專利名稱：直驅式固晶機的擺臂機構的制作方法
技術領域：
本發明屬于半導體封裝設備技術領域，具體涉及一種直驅式固晶機的擺臂機構。
背景技術：
固晶機是LED后道封裝生產線中的關鍵設備，其固晶過程是點膠機構先在基板的固晶工位上點膠，然后由擺臂(也稱取晶臂)將LED晶粒從晶圓上取出，再將其轉移到已點好膠的固晶工位上。LED晶粒放入封裝位置的精準與否直接影響整件LED器件的發光效能，因此，在固晶過程中，擺臂機構的運行速度和定位精度對固晶品質和效率起著至關重要的作用。擺臂機構包括驅動裝置和擺臂兩部分，驅動裝置帶動擺臂做上下及旋轉運動，因此驅動裝置的運動速度和精度直接影響固晶的速度和精準度。中國發明專利授權公告號CN101281878B推薦的固晶機取晶臂的驅動控制裝置包括旋轉驅動控制裝置和上下驅動控制裝置，由旋轉驅動控制裝置的旋轉電機帶動主軸旋轉，并通過與主軸連接的旋轉臂連桿帶動直線導軌滑塊在直線導軌上移動，同時，使固定在直線導軌的直線導軌座旋轉。該專利雖然消除了已有技術中使用皮帶傳動的弊端(說明書0004欄)，但是由于機械零部件多，傳動環節復雜系其缺憾，具體可參見該專利說明書的 0030-0037欄的說明以及參見該專利的圖1至圖3。此外，由于機械零部件多而易導致調試難度大和維護麻煩，尤其會導致擺臂的位置精度產生誤差。發明專利申請公布號CN101958380A公開了一種固晶機邦頭機構，該專利申請對前述的CN101281878B所存在的欠缺在說明書0006欄中作了評價。其提供的技術方案是將旋轉驅動控制裝置安裝在上下驅動控制裝置上，對簡化傳動機構有積極意義，但是依然存在欠缺由于旋轉驅動控制裝置與上下驅動控制裝置之間存在聯軸器和絲杠等傳動部件， 因而對由傳動導致的機械磨損、控制滯后以及系統剛性差等的改善程度十分有限。同時，由于電機和運動部件之間需通過聯軸器等部件連接，因而并不是真正意義上的直驅(直接驅動)，難以在高速旋轉運動中實現更高精度的快速定位，其提高擺臂的效率和固晶質量的程度同樣十分有限。
發明內容
本發明的任務在于提供一種無需使用諸如聯軸器和絲杠之類的過渡傳動部件將旋轉驅動裝置與上下驅動控制裝置直接連接而藉以減少傳動環節、避免機械磨損和保障運動效果、有助于體現高精度快速啟動和制動而藉以保障擺臂的工作效率和固晶質量的直驅式固晶機的擺臂機構。本發明的任務是這樣來完成的，一種直驅式固晶機的擺臂機構，包括旋轉驅動控制裝置、與旋轉驅動控制裝置連接的上下驅動控制裝置和設置在上下驅動控制裝置上的擺臂，特征在于還包括有一導軌座，該導軌座具有一連接軸和一對導軌，所述的旋轉驅動控制裝置與所述連接軸傳動連接，而所述的上下驅動控制裝置與所述的一對導軌滑動配合。
在本發明的一個具體的實施例中，所述的旋轉驅動控制裝置包括具有軸承座和定子容納腔的外殼、具有轉子配合腔的定子、下蓋、由磁軛和永磁塊構成的轉子、軸承、光柵尺和讀碼器，定子位于外殼與下蓋之間，并且外殼、定子和下蓋三者固定連接在一起，轉子通過其磁軛與軸承的軸承外圈固定并且對應于所述的轉子配合腔，軸承的軸承內圈與所述的軸承座固定，所述的軸承座具有一軸承座腔，在該軸承座腔內構成有一讀碼器安裝板，所述的讀碼器設置在讀碼器安裝板上，所述的轉子的磁軛具有一磁軛腔，該磁軛腔朝向所述外殼，并且在該磁軛腔的中央構成有一軸座套，在軸座套上固定有一光柵尺固定盤，所述的光柵尺固定在該光柵尺固定盤朝向所述讀碼器的一側，并且與讀碼器相對應，所述的連接軸與軸座套連接。