專利名稱：排氣裝置及其單向排氣閥的制作方法
技術領域：
一種排氣裝置及排氣閥，特別是指一種具有單向排氣功能的排氣裝置及其單向排氣閥。
背景技術：
于半導體制造產業中，依其制程，大致上可分為晶圓、顯影、蝕刻、沉積等多項制程步驟。而于蝕刻步驟中，隨著化學藥液的使用，多半產生有毒性廢氣，而所產生的廢氣將沿著排氣管路排出，將其作凈化處理后再排放至大氣中。而公知的排氣裝置，請參照圖1及圖2所示，其為公知技術排氣裝置的第一示意圖及第二示意圖。圖中，該排氣裝置1具有一轉動桿體11及一逆止閥體12。該轉動桿體11 的兩端分別可旋轉地固定于排氣管路的管壁上，該逆止閥體12對應管路的通口。當廢氣的氣流流速不高時，該逆止閥體12密壁該管路通口。當該廢氣的氣流流速偏高時，則氣流推抵該逆止閥體12，使該廢氣能順利由排氣口排出。然而，此種排氣裝置1的缺點在于由于該轉動桿體11作動時相對管壁相對旋轉，而于管壁上必然留有一余隙，導致廢氣可能由此余隙排出，造成泄氣污染。此外，此種排氣裝置1，由于其廢氣推動該逆止閥體12的壓力值為固定值，而無法隨需求加以調整，于實際使用上仍有不便的處。
發明內容本實用新型的主要目的，旨在提供一種排氣裝置及其單向排氣閥，其可用于排放及調控半導體制程的廢氣，并避免廢氣從管路管壁泄漏出。為達上述目的，本實用新型的單向排氣閥，其包含一固定桿、一轉動桿、一螺桿、一配重塊及一逆止件。該固定桿具有一第一端部及一第二端部，該第一端部固定于該排氣管路的管壁。該轉動桿的一端樞接于該第二端部。該螺桿插設于該轉動桿的另一端。該配重塊螺設于該螺桿的一端。該逆止件螺設于該螺桿的另一端，該逆止件對應該排氣管路的通
氣管口。其中，該轉動桿的另一端設有一螺孔，該螺桿螺設于該螺孔內。其中，該單向排氣閥更具有一墊圈環片，該墊圈環片環設于該逆止件的一側。其中，該固定桿具有一樞接座，該轉動桿具有一樞接孔，該樞接座及該樞接孔穿設一螺栓，以樞接該固定桿及該轉動桿。其中，該逆止件為一盤體。為達上述目的，本實用新型排氣裝置包含一排氣管路；一如權利要求1所述的單向排氣閥，設于該排氣管路內；及一通風機。該通風機設于該排氣管路內。其中，該排氣裝置更具有一墊圈環片，該墊圈環片設于該排氣管路通氣管口的一側，該墊圈環片對應該逆止件。
[0012]圖1為公知技術排氣裝置第一示意圖；圖2為公知技術排氣裝置第二示意圖；圖3為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥第一實施例立體圖；圖4為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥第一實施例設置示意圖；圖5為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥第一實施例的第一作圖示意圖；圖6為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥第一實施例第二作動示意圖；圖7為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥排氣示意圖；圖8為本實用新型排氣裝置其單向排氣閥的立體示意圖。附圖標記說明1-排氣裝置；11-轉動桿體；12-逆止閥體；2-單向排氣閥；21-固定桿；211-第一端部；212-第二端部；213-樞接座；22-轉動桿；221-樞接孔；222-螺孔；23-螺桿；231-螺紋；24-配重塊；25-逆止件；3-廢水槽；4-通風機；5-墊圈環片；6-單向排氣閥；61-固定桿；62-轉動桿；63-螺桿；64-配重塊；65-逆止件；66-墊圈環片；7-排氣管路。
具體實施方式
為使審查員能清楚了解本實用新型的內容，謹以下列說明搭配圖式，敬請參閱。請參閱圖3及圖4所示，其為本實用新型排氣裝置第一實施例的立體圖及設置示意圖。圖中，該排氣裝置具有一排氣管路7、一單向排氣閥2設于該排氣管路內及一墊圈環片5。該單向排氣閥2包含一固定桿21、一轉動桿22、一螺桿23、一配重塊M及一逆止件25。該固定桿21具有一第一端部211、一第二端部212及一樞接座213。該第一端部固設于一排氣管路7的管壁上。該樞接座213則形成于該第二端部212，并呈一π字型。該轉動桿22具有一樞接孔221及一螺孔222。該樞接孔221形成于該轉動桿22 的一端并對應該樞接座213，該螺孔222形成于該轉動桿22的另一端。該樞接座221及該樞接孔221穿設一螺栓26，以樞接該固定桿21及該轉動桿22。該螺桿23上形成多個螺紋231，并插設于該螺孔222內。該配重塊M則螺設于該螺桿23的一端，并可以以該轉動桿22為支點，以產生一力矩。在本實施例中，該配重塊M可供轉動于該螺桿23上，以靠近或遠離該轉動桿22，以產生不同大小的力矩。該逆止件25則螺設于該螺桿23的另一端。在本實施例中，該逆止件25為一盤體， 其用以密封該排氣管路7的管口并作為單向逆止廢氣排放方向所使用。