專利名稱：時空耦合動態特性分析系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及的是一種半導體制造技術領域的裝置，具體是一種時空耦合動態特性 分析系統。
背景技術：
由于半導體制造系統屬于多工段和多加工區間的加工模式，其加工工藝流程復 雜，在制品品種多、數量大，生產過程存在各種離散、動態、不確定性事件，工件的各工段在 時間和空間位置上相互耦合和相互影響，導致半導體制造系統的生產優化控制困難。而通 過在半導體制造系統的控制系統中對加入半導體制造系統的時空耦合動態特性分析手段 來輔助以上問題的解決，可以有效提高半導體制造系統的控制方法的可行性和性能。半導 體制造系統的時空耦合動態特性分析過程就是根據半導體制造系統的各加工區間的在制 品信息、各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，通過一定的方法去分析半導體 制造系統的時空耦合動態特性，從而獲得半導體制造系統的動態特性穩定閾值區間，以指 導和輔助半導體制造系統的控制方法的選定，提高系統控制方法的可行性和性能。目前一 般的半導體制造車間的動態特性分析評估通常由有經驗的系統控制工程師進行操作實施， 決策控制過程通常結合工作經驗，根據半導體車間的總體在制品信息，對半導體制造系統 的動態特性穩定閾值進行評估，指導系統控制方法的選定和生產過程的運行。經對現有技術文獻的檢索發現，Y. FENG等在《IEEE TRANACTIONS ON AUT0MATICC0NTR0L))(電氣和電子工程師協會自動控制雜志)(2002年47卷7期)1167-1174 頁上發表白勺"Optimal threshold control in discrete failure-prone manufacturing systems”(易于故障的離散制造系統的最優閾值控制研究)，該文中采用馬爾科夫方法對 易于故障的離散制造系統進行檢測分析，并采用數學邏輯推理的方法驗證了 在離散制造 系統的控制過程中考慮到系統的動態特性穩定閾值，可以獲得優化的控制性能指標(總體 生產成本)。但該文中沒有明確提出確定系統動態特性穩定閾值的檢測分析方法。因此，目 前仍然缺乏對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值區間進行定量檢測分析的技 術。
發明內容
本發明針對現有技術存在的上述不足，提供一種時空耦合動態特性分析系統，具 有能夠對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行定量檢測分析的功能，從而為 半導體制造系統的控制提供決策依據，提高半導體制造系統的控制優化能力。本發明是通過以下技術方案實現的，本發明包括⑶I模塊、信息預處理模塊和時 空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，其中GUI模塊接收用戶輸入的系統各加工區間的在 制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，分別輸出給信息預處理 模塊和時空耦合動態特性的穩定閾值分析模塊，信息預處理模塊根據從GUI模塊獲得系統 各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息對輸入信息進行預處理，并將預處理獲得的系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息 輸出到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊從系統 預處理模塊獲得系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息并從GUI模塊獲得 工件在加工區間之間的時延參數和生產任務到達時間間隔參數設定值，并對半導體制造系 統的時空耦合動態特性穩定閾值進行檢測分析處理，并將分析處理獲得的時空耦合動態特 性穩定閾值區間信息輸出到GUI模塊。所述的⑶I模塊為圖形用戶界面，通過該界面可以實現用戶與信息預處理模塊、 時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊的人機交互操作；接收人機交互操作過程中輸入的系 統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，并顯 示半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值分析的最后結果。所述的信息預處理模塊包括在制品信息預處理子模塊、加工區生產率信息預處 理子模塊和生產任務信息預處理子模塊，其中在制品信息預處理子模塊從GUI模塊獲得 半導體制造系統的各加工區的在制品信息，進行加權處理后形成系統在制品信息并輸出到 時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，加工區生產率信息預處理子模塊接收來自GUI模塊 獲得半導體制造系統的各加工區的生產率信息并輸出半導體制造系統的平均生產率信息 到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，生產任務信息預處理子模塊接收來自GUI模塊獲 得半導體制造系統的歷史訂單信息并輸出最小和最大生產任務數量信息到時空耦合動態 特性穩定閾值分析模塊。