在本發明的另一個具體的實施例中，所述的軸承有彼此相對疊置的一對并且均為角接觸軸承。在本發明的又一個具體的實施例中，在所述的外殼的殼壁上并且圍繞殼壁的圓周方向以間隔狀態開設有復數組第一氣孔，每組第一氣孔的數量為一對，并且在各第一氣孔上配設有一冷卻空氣接頭；在所述的定子上并且圍繞定子的圓周方向的邊緣部位以間隔狀態開設有數量與所述第一氣孔的數量相等的并且位置相對應的復數組第二氣孔；在所述的下蓋朝向所述定子的一側的邊緣部位并且在對應于所述的第二氣孔的位置開設有數量與第二氣孔的組數相等的氣道凹槽，第一氣孔、第二氣孔和氣道凹槽彼此相通。在本發明的再一個具體的實施例中，當所述的外殼、定子和下蓋彼此固定連接在一起后，所述的第一氣孔與所述的第二氣孔彼此重合，并且所述的氣道凹槽與第二氣孔重合。在本發明的還有一個具體的實施例中，所述的第一氣孔的孔口部位設置有孔口配合螺紋，所述的冷卻空氣接頭具有螺紋配接端，螺紋配接端與孔口配合螺紋螺紋配接。在本發明的更而一個具體的實施例中，在所述的磁軛腔的底部設置有一軸承下壓環，而在磁軛朝向所述外殼的一側的端面上配設有一軸承上壓環，該軸承上壓環與端面固定，所述的軸承位于軸承上、下壓環之間。在本發明的進而一個具體的實施例中，所述的定子容納腔構成于所述軸承座的外壁與所述的殼壁之間；在所述磁軛的外壁上并且圍繞該外壁的圓周方向構成有永磁塊槽， 所述的永磁塊嵌置在永磁塊槽內。在本發明的又更而一個具體的實施例中，所述的一對導軌位于所述導軌座朝向所述上下驅動控制裝置的一側并且彼此縱向并行，在導軌座上固定有一信號采集器座，在該信號采集器座上配設有一信號采集器，并且信號采集器座朝向上下驅動控制裝置的一端探出導軌座，在該探出端開設有一滑槽；在導軌座的另一側固定有讀碼傳感器座，在該讀碼傳感器座上設置有一讀碼傳感器，并且在讀碼傳感器座朝向所述信號采集器座的一側開設有一光柵條槽，所述的信號采集器與所述的滑槽相對應，而所述的讀碼傳感器與光柵條槽相對應，所述的擺臂以水平狀態固定在上下驅動控制裝置的底部。在本發明的又進而一個具體的實施例中，所述的上下驅動控制裝置包括音圈電機定子、音圈電機動子、滑動座、信號導板和光柵條，音圈電機定子與所述的導軌座固定，音圈電機動子與音圈電機定子的定子槽滑動配合，滑動座固定在音圈電機動子朝向所述導軌座的一側，并且滑動配設于所述的一對導軌之間，信號導板固定在音圈電機動子朝向所述信號采集器座的一側，并且與所述的滑槽滑動配合，光柵條固定在音圈電機動子朝向所述讀碼傳感器座的一側，并且與所述的光柵條槽滑動配合，所述的擺臂固定在所述音圈電機動子的底部。在本發明的再進而一個具體的實施例中，所述的信號采集器為微動開關、行程開關、位置接近開關、光電式限位傳感器、干簧管或霍爾感應元件；在所述的導軌座的底部并且在對應于所述的滑動座的下方的位置固設有一托板，在該托板上設置有一彈簧座，在該彈簧座上固定有彈簧的一端，而彈簧的另一端支承在所述滑動座的底部。本發明提供的技術方案可通過導軌座上的連接軸使旋轉驅動控制裝置與上下驅動控制裝置直接連接，相對于已有技術，由于省去了聯軸器和絲杠等過渡傳動部件，因此可有效地避免機械磨損和保障運動效果；由于旋轉驅動控制裝置與上下驅動控制裝置兩者表現為直接驅動連接，因此有助于體現高粗義快速啟動和制動，使擺臂的工作效率和固晶質量得以保證。
圖1為本發明結構的剖視圖。圖2為本發明旋轉驅動控制裝置的組裝結構圖。圖3為本發明的上下驅動控制裝置的組裝結構圖。
