專利名稱：基片對位上載裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種基片對位上載裝置，尤其涉及一種對位可靠的基片上載裝置。
背景技術：
玻璃基材等薄板已廣泛用于制造IXD-TFT顯示屏、有機發光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管， 這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統可包括一或多個制程處理室，以進行前述所述制程。目前趨勢面板加工朝向大面積基材尺寸發展，以使基材上可形成更多顯示器、或制造更大型的顯示器以及更大型的太陽能面板。由于此類制程的工藝要求比較嚴格，即必須在真空狀態下以及完全潔凈的空間環境中進行，如有機發光二極管的蒸鍍制程，其沉積物為呈蒸汽狀的有機物質，如有空氣、水汽等存在的話極易與有機蒸鍍材料發生反應進而改變基材上的沉積物成分，影響其發光效應；再如，磁控濺射沉積制程過程中，等離子體輝光放電后相互撞擊空間內惰性氣體使離子化程度達到雪崩狀態，從而大面積、大范圍的撞擊金屬靶材，金屬原子或/和原子團脫離靶材在磁力引導下沉積到基底上，然此過程如密封不好、真空環境不足將嚴重影響輝光放電的程度，同時空氣中的氧氣和水汽也會將靶材侵蝕，導致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄膜受到影響；類此種種玻璃等基材的鍍膜、覆膜制程，都必須要保證整個制程的真空系統的絕對可靠性。這樣，在此類制程中，在真空環境下完成基片上載就凸顯了重要意義。傳統的基片上載裝置包括真空腔體和位于真空腔體內的基片載臺和機械手，在真空環境下通過機械手將輸入至基片載臺的基片傳輸至相關的制程處理室內，然而這種基片上載裝置具有以下缺陷一方面，基片載臺不能在水平方向移動，需要靠真空腔體外部的傳動機構將基片通過輸入口輸送至真空腔體內的基片載臺上，將上述傳動機構退出真空腔體，關閉輸入口的閘門，然后開始基片上載操作，在此過程中需要外部的傳動機構進入真空腔體中，影響真空腔體內的潔凈度和真空腔體的氣密性；另一方面，通過機械手傳輸基片時，機械手只能抓住基片的一端，在傳輸過程中基片往往會出現抖動傾斜等問題，使得傳輸過程不穩定，影響基片上載的安全性；再一方面，通過機械手將基片從真空腔體的輸出口輸送出去，由于機械手抓取基片的位置并不固定，只能將基片輸送至大概的位置，不能保證放置基片的位置準確。因此，急需一種保證基片上載的整個過程中腔體內一直維持在穩定的真空狀態下，且安全、潔凈、對位可靠的基片上載裝置。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種上載過程維持在真空狀態下，且安全、潔凈、對位可靠的基片對位上載裝置。為了實現上有目的，本實用新型公開了一種基片對位上載裝置，用于真空環境下上載基片，該基片上載裝置包括真空腔體、夾持機構，及位于所述真空腔體內的夾持輸送機構、夾持升降機構、基片輸送機構、基片升降機構和基片對位機構，所述夾持機構用于夾持基片，所述夾持輸送機構帶動所述夾持機構沿水平方向輸入輸出所述真空腔體，所述夾持升降機構驅動所述夾持機構做升降運動，所述基片輸送機構帶動所述基片沿水平方向輸入所述真空腔體，所述基片升降機構位于所述基片下方并驅動所述基片做升降運動，所述基片對位機構調整所述基片在水平方向上的位置。較佳地，所述夾持機構包括夾持板、夾持驅動機構和頂輪機構，所述夾持板上安裝有若干夾子，所述夾持驅動裝置驅動所述頂輪機構做升降運動，所述頂輪機構觸壓所述夾子的頂部并控制所述夾子打開或者關閉。具體地，所述夾持輸送機構包括夾持軌道、電機和齒輪，所述電機與所述齒輪的轉動軸相連并帶動所述齒輪轉動，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述齒輪與所述齒條相嚙合并帶動所述夾持板在所述夾持軌道上移動。