另一端分別為盲端，每根第一水管上分別連接進水閥和至少一根第二水管，每根第二水管的另一端分別通過軟管連接沖洗架，其特征在于所述沖洗架的下方設置同一蓄水箱，蓄水箱的下端連接至少一根排水管，每根排水管上分別連接排水閥；所述蓄水箱的下端還連接至少一根第一循環水管，每根第一循環水管的出水端分別連接循環泵，每個循環泵的出水端分別連接第二循環水管，每根第二循環水管的出水端旁接在相應的第一水管上，每根第二循環水管的出水端設置在相應的進水閥與端部第二水管之間，每根第二循環水管上分別連接循環水閥。
2.根據權利要求1所述的蓄水沖洗架，其特征在于所述蓄水箱底部的中間部分高于左右兩端。
3.根據權利要求1所述的蓄水沖洗架，其特征在于所述每根第二水管上分別連接沖洗閥。
專利摘要蓄水沖洗架，涉及一種沖洗裝置，包括進水管，進水管的兩個出水端分別連接第一水管，每根第一水管的另一端分別為盲端，每根第一水管上分別連接進水閥和至少一根第二水管，每根第二水管的另一端分別通過軟管連接沖洗架，所述沖洗架的下方設置同一蓄水箱，蓄水箱的下端連接至少一根排水管，每根排水管上分別連接排水閥；所述蓄水箱的下端還連接至少一根第一循環水管，每根第一循環水管的出水端分別連接循環泵，每個循環泵的出水端分別連接第二循環水管，每根第二循環水管的出水端旁接在相應的第一水管上，每根第二循環水管的出水端設置在相應的進水閥與端部第二水管之間，每根第二循環水管上分別連接循環水閥。本實用新型節約水資源，節約成本。
文檔編號H01L21/00GK202178239SQ201120241969
公開日2012年3月28日 申請日期2011年7月11日 優先權日2011年7月11日
發明者陳春暉 申請人:揚州善鴻新能源發展有限公司