上述該排氣管路以及該單向排氣閥2都涂布耐腐蝕材質于表面，所述耐腐蝕材質可為鐵氟龍(或稱特弗龍)、鎳金屬及其合金、鈦金屬及其合金等，于本實用新型排氣裝置第一實施例中使用鐵氟龍涂布于該排氣管路7以及該單向排氣閥2的表面，以防止該排氣管路7以及該單向排氣閥2，受廢氣中所含的酸、堿性或有機化學物質腐蝕。墊圈環片5以軟性耐腐蝕材質所制成，以防止廢氣中所含的酸、堿性或有機化學物質腐蝕，且該墊圈環片5設置于該排氣管路7通氣管口的一側并對應該逆止件25。當該逆止件25與該墊圈環片5相貼合時能增加密封功效，以防止廢氣自該排氣管路7的管口與該逆止件25之間外泄。請參照圖5、圖6及圖7，其為本實用新型的單向排氣閥第一實施例第一作動示意圖、第二作動示意圖及排氣示意圖。當調整組設于該單向排氣閥2配重塊M 遠離該轉動桿22時，該配重塊M則相對該轉動桿22產生一較大的力矩，使的管路中的廢氣須較大的流速推動該逆止件25，當廢氣的推力大于該配重塊M所產生的力矩時，便能推該逆止件25而使該廢氣繼續流通至單向排氣閥2的另一側。當調整組設于該排氣管路7 的單向排氣閥2的配重塊M靠近該轉動桿22時，則相對該轉動桿22產生一較小的力矩， 使管路中的廢氣僅需較小的流速便可推動該逆止件25，使廢氣持續流動。當廢氣流通至排氣管路7的后端時，可由對管路注入水或水蒸氣，以濾除含于廢氣中的重金屬或有機無機物質，并將廢水儲存至一廢水槽3中。處理完畢后的廢氣便可排放至大氣中。為加強排氣效果，該排氣裝置更可于排氣管路內設置一通風機4，該通風機4可對設置該單向排氣閥2的腔室進行排風，使該腔室形成一具有高低壓差的負壓區域，進而帶動該單向排氣閥2的該逆止件25因壓力差位移而不再閉鎖于該排氣管路的通風管口上，可順利使廢氣通過該單向排氣閥2而導引出。請參照圖8，其為本實用新型的單向排氣閥第二實施例的示意圖。其中，本實施例中，該單向排氣閥6具有一固定桿61、一轉動桿62、一螺桿63、一配重塊64及一逆止件，而于本實施例中，該單向排氣閥6的該固定桿61、該轉動桿62、該螺桿63、該配重塊64與該逆止件65的結構與功能與第一實施例相同，在此不再贅述。本實施例與第一實施例的差異在于原設于排氣管路7的通風管口的墊圈環片66環設于該逆止件65的一側并對應該排氣管路7的通風管口，該墊圈環片66的功能與第一實施例相同，用于防止閉鎖功能受廢氣中酸、 堿或有機化學物質的腐蝕而失效。綜上所述，本實用新型排氣裝置及其單向排氣閥，其功效在于其使用固定桿固定于排氣管路的管壁上，其可密封于管壁，使廢氣不會由該管壁滲出。本實用新型排氣裝置及其單向排氣閥，其另一功效在于由配重塊的輔助，可調整該單向排氣閥的閉鎖能力，以適應于不同作業情況。以上對本實用新型的描述是說明性的，而非限制性的，本專業技術人員理解，在權利要求限定的精神與范圍的內可對其進行許多修改、變化或等效，但是它們都將落入本實用新型的保護范圍內。
權利要求1.一種單向排氣閥，其特征在于，設于一排氣管路內，該單向排氣閥包含一固定桿，具有一第一端部及一第二端部，該第一端部固定于該排氣管路的管壁； 一轉動桿，其一端樞接于該第二端部； 一螺桿，插設于該轉動桿的另一端； 一配重塊，螺設于該螺桿的一端，及一逆止件，螺設于該螺桿的另一端，該逆止件對應該排氣管路的通氣管口。
2.如權利要求1所述的單向排氣閥，其特征在于，該轉動桿的另一端設有一螺孔，該螺桿螺設于該螺孔內。
3.如權利要求1所述的單向排氣閥，其特征在于，更具有一墊圈環片，該墊圈環片環設于該逆止件的一側。
4.如權利要求1所述的單向排氣閥，其特征在于，該固定桿具有一樞接座，該轉動桿具有一樞接孔，該樞接座及該樞接孔穿設一螺栓，以樞接該固定桿及該轉動桿。
5.如權利要求1所述的單向排氣閥，其特征在于，該逆止件為一盤體。
6.一種排氣裝置，其特征在于，包含 一排氣管路；一如權利要求1所述的單向排氣閥，設于該排氣管路內；及一通風機，設置于該排氣管路內。
7.如權利要求6所述的排氣裝置，其特征在于，更具有一墊圈環片，該墊圈環片設于該排氣管路的通氣管口一側，該墊圈環片對應該單向排氣閥的逆止件。
專利摘要一種排氣裝置及其單向排氣閥，該排氣裝置包含一排氣管路、該單向排氣閥及一通風機，該單向排氣閥包含一固定桿、一轉動桿、一螺桿、一配重塊及一逆止件。該固定桿具有一第一端部及一第二端部，該第一端部固定于該排氣管路的管壁。該轉動桿的一端樞接于該第二端部。該螺桿插設于該轉動桿的另一端。該配重塊螺設于該螺桿的一端。該逆止件螺設于該螺桿的另一端，該逆止件對應該排氣管路的通氣管口。由調整該配重塊所產生的力矩，可控制該逆止件相對于排氣管路的止閥能力，以調控排氣功能。
文檔編號H01L21/00GK202032134SQ201120113529
公開日2011年11月9日 申請日期2011年4月18日 優先權日2011年4月18日
發明者黃元彬 申請人:利達空調股份有限公司