專利名稱：貼片設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及種貼片設備，尤指一種適用于半導體晶片，且具有檢測離心紙位 置異常功能的貼片設備。
背景技術：
在目前實務作法中，晶片切割或研磨工藝之前會進行一晶片貼片步驟，亦即在晶 片其中一面貼附上一膠帶，例如藍膜(blue tape)，通過使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在 膠帶上。現有晶片貼片設備主要包括有機臺主體、晶片載臺與滾筒組，后二者皆架設在機 臺主體上。滾筒組主要是利用擴張筒使膠帶可處于展開并拉緊的狀態，利用膠帶卷筒供給 膠帶，利用按壓筒下壓膠帶使其平貼于晶片，以及利用收取卷筒將自膠帶分離的離心紙卷 動回收。然而，在上述現有貼片設備架構下，若發生離心紙位置異常，未被妥善收取導致下 垂現象，可能會使膠帶與離心紙一起貼到晶片，則晶片將產生凸起刮傷、殘膠異常。上述缺 點需重新貼片不僅在設備維修方面所耗損的人力、膠帶使用量異常的增加及機器稼動量下 降都是很大的成本損失。
實用新型內容本實用新型的一目的是提供一種貼片設備，以便能在貼片動作進行前檢測出離心 紙位置異常，避免造成產品不良。為達成上述目的，本實用新型的貼片設備包括有一機臺主體以及架設在機臺主體 的一工件承載臺、一擴張筒、一按壓筒、一膠帶卷筒、一收取卷筒、一光電傳感器與一反射 板。上述按壓筒、膠帶卷筒與收取卷筒皆設置在高于工件承載臺的位置，且擴張筒、按壓筒、 膠帶卷筒、收取卷筒相互平行。本實用新型一種貼片設備，包括一機臺主體；一工件承載臺，架設于該機臺主 體；一擴張筒，架設于該機臺主體；一按壓筒，架設于該機臺主體且高于該工件承載臺；一 膠帶卷筒，架設于該機臺主體且高于該工件承載臺；以及一收取卷筒，架設于該機臺主體且 高于該工件承載臺，其中該擴張筒、該按壓筒、該膠帶卷筒及該收取卷筒相互平行；其特征 在于該貼片設備還包括有一光電傳感器與一反射板皆架設于該機臺主體，且分別位于該 擴張筒與該膠帶卷筒的軸線共平面的相反兩側，該光電傳感器電性連接于一控制器，該光 電傳感器并包括有一出光面，該出光面朝向該反射板。所述的貼片設備，其還包括一傳感器固定架與至少一傳感器鎖附件，該傳感器固 定架包括有至少一調整槽，該光電傳感器包括有至少一傳感器長槽，該至少一傳感器鎖附 件對應穿過該至少一傳感器長槽與該至少一調整槽而鎖入該機臺主體。所述的貼片設備，其還包括一反射板固定架與至少一固定架鎖附件，該反射板固 定于該反射板固定架，該反射板固定架包括有至少一調整槽，該機臺主體包括有至少一機臺長槽，該至少一固定架鎖附件對應穿過該至少一調整槽與該至少一機臺長槽。所述的貼片設備，其中，該反射板是螺鎖固定于該反射板固定架。所述的貼片設備，其中，還包括有一切刀組，架設于該機臺主體，并朝向該工件承 載臺設置。1所述的貼片設備，其中，該工件承載臺開設有多個真空吸附孔。上述光電傳感器與反射板分別位于擴張筒與膠帶卷筒軸心聯機的相反兩側。光電 傳感器電性連接于一控制器，光電傳感器并包括有一出光面，出光面是朝向反射板。通過上述配置，貼片設備在以按壓筒下壓膠帶以使其貼附于工件如晶片之前(例 如擴張筒作用當下)，可先利用光電傳感器獲得實際感光量的信息，再由控制器判斷所接收 感光量信息是否合于標準，不合于標準即判定為狀態異常，并控制按壓筒停止作動。如此即 可確保貼片步驟不會在離心紙狀態異常下續行。