具體實施例方式為了使專利局的審查員尤其是公眾能夠更加清楚地理解本發明的技術實質和有益效果，申請人將在下面以實施例的方式作詳細說明，但是對實施例的描述均不是對本發明方案的限制，任何依據本發明構思所作出的僅僅為形式上的而非實質性的等效變換都應視為本發明的技術方案范疇。敬請參見圖1，給出了旋轉驅動控制裝置1、上下驅動控制裝置2、擺臂3和導軌座 4，導軌座4的頂部朝向旋轉驅動控制裝置1的一側的居中部位延伸有一連接軸41，并且在導軌座4朝向上下驅動控制裝置2的一側設置有一對彼此縱向并行的導軌42。前述的旋轉驅動控制裝置1與連接軸41固定連接，也就是說，連接軸41與旋轉驅動控制裝置1傳動連接，而前述的上下驅動控制裝置2與一對導軌42滑動配合。于是，由旋轉驅動控制裝置1 經連接軸41帶動導軌座4旋轉，由于上下驅動控制裝置2通過一對導軌42而配設在導軌座4上，因此由導軌座4的旋轉帶動上下驅動控制裝置2旋轉。并且，上下驅動控制裝置2 自身可在導軌座4上作上下運動，由于擺臂3 (也可稱固晶臂)固定在上下驅動控制裝置2 上，因此其可隨上下驅動控制裝置2的旋轉而旋轉并且隨上下驅動控制裝置2的上下移動而移動。敬請參見圖2并且繼續結合圖1，在圖2中，給出了前述的旋轉驅動控制裝置1的具體結構，該裝置包括外殼11 (也可稱上蓋)、定子12、下蓋13、轉子14、軸承15、光柵尺16 和讀碼器17，在該外殼11朝向下面還要描述的下蓋13的一側的中央區域以直接或間接方式構成有軸承座111，這里所稱的直接方式是指將軸承座111與外殼11 一體制造，而這里所稱的間接方式是指將軸承座111單獨制作后再與外殼11固定，因此不論采用何種方式，兩者是等效的。在本實施例中，將軸承座111單獨制作后，通過一組定位螺釘1113與外殼11固定。軸承座111的軸承座腔1111具有一讀碼器安裝板1112，在該讀碼器安裝板1112上固定有一讀碼器17。在軸承座111的外壁與外殼11的殼壁113 (殼壁13的內壁)之間構成有定子容納腔112。優選地，將讀碼器17的線路板171用螺釘1711與前述的讀碼器安裝板1112固定。給出的定子12和下蓋13與前述的外殼11固定連接在一起，由于定子12的結構屬于公知技術，并且定子12的繞組線圈123的結構形式也屬公知技術，因此本申請人不再對其贅述。在本實施例中，將定子12置于外殼11與下蓋13之間。由圖2所示，在外殼11 的邊緣部位間隔開設有外殼固定孔114，在定子12的邊緣部位間隔開設有定子固定孔124， 而在下蓋13的邊緣部位開設有下蓋固定孔132，外殼固定孔114、定子固定孔IM和下蓋固定孔132彼此對應，并且由螺栓1141依次穿入外殼固定孔114、定子固定孔IM和下蓋固定孔132內將外殼11、定子12和下蓋13三者固定連接在一起。其中，下蓋固定孔132為螺紋孔。在外殼11的殼壁113上并且圍繞殼壁113的圓周方向以間隔狀態開設有復數組第一氣孔1131，每組第一氣孔1131的數量為一對，在各第一氣孔1131的孔口部位設計有孔口配合螺紋11311 (內螺紋)，并且在各第一氣孔1131上借助于孔口配合螺紋11311固定有一冷卻空氣接頭5。由圖2所示，冷卻空氣接頭5具有一螺紋配接端51，藉由該螺紋配接端 51與孔口配合螺紋11311的配合而將冷卻空氣接頭5可靠地固定在殼體11上。又，在定子12的邊緣部位并且圍繞定子12的圓周方向開設有復數組第二氣孔 122，第二氣孔122的組數與前述的第一氣孔1131的組數相等，位置相對應，并且每組第二氣孔122的數量為一對(即兩個)。