專利名稱：一種氫化爐用絕緣環組合件的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種絕緣裝置，特別是一種多晶硅生產過程中使用的絕緣裝置。
背景技術：
在SiHCl3合成工序和氫還原制取多晶硅的工序中，會產生大量的副產物SiCl4, 如果不能有效的進行回收利用，不僅造成巨大的資源浪費，增加生產成本，而且會造成嚴重的環境污染和災難性后果。目前，最好的辦法就是將SiCl4經氫化后轉化為三氯氫硅，這樣操作不僅處理了副產物SiCl4，還重新得到了生產多晶硅的原料SiHCl3,目前國內多晶硅企業大多采用熱氫化法進行SiCI4W處理。但是，目前熱氫化法中所采用的熱氫化爐，采用鐘罩式結構，由爐筒(鐘罩)、底盤、電極、進出氣管等組成，其中底盤是夾套式結構，在底盤上布置有一定數量的電極，氫化爐的電源通過電極向載體供電，使載體發熱，提供爐內反應所需的溫度。電極的中間是空心的，可以通冷卻水進行冷卻，以防止電極的密封墊圈損壞，電極與載體用石墨連接腳進行連接。為了防止電極與底座形成短路，在電極上裝有四氟絕緣套，同時為了隔絕熱輻射，在絕緣套外加裝絕熱環，保護絕緣套不在高溫下碳化、熔化。但是目前熱氫化法中使用的絕緣套由四氟材質制成，由于四氟材質本身高溫蠕變的特性，就決定了四氟絕緣套在高溫下容易碳化，甚至熔化，造成氫化爐整體絕緣下降，使得氫化爐不能長期穩定運行，影響了氫化爐的運行時間和三氯氫硅的產量。
實用新型內容本實用新型的發明目的在于針對上述存在的問題，提供一種結構簡單、構思巧妙的氫化爐用絕緣環組合件，該組合件能有效保證絕緣環不會受高溫的影響而產生絕緣性能的下降，實現了長周期大功率的穩定運行，保證了三氯氫硅的產量。本實用新型采用的技術方案如下本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，位于氫化爐內的底盤與電極之間，所述絕緣環組合件主要由一個陶瓷環和兩個石墨墊重疊組成，其中陶瓷環位于兩石墨墊之間。由于采用了上述結構，陶瓷環主要起絕緣作用，石墨墊主要起密封作用，將二者重疊形成絕緣環組合件，使得絕緣效果和密封效果良好，同時能夠耐受熱輻射，不受高溫的影響而產生絕緣性能的下降，保證了氫化爐長周期大功率的穩定運行的需要。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，所述石墨墊為金屬纏繞石墨墊，且分別位于陶瓷環的上下兩側，絕緣環組合件的上表面與電極的底面貼合，絕緣環組合件的下表面與底盤的上表面貼合。由于采用了上述結構，金屬纏繞石墨墊主要起密封作用，使得電極與絕緣環組合件之間、絕緣環組合件與底盤之間具有良好的密封效果，避免爐內介質從密封處泄露，使絕緣環組合件具有更好的絕緣效果。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，所述陶瓷環和金屬纏繞石墨墊的直徑均大于電極的直徑，所述電極位于絕緣環組合件的上表面的中心。[0011]由于采用了上述結構，絕緣環組合件的直徑較大，電極位于絕緣環組合件的上表面的中心，便于電極的固定，密封效果好，且能夠保證電極與底盤之間的絕緣效果更好。綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是1.本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，結構簡單，制作方便，成本低廉；2.本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，能耐受熱輻射，能夠承受高溫，絕緣效果不會隨溫度升高而變化，使用安全可靠；3.本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，能夠提高生產效率和設備利用率，減少絕緣環的更換頻率和時間，降低生產成本，適合推廣。
圖1是本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件的結構示意圖。圖中標記1-底盤、2-陶瓷環、3-電極、4-金屬纏繞石墨墊。
具體實施方式
以下結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1所示，本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，位于底盤1和電極3之間，述絕緣環組合件主要由一個陶瓷環2和兩個金屬纏繞石墨墊4組成，其中陶瓷環2位于兩金屬纏繞石墨墊4中間。所述金屬纏繞石墨墊4分別與底盤1的上表面和電極的底面貼合。 所述陶瓷環2和金屬纏繞石墨墊4的直徑均大于電極3的直徑。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，陶瓷環2主要起絕緣作用，金屬纏繞石墨墊4主要起密封作用，將二者重疊形成絕緣環組合件，使得絕緣效果和密封效果良好，同時能夠耐受熱輻射，不受高溫的影響而產生絕緣性能的下降，保證了氫化爐長周期大功率的穩定運行的需要。金屬纏繞石墨墊4能避免爐內介質從密封處泄露，使絕緣環組合件具有更好的絕緣效果。絕緣環組合件的直徑較大，電極3位于絕緣環組合件的上表面的中心，便于電極的固定，密封效果好，且能夠保證電極與底盤之間的絕緣效果更好。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，結構簡單，制作方便，成本低廉；能夠承受高溫，絕緣效果不會隨溫度升高而變化，使用安全可靠；能夠提高生產效率和設備利用率， 減少絕緣環的更換頻率和時間，降低生產成本，適合推廣。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種氫化爐用絕緣環組合件，位于氫化爐內的底盤(1)與電極(3)之間，其特征在于所述絕緣環組合件主要由一個陶瓷環(2)和兩個石墨墊重疊組成，其中陶瓷環(2)位于兩石墨墊之間。
2.根據權利要求1所述的氫化爐用絕緣環組合件，其特征在于所述石墨墊為金屬纏繞石墨墊(4)，且分別位于陶瓷環(2)的上下兩側，絕緣環組合件的上表面與電極(3)的底面貼合，絕緣環組合件的下表面與底盤(1)的上表面貼合。
3.根據權利要求2所述的氫化爐用絕緣環組合件，其特征在于所述陶瓷環(2)和金屬纏繞石墨墊(4)的直徑均大于電極(3)的直徑，所述電極(3)位于絕緣環組合件的上表面的中心。
專利摘要本實用新型公開了一種氫化爐用絕緣環組合件，屬于絕緣裝置領域。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，位于氫化爐內的底盤(1)與電極(3)之間，其特征在于所述絕緣環組合件主要由一個陶瓷環(2)和兩個石墨墊重疊組成，其中陶瓷環(2)位于兩石墨墊之間。本實用新型的氫化爐用絕緣環組合件，結構簡單，制作方便，成本低廉；能夠承受高溫，絕緣效果不會隨溫度升高而變化，使用安全可靠；能夠提高生產效率和設備利用率，減少絕緣環的更換頻率和時間，降低生產成本，適合推廣。
文檔編號H01B17/56GK202063732SQ20112007710
公開日2011年12月7日 申請日期2011年3月23日 優先權日2011年3月23日
發明者宋光海 申請人:四川瑞能硅材料有限公司