專利名稱：一種電子軟標簽的蝕刻設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及具有金屬導電電路的電子軟標簽的加工設備，特別是一種電子軟標簽 的蝕刻設備。
背景技術：
隨著電子技術的發展，具有安全防偽功能的電子軟標簽逐漸走入到我們的生活 中，它還同時具有靈敏度高、體積小、成本低等優點。如中國發明專利說明書(授權公告號CN100423026C)公開了 一種高精度射頻軟標 簽。該標簽的基層由一絕緣膜層和在絕緣膜層正面和背面分別貼設的導電層構成，所述的 導電層上具有由電容、導線和解碼點構成的解碼電路，該電容位于由導線構成的線圈外圍， 其特征在于該電容導線和線圈導線的寬度由外向內逐漸減小。該解碼電路上的電容導線 的寬度大于線圈導線的寬度，有利于增加電容區的容量，有利于提高標簽的精度。該線圈導 線寬度由外向內逐漸減小，有利于增加線圈的繞線圈數，進而增長了線圈導線，使線圈的電 感量得到很大的提高，也有利于提高標簽的精度。上述電子軟標簽導電層上的各種形狀和形態的解碼電路主要是通過蝕刻工藝形 成的，進一步說就是將酸性蝕刻介質噴灑到具有金屬導電層的料材上，通過酸腐蝕化學作 用反映掉不必要的金屬導電材料而留下可構成解碼電路的金屬導電材料，這種蝕刻工藝生 產效率較高，特別適合于生產線上連續地制造形成電子軟標簽的解碼電路。現有的電子軟標簽的蝕刻生產設備的結構是這樣的它主要設置在一封閉的具有 較大空間蝕刻室內，該蝕刻室內水平設置有料材輸送線，該料材輸送線主要是由多個送料 輥構成，主要作用是配合位于蝕刻室入口和出口外設置的進料輥和出料輥使料材在蝕刻室 內連續水平輸送；所述的蝕刻室內位于料材水平傳輸路徑的垂直方向上下兩端均分布設置 有多組蝕刻介質噴頭，該噴頭主要用于噴射出酸性蝕刻介質(如鹽酸噴霧)，且該噴頭的噴 射方向均垂直于料材的水平傳輸面，這樣有利于酸性介質均勻且直接噴送到料材上進行蝕 刻反應。使用中，介質噴頭需要設置一定噴射壓力，這樣才能將蝕刻介質有效噴射在料材 上。但是上述蝕刻設備在使用中常常遇到這樣的問題，由于介質噴頭多呈陣列式點狀 分布，且介質噴頭所噴射的蝕刻介質具有一定壓力，因此當這些介質噴射到水平輸送中的 料材上時就容易在料材上形成凹面(如圖1)，這些凹面很容易積聚蝕刻介質而使該部位過 渡蝕刻。特別是當陣列式排列的相鄰兩排噴頭在料材輸送路徑上的間距較大時，介質噴射 后就容易在料材上形成垂直于水平輸送路徑的凹槽，蝕刻介質積聚在凹槽內并順著凹槽向 兩側流出，最終形成的產品就會出現料材中間不能充分蝕刻，而料材兩端出現過度蝕刻的 情況。由此可見，現有的蝕刻設備雖然提高了生產效率，但是蝕刻形成的產品(料材)上仍然 有一些部位不能達到質量要求，造成了廢品率較高的情況。
發明內容
本發明的目的在于提供一種電子軟標簽的蝕刻設備，主要解決現有蝕刻設備容易 在噴頭噴射蝕刻介質時，在料材上形成凹面或凹槽，以致于在某些部位出現蝕刻不充分或 過度蝕刻的技術問題，它有助于提高產品的質量，降低了廢料產生的幾率。為實現上述目的，本發明是這樣實現的。一種電子軟標簽的蝕刻設備，它主要設置在一封閉的具有較大空間蝕刻室內，該 蝕刻室的入口和出口分別設置的進料輥和出料輥；其特征在于所述的蝕刻室內橫向分布 成多個傳輸蝕刻區間，每個傳輸蝕刻區間內均設置有一組高低位置不同的送料輥，這些高 低位置不同的送料輥使料材在傳輸蝕刻區間內呈斜向傳輸；所述的傳輸蝕刻區間內位于料 材傳輸面上下兩側設置有噴射蝕刻介質的噴頭。所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的噴頭的噴射方向均垂直于料 材的水平傳輸面。所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的每個傳輸蝕刻區間內均設置 一噴頭架，該噴頭架的中軸線與料材的斜向傳輸路徑平行且使料材傳輸路徑從噴頭架的中 軸位置穿過，該噴頭架上下兩側均設置有噴頭。