專利名稱：非接觸式吸盤的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種吸盤結構，尤其涉及一種非接觸式吸盤。
背景技術：
由于半導體工藝與許多制造加工業在生產時都需要移動加工對象，因此如何吸附與運送加工對象已經成為一項重要課題，而在業界中，較為主流的方式是使用吸盤來吸附加工對象。在過去，最簡易的吸盤是以吸氣的方式來吸附加工對象，此一方式原理簡單，然而在吸附過程中，吸盤會與加工對象直接接觸，對于一些較為脆弱的加工對象如圓片與太陽能板，則容易造成所吸附的加工對象因彎折或碰撞而損壞。為了改善接觸型吸盤的缺點，現有技術開始發展出出氣型的非接觸式吸盤，如日本專利編號JP，2009-073646，A揭露一種非接觸式吸盤，是由主盤體與噴氣件結合而成，主盤體的上方是開設有進氣通道，噴氣件的周圍是鉆設有許多細孔，當噴氣件自主盤體的下方與主盤體結合后即可使用，使用時是將氣體自主盤體上方的進氣通道灌入，氣體則會由噴氣件周圍的細孔朝非接觸式吸盤的下方外側噴出，并藉以于非接觸式吸盤下方中心處產生真空吸力以吸附加工對象。然而此一結構也存在多個缺點，首先是由主盤體上方進氣會使非接觸式吸盤的厚度大幅增加，因此在接口的選擇上容易受限，周邊的空間利用也受到限制，再者，噴氣件由于需要鉆孔，加工上的難度也較高，制造成本也就隨之上升。
發明內容
本發明所欲解決的技術問題與目的緣此，本發明的主要目的在于提供一種非接觸式吸盤，該非接觸式吸盤是利用導氣座與擾氣座間產生的縫隙出氣，因此制作時不需額外鉆孔制作噴氣出口。 本發明解決問題的技術手段一種非接觸式吸盤包含一導氣座與一擾氣座；導氣座具有一吸附面、一漸縮槽與一入氣流道，吸附面位于該導氣座的下方，漸縮槽自該吸附面朝該導氣座內部呈孔徑漸縮的方式開設，入氣流道與該漸縮槽相連通；擾氣座蓋設于該漸縮槽內，與該漸縮槽定義出連通該入氣流道的一氣室，且該擾氣座的至少一邊緣與該漸縮槽存在至少一出氣間隙；其中，當一外部氣體自該入氣流道進入該氣室，該外部氣體自該出氣間隙沿該漸縮槽的一壁面噴出。于本發明的一較佳實施例中，該吸附面還具有至少一防撞墊，而較佳者該防撞墊為一海綿材質。于本發明的一較佳實施例中，該擾氣座利用至少一螺絲鎖固于該導氣座。于本發明的一較佳實施例中，其中該入氣流道連通于該漸縮槽的徑向處。于本發明的一較佳實施例中，其中該擾氣座為一方形結構。
于本發明的一較佳實施例中，其中該擾氣座具有朝向該漸縮槽的一擾氣面，該擾氣面自該邊緣朝內漸凹。本發明對照現有技術的功效相較于現有的非接觸型吸盤，本發明的非接觸式吸盤由于是利用導氣座與擾氣座結合時產生的縫隙出氣，因此不需額外鉆孔制作噴氣出口，結構較為簡單置作成本也較低，此外入氣流道能夠設置于漸縮槽的徑向處，因此不會增加非接觸式吸盤的厚度，能夠實現薄型化的目標。以下結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述，但不作為對本發明的限定。
圖I為本發明第一實施例的非接觸式吸盤倒立分解圖；圖2為沿圖I的A-A切線的剖視圖；圖3為第一實施例的非接觸式吸盤的出氣示意圖；圖4為本發明第二實施例的非接觸式吸盤倒立分解圖；圖5為沿圖4的B-B切線的剖視圖；以及圖6為第二實施例的非接觸式吸盤的出氣示意圖。其中，附圖標記非接觸式吸盤100導氣座11吸附面111漸縮槽112 入氣流道113擾氣座12邊緣121擾氣面122螺絲I3氣室Hl出氣間隙Gl外部氣體Fl非接觸式吸盤200導氣座21吸附面211漸縮槽212入氣流道213擾氣座22邊緣221螺絲23防撞墊24氣室H2
出氣間隙G具體實施例方式本發明是關于一種吸盤，尤指一種非接觸式的非接觸式吸盤。以下茲列舉一較佳實施例以說明本發明，然本領域技術人員均均知此僅為一舉例，而并非用以限定發明本身。有關此較佳實施例的內容詳述如下。請參閱圖I、圖2與圖3，圖I為本發明第一實施例的非接觸式吸盤倒立分解圖，圖2為沿圖I的A-A切線的剖視圖，圖3為第一實施例的非接觸式吸盤的出氣示意圖。非接觸式吸盤100包含一導氣座11與一擾氣座12。導氣座11是具有一吸附面111、一漸縮槽112與一入氣流道113，吸附面111是位于該導氣座11的下方，漸縮槽112是自該吸附面111朝該導氣座11內部呈孔徑漸縮的方
