專利名稱：氣體傳輸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及輸送物質(zhì)的裝置，尤其涉及一種氣體傳輸裝置。
背景技術(shù)：
圖1所示為化學(xué)機械平坦化設(shè)備中的氣體傳輸裝置，該氣體傳輸裝置可用于抽真 空，使得研磨頭(head)能緊緊吸住晶圓，該氣體傳輸裝置也可用于傳輸壓縮氣體，使得研 磨頭能將晶圓壓緊在研磨墊上。參見圖1，該氣體傳輸裝置包括一頂蓋110、多節(jié)傳輸管道 120、一固定基座130、一轉(zhuǎn)軸140和一接口法蘭150 ；所述多節(jié)傳輸管道120依次疊置，所述 頂蓋110設(shè)置在依次疊置的多節(jié)傳輸管道120的頂端，依次疊置的多節(jié)傳輸管道120的底 端設(shè)置在所述固定基座130上，所述轉(zhuǎn)軸140的頂端依次穿過所述多節(jié)傳輸管道120與所 述頂蓋110連接，該轉(zhuǎn)軸140底端從依次疊置的多節(jié)傳輸管道120的底端延伸出所述傳輸 管道120外，所述接口法蘭150設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸140的底端；每節(jié)所述傳輸管道120的側(cè)壁 上設(shè)有一通氣孔121。參見圖2，所述轉(zhuǎn)軸140內(nèi)設(shè)有多根通氣管141，所述通氣管141的一端與所述接 口法蘭150相通，所述通氣管141的另一端設(shè)有開口 142，一個開口 142與一個通氣孔121 相對應(yīng)，所述開口 142與其所對應(yīng)的通氣孔121處于同一水平位置；所述傳輸管道120包括外殼模塊122和內(nèi)模塊123，所述內(nèi)模塊123固定設(shè)置在所 述轉(zhuǎn)軸140的外側(cè)壁上，多節(jié)所述傳輸管道120的外殼模塊122依次疊置形成一空腔，所述 內(nèi)模塊123用于將該空腔隔離成一個一個小的氣體腔室，理想狀態(tài)是各個氣體腔室之間有 良好的密封性，為了防止氣體通過所述內(nèi)模塊123與所述轉(zhuǎn)軸140的外側(cè)壁之間的縫隙泄 漏，在所述內(nèi)模塊123與所述轉(zhuǎn)軸140的外側(cè)壁之間設(shè)有密封環(huán)(0-ring)124，所述密封環(huán) 124采用橡膠材料制成?，F(xiàn)有技術(shù)的氣體傳輸裝置的缺點是，所述轉(zhuǎn)軸140轉(zhuǎn)動時，所述密封環(huán)IM與所述 轉(zhuǎn)軸140之間有摩擦力，長時間使用后，橡膠材料制成的密封環(huán)IM會損壞，從而破壞各個 氣體腔室之間的密封性，產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象；并且，由于所述密封環(huán)1 通常是定制的，更換新 的密封環(huán)不僅花費的時間長，而且成本高。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種氣體傳輸裝置，密封效果好，且耐用。為了達到上述的目的，本實用新型提供一種氣體傳輸裝置，用于在轉(zhuǎn)動中進行多 通道氣體輸送，包括依次疊置的多節(jié)傳輸管道和一部分設(shè)置在所述傳輸管道內(nèi)的轉(zhuǎn)軸，每 節(jié)所述傳輸管道包括外殼和設(shè)置所述外殼內(nèi)的隔離機構(gòu)，所述隔離機構(gòu)包括一內(nèi)殼、磁流 體、第一阻擋墊圈、第二阻擋墊圈、第一卡環(huán)、第二卡環(huán)和至少一密封圈；所述內(nèi)殼的外側(cè)壁 與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁連接；所述第一阻擋墊圈和第一卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的頂端上； 所述第二阻擋墊圈和第二卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的底端下；所述磁流體位于所述內(nèi)殼的 內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)壁以及所述第一阻擋墊圈與第二阻擋墊圈之間；所述密封圈設(shè)置在所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間。上述氣體傳輸裝置，其中，所述隔離機構(gòu)還包括彈性墊圈，所述彈性墊圈設(shè)置在所 述第一卡環(huán)與所述第一阻擋墊圈之間。上述氣體傳輸裝置，其中，所述隔離機構(gòu)還包括第一軸承和第二軸承；所述第一軸 承設(shè)置在所述第一卡環(huán)與所述第一阻擋墊圈之間；所述第二軸承設(shè)置在所述第二卡環(huán)與第 二阻擋墊圈之間。