專利名稱：驅動器連接部件和具有它的壓環升降機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體技術，尤其是涉及一種驅動器連接部件和具有它的壓環升 降機構。
背景技術：
在LED刻蝕機工藝中，為了控制晶片的溫度在一定范圍內，需要保證放置晶片的 托盤與通水冷卻的卡盤之間有良好的接觸，卡盤的選用有靜電卡盤和機械卡盤兩種，機械 卡盤成本較低，在LED行業中較多采用。托盤通常由壓環壓緊到機械卡盤上，壓環由升降機構驅動升降。在傳統的壓環升 降機構中，氣缸連接部件通過波紋管和波紋管連接軸與壓環相連，氣缸的氣缸軸與氣缸連 接部件相連，從而氣缸連接部件在氣缸驅動下由導引柱導引上下移動，從而帶動壓環上下 移動。圖3示出了傳統的氣缸連接部件1’，氣缸連接部件1’上設置了與氣缸軸連接的連接 塊2，，氣缸連接部件1，上設有穿過導引柱的導引孔102a，和102b，，103，為波紋管連接軸 與氣缸連接部件1’的連接位置。如圖3所示，由于氣缸連接部件1，的重心在導引孔102a，和102b，連線L，的一 側，而氣缸連接塊2’的位置(即氣缸對氣缸連接部件1’的施力位置)在導引孔102a’和 102b’連線L’的另一側，因此容易出現下面的問題。首先，由于在升降過程中氣缸連接部件1’會向著靠近重心的方向傾斜，使得導引 柱與導引孔102a’和102b’之間的間隙在一側會減小，如果導引柱的材料硬度較軟，氣缸連 接部件1’雖然可以正常升降，但會在導引柱的表面留下溝痕，時間長了導引柱會失去導向 作用，如果導引柱材料很硬，氣缸連接部件1’的升降會很困難，并且容易損壞導引孔102a’ 和102b’。其次，氣缸連接部件1’由于自身重力的作用會向靠近重心方向傾斜，為了保證多 個波紋管連接軸升降一致，需要氣缸連接部件1’保持在自然狀態下的平衡，這使得安裝精 度要求高，安裝費時費力。
實用新型內容本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種安裝方便容易、省時省力的驅動器連 接部件。本實用新型的另一目的在于提出一種具有上述驅動器連接部件的壓環升降機構， 該壓環升降機構能夠平穩升降壓環，并且使用壽命長、組裝方便容易，省時省力。根據本實用新型的驅動器連接部件包括本體，所述本體上設有第一導向孔和第二 導向孔以及用于與驅動器相連的連接部，其中所述本體的重心和所述連接部均位于所述第 一導向孔與所述第二導向孔的中心連線上。根據本實用新型實施例的驅動器連接部件，由于所述本體的重心與連接部(即驅 動器對驅動器連接部件施加力的位置)在所述第一導向孔與第二導向孔的中心連線上，因此所述驅動器連接部件的受力容易實現平衡，從而安裝精度要求降低，省時省力。因此，在 對所述驅動器連接部件施力時，驅動器連接部件容易平衡，而不容易發生朝向一側傾斜，不 會損壞第一導向孔和第二導向孔，使用壽命長。另外，根據本實用新型的驅動器連接部件還可以具有如下附加的技術特征優選地，所述本體的重心與所述連接部位于所述中心連線的中點。根據本實用新型的驅動器連接部件進一步包括設置在所述連接部上且用于與所 述驅動器相連的連接塊，其中所述本體和所述連接塊的重心與所述連接塊位于所述中心連 線的中點。優選地，所述連接塊的中心和重心以及所述中心連線的中點重合。具體地，所述本體具有相對于所述本體的縱向軸線對稱的形狀。進而，所述中心連線沿垂直于所述縱向軸線且沿所述本體的橫向延伸。根據本實用新型的壓環升降機構包括支撐架；第一導向軸和第二導向軸，所述 第一導向軸和第二導向軸的上端分別與所述支撐架相連；多個連接軸，所述多個連接軸的 上端分別通過多個波紋管與壓環相連；驅動器，所述驅動器安裝在所述支撐架上；和驅動 器連接部件，所述驅動器連接部件為上述驅動器連接部件，其中所述多個連接軸的下端分 別與所述驅動器連接部件相連，所述驅動器連接部件的第一導向軸和第二導向軸的下端分 別可滑動地穿過所述第一導向孔和第二導向孔向下伸出，且所述驅動器與所述驅動器連接 部件的連接部相連。