式開設，入氣流道113是與該漸縮槽112相連通。擾氣座12是蓋設于該漸縮槽112內，與該漸縮槽112定義出連通該入氣流道113的一氣室H1，且該擾氣座12的至少一邊緣121是與該漸縮槽112存在至少一出氣間隙G1，而本實施例中則是以保留四個出氣間隙Gl來作為示意；其中，當一外部氣體Fl自該入氣流道113進入該氣室Hl，該外部氣體Fl是自該出氣間隙Gl沿該漸縮槽112的一壁面噴出，并據以于該吸附面111的中央處產生真空吸力。而于本實施例中的較佳者，該擾氣座12可以利用至少一螺絲13鎖固于該導氣座11，而入氣流道113可以是連通于該漸縮槽112的徑向處，當然，也可連結于漸縮槽112的底端，但于裝設接口時，非接觸式吸盤100的厚度即會隨的增加。此外，該擾氣座12是具有朝向該漸縮槽112的一擾氣面122，該擾氣面122可以是自該邊緣121朝內漸凹，如此一來即可在外部氣體Fl噴出出氣間隙Gl前，對外部氣體Fl進行加速，并加強真空吸力的產生效率。當然，雖然本發明的第一實施例中導氣座11與擾氣座12均為一方形結構，然而并非一定要制作成方形結構才能產生真空吸力，導氣座11與擾氣座12的形狀也不需相同，其它形狀也可順利產生真空吸力，唯獨要強調的是，擾氣座12制作為方形結構時，能夠使非接觸式吸盤在相同的進氣量下擁有較強的真空吸力。請參閱圖4、圖5與圖6，圖4為本發明第二實施例的非接觸式吸盤倒立分解圖，圖5為沿圖4的B-B切線的剖視圖，圖6為第二實施例的非接觸式吸盤的出氣示意圖。非接觸式吸盤200同樣擁有導氣座21與擾氣座22，并同樣可以以螺絲23將擾氣座22蓋合并固定于導氣座21上，以形成氣室H2，導氣座21同樣擁有吸附面211、漸縮槽212與入氣流道213，并且于擾氣座22結合時可與擾氣座22的邊緣221形成出氣間隙G2，與第一實施例的主要差異僅在于本實施例中的導氣座21與擾氣座22均為圓形結構，使用時的動作原理均無相異。此外，為了避免非接觸式吸盤200在吸附加工對象的過程中因其它不穩定因素造成加工對象與非接觸式吸盤200產生碰撞，因此吸附面211還可以設置至少一防撞墊24，一般來說海綿材質的防撞墊24即可達到很好的效果。綜合以上所述，相較于現有的非接觸型非接觸式吸盤，本發明的非接觸式吸盤由于是利用導氣座與擾氣座結合時產生的出氣縫隙出氣，因此制作時不需額外鉆孔制作噴氣出口，結構較為簡單，不僅組合容易，制作成本也較低，此外入氣流道能夠設置于漸縮槽的徑向處，因此不會增加非接觸式吸盤的厚度，能夠實現薄型化的目標。當然，本發明還可有其它多種實施例，在不背離本發明精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據本發明作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變 形都應屬于本發明所附的權利要求的保護范圍。
權利要求
1.ー種非接觸式吸盤，其特征在于，包含 ー導氣座，具有ー吸附面、ー漸縮槽以及一入氣流道，該吸附面位于該導氣座的下方；該漸縮槽自該吸附面朝該導氣座內部呈孔徑漸縮的方式開設；該入氣流道與該漸縮槽相連通；以及 ー擾氣座，蓋設于該漸縮槽內，與該漸縮槽定義出連通該入氣流道的ー氣室，且該擾氣座的至少ー邊緣與該漸縮槽存在至少ー出氣間隙； 其中，當一外部氣體自該入氣流道進入該氣室，該外部氣體自該出氣間隙沿該漸縮槽的一壁面噴出。
2.根據權利要求I所述的非接觸式吸盤，其特征在于，該吸附面還具有至少ー防撞墊。
3.根據權利要求2所述的非接觸式吸盤，其特征在于，該防撞墊為一海綿材質。
4.根據權利要求I所述的非接觸式吸盤，其特征在干，該擾氣座利用至少ー螺絲鎖固于該導氣座。
5.根據權利要求I所述的非接觸式吸盤，其特征在干，該入氣流道連通于該漸縮槽的徑向處。
6.根據權利要求I所述的非接觸式吸盤，其特征在于，該擾氣座為一方形結構。
7.根據權利要求I所述的非接觸式吸盤，其特征在干，該擾氣座具有朝向該漸縮槽的ー擾氣面，該擾氣面自該邊緣朝內漸凹。
全文摘要
一種非接觸式吸盤，包含導氣座與擾氣座；導氣座具有吸附面、漸縮槽與入氣流道，吸附面位于該導氣座的下方，漸縮槽自該吸附面朝該導氣座內部呈孔徑漸縮的方式開設，入氣流道與該漸縮槽相連通；擾氣座蓋設于該漸縮槽內，與該漸縮槽定義出連通該入氣流道的一氣室，且該擾氣座的至少一邊緣與該漸縮槽存在至少一出氣間隙；其中，當一外部氣體自該入氣流道進入該氣室，該外部氣體自該出氣間隙沿該漸縮槽的一壁面噴出。
文檔編號H01L21/683GK102693928SQ201110189240
公開日2012年9月26日 申請日期2011年6月30日 優先權日2011年3月25日
發明者王瑞賢, 許義勝 申請人:致茂電子股份有限公司