所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的相鄰傳輸蝕刻區間內料材的 傳輸路徑上下朝向不同，所述的上下朝向不同是指前一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為 由下而上，后一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由上而下，或者前一個輸蝕刻區間內料 材的傳輸路徑為由上而下，后一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由下而上，依次交替排 列；所述的相鄰傳輸蝕刻區間的交接端公用一個送料輥。所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的各個傳輸蝕刻區間內的高位送 料輥和低位送料輥均位于同一高度，所述的蝕刻室內分別設置有高位送料輥驅動軸和低位送 料輥驅動軸，所述的驅動軸與送料輥之間通過傘形齒輪結構或渦輪蝸桿結構連接驅動。所述的蝕刻室的各傳輸蝕刻區間上端均設置有排氣支管，所述的排氣支管均連接 到一排氣管上。所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的蝕刻室出口外進一步連接浸 泳裝置、沖洗裝置、燈光檢查裝置、熱風烘干裝置。
圖1是現有電子軟標簽蝕刻設備使用中蝕刻介質噴頭在料材上形成凹面的情況 示意圖。圖2是本發明電子軟標簽的蝕刻設備及其蝕刻加工流水線的結構示意圖。圖3是本發明電子軟標簽的蝕刻設備中噴頭架的結構示意圖。
具體實施例方式請參閱圖2、3，本發明公開了一種電子軟標簽的蝕刻設備。如圖所示它主要設置 在一封閉的具有較大空間蝕刻室1內，該蝕刻室1的入口和出口分別設置的進料輥21和出 料輥22。所述的蝕刻室1內橫向分布成多個傳輸蝕刻區間，每個傳輸蝕刻區間內均設置有 一組高低位置不同的送料輥31、32，這些高低位置不同的送料輥31、32使料材在傳輸蝕刻區間內呈斜向傳輸；所述的傳輸蝕刻區間內位于料材傳輸面上下兩側設置有噴射蝕刻介質 的噴頭33。所述的噴頭33的噴射方向最好是垂直于料材的水平傳輸面，其目的主要是為了 縮短蝕刻介質噴射到料材上的距離。如圖3所示，噴頭可以采用這樣的結構設置所述的每個傳輸蝕刻區間內均設置 一噴頭架30，該噴頭架30的中軸線與料材的斜向傳輸路徑平行且使料材傳輸路徑從噴頭 架30的中軸位置穿過，該噴頭架30上下兩側均設置有噴頭33。請繼續參閱圖1，所述的相鄰傳輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑上下朝向不同，所述 的上下朝向不同是指前一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由下而上，后一個輸蝕刻區間 內料材的傳輸路徑為由上而下，或者前一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由上而下，后 一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由下而上，依次交替排列；所述的相鄰傳輸蝕刻區間 的交接端公用一個送料輥。通過以上結構，本發明通過分段交底斜向輸送料材，有利于在相 同的水平傳輸長度上增長料材的傳輸路徑，這樣也有助于增長蝕刻室內蝕刻處理料材的長 度，這種結構非常有利于縮短蝕刻設備的長度，有利于減小蝕刻生產流水線的占地空間。本發明的主要設計思路是在蝕刻室1內將料材的輸送方向由水平方向改變為斜 向輸送方向，其目的主要就是為了解決噴頭噴射蝕刻介質時，在料材上形成凹面或凹槽，以 致于在某些部位出現蝕刻不充分或過度蝕刻的技術問題。雖然噴頭的噴射壓力仍不可避 免地在料材上形成凹面或凹槽，但是這些凹面或凹槽的凹度通常不會很大，而斜向的料材 輸送方向有助于積聚的蝕刻介質從凹面或凹槽往低處流動，這樣就增加了蝕刻介質的流動 性，避免了由于蝕刻介質在凹面或凹槽積聚造成的蝕刻不充分現象。作為一種蝕刻室1內的料材輸送結構，所述的各個傳輸蝕刻區間內的高位送料輥 和低位送料輥均位于同一高度，所述的蝕刻室1內分別設置有高位送料輥驅動軸和低位送 料輥驅動軸，所述的驅動軸與送料輥之間通過傘形齒輪結構或渦輪蝸桿結構連接驅動，這 樣就可以通過兩根驅動軸同步驅動高位送料輥和低位送料輥，結構簡單、驅動效率高。所述的蝕刻室1的各傳輸蝕刻區間上端均設置有排氣支管41，所述的排氣支管41 均連接到一排氣管4上，蝕刻室1內的酸性蝕刻氣體可以通過排氣管4排出蝕刻室并通過 相應的處理裝置進行無害化處理。