專利名稱：傳送系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及集成電路工藝裝置，特別涉及一種傳送系統。
背景技術：
隨著集成電路的半導體元件的集成度日益增加，工藝的準確度就顯得格外重要。 因為一旦在工藝中發生些微的錯誤，即可能造成工藝的失敗，導致晶片的毀損或報廢，因而 耗費大量成本。一般在半導體工藝中，半導體工藝的設備由多個相鄰的工藝反應室所組成，并藉 由傳送系統(load lock)，使晶片在各個工藝反應室間傳輸。晶片在工藝反應室之間的傳 輸，利用機械手臂，將晶片從位于傳送系統內的晶舟中取出，傳送至工藝反應室內進行工藝 反應，并于工藝結束后將晶片取回，再送回至晶舟中，以進行下一系列的工藝步驟。機械手 將晶片從位于傳送系統內的晶舟中取出的過程中，所述晶舟及機械手都應處于預定的位 置，如此，可防止機械手從晶舟中取出晶片時，由于位置的差異造成晶片損傷。為了使晶舟 能處于預定的位置，傳送系統在每傳送完一定數量的晶片后，通常為20個晶舟后，會攜帶 著下一個晶舟，自動做一次校正(do home)，以確保晶舟處于預定的位置。如圖1所示，為現有載有晶舟的傳送系統示意圖。傳送系統1包括承載臺10，用 以承載晶舟100 ；驅動軸11，其一端與承載臺10連接，用以驅動承載臺10的上升與下降； 馬達12，通過傳動裝置13與驅動軸11連接，用以控制驅動軸11的動作；光軸15，通過滑動 裝置14與驅動軸11滑動連接，確保驅動軸11的上升下降是垂直進行的。此外，傳送系統 1還包括擋片16及預定位置傳感器17 (home sensor)，所述擋片16固定于驅動軸11上，所 述預定位置傳感器17固定于傳送系統1內的支架上(圖1中未示出)，所述預定位置傳感 器17通常為光敏傳感器，當傳送系統1自動做位置校正時，驅動軸11下降，通過擋片16遮 住預定位置傳感器17，預定位置傳感器17發出信號，可知此時的位置為預定位置。然而，在 傳送系統1做自動校正的過程中，如果所述預定位置傳感器17已發生損壞，此時，預定位置 傳感器17將不發出信號，驅動軸11便會一直下降，以期找到預定位置。最終，將導致驅動 軸11持續下沉，從而使得與其連接的所述承載臺10及承載臺10所承載的晶舟100在此過 程中，由于與傳送系統1內其他裝置碰撞，或者承載臺10碰觸傳送系統1底部而造成損壞， 晶舟100中通常載有25片晶圓，如此，可能會造成多達1. 5萬美元的直接經濟損失。為此，在預定位置傳感器17失效的情況下，使得驅動軸11不下沉，從而保證承載 臺10及其承載的晶舟100不因此而受損壞，成了一個亟待解決的問題。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種傳送系統，以解決現有的傳送系統在預定位置傳 感器失效的情況下，驅動軸下沉，從而使得承載臺及承載臺所承載的晶舟受損的問題。為解決上述技術問題，本實用新型提供一種傳送系統，所述傳送系統包括承載 臺，用以承載晶舟；驅動軸，其一端與所述承載臺連接，用以驅動所述承載臺的上升與下降；馬達，通過傳動裝置與所述驅動軸連接，用以控制所述驅動軸的動作；光軸，通過滑動裝置 與所述驅動軸滑動連接；所述光軸上設置有制動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述 傳感器與馬達控制器連接，所述馬達控制器與所述馬達連接。可選的，所述制動裝置套接在所述光軸上。可選的，所述制動裝置是厚度為15 25cm，外徑為50 70cm，內徑與所述光軸直 徑吻合的圓柱形套管。可選的，所述制動裝置是厚度為15 25cm，邊長為50 70cm，內徑與所述光軸直 徑吻合的長方體形套管。可選的，所述制動裝置通過支架固定于所述光軸上。可選的，所述制動裝置是由聚酯材料制成的。可選的，所述制動裝置上設置有一個傳感器。可選的，所述制動裝置上設置有兩個以上傳感器。可選的，所述制動裝置上設置的傳感器位于所述驅動軸的正下方。可選的，所述馬達控制器上還安裝有報警裝置。可選的，所述報警裝置是LED發光器。可選的，所述報警裝置是發生器。本實用新型提供一種傳送系統，在該傳送系統做自動校正時，當預定位置傳感器 失效的情況下，驅動軸在繼續下降的過程中，由于在光軸上設置有制動裝置，驅動軸下降到 一定程度后將碰到所述制動裝置，制動裝置可暫時阻止驅動軸的下降。此外，驅動軸在碰到 所述制動裝置的同時，也將觸發設置于所述制動裝置上的傳感器，傳感器將輸出信號至與 其連接的馬達控制器，馬達控制器將控制馬達停止運行，徹底阻止驅動軸的下沉。因此，本 實用新型可防止承載臺以及承載臺所承載的晶舟在自動校正過程中與傳送系統內其它裝 置碰撞，并可防止承載臺碰觸傳送系統底部，從而確保承載臺以及承載臺所承載的晶舟不 受損壞。