更具體地，所述夾持板與所述夾持軌道相接觸的部位安裝有滾輪，所述夾持板通過滾輪在所述夾持軌道上移動，避免夾持板在夾持軌道上移動產生的機械損耗，增加夾持板的使用壽命。較佳地，所述基片輸送機構包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相連并帶動所述蝸輪轉動，所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述基片并帶動所述基片輸入至所述真空腔體。通過導軌類輸送機構來輸送基片，使得基片的中部懸空地承載在輸送部上，易于基片升降機構帶動基片上升。具體地，所述軸套外包裹有橡膠層。橡膠層有效地避免了基片在輸送過程中的損壞。較佳地，所述基片對位機構包括對位固定架、第一對位驅動機構、第二對位驅動機構、第一對位頭和第二對位頭，所述第一對位頭和第二對位頭位于同一水平面且相互垂直， 所述對位固定架上固定安裝有與所述第一對位頭相對的第一對位架和與所述第二對位頭相對的第二對位架，所述第一對位驅動機構控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向移動，所述第二對位驅動機構控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向移動。這種對位機構結構簡單，對位方便。較佳地，所述夾持升降機構包括第一夾持升降機構和第二夾持升降機構，所述第一夾持升降機構與所述夾持輸送機構相連并帶動所述夾持輸送機構做升降運動，所述第二夾持升降機構穿過所述夾持輸送機構并帶動所述夾持機構做升降運動。使用兩個升降機構來帶動夾持機構上升時，先通過第一夾持升降機構將夾持輸送機構上升一端距離，避免基片輸入到真空腔體時撞到夾持輸送機構，再通過第二夾持升降機構帶動夾持機構上升，使得夾持機構夾持基片時，夾持機構與夾持輸送機構相分離，防止夾持機構夾持基片時撞到夾持輸送機構，減少夾持輸送機構的上升高度，并再一定程度上減少的夾持輸送機構的移動空間，有效的節省了真空腔體內的空間。[0015]較佳地，所述基片升降機構包括驅動電機、升降桿和升降板，所述驅動電機與所述升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基片下方并帶動所述基片做升降運動。這種結構簡單，成本低，易于操作。與現有技術相比，本實用新型基片對位上載裝置包括真空腔體、夾持機構、夾持輸送機構、夾持升降機構、基片輸送機構、基片升降機構和基片對位機構，一方面通過真空腔體內的夾持輸送機構和基片輸送機構將夾持機構和基片先后輸送進來，然后關閉真空腔體輸入通道的輸入間閥開始進行基片的上載，使得基片的上載過程中真空腔體一直維持在穩定的真空狀態下，使得基片上載過程保持潔凈；另一方面，開始進行基片上載時，通過夾持升降機構和基片升降機構將夾持機構和基片輸送至基片對位機構上，通過對位機構進行精確對位，使得夾持機構將所述基片輸送至精確的位置，解決了現有技術中難以精確對位的問題，使得基片上載對位可靠；再一方面，夾持機構夾持基片后，通過夾持輸送機構將夾持有基片的夾持機構沿水平方向輸送至真空腔體外，保證了輸送過程穩定性和安全性。總之， 本實用新型基片對位上載裝置可保證基片上載的整個過程中腔體內一直維持在穩定的真空狀態下，且安全、潔凈、對位可靠。
圖1是本實用新型基片對位上載裝置的結構示意圖。圖2是本實用新型基片對位上載裝置另一角度的結構示意圖。圖3是本實用新型所述夾持升降機構和夾持輸送機構的結構示意圖。圖4是本實用新型所述夾持升降機構和夾持輸送機構另一角度結構示意圖。圖5是本實用新型所述基片輸送機構和基片升降機構的結構示意圖。圖6是本實用新型所述基片輸送機構和基片升降機構另一角度的結構示意圖。圖7是本實用新型所述夾持板的俯視圖。圖8是本實用新型所述夾持板的側視圖。圖9是本實用新型所述夾持板另一側視圖。圖10是本實用新型所述夾子的結構示意圖。
具體實施方式