信息預處理模塊從GUI模塊獲得系統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的 生產率信息和系統生產任務到達信息，通過加權和均值等數學計算方法對輸入信息進行預 處理，并將預處理獲得的系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息輸出到時 空耦合動態特性穩定閾值分析模塊。所述的時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊包括系統負載特性分析子模塊、時 空耦合動態特性分析處理子模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊，其中系統 負載特性分析子模塊分別從GUI模塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工 區間之間的時延參數信息L，并從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息 參數U、最小生產任務數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2，系統負載特性分析 子模塊輸出半導體制造系統的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間 參數信息K1和K2至時空耦合動態特性分析處理子模塊，時空耦合動態特性分析處理子模塊 分別從GUI模塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數 信息L的設定值，并從系統預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小 生產任務數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,以及從系統負載特性分析子模 塊獲得半導體制造系統的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間參數 信息K1和K2,時空耦合動態特性分析處理子模塊輸出半導體制造系統的時空耦合度閾值的 上/下限值參數信息H1Al2至時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊，時空耦合動態特 性穩定閾值分析處理子模塊分別從時空耦合動態特性分析處理子模塊獲得半導體制造系 統的時空耦合度閾值的上/下限值參數信息H1M2,并從GUI模塊獲得工件在加工區間之間 的時延參數信息L，以及從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、 系統在制品信息參數X、最小生產任務數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2，還
5從系統負載特性分析子模塊獲得半導體制造系統的負載度參數信息a，時空耦合動態特性 穩定閾值分析處理子模塊輸出系統時空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z1/ Z2至⑶I模塊。時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊一方面從信息預處理模塊獲得系統在制品 信息、系統生產率信息和系統生產任務信息，另一方面從GUI模塊獲得工件在加工區間之 間的時延參數和生產任務到達時間間隔參數設定值，通過數學計算和邏輯推理的方法對半 導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行分析處理，并將分析處理獲得的時空耦合 動態特性穩定閾值區間信息輸出到GUI模塊。與現有技術相比，本發明具有如下有益效果本發明根據半導體制造系統的各加工區間的在制品信息、各加工區的生產率信息 和生產任務到達信息等，采用數學計算和邏輯推理的方法對半導體制造系統的時空耦合動 態特性穩定閾值區間進行分析處理，確定半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定范圍， 具有較好的動態適應性，提高了半導體制造系統的動態特性穩定范圍取值的準確性，從而 為半導體制造系統的控制提供了更優的參考依據。基于半導體制造企業的實際生產數據進 行動態穩定特性分析并與傳統的基于固定經驗值的評估方法進行比較，半導體制造系統的 動態特性穩定范圍取值的準確性提高了 11. 8% -18%，達到86% -93. 2% (與理想的最佳 動態特性穩定范圍取值之間的相對誤差率控制在6. 8% -14%以內)。因此，對指導半導體 制造系統的優化控制具有明顯的現實意義。
圖1為本發明系統結構圖。
具體實施例方式下面對本發明的實施例作詳細說明，本實施例在以本發明技術方案為前提下進行 實施，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本發明的保護范圍不限于下述的實施 例。本實施例在以下環境中進行工作在一個包括22個加工區的半導體制造系統中， 各加工區間的在制品信息、各加工區的生產率信息和生產任務到達信息等歷史數據，形成 60個工段(3小時/工段)的半導體制造系統信息的樣本數據，分別如表1、表2和表3所