上述氣體傳輸裝置，其中，所述隔離機構(gòu)還包括第一軸承和第二軸承；所述第一軸 承設(shè)置在所述彈性墊圈與所述第一阻擋墊圈之間；所述第二軸承設(shè)置在所述第二卡環(huán)與第 二阻擋墊圈之間。上述氣體傳輸裝置，其中，所述內(nèi)殼為磁性內(nèi)殼。上述氣體傳輸裝置，其中，所述第一阻擋墊圈和第二阻擋墊圈均采用塑料制成。上述氣體傳輸裝置，其中，所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有兩個 密封圈。本實用新型的氣體傳輸裝置采用磁流體作密封材料，轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時會吸引磁流體， 使磁流體緊緊吸附在轉(zhuǎn)軸上，密封效果好，且磁流體不會因為摩擦力而受到磨損，進而損壞 產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，因此，采用磁流體作密封材料密封效果好，使用壽命長；本實用新型的氣體傳輸裝置設(shè)有多個軸承，大大減小了轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時受到的阻力， 降低了轉(zhuǎn)軸的損耗，使氣體傳輸裝置工作性能穩(wěn)定可靠；本實用新型的氣體傳輸裝置結(jié)構(gòu)簡單、裝卸方便。
本實用新型的氣體傳輸裝置由以下的實施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有技術(shù)的氣體傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是現(xiàn)有技術(shù)中一節(jié)傳輸管道的剖視圖。圖3是本實用新型的氣體傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本實用新型的氣體傳輸裝置的剖視圖。
具體實施方式
以下將結(jié)合圖3 圖4對本實用新型的氣體傳輸裝置作進一步的詳細描述。本實用新型的氣體傳輸裝置用于在轉(zhuǎn)動中進行多通道氣體輸送，該氣體傳輸裝置 包括依次疊置的多節(jié)傳輸管道和一部分設(shè)置在所述傳輸管道內(nèi)的轉(zhuǎn)軸，每節(jié)所述傳輸管道 包括外殼和設(shè)置所述外殼內(nèi)的隔離機構(gòu)；所述隔離機構(gòu)包括一內(nèi)殼、磁流體、第一阻擋墊圈、第二阻擋墊圈、第一卡環(huán)、第二 卡環(huán)和至少一密封圈；所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁連接；所述第一阻擋墊圈和第一卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的頂端上；所述第二阻擋墊圈和第二卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的底端下；所述磁流體位于所述內(nèi)殼的內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)壁以及所述第一阻擋墊圈 與第二阻擋墊圈之間；[0029]所述密封圈設(shè)置在所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間。本實用新型的氣體傳輸裝置采用磁流體作密封材料，密封效果好，使用壽命長。現(xiàn)以一較佳實施例詳細說明本實用新型的氣體傳輸裝置參見圖3，本實施例的氣體傳輸裝置包括頂蓋210、三節(jié)傳輸管道220、固定基座 230、轉(zhuǎn)軸240和接口法蘭250 ；所述三節(jié)傳輸管道220依次縱向疊置；所述頂蓋210設(shè)置在依次疊置的三節(jié)傳輸管道220的頂端；依次疊置的三節(jié)傳輸管道220的底端設(shè)置在所述固定基座230上；所述轉(zhuǎn)軸240的頂端依次穿過所述三節(jié)傳輸管道220與所述頂蓋210連接，所述 轉(zhuǎn)軸MO的底端從依次疊置的三節(jié)傳輸管道220的底端延伸出所述傳輸管道220外；所述接口法蘭250設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸240的底端。參見圖4，每節(jié)所述傳輸管道220的外殼222均設(shè)有外殼通氣孔221和安裝孔223， 通過與所述安裝孔223匹配的螺釘實現(xiàn)各節(jié)所述傳輸管道220之間的連接；所述頂蓋210設(shè)有頂蓋安裝孔211，所述頂蓋210通過該頂蓋安裝孔211與所述傳 輸管道220連接；所述傳輸管道220通過基座固定孔224固定在所述固定基座230上；在所述頂蓋210與所述傳輸管道220連接之處設(shè)有密封圈212，該密封圈212用于 防止所述傳輸管道220內(nèi)的氣體通過所述頂蓋210與所述傳輸管道220之間的縫隙向該氣 體傳輸裝置外泄漏；在各節(jié)所述傳輸管道220之間的連接處亦設(shè)有密封圈225，該密封圈225用于防止 所述傳輸管道220內(nèi)的氣體通過各節(jié)所述傳輸管道220之間的縫隙向該氣體傳輸裝置外泄漏。