專利名稱：可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，具體為一種用以在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的可防止氣泡 的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，在半導(dǎo)體生產(chǎn)時(shí)候，應(yīng)用氮?dú)鈮毫┙o高粘度光刻膠，實(shí) 現(xiàn)光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)簡(jiǎn)單、低成本和安全快速。
背景技術(shù)：
目前，常用的半導(dǎo)體封裝都是高粘度光刻膠，而高粘度光刻膠供給需要專用的高 粘度膠泵，高粘度膠泵價(jià)格昂貴，維護(hù)也非常不方便。另外，如果采用簡(jiǎn)單的氮?dú)鈮毫?yīng)系統(tǒng)，又會(huì)由于氮?dú)忾L(zhǎng)時(shí)間壓力作用，會(huì)使得 光刻膠中溶解大量的氮?dú)?，在涂膠的時(shí)候產(chǎn)生氣泡，造成工藝缺陷，嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述的種種不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種可防止氣泡的氮?dú)鈮?力方式供應(yīng)光刻膠系統(tǒng)，通過在工藝涂膠開始前供應(yīng)氮?dú)鈮毫驮诠に嚱Y(jié)束后結(jié)束供應(yīng)氮 氣壓力并泄壓的方式，解決氮?dú)馊芙庥诠饪棠z的問題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，該系統(tǒng)設(shè)有減壓閥、兩位三通 電磁閥、膠瓶、壓力桶、藥液閥、排泡裝置、光刻膠管、穿板密封接頭、噴頭、進(jìn)氣管路、排氣管 路，在壓力桶中放置光刻膠膠瓶，壓力桶上蓋設(shè)有穿板密封接頭，光刻膠管通過穿板密封接 頭插到光刻膠瓶底部，穿過壓力桶的光刻膠管連接到排泡裝置，排泡裝置的輸出端依次連 接到藥液閥和噴頭；在壓力桶上裝有進(jìn)氣管路和排氣管路，進(jìn)氣管路連接到兩位三通電磁 閥，兩位三通電磁閥連接到減壓閥，減壓閥連接到氮?dú)鈿庠?，排氣管路連接到安全泄壓閥。所述的可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，減壓閥的壓力調(diào)節(jié)到指定壓 力，通過兩位三通電磁閥的自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)在滴膠前切換到供給氮?dú)鈮毫?，在滴膠完成后切 斷氮?dú)鈮毫Σ⑴判箟毫ΑＫ龅目煞乐箽馀莸牡獨(dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，膠瓶下面有電子秤。所述的可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，在進(jìn)氣管路上設(shè)置手動(dòng)三通 閥。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是1、本實(shí)用新型為簡(jiǎn)單實(shí)用、光刻膠更換方便和安全可靠的光刻膠自動(dòng)供應(yīng)系統(tǒng)， 其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。2、本實(shí)用新型提前預(yù)警，自動(dòng)提示更換光刻膠。3、本實(shí)用新型通過雙重手段避免和解決氮?dú)鈮毫?yīng)光刻膠產(chǎn)生氣泡的問題，采 用專用排泡裝置排除氣泡，使用自動(dòng)泄壓閥保證壓力安全，同時(shí)使用電子秤自動(dòng)反饋提示 更換新的光刻膠。
圖1是本實(shí)用新型可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)示意圖。圖中，1減壓閥；2兩位三通電磁閥；3手動(dòng)三通閥；4膠瓶；5壓力桶；6電子秤；7 安全泄壓閥；8藥液閥；9排泡裝置；10光刻膠管；11穿板密封接頭；12噴頭；13進(jìn)氣管路； 14排氣管路。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型在半導(dǎo)體生產(chǎn)中可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠 系統(tǒng)主要包括減壓閥1、兩位三通電磁閥2、手動(dòng)三通閥3、膠瓶4、壓力桶5、電子秤6、安全 泄壓閥7、藥液閥8、排泡裝置9、光刻膠管10、穿板密封接頭11、噴頭12、進(jìn)氣管路13、排氣 管路14等，具體如下在壓力桶5中放置光刻膠膠瓶4，壓力桶5上蓋設(shè)有穿板密封接頭11，光刻膠管10 通過穿板密封接頭11插到光刻膠瓶4底部，穿過壓力桶5的光刻膠管10連接到排泡裝置 9，排泡裝置9的輸出端依次連接到藥液閥8和噴頭12。