7J\ ο表1半導體制造系統各加工區在制品數量信息樣本
6 表2半導體制造系統各加工區生產率信息樣本 如圖1所示，本實施例包括⑶I模塊、信息預處理模塊和時空耦合動態特性穩定 閾值分析模塊，其中所述的⑶I模塊包括⑶I模塊為客戶所使用的圖形用戶界面。通過該界面可以 實現用戶與信息預處理模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊的人機交互操作；接收 人機交互操作過程中輸入的系統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和 系統生產任務到達信息，并顯示半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值分析的最后結果。所述的信息預處理模塊包括在制品信息預處理子模塊、加工區生產率信息預處 理子模塊和生產任務信息預處理子模塊，其中在制品信息預處理子模塊、加工區生產率信 息預處理子模塊和生產任務信息預處理子模塊為三個并行的信息預處理子模塊。信息預 處理模塊運行過程中，首先，在制品信息預處理子模塊從⑶I模塊獲得半導體制造系統的 各加工區的在制品信息，采用數學加權的方法進行預處理，將預處理形成的系統在制品信 息輸出到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊；其次，加工區生產率信息預處理子模塊從 GUI模塊獲得半導體制造系統的各加工區的生產率信息，采用數學計算的方法進行預處理， 將預處理形成的半導體制造系統的平均生產率信息輸出到時空耦合動態特性穩定閾值分 析模塊。最后，生產任務信息預處理子模塊從GUI模塊獲得半導體制造系統的歷史訂單信 息，采用數學求極值的方法進行處理，將預處理形成的最小和最大生產任務數量信息并輸 出到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊。信息預處理模塊從GUI模塊獲得系統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，通過加權和均值等數學計算方法對輸入信息進行預 處理，并將預處理獲得的系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息輸出到時 空耦合動態特性穩定閾值分析模塊。所述的在制品信息預處理子模塊負責對從GUI模塊輸入的半導體制造系統的m個 加工區的在制品信息進行預處理，采用數學加權的方法對m個加工區的在制品信息值進行 累加處理，獲得半導體制造系統的系統在制品信息參數χ并輸出到時空耦合動態特性穩定 閾值分析處理子模塊。所述的加工區生產率信息預處理子模塊負責對從⑶I模塊輸入的半導體制造系 統的m個加工區的生產率信息進行預處理，采用數學計算的方法對m個加工區的生產率信 息進行加權和求均值處理，形成半導體制造系統的平均生產率信息參數u，并輸出到時空耦 合動態特性的穩定閾值分析模塊的系統負載特性分析子模塊、時空耦合動態特性分析處理 子模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊。所述的生產任務信息預處理子模塊負責對從GUI模塊輸入的半導體制造系統的η 個歷史訂單信息進行預處理，采用數學累加的方法計算每個歷史訂單信息的需求工件的數 量，然后采用最大值和最小值規則從η個歷史訂單信息中選擇最小生產任務數量信息參數 D1和最大生產任務數量信息參數D2,并輸出到時空耦合動態特性的穩定閾值分析模塊的系 統負載特性分析子模塊、時空耦合動態特性分析處理子模塊、時空耦合動態特性穩定閾值 分析處理子模塊。所述的時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊包括系統負載特性分析子模塊、時 空耦合動態特性分析處理子模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊，其中時空 耦合動態特性穩定閾值分析模塊運行過程中，首先，系統負載特性分析子模塊一方面從GUI 模塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數信息L，一 方面從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小生產任務數量 信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2，采用數學運算的方法分析獲得半導體制造系 統的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間參數信息K1和K2,將分析 的結果輸出給時空耦合動態特性分析處理子模塊。其次，時空耦合動態特性分析處理子模 塊一方面從GUI模塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延 參數信息L的設定值，一方面從系統預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參 數U、最小生產任務數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,同時，從系統負載特 性分析子模塊獲得半導體制造系統的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比 率中間參數信息K1和K2，采用數學邏輯運算的方法分析獲得半導體制造系統的時空耦合度 閾值的上/下限值參數信息H1M2,并將分析獲得的時空耦合度閾值的上/下限值參數信息 輸出給時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊。再次，時空耦合動態特性穩定閾值分 析處理子模塊一方面從時空耦合動態特性分析處理子模塊獲得半導體制造系統的時空耦 合度閾值的上/下限值參數信息H1M2,同時從GUI模塊獲得工件在加工區間之間的時延參 數信息L ；另一方面從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、系統 在制品信息參數X、最小生產任務數量信息參數DjP最大生產任務數量信息參數D2,同時從 系統負載特性分析子模塊獲得半導體制造系統的負載度參數信息a，采用數學運算和邏輯 推理的方法，對系統的時空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z/Z2進行分析處理，并系統的時空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z/Z2輸出給GUI模塊。時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊一方面從信息預處理模塊獲得系統在制品 信息、系統生產率信息和系統生產任務信息，另一方面從GUI模塊獲得工件在加工區間之 間的時延參數和生產任務到達時間間隔參數設定值，通過數學計算和邏輯推理的方法對半 導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行分析處理，并將分析處理獲得的時空耦合 動態特性穩定閾值區間信息輸出到GUI模塊。所述的系統負載特性分析子模塊負責對半導體制造系統的負載度參數信息a和 負載比率信息參數K進行分析處理，系統負載特性分析子模塊一方面從GUI模塊獲得生產 任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數信息L的設定值，一方面 從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小生產任務數量信息 參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,采用數學運算的方法計算半導體制造系統的負載 度參數信息a和負載比率信息參數K。針對系統的負載度參數信息a，首先，將半導體制造 系統的平均生產率信息參數u與最小生產任務數量信息參數D1相減后取倒數處理，形成負 載度中間參數信息^ ；然后，將最大生產任務數量信息參數D2與半導體制造系統的平均生 產率信息參數相減后取倒數處理，形成負載度中間參數信息a2 ；最后，將負載度中間參數信 息ai和a2相減并與生產任務到達時間間隔參數信息q進行乘積處理，獲得半導體制造系統 的負載度參數信息a。針對負載比率信息參數K，首先，將最大生產任務數量信息參數D2和 最小生產任務數量信息參數D1進行相減并與系統的負載度參數信息a、工件在加工區間之 間的時延參數信息L進行乘積處理，形成負載比率中間參數信息K1 ；然后將負載比率中間 參數信息K1進行取自然指數e處理，形成負載比率中間參數信息K2 ；最后，將負載比率中間 參數信息K2與負載度中間參數信息％和a2的比值進行乘積處理，形成半導體制造系統的負 載比率信息參數K。系統負載特性分析子模塊獲得的系統的負載度參數信息a、負載比率信 息參數K、以及負載比率中間參數信息K1和K2輸出到時空耦合動態特性分析處理子模塊。所述的時空耦合動態特性分析處理子模塊負責對半導體制造系統的時空耦合度 閾值上/下限值參數信息H1Al2進行分析處理，時空耦合動態特性分析模塊一方面從GUI模 塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數信息L的設定 值，一方面從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小生產任務 數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,同時，從系統負載特性分析子模塊獲得 半導體制造系統的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間參數信息K1 和K2,采用數學邏輯運算的方法獲得半導體制造系統的時空耦合度閾值的上限值參數信息 H1和下限值參數信息H2。針對半導體制造系統的時空耦合度閾值的上限值參數信息H1，首 先，將半導體制造系統的平均生產率信息參數u與最小生產任務數量信息參數D1相減后除 以生產任務到達時間間隔參數信息q處理，形成上限值中間參數信息H11 ；然后，將負載比率 中間參數信息K1取自然指數e后與半導體制造系統的負載比率參數信息K進行乘積處理， 乘積處理的結果加1后與負載度參數信息a的倒數進行乘積處理，形成上限值中間參數信 息H12 ；最后，將上限值中間參數信息H11與H12進行相加處理，形成半導體制造系統的時空耦 合度閾值的上限值參數信息H1。