及，在下蓋13朝向定子12的一側的邊緣部位并且圍繞下蓋13的圓周方向開設有復數條氣道凹槽131，氣道凹槽131的數量與前述的第二氣孔122的組數相等，并且位置相對應。當由前述的螺栓1141將外殼11、定子12和下蓋13固定連接為一起時，則前述的第一、第二氣孔1131、122相互重合，并且前述的氣道凹槽131與第二氣孔122重合。由于每一組第一、第二氣孔1131、122以及一條氣道凹槽131得以形成一個冷卻空氣的進出回路， 因此復數組第一、第二氣孔1131、122及復數條氣道凹槽131便構成了復數個冷卻空氣的進出氣回路。在本實施例中，雖然示意了前述的第一、第二氣孔1131、122的組數各有四個， 并且氣道凹槽131有四條，但顯然不應受到該數量的限制，任何增加或減少第一、第二氣孔 1131、122及氣道凹槽131的措施均應當視為等效性變化，即依然屬于本發明方案的保護范圍。依據常識，前述的與各組第一氣孔1131中的其中一個第一氣孔1131配接的一對冷卻空氣接頭5中的其中一個冷卻空氣接頭5與壓縮空氣裝置管路連接而作為進氣接頭， 而另一個冷卻空氣接頭5作為排氣接頭。用于冷卻的外界空氣經一個冷卻空氣接頭5進入一個第一氣孔1131，經一個第二氣孔122進入氣道凹槽131，再經另一個第二氣孔122和另一個第一氣孔1131以及另一個冷卻空氣接頭5排出。轉子14由磁軛141和永磁塊142構成，磁軛141具有一磁軛腔1411，在該磁軛腔 1411的中央并且朝向外殼11的一側延伸構成有一軸座套1412，在該軸座套1412上固設有一光柵尺固定盤1413，在該光柵尺固定盤1413朝向前述的讀碼器安裝板1112的一側設置光柵尺16，光柵尺16與讀碼器17相對應并且與讀碼器17之間保持有約為0. 4-0. 6 mm的間隙。在磁軛腔1411的底部設置有一軸承下壓環1414，而在磁軛141朝向外殼11的一側的端面1415上通過螺釘14161固定有一軸承上壓環1416，在磁軛腔1411的外壁上構成有永磁塊槽1417，永磁塊142嵌固在永磁塊槽1417內，并且在定子12的轉子配合腔121內與前述的繞組線圈123相對應。毫無疑問，永磁塊142是圍繞永磁塊槽1417的圓周方向排置的。轉子14套置在軸承15的軸承外圈151上，更確切地講磁軛141的磁軛腔1411的內壁與軸承外圈151套固，而軸承15的軸承內圈152套固在前述的軸承座111上，并且軸承15位于前述的軸承上、下壓環1416、1414之間，即由上壓環1416對軸承15限定。前述的軸承15有一對，該對軸承15相對設置，即背對背疊設，如此設置可以顯著增強轉子14即增強磁軛141的剛度，一對軸承15均為角接觸軸承。由圖2所示，前述的連接軸41優選以平鍵固定方式與軸座套1412傳動連接。上述第一氣孔1131、第二氣孔122和氣道凹槽131的設置以及在第一氣孔1131上配設冷卻空氣接頭5，十分有助于對外殼11、定子12和用以限定定子12的下蓋13全面冷卻而藉以有效地降低旋轉驅動控制裝置1的溫升進而避免繞組線圈123燒損、有利于防止因冷卻介質泄漏而引起污染麻煩、有益于簡化結構節約投資而藉以體現經濟性。因為已有技術例如CN10055809C推薦的是液體冷卻，即采用冷卻油冷卻，并且僅對外殼冷卻。將光柵尺16和編碼器17處于蔽護狀態而可避免遭受外部環境影響。例如將光柵尺16設置在光柵尺固定盤1413上，將讀碼器17設置在讀碼器安裝板1112上，而光柵尺固定盤1413及讀碼器安裝板1112均處于內部，所以十分有利于保護光柵尺16和讀碼器17。 