此外，還可另外附加設計成當按壓筒作動時，光電傳感器停止作用，如此可避免貼 片過程誤判情形。關于光電傳感器的固定方式，本實用新型的貼片設備還包括一傳感器固定架與至 少一傳感器鎖附件，其中傳感器固定架包括有至少一調整槽，且光電傳感器包括有至少一 傳感器長槽。前述至少一傳感器鎖附件對應穿過至少一傳感器長槽與至少一調整槽而鎖入 機臺主體。關于反射板的固定方式，本實用新型的貼片設備可更包括一反射板固定架與至少 一固定架鎖附件，其中反射板固定于反射板固定架，且反射板固定架包括有至少一調整槽， 機臺主體包括有至少一機臺長槽。前述至少一固定架鎖附件對應穿過至少一調整槽與至少 一機臺長槽。上述反射板可以是螺鎖固定于反射板固定架，或者其它一般常見固定手段例如綁 縛、黏貼、卡合等。本實用新型的貼片設備可更包括有一切刀組，架設于機臺主體，并朝向工件承載 臺設置。當工件經貼片完成，切刀組下移切割多余膠帶。上述工件承載臺可開設有多個真空吸附孔，用以吸附固定工件。本實用新型的有益效果是，所提供的貼片設備主要利用光電傳感器的感光量信號 判斷離心紙是否位置異常，因為離心紙位置異常時光束同時穿過膠帶與離心紙，其透光量 必然相對較小，而離心紙位置正常時光束只穿過膠帶，其透光量必然相對較大，將參考信號 所對應的光量大小設定在上述兩種透光量之間即可輕易判定狀態是否異常。本實用新型除 了可預警狀態異常并防止后續機器錯誤動作，更可避免貼片過程中誤判的情形。
圖1為本實用新型一較佳實施例的貼片設備立體圖；圖2為本實用新型一較佳實施例中光電傳感器、反射板及相關固定架的分解圖；圖3為本實用新型一較佳實施例的貼片設備電性元件連接方塊圖；圖4為本實用新型一較佳實施例的貼片設備于離心紙位置異常時的平面示意圖；圖5為本實用新型一較佳實施例的貼片設備于離心紙位置正常時的平面示意圖；圖6為本實用新型一較佳實施例的貼片設備于按壓筒作動時的平面示意圖；[0028] 圖7為本實用新型一較佳實施例的貼片設備于切刀組作動時的平面示意圖。[0029] [主要元件符號說明][0030] 機臺主體lo支撐托架lol[0031] 托架長槽102工件承載臺11[0032] 真空吸附孔11l擴張筒12[0033] 馬達12l，13l按壓筒13[0034] 膠帶卷筒14收取卷筒15[0035] 導引滾輪16光電傳感器20[0036] 出光面20l傳感器長槽202[0037] 繼電器203反射板2l[0038] 螺孔211固定架22[0039] 第三區段22l第四區段222[0040] 調整槽223，224傳感器固定架23[0041] 第一區段23l第二區段232[0042] 控制器24切刀組3l[0043] 晶片32膠帶33[0044] 離心紙34傳感器鎖附件40[0045] 固定架鎖附件4l鎖附件42，43[0046] 警報器44軸線共平面P具體實施方式
[0047] 參考圖l一3，分別為貼片設備立體圖1光電傳感器1反射板及相關固定架的分解圖1貼片設備電性元件連接方塊圖。本實施例是舉晶片的貼片設備為例說明。貼片設備主要包括有一機臺主體lo及架設于機臺主體lo的貼片相關元件，這些元件包括一工件承載臺111一擴張筒121一按壓筒131一膠帶卷筒141一收取卷筒151一導引滾輪161一切刀組3l1一光電傳感器20及一反射板2l。[0048] 工件承載臺11用于承載晶片，工件承載臺11開設有多個真空吸附孔11l以吸附固定晶片。