專利名稱：一種半導體生產線的廢熱利用裝置及其工作方法
技術領域：
本發明涉及的是能源回收利用的裝置以及工作方法，尤其涉及一種半導體芯片制造廠凈化車間熱源回收利用的裝置和該裝置的工作方法
背景技術：
目前的半導體生產車間多為凈化車間，里面的生產設備容易產生大量的高溫氣體而排放掉，例如廢熱設備(擴散爐、烘箱、空壓機……)排放出來的高溫廢熱溫度一般可以達到80°C左右，如果將這種高溫氣體直接排放到空氣中，那是一種極大的浪費。而一般半導體生產車間對溫度的要求比較高，目前通常使用空調來調節室內溫度，這樣生產成本也會增加。當前經濟發展與資源環境的矛盾日趨尖銳，同時溫室氣體的排放使得全球氣候變暖，進一步加強節能減排工作，是對全球氣候變暖、節省能源的迫切需求，也是我們制造業應該承擔的責任。鑒于以上目前狀況，現在尋找一種既能避免能源浪費，又能降低生產成本的方法具有一定的研究意義。
發明內容
本發明針對以上問題，提供了一種能將生產環節中廢熱產生設備排放出的高溫氣體進行回收利用，并適用于需要特定溫度的生產凈化車間的半導體生產線的廢熱利用裝置及其工作方法。本發明的技術方案是所述生產線包括產生廢熱的設備和凈化車間，它包括排風口、進風口、管路、閥門一 三、溫度感應器和控制器，所述管路將所述產生廢熱的設備、凈化車間、排風口和進風口相連，所述閥門一設在排風口處，所述閥門三設在進風口處，所述閥門二設在產生廢熱的設備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應器包括感應器一、感應器二和感應器三，感應器一設在所述產生廢熱的設備的廢熱出口處，感應器二設在所述凈化車間處，感應器三設在進風口外部；閥門一 三和感應器一 三分別連接控制器。本發明的工作方法為1)、在控制器中設定所述凈化車間目標溫度值為18_28°C ；2. 1)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值小于18°C時，調節閥門一 二的流量，關閉閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值大于28°C時，關閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C。本發明利用管路、閥門將熱源體有效進行回收利用，采取回收管道吸取一定的熱量，通過氣體閥門控制調整風量，進入凈化裝置系統進行精密過濾，調節好所需溫度后送入凈化車間，滿足生產工藝要求。在控制方面實現了智能化，能根據季節變化通過調節氣體管道閥門的啟閉、開合量實現生產車間所需要的溫度。本發明將生產車間能源的循環利用，提高資源利用率，降低生產制造成本，適應低碳環保的生產要求。
圖1本發明的結構示意1中1為閥門一，2為閥門二，3為閥門三。
具體實施例方式本發明如圖1所示，所述生產線包括產生廢熱的設備和凈化車間，它包括排風口、 進風口、管路、閥門一 1、閥門二 2、閥門三3、溫度感應器和控制器，所述管路將所述產生廢熱的設備、凈化車間、排風口和進風口相連，所述閥門一設在排風口處，所述閥門三設在進風口處，所述閥門二設在產生廢熱的設備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應器包括感應器一、感應器二和感應器三，感應器一設在所述產生廢熱的設備的廢熱出口處，感應器二設在所述凈化車間處，感應器三設在進風口外部；閥門一 三和感應器一 三分別連接控制器。本發明的工作方法為1)、在控制器中設定所述凈化車間目標溫度值為18-28°C ；2. 1)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值小于18°C時，調節閥門一 二的流量，關閉閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值大于28°C時，關閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C。具體應用時，按照如圖所示方法設計管路結構，其中生產設備包括凈化室外和凈化室內的生產設備及附屬設備，根據生產車間或者生產規模的不同，可以有多個排風口、多個進風口、多個凈化裝置、多個生產設備、甚至多個凈化車間。生產設備(空壓機、擴散爐、烘箱……)排出的熱源溫度較高(80°C左右)，可以通過管道的吸熱及調節氣體閥門的大小來控制生產車間所需要的溫度。 此法方法適合在冬季使用，冬季天氣比較寒冷，凈化車間內溫度較低，此時可把閥門一1關閉，打開閥門二 2，關閉閥門三3，生產設備排放出的熱氣通過管路進入凈化裝置，凈化后進入凈化車間，調節閥門二 2的大小可控制凈化車間內的溫度。夏季凈化車間溫度偏高，此時可關閉閥門二 2，打開閥門一 1使生產設備產生的熱氣從排風口排出，打開閥門三3使外界空氣進入凈化裝置送入凈化車間，此時的閥門二 2處于關閉狀態。
權利要求
1.一種半導體生產線的廢熱利用裝置，所述生產線包括產生廢熱的設備和凈化車間， 其特征在于，它包括排風口、進風口、管路、閥門一 三、溫度感應器和控制器，所述管路將所述產生廢熱的設備、凈化車間、排風口和進風口相連，所述閥門一設在排風口處，所述閥門三設在進風口處，所述閥門二設在產生廢熱的設備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應器包括感應器一、感應器二和感應器三，感應器一設在所述產生廢熱的設備的廢熱出口處，感應器二設在所述凈化車間處，感應器三設在進風口外部；閥門一 三和感應器一 三分別連接控制器。
2.—種權利要求1所述半導體生產線的廢熱利用裝置的工作方法，其特征在于，其工作方法為1)、在控制器中設定所述凈化車間目標溫度值為18-28°C ；2. 1)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值小于18°C時，調節閥門一 二的流量，關閉閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當控制器接收到溫度感應器一檢測到的溫度數值大于感應器二和感應器三的溫度數值，且感應器三溫度值大于28°C時，關閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應器三溫度值為18-28 °C。
全文摘要
一種半導體生產線的廢熱利用裝置及其工作方法。本發明尤其涉及一種半導體芯片制造廠凈化車間熱源回收利用的裝置和該裝置的工作方法。它包括產生廢熱的設備和凈化車間，包括排風口、進風口、管路、閥門一～三、溫度感應器和控制器，所述管路將所述產生廢熱的設備、凈化車間、排風口和進風口相連，所述閥門一設在排風口處，所述閥門三設在進風口處，所述閥門二設在產生廢熱的設備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應器包括感應器一、感應器二和感應器三，感應器一設在所述產生廢熱的設備的廢熱出口處，感應器二設在所述凈化車間處，感應器三設在進風口外部；閥門一～三和感應器一～三分別連接控制器。本發明將生產車間能源的循環利用，提高資源利用率，降低生產制造成本，適應低碳環保的生產要求。
文檔編號H01L21/00GK102243985SQ20101016847
公開日2011年11月16日 申請日期2010年5月11日 優先權日2010年5月11日
發明者汪良恩 申請人:揚州杰利半導體有限公司