為詳細說明本實用新型的技術內容、構造特征、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖詳予說明。本實用新型所述基片對位上載裝置100用于真空環境下基片16的上載，該基片上載裝置100包括真空腔體10、夾持機構20，及位于所述真空腔體10內的夾持輸送機構30、 夾持升降機構40、基片輸送機構50、基片升降機構60和基片對位機構70。所述夾持機構20 用于夾持基片16，所述夾持輸送機構30帶動所述夾持機構20沿水平方向輸入輸出所述真空腔體10，所述夾持升降機構40驅動所述夾持機構20做升降運動，所述基片輸送機構50 帶動所述基片16沿水平方向輸入所述真空腔體10，所述基片升降機構60位于所述基片16 下方并驅動所述基片16做升降運動，所述基片對位機構70調整所述基片16在水平方向上的位置。參考圖1至圖10，描述本實用新型基片對位上載裝置100的具體結構和功能。
5[0029]參考圖1，所述真空腔體10的側部開設有輸入通道11和輸出通道13，所述輸入通道11上安裝有輸入閘閥12，所述輸出通道13上安裝有輸出閘閥14，當開始基片上載時，向真空腔體10內充氣，直至真空腔體10內的氣壓與腔體外氣壓相等，打開輸入閘閥12，當基片16輸入后，進行抽真空操作，直至真空腔體10內的氣壓與待輸入基片的制程處理室的氣壓相等，打開輸出閘閥14，通過夾持輸送機構30將基片輸出。參考圖1、圖2、圖7至圖10，所述夾持機構20包括夾持板23、夾持驅動機構21 和頂輪機構22，所述夾持板23上具有若干夾子232，所述夾持驅動裝置21驅動所述頂輪機構22做升降動作，所述頂輪機構22觸壓所述夾子232的頂部并控制所述夾子232打開或者關閉。具體地，參考圖7、圖8和圖9，所述夾持板23上安裝有若干夾子232，所述夾持板 23至少一側的側壁開設有齒條231，為了防止夾持板23上升時與基片對位機構70相撞，夾持板23的邊緣開設有若干凹槽，所述夾子232安裝在凹槽內。更具體地，參考圖10，所述夾子232包括固定座Ml、抓手M2、轉動軸M3以及扭轉彈簧M4，所述固定座241上開設有安裝孔M5，所述抓手Ml的頂部彎折，下部呈鉤狀，所述轉動軸243穿過所述抓手M2的本體并安裝在所述固定座241上，所述扭轉彈簧244安裝在所述轉動軸243上，且所述扭轉彈簧244的一端抵觸在所述抓手頂部彎折處的下端，另一端抵觸在固定座241上，夾持基片 16時，向下壓觸抓手242的頂部，所述抓手242繞轉動軸243轉動，所述抓手242的下部向外旋轉打開，將基片16置于抓手M2內，放開抓手242上方的壓力，在扭轉彈簧244的作用下，抓手242繞轉動軸243反向旋轉，抓手242的下部向內旋轉閉合并夾持基片16。具體地，所述夾持驅動機構21包括驅動電機211和驅動桿212，所述頂輪機構22 包括頂輪架222和頂輪221，所述驅動電機211與所述驅動桿212相連并控制所述驅動桿 212伸縮，所述驅動桿212與所述頂輪架222相連并控制所述頂輪架222做升降運動，所述頂輪架222上安裝有所述頂輪221，所述頂輪221位于所述夾子232的上方。打開夾子232 時，所述驅動電機211控制所述驅動桿212伸出，驅動桿212帶動頂輪架222下降，直至頂輪架222上的頂輪221向下抵觸夾子232的頂部，夾子232被打開；關閉所述夾子232時， 所述驅動電機211控制所述驅動桿212縮回，驅動桿212帶動頂輪架222上升，直至頂輪架 222上的頂輪221向上脫離夾子232的頂部，夾子232關閉。參考圖1-圖4，所述夾持輸送機構30包括夾持軌道31、電機32、齒輪33、蝸桿傳動部34，所述電機32與所述齒輪33的轉動軸相連并帶動所述齒輪33轉動，所述齒輪33位于所述夾持軌道31的側邊上，在本實施例中，齒輪33具有三個，分別位于夾持軌道31的前端、中端和末端，中端的齒輪與電機32相連，當所述夾持板23輸入真空腔體10時，先通過夾持升降機構40將夾持輸送機構30升降到輸入通道11的同一水平面上，電機32動作并控制與之相連齒輪33轉動，該齒輪33通過蝸桿傳動部34帶動另兩個齒輪33轉動，齒輪 33與夾持板23側部的齒條231相嚙合并帶動夾持板23在夾持軌道31上移動，直至夾持板 23位于夾持軌道31的中端；輸出夾持板23時，先通過夾持升降機構40將夾持輸送機構30 升降到輸出通道13的同一水平面上，電機32動作并控制齒輪33轉動，齒輪33與齒條231 嚙合并帶動夾持板23在夾持軌道31上向輸出通過13方向移動，直至夾持板23輸出真空腔體10。