然而，已有技術是將光柵尺和讀碼器以露裸方式設置(具體可參見CN10055809C的說明書第3頁最后兩行)。將一對軸承15相向疊置即一對軸承15彼此背對背設置，從而能顯著提高轉子14 的磁軛141的剛度，而已有技術如CN10055809C采用難以由市售渠道獲得的高精度、高剛度大直徑單向軸承(具體可參見該專利的說明書第4頁第41行的說明)。本申請人在保密措施下對前述的旋轉驅動控制裝置1作了實驗，直驅電機的驅動電壓為230V，采用電流環控制，讀碼器17的分度數為50萬個脈沖/轉，轉子14的位置從 0°階躍至90°的調整時間為50ms，穩態誤差為0.00072°。由實驗而表明旋轉驅動控制裝置1能夠滿足在半導體高速封裝工藝中對設置于導軌座4上的上下驅動控制裝置2的直驅要求。敬請參見圖3并且繼續結合圖1和圖2，前述的一對導軌42優選使用導軌固定螺釘421固定在導軌座4朝向下面即將詳細描述的上下驅動控制裝置2的一側，當然也可以將一對導軌42與導軌座4 一體制作，即在導軌座4上直接成形出導軌42。由圖3所示，在導軌座4的一側即圖3所示位置狀態的右側固定有一信號采集器座43，在該信號采集器座 43上設置有一信號采集器431，并且信號采集器座43朝向上下驅動控制裝置2的一端探出導軌座4，在該探出端朝向導軌42的一側開設有一滑槽432，前述的信號采集器431對應于滑槽432。信號采集器431既可以是微動開關，也可以是行程開關，還可以是位置接近開關， 又可以是干簧管，進而可以是霍爾傳感器(感應元件)或光電式限位傳感器，本實施例使用光電式限位傳感器。
在導軌座4的另一側即圖3所示位置狀態的左側固定有一讀碼傳感器座44，在該讀碼傳感器座44上設置有一讀碼傳感器441，并且在該讀碼傳感器座44朝向前述的導軌 42的一側開設有一光柵條槽442，讀碼傳感器441與光柵條槽442相對應。上下驅動控制裝置2的優選而非絕對限于的結構如下包括音圈電機定子21、音圈電機動子22、滑動座23、信號導板M和光柵條25，音圈電機定子21由音圈電機定子磁軛211和永磁體212構成，音圈電機定子磁軛211的形狀大體上呈η形，在該音圈電機磁軛 211的頂部開設有磁軛固定孔2111，由磁軛固定螺釘2112穿過預設在導軌座4頂部的磁軛固定螺釘孔46并且使磁軛固定螺釘2112旋入磁軛固定孔2111，從而將音圈電機定子21固定在導軌座4上。由于音圈電機定子211的形狀呈η形，即呈倒置的U形，因此自然地具有一定子槽213，永磁體212分別固定在定子槽213的面對面的槽壁上。音圈電機動子22由動子滑塊221和線圈222構成，該動子滑塊221具有一動子配合腔2211和一線圈腔2212， 動子配合腔2211與前述的定子槽213相配合，線圈222嵌置在線圈腔2212內，線圈腔2212 構成于動子滑塊221朝向外的一個壁體上，并且，線圈222與前述的永磁體212相對應，也就是說前述的動子滑塊221的嵌設有線圈222的一個滑塊壁置入于定子槽213內，而動子滑塊221的另一個壁即朝向導軌座4的壁位于是定子槽213外。滑動座23固定在動子滑塊221朝向導軌座4的一側的壁體上，并且位于前述的一對縱向并行的導軌42之間，即滑動座23滑動配置在一對導軌42之間。信號導板M固定在動子滑塊221朝向導軌座4的一側的一個壁體上，并且位于該壁體的右側，與前述的滑槽432相滑配，前述的信號采集器 431與該信號導板M相配合而實現對動子滑塊221上下運動的運動幅度的限位，即實現對滑動座23的電氣限位。