所述轉(zhuǎn)軸MO的一部分位于所述外殼221內(nèi)，該轉(zhuǎn)軸MO的頂端與所述頂蓋210 連接；所述轉(zhuǎn)軸MO內(nèi)設(shè)有三根通氣管對1，一根所述通氣管241對應(yīng)于一節(jié)所述傳輸管道 220，即一根所述通氣管241與一個所述外殼通氣孔221相對應(yīng)，所述通氣管Ml的一端與 所述接口法蘭250相通，所述通氣管241的另一端設(shè)有開口 M2，所述通氣管241的開口 242 與該通氣管241所對應(yīng)的外殼通氣孔221位于同一水平位置。三節(jié)所述傳輸管道220的外殼222依次疊置環(huán)包形成一空腔，在各節(jié)所述傳輸管 道220內(nèi)設(shè)置隔離機構(gòu)，將該空腔隔離成三個氣體腔室226(—節(jié)所述傳輸管道220內(nèi)有一 個所述氣體腔室226)，各個所述氣體腔室2 之間應(yīng)具有良好的密封性，即各個所述氣體 腔室2 之間互相不漏氣；每節(jié)所述傳輸管道220的隔離機構(gòu)設(shè)置在該節(jié)所述傳輸管道220中所述外殼通氣 孔221的下方；所述隔離機構(gòu)包括一內(nèi)殼310、磁流體320、兩個阻擋墊圈330、兩個軸承340、兩個 卡環(huán)350、一彈性墊圈360和兩個密封圈370 ；所述內(nèi)殼310呈環(huán)狀，所述內(nèi)殼310的外側(cè)壁與所述外殼221的內(nèi)側(cè)壁連接；所述阻擋墊圈330、軸承340、彈性墊圈360和卡環(huán)350依次設(shè)置在所述內(nèi)殼310 的頂端上；所述阻擋墊圈330、軸承340和卡環(huán)350依次設(shè)置在所述內(nèi)殼310的底端下；[0050]在所述內(nèi)殼310的內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸MO的外側(cè)壁之間以及所述兩個阻擋墊圈 330之間設(shè)有所述磁流體320 ；所述兩個密封圈370設(shè)置在所述內(nèi)殼310的內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸MO的外側(cè)壁之 間；所述密封圈370用于防止相鄰所述氣體腔室226內(nèi)的氣體通過所述內(nèi)殼的外側(cè)壁 與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間的縫隙相互泄漏，采用兩個密封圈370是為了進一步提高密封性 能；所述內(nèi)殼310優(yōu)選磁性材料制成，所述阻擋墊圈330優(yōu)選塑料材料制成，所述內(nèi)殼 310和兩個阻擋墊圈330用作盛裝所述磁流體320的容器，所述阻擋墊圈330用于防止所述 磁流體320沿所述轉(zhuǎn)軸MO的外側(cè)壁泄漏；所述磁流體320用作密封材料，防止相鄰所述氣體腔室226內(nèi)的氣體沿所述轉(zhuǎn)軸 240的外側(cè)壁互相泄漏；所述軸承340用于減小所述轉(zhuǎn)軸240轉(zhuǎn)動時受到的阻力；所述卡環(huán)350用于固定所述隔離機構(gòu)的位置；所述彈性墊圈360用于壓緊所述內(nèi)殼310、阻擋墊圈330和軸承340。本實用新型的氣體傳輸裝置工作時，所述轉(zhuǎn)軸240旋轉(zhuǎn)運動，其他部件則靜止不 動，所述轉(zhuǎn)軸240旋轉(zhuǎn)時會吸引所述磁流體320，使所述磁流體320緊緊吸附在所述轉(zhuǎn)軸 240的外側(cè)壁上，因此，使用磁流體作密封材料具有良好的密封性能，另外，所述磁流體320 與所述轉(zhuǎn)軸240之間的摩擦力不會對所述磁流體320產(chǎn)生磨損作用，長時間使用也不會損 壞而產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，因此，使用磁流體作密封材料使用壽命長；所述轉(zhuǎn)軸240轉(zhuǎn)動時，所述 阻擋墊圈330與所述轉(zhuǎn)軸240之間的摩擦力會阻礙所述轉(zhuǎn)軸240轉(zhuǎn)動，增加所述軸承340 可減小所述轉(zhuǎn)軸240轉(zhuǎn)動時受到的阻力；所述密封圈370始終處于靜止不動的狀態(tài)，因此， 所述密封圈370與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間沒有摩擦力，不會損壞所述密封圈370而破壞密 封圈的密封性；所述彈性墊圈360使所述內(nèi)殼310、阻擋墊圈330和軸承340之間位置更緊 密，克服所述轉(zhuǎn)軸240旋轉(zhuǎn)對這些部件產(chǎn)生的影響。本實用新型的氣體傳輸裝置結(jié)構(gòu)簡單、裝卸方便。本實用新型的氣體傳輸裝置特別適用于抽真空和傳輸壓縮氣體。在上述實施例中，所述轉(zhuǎn)軸MO內(nèi)設(shè)有三根通氣管M1，即所述氣體傳輸裝置是三 通道氣體傳輸裝置，然而應(yīng)當認識到，本發(fā)明的通氣管的數(shù)量不限于三根，所述通氣管Ml 的數(shù)量還可以為一根、兩根或更多根。
