專利名稱：物品搬送設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種物品搬送設備，其設有沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移 動位置的頂側的移動路徑自由移動的物品搬送體，所述物品支撐體相對于設置于頂側的固 定框體自由移動地支撐在向接近所述移動路徑的一側突出的物品傳遞和接收用的突出位 置和向遠離所述移動路徑的一側退后的退后位置，所述物品搬送體構成為在停止于所述物 品裝載移動位置的狀態下相對于所述突出位置的所述物品支撐體進行物品的傳遞和接收。
背景技術：
如上所述的物品搬送設備，在臺面部側上沿著移動路徑設有在作為物品的裝載移 動對象的物品裝載移動用的多個臺，物品搬送體，通過在懸掛物品的狀態下，使自由把持的 把持部升降，進行臺之間的物品搬送。物品支撐體為臨時保管搬送到臺上的物品而設置。物品支撐體相對于設置于移動 路徑的側旁等的固定框體通常位于退后的退后位置，以便不妨礙物品搬送體的移動等。在 將物品保管于物品支撐體或者搬送保管于物品支撐體的物品的情況下，使物品支撐體的位 置從退后位置改變為突出位置，由把持部將物品傳遞到物品支撐體，或者由把持部從物品 支撐體接收物品。如上的物品搬送設備，例如設置于潔凈室內，通過使凈化空氣從頂側向下方側流 通，在塵埃較少、清潔的環境中，由物品支撐體暫時保管物品。因此，如果固定框體等對頂側 到下方側的凈化空氣的流動阻礙大，則會使清潔度下降。因此，傳統物品搬送設備中，物品支撐體具備相對于固定框體在遠近方向上被自 由移動地支撐并在從固定框體向下方延伸后再向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的 左右一對支撐臂體和在左右一對支撐臂體上連結于向接近遠近方向的移動路徑的一側延 伸的部分之間的連結體(參照例如專利文獻1)。左右一對支撐臂體在沿著移動路徑的方 向上隔著比物品的寬度大的間隔設置，使得向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的部分 在遠近方向上的物品全寬范圍內抵接物品的側面部。連結體在遠近方向上隔著間隔設有多 個，多個連結體的各連結體分別構成為抵接物品的底部。在傳統物品搬送設備中，固定框體只需設置左右一對，以便在遠近方向上自由移 動地支撐左右一對支撐臂體的各支撐臂體。因此，能夠減小沿著移動路徑的方向上的固定 框體的寬度，能夠防止固定框體對從頂側到下方側的凈化空氣的流動的大的阻礙。專利文獻1 日本專利公開2007-91463號公報(第17-21頁，圖16 21)
發明內容
在上述的傳統物品搬送設備中，在物品支撐體支撐物品的狀態下，在左右一對支 撐臂體上向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的部分在遠近方向上的物品全寬范圍內 抵接物品的側面部。由此，在沿著移動路徑的方向上，支撐臂體在物品的遠近方向上的全寬 范圍內突出至物品的外側。因此，在沿著移動路徑的方向上，在物品的側部，在物品的遠近方向上的全寬范圍內阻礙向下方側的凈化空氣的流動。因此，存在清潔度降低的可能。此外，在沿著移動路徑的方向上設有多個物品支撐體的情況下，在物品支撐體之 間必須設置用于容許從頂側到下方側的凈化空氣的流動的大的空間。因此，在沿著移動路 徑的方向上，物品支撐體之間存在大的空間，沿著移動路徑的方向上的設置空間變大。本發明著眼于上述問題點構思而成，其目的在于提供一種物品搬送設備，其能夠 在物品支撐體支撐物品的狀態下，防止阻礙從上方側到下方側的凈化空氣的流動，并在抑 制清潔度的降低的同時保管物體。