根據本實用新型實施例的壓環升降機構，由于驅動器連接部件的重心與所述連接 部位于第一導向孔與第二導向孔的中心連線L上，因此在驅動器通過驅動器連接部件驅動 連接軸上下移動時，驅動器連接部件的受力平衡，驅動器連接部件不會發生傾斜，從而不會 損壞連接軸以及第一導向孔與第二導向孔，壓環升降平穩，壓環升降機構的壽命長，不容易 損壞，并且安裝容易，省時省力。具體地，所述驅動器為氣缸，其中所述氣缸的缸桿的自由端與所述連接部相連。優選地，所述連接軸為三個，所述三個連接軸與所述驅動器連接部件相連的三個 連接位置在所述驅動器連接部件上成三角形分布。附加地，所述第一導向孔和第二導向孔內分別安裝有直線軸承。本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據本實用新型實施例的壓環升降機構的示意圖；圖2是根據本實用新型實施例的壓環升降機構的驅動器連接部件的示意圖；和圖3是傳統氣缸連接部件的示意圖。
具體實施方式
下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參 考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的 限制。在本實用新型的描述中，術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水
平”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實 用新型而不是要求本實用新型必須以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新 型的限制。在本實用新型的描述中，術語“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連 接或電連接，也可以是兩個元件內部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介相連， 對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語的具體含義。下面首先參考圖2描述根據本實用新型一個實施例的驅動器連接部件1。如圖2所示，驅動器連接部件1包括本體100，本體100上設有第一導向孔10 和 第二導向孔102b以及用于與驅動器3(參見圖1，下面將會描述)相連的連接部，本體100 的重心和連接部均位于第一導向孔10 與第二導向孔102b的中心連線L上。根據本實用新型實施例的驅動器連接部件1，由于本體100的重心與連接部(即驅 動器3對驅動器連接部件1施加力的位置，也可以成為驅動器3與驅動器連接部件1的連 接位置)在第一導向孔10 與第二導向孔102b的中心連線L上，因此驅動器連接部件1 的受力容易實現平衡，從而安裝精度要求降低，省時省力。因此，在驅動器3對驅動器連接 部件1施力時，驅動器連接部件1容易平衡，而不容易朝向一側傾斜，且不會損壞第一導向 孔10 和第二導向孔102b，使用壽命長。在本實用新型的上述實施例中，需要理解的是，所述連接部可以理解為驅動器3 與驅動器連接部件1連接的位置，也可以理解為一個部件。在本實用新型的優選實施例中，本體100的重心與所述連接部位于中心連線L的 中點，由此，可以更加容易實現驅動器連接部件1的受力平衡。在本實用新型的一些實施例中，驅動器連接部件1可以進一步包括設置在所述連 接部上且用于與驅動器3相連的連接塊2，其中本體100和連接塊2的重心以及連接塊2的 中心均位于中心連線L的中點上。通過設置連接塊2，可以方便驅動器3與驅動器連接部件1的連接，而且通過使本 體100和連接塊2的重心與連接塊2均位于中心連線L的中點，不會影響驅動器連接部件1 的受力平衡。而且，當連接塊2損壞時，可以方便地更換，無需更換整個驅動器連接部件1， 降低了成本。