光柵條25固定在動子滑塊221的左側，并且與前述的光柵條槽442 相滑配(滑動配合)，由前述的讀碼傳感器441依據光柵條25而讀取動子滑塊221的位移、 速度和加速度，并且將信號反饋給控制系統。優選地，在前述的導軌座4的底部的一側(圖3所示的右側)用托板固定螺釘452 固定一托板45，在該托板45上設有一彈簧座451，在彈簧座451上支承有彈簧4511的下端， 而彈簧4511的上端支承在前述滑動座23的底部。優選地，在滑動座23的底部凹設有一位置與彈簧4511相對應的彈簧腔231 (圖1示)，供前述的彈簧4511的上端探入，也就是說， 前述的彈簧4511的上端支承在該彈簧腔231內。申請人:在本實施例中，雖然例舉了將信號采集器431設置于導軌座4的信號采集器座43上，但并不排斥將信號采集器431設置于其它位置，如設置于音圈電機定子21的音圈電機磁軛211、導軌42或前述的旋轉驅動控制裝置1的轉子14的磁軛141上；同樣，在本實施例中，可將讀碼傳感器441和光柵條25中的任擇一個安裝音圈電機動子22的動子滑塊221上，而將讀碼傳感器441和光柵條25中的另一個安裝在導軌座4、音圈電機定子21 的音圈電機定子磁軛211、導軌42或旋轉驅動控制裝置1的轉子14的磁軛141上。因此， 不能以信號采集器431、讀碼傳感器441和光柵條25的安裝位置變化而構成對本發明方案的限制。請繼續見圖1和圖3，擺臂3以水平狀態固定在上下驅動控制裝置2的下方，更確切地講固定在音圈電機動子22的動子滑塊221的底部，進而確切地講固定在動子滑塊221 朝向滑動座23的一側的壁體的底部。在擺臂3上設置有氣孔31，在對應于氣孔31的位置配有取晶嘴32 (也可稱吸嘴)，由該取晶嘴32從晶圓上取出，并且隨擺臂3轉移到已點好膠的固晶工位上。工作時，由旋轉驅動控制裝置1經連接軸41帶動導軌座4旋轉，由于上下驅動控制裝置2配設在導軌座4上，因此在連接軸41旋轉并帶動導軌座4旋轉的同時，上下驅動控制裝置2也旋轉，使擺臂3在晶圓的取晶位置與線路板上的點好膠的位置之間頻繁轉換， 并且由上下驅動控制裝置2保障擺臂3上下位移。在取晶時氣孔31表現為負壓，以便由取晶嘴32吸取晶圓，當取晶嘴32隨擺臂3運動到點好膠的位置時即在固定位置時，氣孔31 表現為正壓，使晶圈釋放至點膠位置。綜上所述，由于本發明方案將旋轉驅動控制裝置1經導軌座4(導軌座4上的連接軸41)直接與上下驅動控制裝置2連接，從而表現為名符其實的直驅，因為省去了已有技術中例如由CN101958380A教導的聯軸器和絲杠等過渡傳動部件，從而達到了發明目的，客觀體現了申請人所述的技術效果。此外，申請人重申上述實施例僅為本發明的較佳的實施方式而已，并非用來限制本發明的實施范圍，即，凡是依托本發明申請的內容所作出的形式而非實質的變化與修飾均應視為本發明的技術方案的范疇而得到保護。
權利要求
1.一種直驅式固晶機的擺臂機構，包括旋轉驅動控制裝置(1)、與旋轉驅動控制裝置 (1)連接的上下驅動控制裝置( 和設置在上下驅動控制裝置( 上的擺臂(3)，其特征在于還包括有一導軌座G)，該導軌座(4)具有一連接軸Gl)和一對導軌(42)，所述的旋轉驅動控制裝置(1)與所述連接軸Gl)傳動連接，而所述的上下驅動控制裝置( 與所述的一對導軌0 滑動配合。