為了達成該目的，本發明的物品搬送設備的第1特征結構為，物品搬送設備設有 沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移動位置的頂側的移動路徑自由移動的物品搬送 體，所述物品支撐體相對于設置于頂側的固定框體自由移動地支撐在向接近所述移動路徑 的一側突出的物品接收用的突出位置和向遠離所述移動路徑的一側退后的退后位置，所 述物品搬送體構成為在停止于所述物品裝載移動位置的狀態下，相對于所述突出位置的所 述物品支撐體進行物品的傳遞和接收，其中，所述物品支撐體具備相對于所述固定框體在 相對于所述移動路徑的遠近方向上被自由移動地支撐并形成為從所述固定框體向下方延 伸的形狀的移動體和以從所述移動體的下端部沿著所述遠近方向延伸的方式設置的載置 體，所述載置體由抵接載置部和移動限制部所構成，所述抵接載置部以在沿著所述移動路 徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小，并從所述移動體的下端部沿著所述遠近方向 延伸的方式設置，所述移動限制部具有以從所述抵接載置部沿著所述移動路徑延伸的方式 設置并抵接于物品的側面部的立壁部分，且以在相對于所述移動路徑的遠近方向上比物品 寬度小的方式形成。S卩，由于物品支撐體具備在遠近方向上自由移動且沿下方側延伸的形狀的移動體 和從該移動體的下端部沿遠近方向延伸的載置體，所以作為固定框體只需具備沿遠近方向 自由移動地支撐移動體的結構即可。由此，在沿著移動路徑的方向上，能夠減小固定框體的 寬度，能夠防止固定框體妨礙從頂側到下方側的凈化空氣的流動。載置體能夠通過抵接載 置部抵接于物品的底部而載置支撐物品，而且，移動限制部的立壁部分抵接沿著移動路徑 的方向的物品的側面部，從而限制沿著移動路徑的方向上的物品的移動。抵接載置部在沿 著移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小，移動限制部在遠近方向上寬度比物 品的寬度小。由此，沿著移動路徑的方向上，突出至物品的外側的部分只有在遠近方向上比 物品的寬度小的移動限制部，在遠近方向上能夠通過移動限制部的兩側部容許凈化空氣向 下方側的流動。并且，由于抵接載置部在沿著移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬 度較小，所以能夠實現物品支撐體的輕量化和成本的降低。據此，能夠實現這樣的物品搬送設備，即能夠在物品支撐體支撐物品的狀態下，防 止阻礙從頂側到下方側的凈化空氣的流動，并在抑制清潔度的降低的同時保管物品，還能 夠實現物品支撐體的輕量化和成本的降低。本發明的物品搬送設備的第2特征結構為，所述物品支撐體在沿著所述移動路徑 方向上以鄰接狀態設有多個。即，如上所述，能夠在物品支撐體支撐物品的狀態下，在沿著移動路徑的方向上的 物品的側部，通過在遠近方向上的移動限制部的兩側部容許凈化空氣向下方側的流動，因 此能夠在沿著移動路徑的方向上盡量地減小物品支撐體相互之間的容許凈化空氣向下方側的流動的空間。由此，能夠在減小沿著移動路徑方向上物品支撐體相互之間的間隔的同 時，設置多個物品支撐體。因此，能夠在沿著移動路徑的方向上在小的空間內效率良好地設 置多個物品支撐體。本發明的物品搬送設備的第3特征結構為，所述抵接載置部形成為在相對于所述 移動路徑的遠近方向上寬度比物品的寬度小，且所述物品搬送設備設有具備以從所述抵接 載置部沿著所述遠近方向延伸的方式設置并抵接物品的側面部的立壁部分、而且形成為在 沿著移動路徑的方向上寬度比所述抵接載置部的寬度小的遠近方向移動限制部。S卩，抵接載置部不僅在沿著移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小， 而且在遠近方向上也以比物品寬度小的方式形成，因此，在物品支撐體未支撐物品的狀態 下，能夠在遠近方向上的抵接載置部和移動路徑之間設置容許凈化空氣向下方側流動的空 間。