在本實用新型的優選示例中，連接塊2的中心和重心重合，驅動器3可以與連接塊 2的中心連接，從而增加連接塊2不會影響驅動器連接部件1的受力平衡。例如，連接塊2 可以矩形塊，也可以為圓形塊。為了更容易實現驅動器連接部件1的平衡，本體100具有相對于本體100的縱向 軸線X(圖2中的豎直軸線)對稱的形狀。此外，中心連線L沿垂直于縱向軸線X且沿本體 100的橫向(圖2中的水平方向)延伸。在本實用新型的一個具體示例中，如圖2所示，本體100包括基體101c，和分別從 基體IOlc左右兩側對稱延伸出的凸耳IOla和101b。基體IOlc本身相對于縱向軸線X左右對稱。由此，可以降低驅動器連接部件1的整體重量，而且容易實現驅動器連接部件1的 受力平衡。當然，根據本實用新型實施例的驅動器連接部件1并不限于圖2所示的形狀。下面參考圖1和2描述根據本實用新型實施例的壓環升降機構。如圖1所示，根據本實用新型一個實施例的壓環升降機構包括支撐架8，第一導向 軸4a，第二導向軸4b，多個連接軸6，驅動器3，和驅動器連接部件1。驅動器連接部件1可以為參考上面實施例描述的驅動器連接部件。第一導向軸如和第二導向軸4b的上端分別與支撐架8相連，第一導向軸如和第 二導向軸4b的下端分別可滑動地穿過驅動器連接部件1的第一導向孔10 與第二導向孔 102并向下伸出驅動器連接部件1。多個連接軸6的上端分別通過多個波紋管7與位于反應室11內的壓環10相連。 波紋管7設置在反應室11的底面與支撐架8的上表面之間，壓環10通過連接桿與波紋管 7的上端相連，波紋管7的下端與連接軸6的上端相連。驅動器3安裝在支撐架8上。驅動器3與驅動器連接部件1的連接部相連，換言 之，驅動器3在連接部所處的位置與驅動器連接部件1相連。反應室11的下面設有腔室連接件9，腔室連接件9與支柱12相連，支柱12安裝在 支撐架8上，從而壓環升降機構通過支撐架8、支柱12和腔室連接件9與反應室11相連。根據本實用新型實施例的壓環升降機構，結合圖2所示，由于驅動器連接部件1的 重心與所述連接部位于第一導向孔10 與第二導向孔102b的中心連線L上，優選位于中 心連線L的中點。因此在驅動器3通過驅動器連接部件1驅動連接軸6上下移動時，驅動 器連接部件1的受力平衡，驅動器連接部件1不會發生傾斜，從而不會損壞連接軸6以及第 一導向孔10 與第二導向孔102b，壓環10升降平穩，壓環升降機構的壽命長，不容易損壞， 并且安裝容易，省時省力。在本實用新型的一些實施例中，驅動器3例如為氣缸，具體地，氣缸的缸桿的自由 端(圖1中的下端)與驅動器連接部件1的連接部相連。連接軸6為三個，相應地，波紋管 7也為三個。如圖2所示，三個連接軸6與驅動器連接部件1相連的三個連接位置103a， 103b，和103c在驅動器連接部件1上成三角形分布。在連接位置103a，103b，和103c處，可 以分別開設連接孔，從而便于連接軸6與驅動器連接部件1相連。當在驅動器連接部件1上設置連接塊2時，氣缸的缸桿的自由端可以與連接塊2 相連，由此當連接塊2損壞時，可以僅僅更換連接塊2，無需更換整個驅動器連接部件1，進 一步降低了成本。在本實用新型的一個優選實施例中，為了減小第一導向軸如和第二導向軸4b的 磨損和對第一導向孔10 與第二導向孔102b的損壞，可以在第一導向孔10 與第二導向 孔102b分別安裝直線軸承5。由于驅動器連接部件1的受力平衡，因此直線軸承5的安裝 簡單方便，并且可以先將直線軸承5緊固到第一導向孔10 與第二導向孔102b內，再使第 一導向軸如和第二導向軸4b的下端滑動地穿過直線軸承5，進而進行其他部件的連接，提 高了安裝效率。根據本實用新型實施例的驅動器連接部件和具有該驅動器連接部件的壓環升降 機構，通過使驅動器連接部件在自然狀態下和運動狀態下的受力平衡，安裝精度要求降低， 安裝方便容易，省時省力，并且壽命提高，成本降低。