專利名稱：水浴沉積鍍膜槽的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池面板技術領域，具體涉及一種應用于太陽能電池面板基板鍍膜工藝中的水浴沉積鍍膜槽，利用化學方法制備Cds、ZnS或Zn(OH)等薄膜。
背景技術：
太陽能作為一種綠色可再生能源，具有無污染、無地域限制、全天候利用等優點， 越來越受到人們的青睞和重視。太陽能的利用方式之一是通過光電轉換器件將太陽能轉換為電能，然后再對轉換后的電能加以利用。目前商業化的太陽能電池主要有單晶硅、多晶硅及薄膜電池，薄膜電池中主要包括硅基薄膜、CdTe與CIGS。而薄膜電池由于其成本低、易集成、更容易大面積生產而越來越受到關注。現階段制約太陽能電池發展及推廣的主要因素就是生產成本，而其中生產設備成本則占了相當一部分比例。在太陽能電池生產中有許多步驟可以利用化學方法。如減反射膜Si02、CdTe電池中的CdS、CIGS電池中的CdS、ZnS或ZnS(OH)等薄膜。因而，有必要設計一種簡單、方便、成本低的裝置，以實現對基板進行化學水浴鍍膜。
實用新型內容因此，本實用新型的目的在于提供一種化學水浴沉積鍍膜槽，本實用新型的鍍膜槽結構簡單、使用方便，可應用于太陽能電池面板基板的鍍膜工藝，以制備Cds、ZnS或 ZnS(OH)薄膜。本實用新型提供的一種化學水浴沉積鍍膜槽，應用于太陽能電池薄膜的制備工藝中；該鍍膜槽包括，由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側壁形成的凹槽，以及設置于所述凹槽中的攪拌裝置；其中，在所述凹槽的外側設置有一對平行的導軌，所述攪拌裝置的兩端分別設置于一導軌上，并可以沿所述導軌滑動，以對所述凹槽中的鍍膜液體進行攪拌。可選的，所述凹槽為包括內槽和外槽的雙層結構，所述外槽套接于所述內槽之外， 且所述內槽的外壁和外槽的內壁壁之間設置有距離，形成容置空間。優選的，在所述凹槽外側設置有平行于所述導軌的絲杠，在所述攪拌裝置其中一端部設置有與該絲杠相配合的絲杠母，所述絲桿母裝配于所述絲杠上。優選的，所述絲杠為滾珠絲杠。優選的，所述絲杠的一端與動力裝置的輸出端相連接。優選的，所述動力裝置為步進電機。優選的，所述攪拌裝置呈板狀，由一塊面板或者兩塊以上的多塊相互平行的面板組成；其板面垂直于所述凹槽底壁或與底壁的底面呈銳角；在所述板狀攪拌裝置兩端頂部各伸出一支撐臂，通過所述支撐臂支撐于所述導軌上。優選的，在所述板狀攪拌裝置上沿其厚度方向還設置有通孔。可選的，所述內槽的深度為8至12厘米，長度為110至150厘米，寬度為50至70厘米。 可選的，在所述水浴沉積鍍膜槽底壁下面還設置有加熱裝置。可選的，所述加熱裝置為電爐絲。可選的，在所述凹槽的開口側的側壁上設置有墊片，用于對設置于其上的太陽能電池面板基板提供支撐和密封，防止沉積溶液溢出。可選的，所述容置空間中設置溶液作為加熱媒介。可選的，還包括控制反饋系統，以設定控制水浴加熱的溫度、時間，設定控制攪拌裝置攪拌的頻率、幅度及時間。與現有技術相比，本實用新型提供的水浴沉積鍍膜槽，包括由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側壁形成的凹槽，以及設置于所述凹槽中的攪拌裝置，在所述凹槽的外側設置有一對平行的導軌，所述攪拌裝置的兩端分別設置于一導軌上，并可以沿所述導軌滑動，從而實現對所述凹槽中的鍍膜溶液進行攪拌，通過在所述水浴沉積鍍膜槽中設置鍍膜溶液，在水浴沉積鍍膜槽槽口覆蓋基板，可實施對所述基板進行鍍膜的工藝；本實用新型的水浴沉積鍍膜槽結構簡單，易于操作，制造成本低；此外，該鍍膜槽還可以豎直放置進行鍍膜操作，可以消除水平放置時化學溶液對玻璃基板的不均勻覆蓋，提高在基板上鍍膜層的均勻性。在本實用新型的優選技術方案中，所述攪拌裝置為板狀結構，在所述板狀結構上可以設置若干通孔，從而減少攪拌時的阻力。在本實用新型的優選技術方案中，所述攪拌裝置的一端通過絲杠母與絲杠連接， 該絲杠與一步進電機輸出端連接，通過步進電機帶動絲杠正反方向轉動，可實現攪拌裝置在凹槽中來回運動。該攪拌裝置有利于對整個凹槽中溶液攪拌的一致性，而且其驅動結構簡單，工作時穩定性好。