在壓力桶5上裝有進(jìn)氣管路13和 排氣管路14，進(jìn)氣管路13連接到兩位三通電磁閥2，兩位三通電磁閥2連接到減壓閥1，減 壓閥1連接到氮?dú)鈿庠矗艢夤苈?4連接到安全泄壓閥7，當(dāng)系統(tǒng)發(fā)生意外壓力過載時(shí)候， 安全泄壓閥7會(huì)自動(dòng)排出壓力并報(bào)警反饋，起到安全保障的作用。氮?dú)鈿庠催B接到減壓閥1上，通過減壓閥1的壓力調(diào)節(jié)到指定壓力，再連接到兩位 三通電磁閥2上，通過兩位三通電磁閥2的自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)在滴膠前切換到供給氮?dú)鈮毫Γ?滴膠完成后切斷氮?dú)鈮毫Σ⑴判箟毫?。達(dá)到工作時(shí)有壓力、非工作時(shí)沒有壓力的作用。當(dāng)涂膠開始的時(shí)候，氮?dú)鈮毫┙o后，膠瓶4里面的高粘度光刻膠被壓出來，先經(jīng) 過排泡裝置9對(duì)氣泡進(jìn)行過濾，然后再經(jīng)過藥液閥8、噴頭12輸送到需要涂膠的晶圓上。膠瓶4下面有電子秤6，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的數(shù)值，在光刻膠耗盡前報(bào)警，提示更換光 刻膠；在進(jìn)氣管路13上設(shè)置手動(dòng)三通閥3，更換光刻膠的時(shí)候，先轉(zhuǎn)換手動(dòng)三通閥3到泄壓 的位置(與大氣相通)，然后打開壓力桶5上蓋，更換膠瓶4。結(jié)果表明，本實(shí)用新型涉通過氮?dú)鈮毫μ峁﹦?dòng)力使高粘度光刻膠產(chǎn)生壓力，通過 自動(dòng)控制在涂膠開始前提供壓力，在涂膠結(jié)束后卸掉壓力，防止由于長(zhǎng)時(shí)間供給壓力使氮 氣溶解于光刻膠中造成涂膠時(shí)候產(chǎn)生氣泡的工藝缺陷。
權(quán)利要求1.一種可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)設(shè)有減壓 閥、兩位三通電磁閥、膠瓶、壓力桶、藥液閥、排泡裝置、光刻膠管、穿板密封接頭、噴頭、進(jìn)氣 管路、排氣管路，在壓力桶中放置光刻膠膠瓶，壓力桶上蓋設(shè)有穿板密封接頭，光刻膠管通 過穿板密封接頭插到光刻膠瓶底部，穿過壓力桶的光刻膠管連接到排泡裝置，排泡裝置的 輸出端依次連接到藥液閥和噴頭；在壓力桶上裝有進(jìn)氣管路和排氣管路，進(jìn)氣管路連接到 兩位三通電磁閥，兩位三通電磁閥連接到減壓閥，減壓閥連接到氮?dú)鈿庠?，排氣管路連接到 安全泄壓閥。
2.按照權(quán)利要求1所述的可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，其特征在于 膠瓶下面有電子秤。
3.按照權(quán)利要求1所述的可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)，其特征在于 在進(jìn)氣管路上設(shè)置手動(dòng)三通閥。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，具體為一種用以在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的可防止氣泡的氮?dú)鈮毫Ψ绞焦?yīng)光刻膠系統(tǒng)。該系統(tǒng)在壓力桶中放置光刻膠膠瓶，壓力桶上蓋設(shè)有穿板密封接頭，光刻膠管通過穿板密封接頭插到光刻膠瓶底部，穿過壓力桶的光刻膠管連接到排泡裝置，排泡裝置的輸出端依次連接到藥液閥和噴頭；在壓力桶上裝有進(jìn)氣管路和排氣管路，進(jìn)氣管路連接到兩位三通電磁閥，兩位三通電磁閥連接到減壓閥，減壓閥連接到氮?dú)鈿庠矗艢夤苈愤B接到安全泄壓閥。本實(shí)用新型通過氮?dú)鈮毫μ峁﹦?dòng)力使高粘度光刻膠產(chǎn)生壓力，通過自動(dòng)控制在涂膠開始前提供壓力，在涂膠結(jié)束后卸掉壓力，防止由于長(zhǎng)時(shí)間供給壓力使氮?dú)馊芙庥诠饪棠z中，造成涂膠時(shí)候產(chǎn)生氣泡。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201921800SQ201120017788
公開日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2011年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月19日
發(fā)明者王陽 申請(qǐng)人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司