專利名稱：一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能電池用硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法。
背景技術(shù)：
目前，晶體硅太陽能電池用硅片的加工一般都采用多線切割的工藝將長晶后的硅晶體切割成薄片。切割的主要原理是用專用的切割液加入切割刃料碳化硅微粉，二者按一定比例混合后，經(jīng)過分散攪拌，配制成砂漿；砂漿在切片機(jī)中被噴射到砂漿的載體鋼線上， 在鋼線的帶動下對硅棒進(jìn)行切割。采用多線切割加工工藝后的硅片上殘留有大量的砂漿，因此需要用大量的水將硅片表面殘留的砂漿進(jìn)行沖洗，該工藝稱之為預(yù)沖洗工藝。由于切割液為水溶性有機(jī)高分子，水溶性很好，故傳統(tǒng)的預(yù)沖洗技術(shù)都采用水作為溶劑進(jìn)行清洗，該方法不但需要耗費(fèi)大量的水，產(chǎn)生的廢水由于含有大量的切割液，使其 COD濃度很高，增加了后期廢水處理的困難。而且從循環(huán)經(jīng)濟(jì)角度出發(fā)，殘留的砂漿中的切割液和碳化硅可以回收再利用，節(jié)約了其本身的加工過程中的能源消耗和環(huán)境污染。而直接用水沖洗將無法回收，導(dǎo)致浪費(fèi)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種有機(jī)溶劑代替水作為沖洗溶劑的預(yù)沖洗方法，根據(jù)相似相容原理，利用與切割液相似的水溶性有機(jī)高分子作為溶劑，對硅片表面附著的殘留砂漿進(jìn)行沖洗，使砂漿溶解于溶劑中，并通過對該溶劑的回收利用，達(dá)到了減少水資源浪費(fèi)，砂漿循環(huán)利用的目的。本發(fā)明的具體技術(shù)路線是
一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述方法按如下步驟進(jìn)行
1)、有機(jī)沖洗劑經(jīng)加壓后，通過噴嘴噴射到硅片表面進(jìn)行沖洗；
2)、待硅片表面大部分砂漿被沖洗掉后，將硅片浸漬到成分為有機(jī)沖洗劑的浸漬液中進(jìn)行超聲清洗，清洗時間為10分鐘；
3)、超聲清洗后的硅片采用風(fēng)刀吹去表面殘留的浸漬液；
4)、用少量的水清洗硅片表面。所述有機(jī)沖洗劑為水溶性有機(jī)溶劑。所述有機(jī)沖洗劑選自二甘醇、聚乙二醇、乙二醇中的一種或幾種。所述聚乙二醇是聚乙二醇200、聚乙二醇300、聚乙二醇400中的一種或其混合物。步驟3)中的風(fēng)刀壓力為0. IMPa^O. 6MPa。步驟3)中的風(fēng)刀壓力為0. 2MPa。步驟4)中水的清洗時間為5分鐘 15分鐘。步驟4)中水的清洗時間為10分鐘。
預(yù)沖洗工藝的主要目的就是將殘留的大量的粘稠的砂漿從硅片表面沖洗掉，防止其對后到的硅片清洗工藝產(chǎn)生影響。由于切割液為水溶性有機(jī)高分子，水溶性很好，故傳統(tǒng)的預(yù)沖洗技術(shù)都采用水作為溶劑進(jìn)行清洗。而本發(fā)明采用有機(jī)物溶劑作為溶劑，有機(jī)溶劑包括單不限于聚乙二醇-200，300, 400 ；二甘醇，乙二醇等。對硅片表面附著的殘留砂漿進(jìn)行沖洗，使砂漿溶解于溶劑中。而對有機(jī)溶劑進(jìn)行回收利用。從而達(dá)到了減少水資源浪費(fèi)， 砂漿循環(huán)利用的目的。
具體實(shí)施例方式以下列舉一些實(shí)施例來對本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述方法按如下步驟進(jìn)行
1)、有機(jī)沖洗劑經(jīng)加壓后，通過噴嘴噴射到硅片表面進(jìn)行沖洗
2)、待硅片表面大部分砂漿被沖洗掉后，將硅片浸漬到浸漬液中進(jìn)行超聲清洗，清洗時間為10分鐘；
3)、超聲清洗后的硅片采用特制的風(fēng)刀吹去表面殘留的浸漬液；
4)、用少量的水清洗硅片表面。實(shí)施例1
有機(jī)沖洗劑為乙二醇，室溫浸泡10分鐘，0. IMPa壓縮空氣吹干，室溫水沖洗5分鐘，預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例>3%，效果差。實(shí)施例2
有機(jī)沖洗劑為乙二醇室溫浸泡超聲10分鐘，0. 壓縮空氣吹干，室溫水沖洗10分鐘預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例為洲左右，效果一般。實(shí)施例3