通過附圖中所示的本實用新型的優選實施例的更具體說明，本實用新型的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。圖1為本實用新型的化學水浴沉積鍍膜槽的實施例的俯視圖；圖2為圖1所示出的化學水浴沉積鍍膜槽的主視圖圖；圖3為圖1沿AA方向剖分后的截面示意圖；圖4為圖1中a部分放大后的示意圖；圖5為圖3中b部分放大后的示意圖。其中，所述示意圖是說明性的，而非限制性的，在此不能過度限制本實用新型的保護范圍。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內涵的情況下做類似推廣。因此本實用新型不受下面公開的具體實施的限制。實施例一 圖1為本實用新型的化學水浴沉積鍍膜槽的實施例的俯視圖；圖2為圖1所示出的化學水浴沉積鍍膜槽的主視圖圖；圖3為圖1沿AA方向剖分后的截面示意圖；請參考圖1、圖2和圖3，本實用新型的實施例的水浴沉積鍍膜槽包括凹槽1和攪拌裝置2。其中，所述凹槽1包括長方形的底壁以及沿所述底壁邊緣圍置的側壁。底壁和側壁之間以及相鄰側壁之間無縫連接，使得中間形成可盛放溶液的凹槽。所述凹槽1用于盛放應用于太陽能電池面板基板的鍍膜工藝的溶液，以制備CdS、ZnS或ZnS (OH)薄膜。所述凹槽1的底壁以及側壁的材質可以金屬材質，也可以是非金屬介質材質。所述凹槽1的深度以及長寬尺寸可以根據工藝需要以及太陽能電池面板基板的尺寸而設計， 例如，本實施例中，所述凹槽的深度可以是10厘米，凹槽1水平方向截面的長寬分別為130 厘米和65厘米。本實施例中，所述凹槽1水平方向截面為長方形。特殊的，其也可以是正方形。此外，所述凹槽1可以雙層結構。本實施例中，所述凹槽為包括內槽1-2和外槽1 的雙層結構，所述外槽1套接于所述內槽1-2之外，在所述內槽1-2的外壁與所述外槽的內壁之間設置有一定的距離，從而在內槽和外槽之間形成一容置空間1-1，如圖5所示，該容置空間可以容置作為加熱媒介的溶液。所述內槽1-2中可盛放用于鍍膜的溶液，待鍍膜基板3覆蓋于所述內槽1-2之上。該結構通過中間容置空間1-1的加熱媒介，有利于控制鍍膜溶液的溫度以及溫度的均勻性，從而有利于提高鍍膜的質量。在下面的實施例中，以圖5 所示的雙層結構為例進行說明。但是需要說明的是，本實用新型中并不必然的選擇雙層結構的凹槽，其也可以是單層結構或者多層結構或者其它結構。在本實施例中，在所述外槽1的外側設置有一對平行的導軌，分別為第一導軌 2-la和第二導軌2-lb。所述第一導軌2-la和第二導軌2_lb設置于所述長方形截面的凹槽的短邊外側，平行于該短邊。但所述兩導軌設置的位置并不局限于此，其也可以在長邊外側，平行于長邊。所述內槽1 -2中設置有攪拌裝置2，所述攪拌裝置2用于對盛放于內槽中的鍍膜溶液進行攪拌。以保證溶液中溶質濃度的均勻性以及在對溶液進行加熱時溫度的均勻性。本實施例中，所述攪拌裝置2在所述內槽1-2中的設置方式如下所述攪拌裝置2 設置于內槽1-2中，由其兩端伸出的支撐臂越過凹槽側壁，伸出凹槽之外，并且其兩端分別設置于上述的一導軌上，使得所述攪拌裝置2可以沿所述的導軌滑動。在滑動過程中，實現對內槽1-2中的鍍膜溶液的攪拌。 