2.根據權利要求1所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的旋轉驅動控制裝置(1)包括具有軸承座(111)和定子容納腔(112)的外殼(11)、具有轉子配合腔(121) 的定子(12)、下蓋(13)、由磁軛(141)和永磁塊(142)構成的轉子(14)、軸承(15)、光柵尺 (16)和讀碼器(17)，定子(12)位于外殼(11)與下蓋(13)之間，并且外殼(11)、定子(12) 和下蓋(1 三者固定連接在一起，轉子(14)通過其磁軛(141)與軸承(1 的軸承外圈 (151)固定并且對應于所述的轉子配合腔(121)，軸承(15)的軸承內圈(152)與所述的軸承座(ill)固定，所述的軸承座(111)具有一軸承座腔(1111)，在該軸承座腔(1111)內構成有一讀碼器安裝板(1112)，所述的讀碼器(17)設置在讀碼器安裝板(111 上，所述的轉子(14)的磁軛(141)具有一磁軛腔(1411)，該磁軛腔(1411)朝向所述外殼(11)，并且在該磁軛腔(1411)的中央構成有一軸座套(1412)，在軸座套(1412)上固定有一光柵尺固定盤(1413)，所述的光柵尺(16)固定在該光柵尺固定盤(141 朝向所述讀碼器(17)的一側，并且與讀碼器(17)相對應，所述的連接軸Gl)與軸座套(141 連接。
3.根據權利要求2所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的軸承(15)有彼此相對疊置的一對并且均為角接觸軸承。
4.根據權利要求2所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于在所述的外殼(11)的殼壁(113)上并且圍繞殼壁(113)的圓周方向以間隔狀態開設有復數組第一氣孔(1131)， 每組第一氣孔(1131)的數量為一對，并且在各第一氣孔(1131)上配設有一冷卻空氣接頭 (5)；在所述的定子(12)上并且圍繞定子(12)的圓周方向的邊緣部位以間隔狀態開設有數量與所述第一氣孔(131)的數量相等的并且位置相對應的復數組第二氣孔(12 ；在所述的下蓋(1 朝向所述定子(1 的一側的邊緣部位并且在對應于所述的第二氣孔(122)的位置開設有數量與第二氣孔(12 的組數相等的氣道凹槽(131)，第一氣孔(1131)、第二氣孔(122)和氣道凹槽(131)彼此相通。
5.根據權利要求4所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于當所述的外殼(11)、 定子(1 和下蓋(1 彼此固定連接在一起后，所述的第一氣孔(1131)與所述的第二氣孔 (122)彼此重合，并且所述的氣道凹槽(131)與第二氣孔(12 重合。
6.根據權利要求4所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的第一氣孔 (1131)的孔口部位設置有孔口配合螺紋(11311)，所述的冷卻空氣接頭( 具有螺紋配接端(51)，螺紋配接端(51)與孔口配合螺紋(11311)螺紋配接。
7.根據權利要求2所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于在所述的磁軛腔 (1411)的底部設置有一軸承下壓環(1414)，而在磁軛(141)朝向所述外殼(11)的一側的端面(1415)上配設有一軸承上壓環(1416)，該軸承上壓環(1416)與端面(1415)固定，所述的軸承(15)位于軸承上、下壓環(1416、1414)之間。