針對半導體制造系統的時空耦合度閾值的下限值參數信息 H2，首先，將最大生產任務數量信息參數D2與半導體制造系統的平均生產率信息參數u相減 后與負載比率信息參數K進行乘積處理，處理的結果除以生產任務到達時間間隔參數信息q處理，形成下限值中間參數信息H21 ；然后，將半導體制造系統的負載比率參數信息K與負 載比率中間參數信息K2進行相加處理，處理的結果與半導體制造系統的負載度參數信息a 的倒數進行乘積處理，形成下限值中間參數信息H22 ；最后，將下限值中間參數信息H21與H22 進行相減處理，獲得半導體制造系統的時空耦合度閾值的下限值參數信息H2。時空耦合動 態特性分析處理子模塊處理形成的半導體制造系統的時空耦合度閾值的上限值參數信息 H1和下限值參數信息H2輸出到時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊。所述的時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊負責對半導體制造系統的時 空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z1A2進行分析處理，時空耦合動態特性穩 定閾值分析處理子模塊一方面從時空耦合動態特性分析處理子模塊獲得半導體制造系統 的時空耦合度閾值的上限值參數信息H1和下限值參數信息H2,同時從GUI模塊獲得工件在 加工區間之間的時延參數L的設定值；另一方面從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的 平均生產率信息參數U、系統在制品信息參數χ、最小生產任務數量信息參數D1和最大生產 任務數量信息參數D2,同時從系統負載特性分析子模塊獲得半導體制造系統的負載度參數 信息a，采用數學運算和邏輯推理的方法，對系統的時空耦合動態特性穩定閾值的上限值參 數信息Z1和下限值參數信息Z2進行分析處理。首先，將半導體制造系統的系統在制品信息 參數χ和負載度參數信息a進行乘積處理后進行取自然指數e處理，處理的結果與半導體 制造系統的時空耦合度閾值的下限值參數信息H2和上限值參數信息H1的比值進行相加處 理，相加處理的結果與半導體制造系統的負載度參數信息a進行乘積處理，乘積處理的結 果形成半導體制造系統穩定閾值判定參數信息G ；其次，將半導體制造系統的最大生產任 務數量信息參數D2和最小生產任務數量信息參數D1進行相減處理，相減處理的結果與工件 在加工區間之間的時延參數信息L進行乘積處理，處理的結果形成系統穩定期望閾值參數 信息< ；然后，將半導體制造系統的時空耦合度閾值的下限值參數信息H2和上限值參數信 息H1的比值取反數后進行取自然對數e處理，處理的結果與半導體制造系統的負載度參數 信息a的倒數進行乘積處理，處理結果形成系統穩定期望閾值信息然后，根據半導體制 造系統穩定閾值判定參數信息G的值對系統穩定閾值區間上/下限值參數信息Z1A2進行 判定處理，當半導體制造系統穩定閾值判定參數信息G大于0，則系統穩定閾值區間上限值 參數信息Z1等于系統穩定期望閾值參數信息Z1*且系統穩定閾值區間下限值參數信息Z2為 0，當半導體制造系統穩定閾值判定參數信息G小于0，則系統穩定閾值區間上限值參數信 息Z1等于系統穩定期望閾值信息筆且系統穩定閾值區間下限值參數信息Z2 MA-Ζ；)最 后，將系統穩定閾值區間處理子模塊的分析處理的系統的時空耦合動態特性穩定閾值的上 限值參數信息Z1和下限值信息Z2參數輸出給GUI模塊。本實施例中時空耦合動態特性的穩定閾值分析模塊對60樣本數據進行系統的時 空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z/Z2進行分析輸出，結果如下表所示表4半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值[H1, H2]輸出
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本實施例系統對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行分析，根據半 導體制造系統的各加工區間的在制品信息、各加工區的生產率信息和生產任務到達信息 等，采用數學計算和邏輯推理的方法對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值區間 進行分析處理，確定半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定范圍，具有較好的動態適應 性，提高了半導體制造系統的動態特性穩定范圍取值的準確性，從而為半導體制造系統的 生產優化控制提供了更優的參考依據。本發明獲得的半導體制造系統的動態特性穩定范圍 取值的準確性提高了 11. 8% -18%，達到86% -93. 2% (與理想的最佳動態特性穩定范圍 取值之間的相對誤差率控制在6. 8% -14%以內)。因此，對指導半導體制造系統的優化控 制具有明顯的現實意義。
權利要求