其中，輸送軌道31的底部開設有供基片16通過的通孔。較佳者，所述夾持板23與所述夾持軌道31相接觸的地方安裝有滾輪233，所述夾持板23通過滾輪233在所述夾持軌道31上移動。參考圖1-圖4，所述夾持升降機構40包括第一夾持升降機構41和第二夾持升降機構42，所述第一夾持升降機構41與所述夾持輸送機構30相連并帶動所述夾持輸送機構 30做升降運動，所述第二夾持升降機構42與所述夾持機構20相連并帶動所述夾持機構20 做升降運動。具體地，所述第一夾持升降機構41包括驅動電機411和升降桿412，所述驅動電機 411與所述升降桿412相連并控制所述升降桿412伸縮動作，所述升降桿412與所述夾持輸送機構30的夾持軌道31相連并帶動所述夾持輸送機構30做升降運動，所述第二夾持升降機構42包括驅動電機421和升降桿422，所述驅動電機421與所述升降桿422相連并控制所述升降桿422伸縮動作，所述升降桿422穿過所述夾持輸送機構30的夾持軌道31并帶動夾持軌道31正上方上的夾持板23做升降運動。參考圖1、圖2、圖5和圖6，所述基片輸送機構50包括輸送部51和驅動部52，所述輸送部51包括導軌511和軸套512，所述軸套512呈階梯狀并安裝在導軌511的前端，所述驅動部52包括蝸桿522和蝸輪521，所述蝸桿522與所述蝸輪521相配合并帶動所述蝸輪521轉動，所述蝸輪的固定在所述導軌511的末端并帶動所述導軌511轉動，所述基片 16承載在所述軸套512上，并隨著導軌511的轉動而移動。較佳者，所述軸套512外包裹有橡膠層，當基片16在軸套512上移動時，橡膠層可以有效的保護基片16的下表面。參考圖1、圖2、圖5和圖6，所述基片升降機構60包括驅動電機61、升降桿62和升降板63，所述驅動電機61與所述升降桿62相連并控制所述升降桿62伸縮動作，所述升降桿51與所述升降板63相連并帶動所述升降板63做升降運動，所述升降板63用于帶動承載在基片輸送機構50上方的基片16上升到基片對位機構70的位置。其中，第一夾持升降機構14、第二夾持升降機構42和基片升降機構60均穿過了同一導向架15。參考圖1、圖2、圖5和圖6，所述基片對位機構70包括對位固定架71、第一對位驅動機構72、第二對位驅動機構73、第一對位頭74、第二對位頭75、安裝在對位固定架71上的第一對位架76和第二對位架77，所述第一對位頭74和第二對位頭75位于同一水平面且相互垂直，所述第一對位頭74與第一對位架76相對，第二對位頭75與第二對位架77相對，所述第一對位驅動機構72控制所述第一對位頭74向所述第一對位架76方向移動，所述第二對位驅動機構73控制所述第二對位頭75向所述第二對位架77方向移動。 具體地，所述第一對位驅動機構72包括驅動電機721和驅動桿722，所述第一對位頭74安裝在驅動桿722末端，所述驅動電機721帶動所述驅動桿722做伸縮動作，所述驅動桿722帶動所述第一對位頭74向所述第一對位架76方向移動；所述第二對位驅動機構 73包括驅動電機731和驅動桿722，所述第二對位頭75安裝在驅動桿732末端，所述驅動電機731帶動所述驅動桿732做伸縮動作，所述驅動桿732帶動所述第二對位頭75向所述第二對位架77方向移動。參考圖1-圖10，詳細描述本實用新型基片對位上載裝置100的工作原理和工作過程。