專利名稱：硅片料籃傳輸線的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片生產領域，特別是涉及一種硅片料籃傳輸線。
背景技術：
在硅片生產過程中，需要對硅片進行清洗，清洗好的硅片才能應用到相應的設備 中。載片盒和花籃等運載硅片物料的器具都可以稱之為料籃。其中，載片盒用于承載 待洗硅片的工件，花籃用于承載載片盒進入水槽進行清洗操作的工件。在料籃中裝入待洗 的硅片，一起放入全自動槽式硅片清洗機，嚴格按照設定的清洗工藝將線切割后的硅片徹 底清洗干凈。現有的硅片清洗工序里，清洗機之間一般會有狹窄的過道，硅片插片區和硅片包 片區附近總是有很多手推小車，它的作用就是滿載包片區騰空的載片盒和空花籃再由人力 推運到插片區再次使用，然后再把空的手推車推到包片區待裝。因此，在硅片包片區和硅片 插片區必須同時放置空車和滿車頻繁的進行裝載、推運和騰空的循環操作，以實現空籃再 利用。導致大量空間被小車侵占，現場顯得尤為混亂，大量閑置在小車內的空花籃和空載片 盒不能被高效的再利用，物流循環十分緩慢，以及人力資源的浪費和包片區清潔環境的被 破壞。這種手推小車需要人力進行反復推運操作，物流效率低下，大量占用生產空間、惡 化工作環境。如前所述，通常清洗完成后硅片包片環節產生一定量的空載片盒和花籃以后， 插片環節才會派人來將小車推走，再將騰空的小車推回包片環節，物流循環耗時長，浪費生 產空間和人力，降低生產效率。同時，根據統計發現，每臺清洗線至少有一半的載片盒閑置在小車里等待運至插 片區循環使用，載片盒的利用率很低。而且需要購置大量的花籃和載片盒，以滿足生產需 要。而且載片盒造價高、硬度大，在大量堆放、小車推運的過程中容易造成磕碰變形或破損， 造成經濟損失。另外，硅片包片區對環境衛生要求較高，硅片預清洗和插片區的環境較差， 難以達到要求，在兩個區域之間的人員流動和手推小區的進出不可避免地會把插片區的污 垢和粉塵帶到硅片包片區，從而直接影響硅片清洗的質量。因此，如何提高料籃的利用效率，減小硅片的清洗成本，提高硅片的清洗質量，是 本領域技術人員目前需要解決的技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質量。為實現上述目的，本實用新型提供一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃 的輸送帶和用于控制所述輸送帶運行或停止的控制裝置，所述輸送帶前進方向與清洗所述 硅片的清洗機的送料方向相反。[0010]優選地，還包括與所述輸送帶的表面垂直的護欄。優選地，所述輸送帶的寬度與所述料籃的寬度相等。優選地，所述輸送帶的長度略大于所述清洗機的長度。優選地，所述輸送帶由聚四氟乙烯材料形成的長條輸送帶。優選地，所述控制裝置包括檢測所述料籃是否送入或離開所述輸送帶的檢測部 件，和接收所述檢測部件的檢測信號，并控制所述輸送帶運行或停止的控制部件。優選地，所述檢測部件包括設于所述輸送帶進料口的第一檢測部件。優選地，所述檢測部件包括沿所述輸送帶的前進方向依次設置的第二檢測部件和 第三檢測部件，所述第三檢測部件靠近所述輸送帶的出料口。優選地，所述檢測部件具體為光電傳感器。本實用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶，和控制 所述輸送帶運行或停止的控制裝置，其中，輸送帶的前進方向與清洗硅片的清洗機的送料 方向相反。這樣，操作工人可以在插片區在空料籃中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機，經清 洗后進入包片區，負責包片的工人取出硅片，將清空后的料籃放在本實用新型所提供的硅 片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線可 以將空的料籃直接送回插片區，使料籃可以高效的循環使用。硅片料籃傳輸線代替傳統的手推車后，通過控制裝置控制空料籃返回插片區，既 可以減少推手推車的人力，節約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間更 美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區和包片區之間流動，減少插片區的 污垢和粉塵進入包片區，提高包片區的清潔度和硅片的清洗質量。同時，利用硅片料籃傳輸 線還可以減小硅片運送過程中受人為因素的影響，減少料籃變形和破損的可能，減少不必 要的經濟損失。而且，料籃的循環利用效率提高后，可以減少購買料籃的數量，可以進一步 節省企業開支。在一種優選的實施方式中，本實用新型所提供的硅片料籃傳輸線還包括與所述輸 送帶的表面垂直的護欄，以避免料籃在傳輸過程中從輸送帶上滑落，提高料籃傳輸的可靠 性，減小經濟損失。在另一種優選的實施方式中，所述控制裝置包括檢測部件和控制部件，所述檢測 部件用于檢測所述料籃是否送入或離開所述輸送帶，所述控制部件用于接收所述檢測部件 的檢測信號，并控制所述輸送帶運行或停止。當檢測部件檢測到料籃送入輸送帶的信號時， 控制部件控制輸送帶運行，將料籃送至插片區；當檢測部件持續檢測不到料籃送入輸送帶 時，表明輸送帶上料籃較少，控制部件可以控制輸送帶停止運行，以免傳輸線空轉，浪費資 源；當檢測部件檢測到料籃離開輸送帶時，輸送帶運行；當檢測部件持續檢測不到料籃離 開輸送帶時，表明輸送帶上料籃較多，控制部件也可以控制輸送帶停止運行，防止料籃在輸 送帶上堆積太多，減少輸送帶的磨損。