權(quán)利要求1.一種氣體傳輸裝置，用于在轉(zhuǎn)動中進行多通道氣體輸送，包括依次疊置的多節(jié)傳輸 管道和一部分設(shè)置在所述傳輸管道內(nèi)的轉(zhuǎn)軸，每節(jié)所述傳輸管道包括外殼和設(shè)置所述外殼 內(nèi)的隔離機構(gòu)，其特征在于，所述隔離機構(gòu)包括一內(nèi)殼、磁流體、第一阻擋墊圈、第二阻擋墊 圈、第一卡環(huán)、第二卡環(huán)和至少一密封圈；所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁連接；所述第一阻擋墊圈和第一卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的頂端上；所述第二阻擋墊圈和第二卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的底端下；所述磁流體位于所述內(nèi)殼的內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)壁以及所述第一阻擋墊圈與第 二阻擋墊圈之間；所述密封圈設(shè)置在所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述隔離機構(gòu)還包括彈性墊圈，所 述彈性墊圈設(shè)置在所述第一卡環(huán)與所述第一阻擋墊圈之間。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述隔離機構(gòu)還包括第一軸承和 第二軸承；所述第一軸承設(shè)置在所述第一卡環(huán)與所述第一阻擋墊圈之間；所述第二軸承設(shè) 置在所述第二卡環(huán)與第二阻擋墊圈之間。
4.如權(quán)利要求2所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述隔離機構(gòu)還包括第一軸承和 第二軸承；所述第一軸承設(shè)置在所述彈性墊圈與所述第一阻擋墊圈之間；所述第二軸承設(shè) 置在所述第二卡環(huán)與第二阻擋墊圈之間。
5.如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述內(nèi)殼為磁 性內(nèi)殼。
6.如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述第一阻擋 墊圈和第二阻擋墊圈均采用塑料制成。
7.如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述內(nèi)殼的外 側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有兩個密封圈。
專利摘要本實用新型的氣體傳輸裝置包括依次疊置的多節(jié)傳輸管道和一部分設(shè)置在所述傳輸管道內(nèi)的轉(zhuǎn)軸，每節(jié)所述傳輸管道包括外殼和設(shè)置所述外殼內(nèi)的隔離機構(gòu)，所述隔離機構(gòu)包括一內(nèi)殼、磁流體、第一阻擋墊圈、第二阻擋墊圈、第一卡環(huán)、第二卡環(huán)和至少一密封圈；所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁連接；所述第一阻擋墊圈和第一卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的頂端上；所述第二阻擋墊圈和第二卡環(huán)依次設(shè)置在所述內(nèi)殼的底端下；所述磁流體位于所述內(nèi)殼的內(nèi)側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)壁以及所述第一阻擋墊圈與第二阻擋墊圈之間；所述密封圈設(shè)置在所述內(nèi)殼的外側(cè)壁與所述外殼的內(nèi)側(cè)壁之間。本實用新型的氣體傳輸裝置密封效果好且耐用。
文檔編號H01L21/304GK201841468SQ201020564818
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者張芳余 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司