圖1是現有載有晶舟的傳送系統示意圖；圖2是本實用新型載有晶舟的傳送系統示意圖；圖3是圖2所示傳送系統中未示出的馬達控制器部分連接示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的傳送系統作進一步詳細說明。根 據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。本實用新型的核心思想在于，提供一種傳送系統，在傳送系統的光軸上設置有制 動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述傳感器與馬達控制器連接，所述馬達控制器與 所述馬達連接。在該傳送系統做自動校正時，當預定位置傳感器失效的情況下，驅動軸在繼 續下降的過程中，由于在光軸上設置有制動裝置，驅動軸下降到一定程度后將碰到所述制 動裝置，制動裝置可暫時阻止驅動軸的下降。此外，驅動軸在碰到所述制動裝置的同時，也 將觸發設置于所述制動裝置上的傳感器，傳感器將輸出信號至與其連接的馬達控制器，馬達控制器將控制馬達停止運行，徹底阻止驅動軸的下沉。通過本實用新型提供的傳送系統， 可防止承載臺以及承載臺所承載的晶舟在自動校正過程中與傳送系統內其他裝置碰撞，并 可防止承載臺碰觸傳送系統底部，從而確保承載臺以及承載臺所承載的晶舟不受損壞。請參考圖2及圖3，其中，圖2是本實用新型載有晶舟的傳送系統示意圖，圖3是圖 2所示傳送系統中未示出的馬達控制器部分連接示意圖。如圖2和圖3所示，傳送系統2包括承載臺20、驅動軸21、馬達22、傳動裝置23、 滑動裝置對、光軸25、擋片沈、預定位置傳感器27、制動裝置觀、傳感器四、馬達控制器30。 其中，承載臺20用以承載晶舟200 ；驅動軸21的一端與承載臺20連接，用以驅動承載臺20 的上升與下降；馬達22通過傳動裝置23與驅動軸21連接，用以控制驅動軸21的動作；光 軸25通過滑動裝置M與驅動軸21滑動連接；擋片沈固定于驅動軸21上；預定位置傳感 器27固定于傳送系統2內的支架上(圖2、3中未示出)；所述光軸25上設置有制動裝置 觀，所述制動裝置觀上設置有傳感器四，所述傳感器四與馬達控制器30連接，所述馬達控 制器30與馬達22連接。當傳送系統2做自動校正時，預定位置傳感器27失效的情況下，驅動軸21發生下 沉時，通過設置在光軸25上的制動裝置觀，可暫時阻止驅動軸21的下沉。此外，驅動軸21 在碰到所述制動裝置28的同時，也將觸發設置于所述制動裝置28上的傳感器四，傳感器 29將輸出信號至與其連接的馬達控制器30，馬達控制器30將控制馬達22停止運行，徹底 阻止驅動軸21的下沉。根據本實施例提供的傳送系統，在驅動軸21下沉時，與驅動軸21 連接的承載臺20及承載臺20所承載的晶舟200，不會與傳送系統2內其他裝置碰撞，并且， 承載臺20也不會碰觸傳送系統2的底部，可確保承載臺20及晶舟200的安全。在本實用新型一實施例中，所述制動裝置觀套接在所述光軸25上，所述制動裝 置觀可以是厚度為15 25cm，外徑為50 70cm，內徑與所述光軸25直徑吻合的圓柱形 套管。在本實用新型另一實施例中，所述制動裝置觀也可以是厚度為15 25cm，邊長為 50 70cm，內徑與所述光軸25直徑吻合的長方體形套管。在此厚度范圍內，制動裝置觀 能夠有效地暫時阻止驅動軸21的下沉，不致于因為制動裝置過薄，使得驅動軸連帶制動裝 置一起下沉。當制動裝置28是外徑為50 70cm的圓柱形套管或邊長為50 70cm的長 方體形套管時，制動裝置觀具有足夠的面積承載驅動軸21，不致于因為制動裝置觀承載面 積過窄，不能承載到下沉的驅動軸。當然，本實用新型的制動裝置觀的形狀并不局限于此， 其可以是其它任意適于承載下沉的驅動軸的形狀。在本實用新型的其它實施例中，制動裝置觀也可通過支架固定于光軸25上，或者 通過螺紋固定于光軸25上。當然，本實用新型不對光軸上固定制動裝置的方式做限定，其 還可以是其它可將制動裝置固定于光軸上的任意方式。在本實施例中，所述制動裝置觀是由聚酯材料制成的，聚酯材料具有一定的彈 性，可減小驅動軸21碰到制動裝置觀所產生的碰撞力。當然，所述制動裝置觀還可由其 它可減小碰撞力的材料制成。 在本實施例中，所述制動裝置觀上設置有一個傳感器四。