圖1為本實用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實施方式
的結構示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結構示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸線的局部俯視4[0025]圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。
具體實施方式
本實用新型的核心是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質量。本文所涉及的上、下、前、后等方位詞，是以硅片料籃傳輸線處于工作狀態為基準 來定義的，與傳輸線的運行方向相同為前，與傳輸線運行方向相反為后。應當理解，本文中 所采用的方位詞不應當限制本專利的保護范圍。為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案，
以下結合附圖和具體實施 方式對本實用新型作進一步的詳細說明。請參考圖1，圖1為本實用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實施方式
的結構 示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結構示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸 線的局部俯視圖；圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。圖中的箭頭方向均表示輸送 帶的前進方向。本實用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶1，和控制 輸送帶運行或停止的控制裝置，其中，輸送帶1的前進方向與清洗硅片的清洗機的送料方 向相反。這樣，操作工人可以在插片區在空料籃2中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機，經清 洗后進入包片區，負責包片的工人取出硅片，將清空后的料籃2放在本實用新型所提供的 硅片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線 可以將空的料籃2直接送回插片區，使料籃2可以高效的循環使用。硅片料籃傳輸線代替傳統的手推車后，通過控制裝置控制空料籃2返回插片區， 既可以減少推手推車的人力，節約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間 更美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區和包片區之間流動，減少插片區 的污垢和粉塵進入包片區，提高包片區的清潔度和硅片的清洗質量。同時，利用硅片料籃傳 輸線還可以減小硅片運送過程中受人為因素的影響，減少料籃2變形和破損的可能，減少 不必要的經濟損失。而且，料籃2的循環利用效率提高后，可以減少購買料籃2的數量，可 以進一步節省企業開支。在一種具體的實施方式中，本實用新型所提供的硅片料籃傳輸線可以具有與輸送 帶1的表面垂直的護欄3，以避免料籃2在傳輸過程中從輸送帶1上滑落，提高料籃2傳輸 的可靠性，減少經濟損失。進一步地，輸送帶1的寬度可以料籃2的寬度相等，使輸送帶1恰好可以放置料籃 2，從而有效避免料籃2在輸送帶1上竄動，減少料籃2與其它部件的碰撞，從而減少料籃2 變形和損壞的可能，延長料籃2的使用壽命。同時，輸送帶1的長度可以略大于清洗機的長度，使經輸送帶1傳送的料籃2可以 比清洗機輸送的距離更遠，更方便插片工人和包片工人操作，輸送效率更高。具體地，輸送帶1可以由聚四氟乙烯材料形成，聚四氟乙烯具有摩擦系數小、耐磨 性好的特點，利用聚四氟乙烯制作輸送帶1可以減少料籃2和輸送帶1的磨損，使輸送帶1 的使用壽命更長。顯然，輸送帶1可以利用其它材料制作。在一種優選的實施方式中，控制裝置包括檢測部件4和控制部件，檢測部件4用于檢測料籃2是否送入或離開輸送帶1，控制部件用于接收檢測部件4的檢測信號，并根據檢 測信號控制輸送1帶運行或停止。當檢測部件4檢測到料籃2送入輸送帶1的信號時，控 制部件控制輸送帶1運行，將料籃2送至插片區；當檢測部件4持續檢測不到料籃2送入輸 送帶1時，表明輸送帶1上料籃2較少，控制部件可以控制輸送帶1停止運行，以免傳輸線 空轉，浪費資源；當檢測部件4檢測到料籃2離開輸送帶1時，輸送帶1運行；當檢測部件4 持續檢測不到料籃2離開輸送帶1時，表明輸送帶1上料籃2較多，控制部件也可以控制輸 送帶1停止運行，防止料籃2在輸送帶1上堆積太多，減少輸送帶1的磨損。另外，本實用新型中可以采用0. 75KW三相異步電動機為輸送帶1提供動力，還可 以配合使用機械變速箱來方便調節傳輸帶運轉速度。輸送帶1的動力部分和變速方法在本 領域中有多種實現方式，在此不再贅述。以下以光電傳感器為例，對檢測部件進行說明。應當理解，本實用新型所提供的硅 片料籃傳輸線中，其檢測部件包括但不限于光電傳感器。