本實用新型基片對位上載裝置100上載基片16的步驟如下(1)將夾持板23水平輸送到真空腔體10內，具體如下給真空腔體10內充氣，直至真空腔體10的氣壓與腔體外的氣壓相等，打開輸入間閥12，將夾持板23通過輸入通道11輸入真空腔體10，夾持輸送機構30的電機32動作并控制齒輪33轉動，齒輪33與夾持板23側部的齒條231相嚙合并帶動夾持板23沿夾持軌道31移動，直至夾持板23輸入到夾持軌道31中端，電機停止運行。(2)將夾持板23上升至基片對位機構70的位置，具體如下第一夾持升降機構的驅動電機411動作并控制升降桿412伸出，升降桿412帶動夾持軌道31上升到適當位置 (本實施例中夾持軌道31被上升至輸出通道13的同一水平面上)，第二夾持升降機構的驅動電機421動作并控制升降桿422伸出，升降桿422穿過夾持軌道31并帶動夾持板31上升，直至夾持板31上升到第一對位架76的位置。(3)將基片16輸送至真空腔體10內，具體如下將基片16通過輸入通道11輸入真空腔體10，基片輸送機構50的蝸桿522轉動，蝸輪521隨之轉動并帶動導軌511轉動，軸套512轉動并帶動基片16沿水平方向輸入到真空腔體10，直至基片16被移動到基片輸送機構50的輸送部51的中端，關閉輸入閘閥12，對真空腔體10進行抽真空操作。(4)將基片上升至基片對位機構70的位置，具體如下當基片16位于基片輸送機構50的中端時，基片升降機構60的升降板63位于基片16的下方，基片升降機構60的驅動電機61動作并帶動升降桿62伸出，升降桿62帶動升降板63上升，并帶動基片16上升， 直至基片16上升到第一對位架76的位置。(5)對基片16進行對位，具體如下第一對位驅動機構72的驅動電機721動作并控制驅動桿722伸出，驅動桿722帶動第一對位頭74向第一對位架76方向移動，第一對位頭74頂觸基片16的一側，直至基片16的另一側抵觸在第一對位架76上；第二對位驅動機構73的驅動電機731動作并控制驅動桿732伸出，驅動桿732帶動第二對位頭75向第二對位架77方向移動，第二對位頭75頂觸基片16的一側，直至基片16的另一側抵觸在第二對位架77上，完成基片16的對位。(6)夾持板23夾持基片16，具體如下夾持驅動機構21的驅動電機211動作并控制驅動桿212伸出，所述驅動桿212帶動帶動頂輪架222下降，直至頂輪架222上的頂輪 221向下觸壓夾子232的頂部，夾子232被打開；基片升降機構50帶動基片16上升，直至基片16位于夾持板23的夾子232內；夾持驅動機構21的驅動電機211動作并控制驅動桿 212縮回，所述驅動桿212帶動帶動頂輪架222上升，直至頂輪架222上的頂輪221脫離夾子232的頂部，夾子232被關閉并夾住基片16的邊緣，基片16被夾持板23夾持。(7)將夾持有基片16的夾持板23輸出真空腔體10。具體如下第二夾持升降機構42的驅動電機421動作并控制升降桿422縮回，升降桿422穿過夾持軌道31并帶動夾持板31下降，直至夾持板31承載在夾持輸送機構30的夾持軌道31上，此時夾持板31與輸出通道13位于同一水平面上；于此同時進行充氣或者抽真空操作，直至真空腔體10內的氣壓與待上載基片的制程處理室氣壓相等，打開輸出閘閥14，夾持輸送機構30的電機32動作，并通過齒輪33帶動夾持板31在夾持軌道31上向輸出通道13方向水平移動，直至夾持有基片16的夾持板輸出真空腔體10，關閉輸出閘閥14。以上所揭露的僅為本實用新型的優選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。
權利要求1.一種基片對位上載裝置，用于真空環境下上載基片，其特征在于，包括真空腔體、夾持機構，及位于所述真空腔體內的夾持輸送機構、夾持升降機構、基片輸送機構、基片升降機構和基片對位機構，所述夾持機構用于夾持基片，所述夾持輸送機構帶動所述夾持機構沿水平方向輸入輸出所述真空腔體，所述夾持升降機構驅動所述夾持機構做升降運動，所述基片輸送機構帶動所述基片沿水平方向輸入所述真空腔體，所述基片升降機構位于所述基片下方并驅動所述基片做升降運動，所述基片對位機構調整所述基片在水平方向上的位置。