在本實用新型的其他實 施例中，所述制動裝置觀上也可設置有兩個或者更多個傳感器。本領域技術人員可根據傳 感器的價格、制動裝置上可設置傳感器的空間、以及由設置的傳感器數量所帶來的可靠性 等多種因素，最終確定傳感器的數量。[0032]在本實施例中，所述制動裝置觀上設置的傳感器四位于所述驅動軸21的正下 方，位于驅動軸21的正下方能使得傳感器四更靈敏的感應到驅動軸21的下沉。當然，在 本實用新型其它實施例中，所述傳感器四的位置也可稍微變動，只要使傳感器四能感應到 驅動軸21的下沉即可。在本實施例中，所述馬達控制器30上還安裝有報警裝置(未圖示)。通過所述報 警裝置可提醒操作人員傳送系統2內發生的異常情況，從而及時處理，以提到生產效率。所 述報警裝置可以是LED發光器，或者是喇叭，或者是發生器等其它可發出聲光從而起到提 醒作用的裝置。上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限 定，本領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保 護范圍。
權利要求1.一種傳送系統，包括 承載臺，用以承載晶舟；驅動軸，其一端與所述承載臺連接，用以驅動所述承載臺的上升與下降； 馬達，通過傳動裝置與所述驅動軸連接，用以控制所述驅動軸的動作； 光軸，通過滑動裝置與所述驅動軸滑動連接；其特征在于，所述光軸上設置有制動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述傳感器 與馬達控制器連接，所述馬達控制器與所述馬達連接。
2.如權利要求1所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置套接在所述光軸上。
3.如權利要求2所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是厚度為15 25cm，外 徑為50 70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的圓柱形套管。
4.如權利要求2所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是厚度為15 25cm，邊 長為50 70cm，內徑與所述光軸直徑吻合的長方體形套管。
5.如權利要求1所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置通過支架固定于所述光 軸上。
6.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置是由聚酯材料制 成的。
7.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置有一個傳感器。
8.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置有兩個以 上傳感器。
9.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述制動裝置上設置的傳感器 位于所述驅動軸的正下方。
10.如權利要求1或2或5所述的傳送系統，其特征在于，所述馬達控制器上還安裝有報警裝置。
11.如權利要求10所述的傳送系統，其特征在于，所述報警裝置是LED發光器。
12.如權利要求10所述的傳送系統，其特征在于，所述報警裝置是發生器。
專利摘要本實用新型提供一種傳送系統，所述傳送系統包括承載臺，用以承載晶舟；驅動軸，其一端與所述承載臺連接，用以驅動所述承載臺的上升與下降；馬達，通過傳動裝置與所述驅動軸連接，用以控制所述驅動軸的動作；光軸，通過滑動裝置與所述驅動軸滑動連接；所述光軸上設置有制動裝置，所述制動裝置上設置有傳感器，所述傳感器與馬達控制器連接，所述馬達控制器與所述馬達連接。本實用新型的傳送系統做自動校正時，能解決驅動軸下沉，從而引起的承載臺及承載臺上的晶舟受損的問題。
文檔編號H01L21/677GK201845751SQ20102056510
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月16日 優先權日2010年10月16日
發明者周琦, 李友溪, 李秀軍, 袁洪 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司