具體地，檢測部件4可以包括設于輸送帶1進料口的第一檢測部件41，該第一檢 測部件41持續檢測不到信號的時間大于預定時間時，控制部件控制輸送帶1停止。即第一 檢測部件41如果在預定時間內都檢測不到有料籃2送上輸送帶1時，控制部件就可以控制 輸送帶1停止。例如，第一光電傳感器持續5分鐘沒有感應到料籃2，則表明輸送帶1上持 續5分鐘都沒有料籃2送入，此時控制部件可以使輸送帶1停止運行，以節約電力，同時也 減少設備磨損。這樣的狀態可以理解為硅片料籃傳輸線處于省電模式。而當進料口處的第 一光電傳感器感應到料籃2時，則控制部件會及時啟動輸送帶1，省電模式結束，進入傳輸 線的工作模式。進一步地，檢測部件4還可以包括沿輸送帶1的前進方向依次設置的第二檢測部 件42和第三檢測部件43，第三檢測部件43靠近輸送帶1的出料口 ；第二檢測部件42和第 三檢測部件43均持續檢測到料籃2信號的時間大于預定時間時，控制部件控制輸送帶1停 止。即可以沿著輸送帶1的運行方向依次設置三個光電傳感器，且第三光電傳感器靠近出 料口，第二光電傳感器位于第一光電傳感器和第三光電傳感器中間。當第二光電傳感器和 第三光電傳感器均持續檢測到料籃2信號，且持續預定時間后，例如持續20秒，第二光電傳 感器和第三光電傳感器都持續檢測到料籃2存在，此時料籃2堆積在輸送帶1上，操作工人 沒有及時將其轉移，這種模式可以理解為傳輸線的堆棧模式。控制部件也可以控制輸送帶 1停止，以減少料籃2與輸送帶1之間的磨損。更優的，可以設置警鈴、燈泡等輔助設備，當硅片料籃傳輸線處于堆棧模式時，警 鈴、燈泡等輔助設備接通，利用聲音、燈光提示操作人員及時卸載料籃2。料籃2被取走后， 堆棧模式結束，警鈴、燈泡等輔助設備斷開，傳輸線再次回到工作模式。顯然，上述的第一檢測部件與第二檢測部件、第三檢測部件可以獨立存在，也可以 同時存在，當同時存在時傳輸線的可靠性更好，工作效率更高。以上對本實用新型所提供的硅片料籃傳輸線進行了詳細介紹。本文中應用了具體 個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本 實用新型的方法及其核心思想。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離 本實用新型原理的前提下，還可以對本實用新型進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也 落入本實用新型權利要求的保護范圍內。
權利要求一種硅片料籃傳輸線，其特征在于，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進方向與清洗所述硅片的清洗機的送料方向相反。
2.根據權利要求1所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，還包括與所述輸送帶(1)的表 面垂直的護欄(3)。
3.根據權利要求2所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的寬度與所述 料籃(2)的寬度相等。
4.根據權利要求3所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的長度略大于 所述清洗機的長度。
5.根據權利要求4所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)由聚四氟乙烯 材料形成的長條輸送帶。
6.根據權利要求1至5任一項所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述控制裝置包 括檢測所述料籃(2)是否送入或離開所述輸送帶(1)的檢測部件(4)，和接收所述檢測部件 ⑷的檢測信號，并控制所述輸送帶⑴運行或停止的控制部件。
7.根據權利要求6所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)包括設于所 述輸送帶(1)進料口的第一檢測部件(41)。
8.根據權利要求7所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)包括沿所述 輸送帶(1)的前進方向依次設置的第二檢測部件(42)和第三檢測部件(43)，所述第三檢測 部件(43)靠近所述輸送帶(1)的出料口。
9.根據權利要求8所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)具體為光電 傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進方向與清洗所述硅片的清洗機的送料方向相反。硅片料籃傳輸線可以將空的料籃直接送回插片區，使料籃可以高效的循環使用。這樣既可以減少推手推車的人力，節約人力資源；又可以使硅片清洗車間更美觀，空間利用效率更高；還可以減少插片區的污垢和粉塵進入包片區，提高包片區的清潔度和硅片的清洗質量。同時，還可以減少料籃變形和破損的可能，減少購買料籃的數量，減少不必要的經濟損失，節省企業開支。
文檔編號H01L21/677GK201699001SQ20102024950
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月30日 優先權日2010年6月30日
發明者田歡, 黃永杰 申請人:英利能源(中國)有限公司