由此，在物品支撐體未支撐物品的狀態下也能夠防止阻礙凈化空氣向下方側的流動。在 使抵接載置部在沿著移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小的情況下，雖然與 物品的底部抵接的部分減小，但是遠近方向移動限制部的立壁部分抵接遠近方向上的物品 的側面部，能夠限制遠近方向上的物品的移動。因此，能夠在物品支撐體未支撐物品的狀態 下防止阻礙凈化空氣的流動，而且在物品支撐體支撐有物體時能夠穩定支撐物品。本發明的物品搬送設備的第4特征結構為，所述抵接載置部上設置有多個孔部。S卩，在物品支撐體未支撐物品的狀態下能夠通過抵接載置部上的多個孔部容許凈 化空氣向下方側流動。因此，在物品支撐體未支撐物品的狀態下能夠可靠地防止阻礙凈化 空氣的流動。本發明的物品搬送設備的第5特征結構為，所述固定框體配設成在沿著所述移 動路徑的方向和所述遠近方向上與所述退后位置的所述物品支撐體重合。S卩，由于將固定框體設置成在水平方向上與退后位置的物品支撐體重合，所以不 會與物品支撐體分別阻礙凈化空氣向下方側流動，能夠可靠地防止阻礙凈化空氣的流動。本發明的物品搬送設備的第6特征結構為，在頂側以沿著所述移動路徑的方式設 置有在所述遠近方向上隔開間隔的一對支撐固定框體用的支撐軌體，所述固定框體在由所 述一對支撐軌體的各支撐軌體的止擋支撐部止擋支撐的狀態下懸掛支撐在所述一對支撐 軌體上。S卩，在將物品支撐體設置于頂側時，僅由一對支撐軌體的各支撐軌體的止擋支撐 部止擋支撐的狀態下固定固定框體，便能夠以懸掛支撐于頂側的狀態來設置固定框體。由 此，能夠實現物品支撐體的設置作業的簡單化。由于一對支撐軌體沿著移動路徑設置在頂 側，所以在將多個物品支撐體以沿著移動路徑的方向上鄰接的狀態設置的情況下，可以不 逐個對多個物品支撐體的各物品支撐體的固定框體以懸掛支撐于頂側的方式設置，而僅需 將多個物品支撐體的各物品支撐體的固定框體以懸掛支撐在一對支撐軌體上的方式設置。 因此，在將多個物品支撐體以沿著移動路徑的方向上鄰接的狀態設置的情況下，設置作業 的簡單化的效果變大。
圖1是物品搬送設備的俯視圖。圖2是移動車和臺的側面圖。
圖3是移動車的側面圖。圖4是移動車的縱向剖切的正面圖。圖5是設置多個物品支撐體時的立體圖。圖6是物品支撐體的立體圖。圖7是物品支撐體的側面的立體圖。圖8是物品支撐體的分解立體圖。圖9是位于退后位置上的物品支撐體的俯視圖。圖10是位于突出位置上的物品支撐體的俯視圖。
具體實施例方式基于附圖對本發明的物品搬送設備的實施方式進行說明。該物品搬送設備設置于例如具備使凈化空氣從頂側向下方側流通的向下流動式 的凈化空氣通風裝置的潔凈室內。如圖1和圖2所示，物品搬送設備設置有處于經過多個物品處理部1的狀態的導 軌2 (相當于移動路徑)，且沿著該導軌2設有自由移動的移動車3 (相當于物品搬送體)。 移動車3以在多個物品處理部1之間搬送容納半導體基板的容器5(相當于物品)的方式構 成。物品處理部1以對半導體基板的制造過程中的半成品等進行規定的處理的方式構成。移動車3自由升降地配備有以懸掛狀態把持容器5的把持部4。在移動車3停止 的狀態下，通過卷起或展開線6，在靠近移動車3的上升位置與下降位置之間自由升降地設 置把持部4，所述下降位置用于在與設置于移動車3的下方側的物品裝載移動用的臺7之間 進行物品裝載移動。順帶提及，在圖2中，在上方側表示了把持部4從上升位置下降到下降 位置的情況，在下方側表示了把持部4從下降位置上升到上升位置的情況。臺7由設置于載置支撐容器5的臺面部的載置臺構成。臺7用于從移動車3接收 將由物品處理部1進行規定的處理的容器5或者已由物品處理部1進行了規定的處理的容 器5傳遞到移動車3上，且分別對應多個物品處理部1配置。