一種時空耦合動態特性分析系統，其特征在于，包括GUI模塊、信息預處理模塊和時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，其中GUI模塊接收用戶輸入的系統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，分別輸出給信息預處理模塊和時空耦合動態特性的穩定閾值分析模塊，信息預處理模塊根據從GUI模塊獲得系統各加工區間的在制品信息、系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息對輸入信息進行預處理，并將預處理獲得的系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息輸出到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊從系統預處理模塊獲得系統在制品信息、系統生產率信息和系統生產任務信息并從GUI模塊獲得工件在加工區間之間的時延參數和生產任務到達時間間隔參數設定值，并對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行檢測分析處理，并將分析處理獲得的時空耦合動態特性穩定閾值區間信息輸出到GUI模塊。
2.根據權利要求1所述的時空耦合動態特性分析系統，其特征是，所述的GUI模塊為圖 形用戶界面，通過該界面可以實現用戶與信息預處理模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分 析模塊的人機交互操作；接收人機交互操作過程中輸入的系統各加工區間的在制品信息、 系統各加工區的生產率信息和系統生產任務到達信息，并顯示半導體制造系統的時空耦合 動態特性穩定閾值分析的最后結果。
3.根據權利要求1所述的時空耦合動態特性分析系統，其特征是，所述的信息預處理 模塊包括在制品信息預處理子模塊、加工區生產率信息預處理子模塊和生產任務信息預 處理子模塊，其中在制品信息預處理子模塊從GUI模塊獲得半導體制造系統的各加工區 的在制品信息，進行加權處理后形成系統在制品信息并輸出到時空耦合動態特性穩定閾值 分析模塊，加工區生產率信息預處理子模塊接收來自GUI模塊獲得半導體制造系統的各加 工區的生產率信息并輸出半導體制造系統的平均生產率信息到時空耦合動態特性穩定閾 值分析模塊，生產任務信息預處理子模塊接收來自GUI模塊獲得半導體制造系統的歷史訂 單信息并輸出最小和最大生產任務數量信息到時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊。
4.根據權利要求1所述的時空耦合動態特性分析系統，其特征是，所述的時空耦合動 態特性穩定閾值分析模塊包括系統負載特性分析子模塊、時空耦合動態特性分析處理子 模塊、時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊，其中系統負載特性分析子模塊分別從 GUI模塊獲得生產任務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數信息L， 并從信息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小生產任務數量信 息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,系統負載特性分析子模塊輸出半導體制造系統 的負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間參數信息K1和K2至時空耦合 動態特性分析處理子模塊，時空耦合動態特性分析處理子模塊分別從GUI模塊獲得生產任 務到達時間間隔參數信息q和工件在加工區間之間的時延參數信息L的設定值，并從系統 預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、最小生產任務數量信息參數D1 和最大生產任務數量信息參數D2,以及從系統負載特性分析子模塊獲得半導體制造系統的 負載度參數信息a、負載比率信息參數K、以及負載比率中間參數信息&和1(2，時空耦合動態 特性分析處理子模塊輸出半導體制造系統的時空耦合度閾值的上/下限值參數信息H1Al2 至時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊，時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模 塊分別從時空耦合動態特性分析處理子模塊獲得半導體制造系統的時空耦合度閾值的上/下限值參數信息&/吐，并從GUI模塊獲得工件在加工區間之間的時延參數信息L，以及從信 息預處理模塊獲得半導體制造系統的平均生產率信息參數U、系統在制品信息參數X、最小 生產任務數量信息參數D1和最大生產任務數量信息參數D2,還從系統負載特性分析子模塊 獲得半導體制造系統的負載度參數信息a，時空耦合動態特性穩定閾值分析處理子模塊輸 出系統時空耦合動態特性穩定閾值的上/下限值參數信息Z1A2至GUI模塊。
全文摘要
一種半導體制造系統技術領域的時空耦合動態特性分析系統，包括GUI模塊、信息預處理模塊和時空耦合動態特性穩定閾值分析模塊，本發明具有能夠對半導體制造系統的時空耦合動態特性穩定閾值進行定量檢測分析的功能，從而為半導體制造系統的控制提供決策依據，提高半導體制造系統的控制優化能力。
文檔編號H01L21/00GK101916097SQ201010242099
公開日2010年12月15日 申請日期2010年7月30日 優先權日2010年7月30日
發明者吳立輝, 張功, 張潔, 朱瓊 申請人:上海交通大學