按壓筒131膠帶卷筒141收取卷筒15及導引滾輪16皆設置高于工件承載臺11。此外，擴張筒121按壓筒131膠帶卷筒141收取卷筒15及導引滾輪16皆相互平行設置。膠帶33從膠帶卷筒14延伸出直到擴張筒12，被擴張筒12拉張開。膠帶33下方的離心紙34則跨過導引滾輪16而卷收在收取卷筒15。[0049] 切刀組3l設置在工件承載臺11上方并朝向工件承載臺11，用于下落切斷對晶片多余的部分膠帶。[0050] 本實施例中，光電傳感器20與反射板2l皆是透過固定架22，23而架設在機臺主體lo，詳細說明如下。傳感器固定架23略呈L形，包括一第一區段23l及自第一區段23l彎折延伸的一第二區段232。第一區段23l是被鎖附件43穿過，鎖附件43再鎖入機臺主體lo，因此傳感器固定架23依靠鎖附件43而被固定至機臺主體lo。第二區段232開設有一組平行的調整槽23l，而光電傳感器20本身亦開設有對應上述調整槽23l的一組傳感器長槽202，透過傳感器鎖附件40同時穿過調整槽23l與傳感器長槽202使得光電傳感器20得以支撐固定在傳感器固定架23。反射板固定架22包括有一第三區段221及自第三區段221彎折延伸的一第四區 段222。第三區段221與第四區段222各開設有一組調整槽223，224，其中調整槽223被固 定架鎖附件41穿過，固定架鎖附件41并鎖入一支撐托架101上的托架長槽102，支撐托架 101屬于機臺主體10的一部分。因此，反射板固定架22依靠鎖附件41而被固定至機臺主 體10。反射板21開設有一組螺孔211，螺孔211被鎖附件42穿過，鎖附件42并鎖入調整 槽224，因此反射板21依靠鎖附件42而被固定至反射板固定架22。由于上述各固定架具有調整槽結構，光電傳感器20與反射板21皆能在系統中進 行位置平移與方位轉動的調整，使其應用彈性更為擴大。光電傳感器20與反射板21分別 設置于擴張筒軸心線與膠帶卷筒軸心線所在共同平面(即軸線共平面P)的相反兩側。光 電傳感器20具有發出光束的出光面201，需將出光面201朝向反射板21以便使所射出光束 能順利自反射板反射回來并被接收。擴張筒12與按壓筒13分別由馬達121，131驅動，而二馬達121，131皆電性連接 至一控制器M而受其控制。光電傳感器20透過一繼電器203而與控制器M電性連接，通 過控制光電傳感器20的作動。控制器M例如一可程序化邏輯控制器(PLC)。當控制器對 判斷光電傳感器20所傳回信號表示異常狀態時，便控制馬達121，131停止，間接使擴張筒 12與按壓筒13停止動作。在本實施例中，當擴張筒12下壓而按壓筒13尚未動作時，控制器M使光電傳感 器20立即開始進行檢測動作。參考圖4，圖中顯示晶片32已放置在工件承載臺11，并因真空吸附孔111的真空 吸力而穩固地定位。在此圖中由于離心紙34異常下垂，亦即處于異常位置，光電傳感器20 所發出光束將同時穿過檢測離心紙34與膠帶33，然后經由反射板21傳回。之后由控制器 24比對所獲得光量信號(代表實際接收的光量大小)是否與代表正常狀態的一參考信號 (代表光束只穿過膠帶所獲得光量大小)一致，當然亦可設定容許誤差范圍。在此情況下必 然得到不一致的比對結果，因而判定離心紙34狀態異常。一旦獲知離心紙34為狀態異常， 控制器M便不會啟動按壓筒13的馬達131，以避免造成貼片錯誤。當然，也可以另外設置 電性連接于控制器M的一警報器44，可設置在機臺10上適當位置，如圖1與圖3所示，警 報器44例如發光式警報器或發聲式警報器，通過讓工作人員實時察覺此狀態異常。