移動車3以以下方式構成在把持部4位于上升位置的狀態下沿著導軌2移動，并 在停止于多個臺7中裝載移動對象的臺7所對應的停止位置的狀態下，通過使把持部4在 上升位置和下降位置之間升降，在臺7之間接收和傳遞容器5。如圖2 圖4所示，導軌2設置成通過導軌用托架固定在頂部的狀態。移動車3 通過前后的連結桿10、11連結位于導軌2的內部空間部的上方車體9和位于導軌2的下方 的下方車體12而構成。上方車體9具備處于與設于導軌2的內部空間部的磁體13鄰近且相對的狀態的 初級線圈14。上方車體9是從由磁體13和初級線圈14構成的線性馬達獲得推進力的線性 馬達式，移動車3以在該推進力的作用下沿著導軌2移動的方式構成。在導軌2的內部空 間部，形成有與上方車體9所具備的走行輪15對應的走行引導面16和與上方車體9所具 備的止擺輪17對應的止擺引導面18。導軌2上設有輸電線19，上方車體9上設有電力接收線圈20，以通過交流電流的 通電在輸電線19上產生磁場，并通過該磁場使電力接收線圈20產生移動車3側需要的電 力，使得輸電線19和電力接收線圈20構成為在非接觸狀態下進行輸電。
該實施方式中，作為驅動上方車體9的方式，舉例說明了從線性馬達獲得推進力 進行驅動的線性馬達形式，然而也可以采用例如以下方式設置驅動走行輪15旋轉的電動 馬達，通過該電動馬達驅動走行輪15旋轉，進而驅動上方車體9。下方車體12由沿著移動車3的前后方向延伸的前后框體21、從前后框體21的前 端位置和后端位置向下方側延伸的前后一對縱框體22所構成。下方車體12從側面觀察形 成為下方側開口的二字形，并在前后方向的中央部配置有把持部4。把持部4設置有相對上方車體9自由升降的升降體23，該升降體23由設置于前后 框體21的升降操作機構M自由進行升降操作地支撐。升降操作機構M通過將4根線6卷繞于在滾筒驅動用馬達25的作用下自由轉動 的旋轉滾筒26上而構成。因此，升降操作機構M構成為通過使旋轉滾筒沈正反旋轉，同 時卷起或者展開4根線6，一邊維持升降體23為大致水平姿勢，一邊進行升降操作。盡管在該實施方式中說明了在旋轉滾筒沈上卷繞線6的例子，但不限于線6，例如 可以使用皮帶，通過在旋轉滾筒26上卷繞皮帶也可以對升降體23進行升降操作。把持部4設有把持容器5的凸緣fe的一對把持具如。而且，把持具4構成為在把 持姿勢(圖3中實線)與解除姿勢(圖3中虛線)之間自由切換，所述把持姿勢下，一對把 持具如在把持動作用馬達27的正反旋轉的作用下在相互接近方向上搖動而把持凸緣5a， 所述解除姿勢下，一對把持具如在相互遠離方向上搖動而解除把持。把持部4繞縱軸芯自 由旋轉地設置在升降體23上，雖然省略圖示，但是設有對把持部4進行旋轉操作的旋轉用 馬達。為了暫時保管搬送到臺7的容器5，在導軌2的側旁，在導軌2的左右兩側設有用 于物品保管的物品支撐體觀，如圖1和圖5所示。而且，設置有沿著導軌2靠近排列的多個 物品支撐體觀。下面基于圖5 圖10對物品支撐體28進行說明。多個物品支撐體觀分別自由改變位置地設置于向靠近導軌2 —側突出的物品接 收和傳遞用的突出位置(參照圖10)和退后到遠離導軌2的一側的退后位置(參照圖9) 之間，在突出位置，所述導軌2從停止于與其相對的物品裝載移動位置的移動車3的把持部 4接收容器5，并向把持部4傳遞容器5。下面將停止于物品裝載移動位置的移動車3的前后方向，即沿著導軌2的方向簡 稱為“前后方向”，并將靠近和遠離停止于物品裝載移動位置的移動車3的方向簡稱為“遠 近方向”。物品裝載移動位置與多個物品支撐體觀的各物品支撐體觀對應確定。在前后方 向上物品支撐體觀的寬度形成為比移動車3的前后一對縱框體22的間隔小。因此，在移 動車3停止于物品裝載移動位置的狀態下，物品支撐體觀能夠在移動車3的前后一對縱框 體22之間插入或脫離。