其中，在本實施例中，所述攪拌裝置2呈板狀，設置于內槽1-2中時，板面垂直于內槽1-2的底面，在所述板狀結構的攪拌裝置2上還可以設置若干通孔，以減小攪拌時的阻力。所述通孔的形狀可以是方形、圓形或者橢圓形等。在所述板狀攪拌裝置2的兩端頂部各伸出一支撐臂，該支撐臂分別通過滑塊2-2a和滑塊2-2b可滑動支撐于第一導軌2-la和第二導軌2-lb上。所述的滑塊與支撐臂之間也可以分離式結構，裝配為一體，二者還可以一體成型。此外，所述板狀結構的攪拌裝置2的板面也可以不垂直于底壁表面，而是與底壁表面成一銳角，該設計可以減小攪拌時的阻力，并且避免激烈的攪拌，引起液體飛濺。此外，所述攪拌裝置2還可以設置為平行的兩塊或多塊面板，每一面板的兩端均獨立設置于一上述的導軌上。當面板設置于內槽中央時，兩面板平行設置，且面板的板面垂直于內槽的底面。在擺動時，兩面板向相反方向分離，至凹槽邊緣時，再相向擺動至中央。但是兩塊面板的結構不如上述的一塊面板的情形結構簡單。本實施例中以所述攪拌裝置僅有一塊面板的情形為例進行說明。此外，在所述凹槽1外側設置還可以平行于所述第一導軌2-la和第二導軌2_lb 的絲杠2-3，如圖1和圖4所示，在所述攪拌裝置的其中一端部設置與該絲杠2-3相配合的絲杠母，所述絲杠母裝配于所述絲杠2-3上，在絲杠2-3轉動時，絲杠母可以帶動所述攪拌裝置2沿絲杠方向平動。從而可以通過控制絲杠轉動實現攪拌裝置2的攪拌。在本實施例中，僅僅示出有一個絲杠的情形，當然在兩導軌側也可以同時設置絲杠，將攪拌裝置2的兩端均設置于一絲杠上，從而保證攪拌裝置2的兩端同步運動。有利于攪拌的一致性。其中所述的絲杠2-3可以是現有的任意絲杠，例如普通的僅帶螺紋的絲杠，也可以是滾珠絲杠。絲杠2-3可以用一動力裝置的輸出端相連接，例如步進電機，通過該動力裝置控制絲杠的正反兩個方向轉動，從而實現攪拌裝置2-3在凹槽中來回運動。當然，所述動力裝置并不局限于所述的步進電機，其可以是其它裝置。上述實施例中，通過在所述水浴沉積鍍膜槽中設置鍍膜溶液，在水浴沉積鍍膜槽槽口覆蓋基板，可實施對所述基板進行鍍膜的工藝；本實用新型的實施例的水浴沉積鍍膜槽結構簡單，易于操作，制造成本低；此外，該鍍膜槽還可以豎直放置進行鍍膜操作，可以消除水平放置時化學溶液對玻璃基板的不均勻覆蓋，提高在基板上鍍膜層的均勻性。。此外，在所述凹槽1底壁下面還可以設置加熱裝置，以便于對凹槽1中的鍍膜溶液進行加熱或者對作為加熱媒介的溶液進行加熱。其中，所述加熱裝置具體可以是電爐絲。電爐絲加熱主要是通過傳導的方式，其它加熱方式例如輻射的方式進行加熱。這里不再贅述。此外，在所述凹槽1的開口側的側壁上還可以設置墊片，用于對設置于其上的太陽能電池面板基板提供支撐和密封。這里不再詳細描述。此外，本實施例的水浴沉積鍍膜槽還可以包括控制反饋系統，以設定控制水浴加熱的溫度、時間，設定控制攪拌手攪拌的頻率、幅度及時間。這里不再詳述。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制。任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本實用新型技術方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的保護范圍內。
權利要求1.一種水浴沉積鍍膜槽，應用于太陽能電池薄膜的制備工藝中；其特征在于包括，由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側壁形成的凹槽，以及設置于所述凹槽中的攪拌裝置；其中，在所述凹槽的外側設置有一對平行的導軌，所述攪拌裝置的兩端分別設置于一導軌上，并可以沿所述導軌滑動，以對所述凹槽中的鍍膜液體進行攪拌。