參考圖5 7，為一較佳實施例的貼片流程示意圖。圖5中由于離心紙34處于正 常位置，光電傳感器20所發出光束將只穿過膠帶33，最后接收到的光量信號經與前述參考 信號比對必然呈現一致(包括在誤差范圍內的情況)，因而判定離心紙34狀態正常。一旦 獲知離心紙34為狀態正常，控制器M便會啟動按壓筒13的馬達131，開始進行自動貼片作 業。圖6顯示按壓筒13已開始將膠帶33下壓至晶片32其中一面。一旦按壓筒13作 動，控制器M便控制光電傳感器20停止檢測，避免貼片過程中出現誤判。圖7顯示按壓筒13已完成晶片32的貼片步驟，此時切刀組31便會對準預設切割 位置降下，通常在晶片32邊緣處，將膠帶33多余的部分切除，得到完整的貼片晶片。上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的權利范圍自應以申 請專利范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
權利要求1.一種貼片設備，包括 一機臺主體；一工件承載臺，架設于該機臺主體； 一擴張筒，架設于該機臺主體； 一按壓筒，架設于該機臺主體且高于該工件承載臺； 一膠帶卷筒，架設于該機臺主體且高于該工件承載臺；以及一收取卷筒，架設于該機臺主體且高于該工件承載臺，其中該擴張筒、該按壓筒、該膠 帶卷筒及該收取卷筒相互平行； 其特征在于該貼片設備還包括有一光電傳感器與一反射板皆架設于該機臺主體，且分別位于該擴 張筒與該膠帶卷筒的軸線共平面的相反兩側，該光電傳感器電性連接于一控制器，該光電 傳感器并包括有一出光面，該出光面朝向該反射板。
2.如權利要求1所述的貼片設備，其特征在于，還包括一傳感器固定架與至少一傳感 器鎖附件，該傳感器固定架包括有至少一調整槽，該光電傳感器包括有至少一傳感器長槽， 該至少一傳感器鎖附件對應穿過該至少一傳感器長槽與該至少一調整槽而鎖入該機臺主 體。
3.如權利要求1所述的貼片設備，其特征在于，還包括一反射板固定架與至少一固定 架鎖附件，該反射板固定于該反射板固定架，該反射板固定架包括有至少一調整槽，該機臺 主體包括有至少一機臺長槽，該至少一固定架鎖附件對應穿過該至少一調整槽與該至少一 機臺長槽。
4.如權利要求3所述的貼片設備，其特征在于，該反射板是螺鎖固定于該反射板固定
5.如權利要求1所述的貼片設備，其特征在于，還包括有一切刀組，架設于該機臺主 體，并朝向該工件承載臺設置。
6.如權利要求1所述的貼片設備，其特征在于，該工件承載臺開設有多個真空吸附孔。
專利摘要本實用新型公開了一種貼片設備，包括一機臺主體及架設在機臺主體的工件承載臺、擴張筒、按壓筒、膠帶卷筒、收取卷筒、光電傳感器與反射板。光電傳感器與反射板分別位于擴張筒與膠帶卷筒軸心聯機的相反兩側，且光電傳感器電性連接于一控制器，光電傳感器并包括有一出光面，出光面朝向反射板。通過，當光電傳感器感測到的感光量過低，控制器便判定離心紙處于狀態異常，因而作出對應動作例如控制一警報器運作甚至使按壓筒停止作動，以確保貼片動作不會于此異常狀態下繼續進行。
文檔編號H01L21/67GK201853684SQ201020533530
公開日2011年6月1日 申請日期2010年9月14日 優先權日2010年9月14日
發明者呂孟諭 申請人:京隆科技(蘇州)有限公司