退后位置定位于從導軌2的存在位置向遠近方向偏離的導軌2的側旁，以便在物 品支撐體觀位于退后位置時，其自身以及其所載置支撐的容器5不妨礙移動車3的移動或 把持部4的升降。突出位置定位于與停止于物品裝載移動位置的移動車3上的把持部4在水平方向 上重合的位置，以便在物品支撐體28位于突出位置時，在停止于物品裝載移動位置的移動車3上，能夠在與位于鄰近上升位置的把持部4之間接收和傳遞容器5。如圖5 圖8所示，物品支撐體28，相對于對應于退后位置設置于頂側的固定框體 29，自由移動地支撐在突出位置和后退位置。物品支撐體觀具備相對于固定框體四在遠 近方向上自由移動地被支撐且形成為從固定框體四向下方延伸的形狀的移動體30和從移 動體30的下端部向接近遠近方向上的導軌2的一側延伸設置的載置體31。固定框體四以橫跨在遠近方向上隔開間隔的一對固定框體支撐用的支撐軌體32 的狀態被懸掛支撐。懸掛支撐部33具備分別在遠近方向上的一側和另一側從固定框體四 向上方延伸的立壁部分33a和連結于立壁部分33a的上端部之間的水平連結部分33b。在 一對支撐軌體32的各支撐軌體32上，設有分別止擋支撐水平連結部分33b的遠近方向上 的一端部和另一端部的止擋支撐部32a。固定框體四構成為固定成由一對支撐軌體32的 各支撐軌體32上的止擋支撐部3 止擋支撐的狀態，并懸掛支撐于一對支撐軌體32。將固定框體四于頂側懸掛支撐的結構不限定于上述結構，可進行合適的變更。例 如，在固定框體四的上端部設置螺栓安裝用槽部，將懸掛支撐體的下端部螺栓固定在該螺 栓安裝用槽部中，并將懸掛支撐體的上端部螺栓固定于頂部，由此能夠將固定框體四懸掛 支撐于頂側。移動體30由在遠近方向上下方的寬度比上方寬度小的狀態下以向下方延伸的形 狀形成的左右一對支撐臂體34、連結于左右一對支撐臂體34的上端部之間的上部連結體 35和連結于從左右一對支撐臂體34的上端部向下方延伸的部分之間的中間連結體36構 成。支撐臂體34和中間連結體36上形成有多個孔部，以實現輕量化。在上部連結體35的 前后方向的中央部設置有向上方突出的突出部37，前后方向的一端部上以豎立的狀態設置 有棒狀的連接用被操作體39。突出部37在遠近方向上隔開間隔地設置有2組可繞水平軸 心自由旋轉地支撐于其側面部上的左右一對第1導輥38a，并且，在遠近方向上隔開間隔設 置有2組可繞上下軸心自由旋轉地支撐于其上表面部的左右一對第2導輥38b。固定框體四形成為向下方開口的筒狀，使得在將移動體30的突出部37從下方插 入內部的狀態下，容許突出部37在遠近方向上的移動。固定框體四的下方并未在前后方 向的全長范圍內開口，而是僅中央部開口，設置有從兩側的側壁部29a沿水平方向延伸的 底部^b。固定框體四的底部^b，以在遠近方向上引導被插入到固定框體四的內部的突 起部37所支撐的第1導輥38a的方式構成。固定框體四的上部，沿著遠近方向設有向下 方側突出的導軌部^c。該導軌部四(3以在遠近方向上引導被插入到固定框體四的內部的 突起部37所支撐的第2導輥38b的方式構成。由此，移動體30相對于固定框體四在遠近 方向上自由滑動地被支撐。載置體31由抵接載置部40和移動限制部41所構成，其中，抵接載置部40以在 前后方向上在容器5的寬度范圍內其寬度較小且從移動體30的下端部向遠近方向上接近 導軌2的一側延伸的方式設置，移動限制部41具有以從抵接載置部40沿著前后方向延伸 的方式設置并抵接于容器5的側面部的立壁部分41a，且形成為在遠近方向上比容器5寬度 小。以從在抵接載置部40上相當于容器5的遠近方向上的中央部的位置向前后方向的一 端側和另一端側延伸的方式，設有一對移動限制部41。由此，在物品支撐體觀支撐容器5的狀態下，在前后方向上向容器5的外側突出 的部分僅有移動限制部41上的立壁部分41a，能夠從該立壁部分41a的兩側容許從頂側到下方側的凈化空氣的流動。