所述的蝕刻室1出口外進一步連接浸泳裝置5、沖洗裝置6、燈光檢查裝置7、熱風 烘干裝置8，通過浸泳裝置5可以初步去除蝕刻處理后積聚在料材上的蝕刻介質，而通過沖 洗裝置6可以較徹底地去除蝕刻介質，在通過熱風烘干裝置8可以將料材烘干以備后續操作。如上所述，本發明蝕刻設備和蝕刻流水線可以基本消除采用原有蝕刻設備蝕刻處 理后，料材蝕刻不均勻的情況，而且有利于減小設備占地空間，節能環保。綜上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并非用來限定本發明的實施范圍。即凡 依本發明申請專利范圍的內容所作的等效變化與修飾，都應為本發明的技術范疇。
權利要求
1.一種電子軟標簽的蝕刻設備，它主要設置在一封閉的具有較大空間蝕刻室(1)內， 該蝕刻室(1)的入口和出口分別設置的進料輥(21)和出料輥(22)；其特征在于所述的 蝕刻室(1)內橫向分布成多個傳輸蝕刻區間，每個傳輸蝕刻區間內均設置有一組高低位置 不同的送料輥(31、32)，這些高低位置不同的送料輥(31、32)使料材在傳輸蝕刻區間內呈 斜向傳輸；所述的傳輸蝕刻區間內位于料材傳輸面上下兩側設置有噴射蝕刻介質的噴頭 (33)。
2.根據權利要求1所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的噴頭(33)的噴 射方向均垂直于料材的水平傳輸面。
3.根據權利要求1或2所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的每個傳 輸蝕刻區間內均設置一噴頭架(30)，該噴頭架(30)的中軸線與料材的斜向傳輸路徑平行 且使料材傳輸路徑從噴頭架(30)的中軸位置穿過，該噴頭架(30)上下兩側均設置有噴頭 (33)。
4.根據權利要求3所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的相鄰傳輸蝕刻 區間內料材的傳輸路徑上下朝向不同，所述的上下朝向不同是指前一個輸蝕刻區間內料 材的傳輸路徑為由下而上，后一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由上而下，或者前一個 輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由上而下，后一個輸蝕刻區間內料材的傳輸路徑為由下而 上，依次交替排列；所述的相鄰傳輸蝕刻區間的交接端公用一個送料輥。
5.根據權利要求1或2所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的各個傳輸 蝕刻區間內的高位送料輥和低位送料輥均位于同一高度，所述的蝕刻室(1)內分別設置有 高位送料輥驅動軸和低位送料輥驅動軸，所述的驅動軸與送料輥之間通過傘形齒輪結構或 渦輪蝸桿結構連接驅動。
6.根據權利要求1或2所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的蝕刻室(1) 的各傳輸蝕刻區間上端均設置有排氣支管(41)，所述的排氣支管(41)均連接到一排氣管 ⑷上。
7.根據權利要求1或2所述的電子軟標簽的蝕刻設備，其特征在于所述的蝕刻室(1) 出口外進一步連接浸泳裝置(5)、沖洗裝置(6)、燈光檢查裝置(7)、熱風烘干裝置(8)。
全文摘要
本發明涉及具有金屬導電電路的電子軟標簽的加工設備，特別是一種電子軟標簽的蝕刻設備。它主要設置在一封閉的具有較大空間蝕刻室內，該蝕刻室的入口和出口分別設置的進料輥和出料輥；所述的蝕刻室內橫向分布成多個傳輸蝕刻區間，每個傳輸蝕刻區間內均設置有一組高低位置不同的送料輥，這些高低位置不同的送料輥使料材在傳輸蝕刻區間內呈斜向傳輸；所述的傳輸蝕刻區間內位于料材傳輸面上下兩側設置有噴射蝕刻介質的噴頭。它主要解決現有蝕刻設備容易在噴頭噴射蝕刻介質時，在料材上形成凹面或凹槽，以致于在某些部位出現蝕刻不充分或過度蝕刻的技術問題，它有助于提高產品的質量，降低了廢料產生的幾率。
文檔編號H01L21/00GK102094199SQ201010554209
公開日2011年6月15日 申請日期2010年11月23日 優先權日2010年11月23日
發明者黃佳佳 申請人:黃佳佳