有機(jī)沖洗劑為.乙二醇室溫噴淋10分鐘，浸泡超聲10分鐘，0. 2MPa壓縮空氣吹干， 室溫水沖洗15分鐘，預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例<1%，效果好。實(shí)施例4
以上步驟中有機(jī)沖洗劑為聚乙二醇200，風(fēng)刀壓力為0. IMPa，步驟4)中水洗時間為5分鐘。實(shí)施例5
以上步驟中有機(jī)沖洗劑為聚乙二醇300，風(fēng)刀壓力為0. 6MPa,步驟4)中水洗時間為15分鐘。實(shí)施例6
以上步驟中有機(jī)沖洗劑為聚乙二醇400，風(fēng)刀壓力為0. 2MPa，步驟4)中水洗時間為10分鐘。實(shí)施例7
有機(jī)沖洗劑為切割液室溫浸泡10分鐘，壓縮空氣吹干，水沖洗10分鐘，預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例>4%，效果差實(shí)施例8
有機(jī)沖洗劑為切割液室溫浸泡超聲10分鐘，壓縮空氣吹干，水沖洗10分鐘，預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例為洲左右，效果一般。
實(shí)施例9
有機(jī)沖洗劑為切割液室溫噴淋10分鐘，浸泡超聲10分鐘，0. 2MPa壓縮空氣吹干，室溫水沖洗10分鐘，預(yù)沖洗后，清洗的硅片的污片比例<1%，效果好。其中，切割液為乙二醇和二甘醇的混合液。以上實(shí)施例的預(yù)沖洗效果結(jié)果見表1，其中，實(shí)施例3和實(shí)施例8的沖洗效果最好。
權(quán)利要求
1.一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述方法按如下步驟進(jìn)行1)、有機(jī)沖洗劑經(jīng)加壓后，通過噴嘴噴射到硅片表面進(jìn)行沖洗；2)、待硅片表面大部分砂漿被沖洗掉后，將硅片浸漬到成分為有機(jī)沖洗劑的浸漬液中進(jìn)行超聲清洗，清洗時間為10分鐘；3)、超聲清洗后的硅片采用風(fēng)刀吹去表面殘留的浸漬液；4)、用少量的水清洗硅片表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述有機(jī)沖洗劑為水溶性有機(jī)溶劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述有機(jī)沖洗劑選自二甘醇、聚乙二醇、乙二醇中的一種或幾種。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于所述聚乙二醇是聚乙二醇200、聚乙二醇300、聚乙二醇400中的一種或其混合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于步驟3)中的風(fēng)刀壓力為 0. IMPa 0. 6MPa。
6.根據(jù)權(quán)利要求6所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于步驟3)中的風(fēng)刀壓力為0.2MPa。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于步驟4)中水的清洗時間為5分鐘 15分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求8所述的預(yù)沖洗方法，其特征在于步驟4)中水的清洗時間為10分鐘。
全文摘要
本發(fā)明屬于太陽能電池用硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于多線切割后硅片的預(yù)沖洗方法。所述方法按如下步驟進(jìn)行1)有機(jī)沖洗劑經(jīng)加壓后，通過噴嘴噴射到硅片表面進(jìn)行沖洗；2)待硅片表面大部分砂漿被沖洗掉后，將硅片浸漬到成分為有機(jī)沖洗劑的浸漬液中進(jìn)行超聲清洗，清洗時間為10分鐘；3)超聲清洗后的硅片采用風(fēng)刀吹去表面殘留的浸漬液；4)用少量的水清洗硅片表面。根據(jù)相似相容原理，利用與切割液相似的水溶性有機(jī)高分子作為溶劑，對硅片表面附著的殘留砂漿進(jìn)行沖洗，使砂漿溶解于溶劑中，并通過對該溶劑的回收利用，達(dá)到了減少水資源浪費(fèi)，砂漿循環(huán)利用的目的。
文檔編號H01L31/18GK102163645SQ20101055895
公開日2011年8月24日 申請日期2010年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月25日
發(fā)明者余明, 劉偉, 邱昌盛 申請人:浙江昱輝陽光能源有限公司