因此，在物品支撐體觀支撐容器5的狀態下能夠防止阻礙從頂 側到下方側的凈化空氣的流動，能夠在較少塵埃的清潔的環境中保管容器5。如此，通過在 立壁部分41a的兩側設有容許凈化空氣向下方側的流動的空間，如圖1所示，在前后方向 上，能夠使在物品支撐體觀相互之間容許凈化空氣向下方側的流動的空間最小化。由此， 在能夠減小前后方向上物品支撐體觀相互之間的間隔的同時，能夠設置多個物品支撐體 觀。因此，能夠在前后方向上的小的空間中效率良好地設置多個物品支撐體觀。此外，抵接載置部40在前后方向上設置于容器5的中央部，能夠抵接容器5的前 后方向上的中央部而載置并支撐容器5，能夠穩定地支撐容器5。并且，移動限制部41的立 壁部分41a抵接容器5的側面部，能夠限制容器5在前后方向上的移動。抵接載置部40形成為在遠近方向上比容器5寬度小，以在遠近方向上接近導軌2 的一側形成中空空間的方式構成。由此，即使在物品支撐體38未支撐容器5的狀態下，通 過中空空間能夠容許從頂側到下方側的凈化空氣的流動，能夠使物品支撐體觀自身成為 較少塵埃且清潔的環境。抵接載置部40設置有具備從抵接載置部40沿著遠近方向延伸的方式設置并抵接 于容器5的側面部的立壁部分42a、且形成為在前后方向上比抵接載置部40寬度小的遠近 方向移動限制部42。遠近方向移動限制部42在前后方向上設于抵接載置部40的兩端部。 由此，限制遠近方向上的容器5的移動，載置并支撐容器5。抵接載置部40上，為了在定位 容器5的狀態下載置容器5，設有多個定位銷W。定位銷W的配設位置設置成俯視觀察時為 三角形的各角部。抵接載置部40上形成有多個孔部，在物品支撐體38未支撐容器5的狀 態下，能夠容許凈化空氣向下方側的流動，同時實現輕量化。移動體30與抵接載置部40設置成在遠近方向上連續的狀態，且構成為在前后方 向上的寬度相同或者基本相同。固定框體四在前后方向上設置于移動體30的中央部，能夠 平衡良好穩定的狀態下自由移動地支撐移動體30。固定框體四配設成與退后位置的物品 支撐體觀在前后方向以及遠近方向上重復，并且形成為在前后方向上比抵接載置部40寬 度小。由此，在水平方向上，在與物品支撐體觀不同的位置上，不會發生因固定框體四阻 礙凈化空氣向下方側的流動。固定框體四上，設置有在遠近方向上接近停止于物品裝載移動位置的移動車3的 接近位置(參照圖9)和遠離停止于物品裝載移動位置的移動車3的分離位置(參照圖10) 之間自由移動地被支撐的被操作體43。被操作體43與物品支撐體觀聯系，以便在接近位 置上操作物品支撐體觀至退后位置，并在分離位置上操作物品支撐體觀至突出位置。被操作體43的長度方向的中央部樞軸支撐連結于設置于固定框體四的上部的二 字形的基體44，并繞該連結位置即第1搖動軸心Pl自由搖動地設置。被操作體43 —體地 形成為在位于接近位置的狀態下，使從第1搖動軸心Pl向接近移動車3的一側延伸的第1 被操作部分43a和從第1搖動軸心Pl向遠離移動車3的一側延伸的第2被操作部分4 形成上下落差。被操作體43設置成通過圍繞第1搖動軸心Pl的搖動在接近位置和分離位置之間 自由切換，且在接近位置(參照圖9)成為第1被操作部分43a比第1搖動軸心Pl更接近 停止于物品裝載移動位置的移動車3的姿勢。被操作體43的第1被操作部分43a設有在 被操作體43位于接近位置的狀態下沿著與遠近方向交叉的方向向第1搖動軸心Pl側延伸的槽部45。該槽部45以接近停止于物品裝載移動位置的移動車3的一側的頂端沿遠近方 向開口的形狀形成。設置有聯系被操作體43的動作和物品支撐體觀的動作的聯系機構46，使得當被 操作體43位于接近位置時，如圖9所示，使物品支撐體觀位于退后位置，且當被操作體43 位于分離位置時，如圖10所示，使物品支撐體觀位于突出位置。聯系機構46由3個連接臂所構成，即可圍繞上下軸心自由搖動的第1連接臂47、 第2連接臂48和第3連接臂49。