8.根據權利要求2所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的定子容納腔 (112)構成于所述軸承座(111)的外壁與所述的殼壁(113)之間；在所述磁軛Gll)的外壁上并且圍繞該外壁的圓周方向構成有永磁塊槽(1417)，所述的永磁塊(14 嵌置在永磁塊槽(1417)內。
9.根據權利要求1所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的一對導軌G2) 位于所述導軌座(4)朝向所述上下驅動控制裝置O)的一側并且彼此縱向并行，在導軌座 (4)上固定有一信號采集器座(43)，在該信號采集器座上配設有一信號采集器(431)， 并且信號采集器座朝向上下驅動控制裝置O)的一端探出導軌座G)，在該探出端開設有一滑槽G32)；在導軌座的另一側固定有讀碼傳感器座(44)，在該讀碼傳感器座(44)上設置有一讀碼傳感器G41)，并且在讀碼傳感器座04)朝向所述信號采集器座G3) 的一側開設有一光柵條槽042)，所述的信號采集器031)與所述的滑槽(43 相對應，而所述的讀碼傳感器G41)與光柵條槽(44 相對應，所述的擺臂(3)以水平狀態固定在上下驅動控制裝置O)的底部。
10.根據權利要求9所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的上下驅動控制裝置( 包括音圈電機定子(21)、音圈電機動子(22)、滑動座(23)、信號導板04)和光柵條(25)，音圈電機定子與所述的導軌座(4)固定，音圈電機動子02)與音圈電機定子的定子槽(21 滑動配合，滑動座固定在音圈電機動子0 朝向所述導軌座(4)的一側，并且滑動配設于所述的一對導軌0 之間，信號導板04)固定在音圈電機動子02) 朝向所述信號采集器座^幻的一側，并且與所述的滑槽(43 滑動配合，光柵條0 固定在音圈電機動子0 朝向所述讀碼傳感器座G4)的一側，并且與所述的光柵條槽(442) 滑動配合，所述的擺臂(3)固定在所述音圈電機動子0 的底部。
11.根據權利要求10所述的直驅式固晶機的擺臂機構，其特征在于所述的信號采集器 (431)為微動開關、行程開關、位置接近開關、光電式限位傳感器、干簧管或霍爾感應元件； 在所述的導軌座(4)的底部并且在對應于所述的滑動座的下方的位置固設有一托板(45)，在該托板0 上設置有一彈簧座G51)，在該彈簧座051)上固定有彈簧G511)的一端，而彈簧G511)的另一端支承在所述滑動座的底部。
全文摘要
一種直驅式固晶機的擺臂機構，屬于半導體封裝設備技術領域。包括旋轉驅動控制裝置、與旋轉驅動控制裝置連接的上下驅動控制裝置和設置在上下驅動控制裝置上的擺臂，特征在于還包括有一導軌座，該導軌座具有一連接軸和一對導軌，所述的旋轉驅動控制裝置與所述連接軸傳動連接，而所述的上下驅動控制裝置與所述的一對導軌滑動配合。優點可有效地避免機械磨損和保障運動效果；由于旋轉驅動控制裝置與上下驅動控制裝置兩者表現為直接驅動連接，因此有助于體現高粗義快速啟動和制動，使擺臂的工作效率和固晶質量得以保證。
文檔編號H01L21/677GK102299220SQ20111025087
公開日2011年12月28日 申請日期2011年8月29日 優先權日2011年8月29日
發明者楊寧, 王敕 申請人:常熟艾科瑞思封裝自動化設備有限公司