[0052]在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示 例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特 點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表 述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在 任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術人員可以理解 在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換 和變型，本實用新型的范圍由權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種驅動器連接部件，其特征在于，包括本體，所述本體上設有第一導向孔和第二導 向孔以及用于與驅動器相連的連接部，其中所述本體的重心和所述連接部均位于所述第一 導向孔與所述第二導向孔的中心連線上。
2.根據權利要求1所述的驅動器連接部件，其特征在于，所述本體的重心與所述連接 部位于所述中心連線的中點。
3.根據權利要求1所述的驅動器連接部件，其特征在于，進一步包括設置在所述連接 部上且用于與所述驅動器相連的連接塊，其中所述本體和所述連接塊的重心與所述連接塊 均位于所述中心連線的中點。
4.根據權利要求3所述的驅動器連接部件，其特征在于，所述連接塊的中心和重心以 及所述中心連線的中點重合。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的驅動器連接部件，其特征在于，所述本體具有相 對于所述本體的縱向軸線對稱的形狀。
6.根據權利要求5所述的驅動器連接部件，其特征在于，所述中心連線沿垂直于所述 縱向軸線且沿所述本體的橫向延伸。
7.—種壓環升降機構，其特征在于，包括支撐架；第一導向軸和第二導向軸，所述第一導向軸和第二導向軸的上端分別與所述支撐架相連；多個連接軸，所述多個連接軸的上端分別通過多個波紋管與壓環相連；驅動器，所述驅動器安裝在所述支撐架上；和驅動器連接部件，所述驅動器連接部件為根據權利要求1-6中任一項所述的驅動器連 接部件，其中所述多個連接軸的下端分別與所述驅動器連接部件連接，所述驅動器連接部 件的第一導向軸和第二導向軸的下端分別可滑動地穿過所述第一導向孔和第二導向孔并 向下伸出，且所述驅動器與所述驅動器連接部件的連接部相連。
8.根據權利要求7所述的壓環升降機構，其特征在于，所述驅動器為氣缸，其中所述氣 缸的缸桿的自由端與所述連接部相連。
9.根據權利要求7所述的壓環升降機構，其特征在于，所述連接軸為三個，所述三個連 接軸與所述驅動器連接部件相連的三個連接位置在所述驅動器連接部件上成三角形分布。
10.根據權利要求7-9中任一項所述的壓環升降機構，其特征在于，所述第一導向孔和 第二導向孔內分別安裝有直線軸承。
專利摘要本實用新型公開一種驅動器連接部件，包括本體，所述本體上設有第一導向孔和第二導向孔以及用于與驅動器相連的連接部，其中所述本體的重心和所述連接部均位于所述第一導向孔與所述第二導向孔的中心連線上。根據本實用新型實施例的驅動器連接部件，由于所述本體的重心與所述連接部在所述第一導向孔與第二導向孔的中心連線上，因此驅動器連接部件的受力容易實現平衡，從而安裝精度要求降低，省時省力。因此，對驅動器連接部件施力時，驅動器連接部件容易平衡，而不容易發生朝向一側傾斜，不會損壞第一導向孔和第二導向孔，使用壽命長。本實用新型還提出一種具有上述驅動器連接部件的壓環升降機構。
文檔編號H01L21/67GK201893322SQ201020613658
公開日2011年7月6日 申請日期2010年11月18日 優先權日2010年11月18日
發明者劉利堅, 張寶輝, 李東三, 王偉, 趙夢欣 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司