第1連接臂47的一端部樞軸支撐地連結于被操作體43 的第2被操作部分43b的一端部，且另一端部樞軸支撐地連結于第2連接臂48的長度方向 的中間部分。第2連接臂48的一端部樞軸支撐地連結于基體44上，且另一端部樞軸支撐 地連結于第3連接臂49的一端部。第3連接臂49的另一端部樞軸支撐地連接于豎立設置 在固定框體四上的聯系用被操作體39上。如圖9和圖10所示，移動車3上設置有用于在退后位置和突出位置之間對物品支 撐體觀進行變更操作的操作部件50。操作部件50由固定于移動車3上且在遠近方向上呈 長形狀的基座51、相對于該基座51在遠近方向上自由移動地設置的長形狀的操作體52和 設置于該操作體52的頂端部的下表面側的卡合輥53所構成。操作部件50構成為通過圖 中省略的致動器的動作使操作體52相對于基座51進退從而進行使卡合輥53在遠近方向 上移動的突出動作和退后動作。順帶提及，移動車3上設置有用于對在移動車3的走行方 向上位于右側的物品支撐體觀進行變更操作的操作部件50和用于對在移動車3的走行方 向上位于左側的物品支撐體觀進行變更操作的操作部件50。卡合輥53的直徑形成為在前后方向上與被操作體43的槽部45的寬度相同或者 比其寬度小。由此，卡合輥53構成為通過遠近方向上的移動自由卡合或脫離被操作體43的 槽部45。操作部件50構成為推拉式，即通過突出動作使卡合輥53卡合于槽部45，將被操 作體43從接近位置向分離位置進行推動操作，且通過退后動作使卡合輥53卡合于槽部45， 將被操作體43從分離位置向接近位置進行牽拉操作，之后使卡合輥53從槽部45脫離。當操作部件50通過突出動作由卡合輥53將被操作體4從接近位置向分離位置操 作時，通過使被操作體43位于分離位置將物品支撐體觀向突出位置操作，使物品支撐體觀 的位置從退后位置變為突出位置。反之，當操作部件50通過退后動作由卡合輥53將被操 作體43從分離位置向接近位置操作時，通過使被操作體43位于接近位置將物品支撐體觀 向退后位置操作，使物品支撐體觀的位置從突出位置變為退后位置。對在退后位置和突出位置之間改變物品支撐體觀的位置時的動作進行說明。如圖9所示，當被操作體43位于接近位置時，由于槽部45的開口部分向遠近方向 開口，所以通過操作部件50進行突出動作，卡合輥53在遠近方向上從移動車3向突出一側 移動，從槽部45的開口嵌入槽部45并卡合。然后，通過卡合輥53在卡合于槽部45的狀態 下在遠近方向上從移動車3向突出一側移動，卡合輥53在按壓槽部45的側壁部的同時移 動，將被操作體43從接近位置向分離位置進行推動操作。當被操作體43從接近位置向分 離位置搖動時，第1連接臂47、第2連接臂48和第3連接臂49依次搖動，使聯系用被操作 體39向接近移動車3的一側移動。因此，通過聯系用被操作體39向接近移動車3的一側移 動，使移動體30滑動移動，如圖10所示，物品支撐體觀的位置從退后位置變為突出位置。如圖10所示，當被操作體43位于分離位置，操作部件50進行退后動作時，卡合輥53在卡合于槽部45的狀態下向接近移動車3的一側移動，卡合輥53在按壓槽部45的側壁 部的同時移動，將被操作體43從分離位置向接近位置進行牽拉操作。被操作體43從分離 位置向接近位置搖動時，第1連接臂47、第2連接臂48和第3連接臂49依次搖動，使聯系 用被操作體39向遠離移動車3的一側移動。因此，通過聯系用被操作體39向遠離移動車 3的一側移動，使移動體30滑動移動，物品支撐體觀的位置從物品傳遞和接收位置變為物 品保管用位置。如圖9所示，被操作體43位于接近位置時，由于槽部45的開口部分向遠近 方向開口，所以通過卡合輥53向接近移動車3的一側移動，卡合輥53脫離槽部45向移動 車3后退。移動車3設有用于控制移動車3的動作的臺車用控制部。