2.根據權利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述凹槽為包括內槽和外槽的雙層結構，所述外槽套接于所述內槽之外，且所述內槽的外壁和外槽的內壁壁之間設置有距離，形成容置空間。
3.根據權利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述凹槽外側設置有平行于所述導軌的絲杠，在所述攪拌裝置其中一端部設置有與該絲杠相配合的絲杠母，所述絲桿母裝配于所述絲杠上。
4.根據權利要求3所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述絲杠為滾珠絲杠。
5.根據權利要求3所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述絲杠的一端與動力裝置的輸出端相連接。
6.根據權利要求5所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述動力裝置為步進電機。
7.根據權利要求2至6任一所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌裝置呈板狀，由一塊面板或者兩塊以上的多塊相互平行的面板組成；其板面垂直于所述凹槽底壁或與底壁的底面呈銳角；在所述板狀攪拌裝置兩端頂部各伸出一支撐臂，通過所述支撐臂支撐于所述導軌上。
8.根據權利要求7所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述板狀攪拌裝置上沿其厚度方向還設置有通孔。
9.根據權利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述內槽的深度為8至12厘米，長度為110至150厘米，寬度為50至70厘米。
10.根據權利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述水浴沉積鍍膜槽底壁下面還設置有加熱裝置。
11.根據權利要求10所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述加熱裝置為電爐絲。
12.根據權利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述凹槽的開口側的側壁上設置有墊片，用于對設置于其上的太陽能電池面板基板提供支撐和密封，防止沉積溶液溢出。
13.根據權利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述容置空間中設置溶液作為加熱媒介。
14.根據權利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，還包括控制反饋系統，以設定控制水浴加熱的溫度、時間，設定控制攪拌裝置攪拌的頻率、幅度及時間。
專利摘要本實用新型公開了一種水浴沉積鍍膜槽，應用于太陽能電池薄膜的制備工藝中；其特征在于包括，由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側壁形成的凹槽，以及設置于所述凹槽中的攪拌裝置；其中，在所述凹槽的外側設置有一對平行的導軌，所述攪拌裝置的兩端分別設置于一導軌上，并可以沿所述導軌滑動，以對所述凹槽中的鍍膜液體進行攪拌。本實用新型的水浴沉積鍍膜槽結構簡單，易于操作，制造成本低。
文檔編號H01L31/18GK202081166SQ201120039119
公開日2011年12月21日 申請日期2011年2月16日 優先權日2011年2月16日
發明者施成營, 林光沂 申請人:北京精誠鉑陽光電設備有限公司, 福建鈞石能源有限公司