2.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持機構包括夾持板、夾持驅動機構和頂輪機構，所述夾持板上具有若干夾子，所述夾持驅動裝置驅動所述頂輪機構做升降運動，所述頂輪機構觸壓所述夾子的頂部并控制所述夾子打開或者關閉。
3.如權利要求2所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持輸送機構包括夾持軌道、電機、齒輪，所述電機與所述齒輪的轉動軸相連并帶動所述齒輪轉動，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述齒輪與所述齒條相嚙合并帶動所述夾持板在所述夾持軌道上移動。
4.如權利要求3所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持板與所述夾持軌道相接觸的部位安裝有滾輪。
5.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片輸送機構包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相配合并帶動所述蝸輪轉動，所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述基片并帶動所述基片輸入至所述真空腔體。
6.如權利要求5所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述軸套外包裹有橡膠層。
7.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片對位機構包括對位固定架、第一對位驅動機構、第二對位驅動機構、第一對位頭和第二對位頭，所述第一對位頭和第二對位頭位于同一水平面且相互垂直，所述對位固定架上固定安裝有與所述第一對位頭相對的第一對位架和與所述第二對位頭相對的第二對位架，所述第一對位驅動機構控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向移動，所述第二對位驅動機構控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向移動。
8.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述夾持升降機構包括第一夾持升降機構和第二夾持升降機構，所述第一夾持升降機構與所述夾持輸送機構相連并帶動所述夾持輸送機構做升降運動，所述第二夾持升降機構位于所述夾持機構下方并帶動所述夾持機構做升降運動。
9.如權利要求1所述的基片對位上載裝置，其特征在于，所述基片升降機構包括驅動電機、升降桿和升降板，所述驅動電機與所述升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基片下方并帶動所述基片做升降運動。
專利摘要本實用新型公開了一種基片對位上載裝置，用于真空環境下上載基片，該基片對位上載裝置包括真空腔體、夾持機構，及位于所述真空腔體內的夾持輸送機構、夾持升降機構、基片輸送機構、基片升降機構和基片對位機構，所述夾持機構用于夾持基片，所述夾持輸送機構帶動夾持機構沿水平方向輸入輸出真空腔體，所述夾持升降機構驅動夾持機構做升降運動，所述基片輸送機構帶動基片沿水平方向輸入真空腔體，所述基片升降機構驅動基片做升降運動，所述基片對位機構調整基片在水平方向上的位置。該基片對位上載裝置可保證基片上載的整個過程中腔體內一直維持在穩定的真空狀態下，且安全、潔凈、對位可靠。
文檔編號H01L21/68GK201956333SQ20102055590
公開日2011年8月31日 申請日期2010年9月30日 優先權日2010年9月30日
發明者劉惠森, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司