而且，臺車用控制部構成 為基于來自管理物品搬送設備整體的動作的管理用計算機的指令以及設置于移動車3上 的各種傳感器的檢測信息，控制移動車3的移動和把持部4的升降動作，并控制把持動作用 馬達27和操作部件50的動作。例如，在多個臺7中指定搬送源和搬送目標的臺7的狀態下，從管理用計算機發 送從搬送源的臺7向搬送目標的臺7搬送容器5的搬送指令的情況下，臺車用控制部構成 為控制移動車3的動作，使得從搬送源的臺7接收容器5，將容器5卸載于搬送目標的臺7。在從搬送源的臺7接收容器5的情況下，首先，臺車用控制部控制移動車3的移 動，使得移動車3移動到對應搬送源的臺7的停止位置。接著，臺車用控制部控制把持部4 的升降動作，使得在移動車3停止在對應搬送源的臺7的停止位置的狀態下，將把持部4從 上升位置下降到下降位置。接著，當把持部4位于下降位置上時，臺車用控制部使把持動作 用馬達27動作，將一對把持具如切換到把持姿勢，由一對把持具如把持容器5的凸緣5a， 接收容器5。之后，臺車用控制部控制把持部4的升降動作，使得把持部4從下降位置上升 到上升位置，然后，控制移動車3的移動，使得移動車3移動到對應搬送目標的臺7的停止 位置。臺車用控制部構成為在移動車3停止在對應搬送目標的臺7的停止位置時，與從 搬送源的臺7接收容器5的情況相同，通過控制把持部4的升降動作和把持動作用馬達27 的動作，將容器5卸載于搬送目標的臺7。另外，針對在多個物品支撐體觀中指定裝載移動對象的物品支撐體觀的狀態下 從管理用計算機向物品支撐體觀發出保管容器5的保管指令的情況進行說明。臺車用控制部首先控制移動車3的移動，使得移動車3移動到對應于裝載移動對 象的物品支撐體觀的物品裝載移動位置。接著，臺車用控制部在使移動車3停止在對應于 裝載移動對象的物品支撐體觀的物品裝載移動位置的狀態下，使操作部件50進行突出動 作。通過操作部件50進行突出動作，使物品支撐體觀的位置從退后位置變為突出位置。臺 車用控制部控制把持部4的升降動作，使得把持部4從上升位置下降到接近于其的位置，然 后，使把持動作用馬達27動作，將一對把持具如切換到解除姿勢，從把持部4將容器5卸 載到位于物品傳遞和接收用位置的物品支撐體觀。之后，臺車用控制部在控制把持部4的 升降動作，使把持部4上升到上升位置，然后，使操作部件50進行退后動作。于是，由于操 作部件50進行退后動作，所以物品支撐體觀的位置從突出位置變為后退位置。針對在多個物品支撐體觀中指定裝載移動的物品支撐體觀的狀態下從管理用計 算機發送取出由物品支撐體28所保管的容器5的取出指令的情況進行說明。
與發送保管指令的情況相同，臺車用控制部通過控制移動車3的移動，使移動車3 停止于對應于裝載移動對象的物品支撐體觀的物品裝載移動位置。接著，臺車用控制部通 過使操作部件50進行突出動作，使物品支撐體觀的位置從物品保管用位置變為物品傳遞 和接收用位置。之后，臺車用控制部控制把持部4的升降動作，使得把持部4從上升位置下 降到接近于其的位置，然后，使把持動作用馬達27動作，將一對把持具如切換到把持姿勢， 使把持部4從物品支撐體觀接收容器5。然后，臺車用控制部控制把持部4的升降動作，使 把持部4上升到上升位置，然后，使操作部件50進行退后動作。通過操作部件50進行退后 動作，使物品支撐體觀的位置從突出位置變為退后位置。[其它實施方式](1)盡管上述實施方式中，物品支撐體觀設置為在突出位置上與位于接近于上升 位置的位置的把持部4之間傳遞和接收容器5，但也可以將物品支撐體觀設置為例如在突 出位置上與位于上升位置的把持部4之間傳遞和接收容器5。此外，對于在突出位置上物品支撐體觀與把持部4之間傳遞和接收容器5的位 置，并不限于接近于上升位置的位置或上升位置，也可以為比上升位置下降設定的高度的 位置。在此情況下，在使物品支撐體觀位于突出位置的狀態下，通過使把持部4從上升位 置僅下降設定的高度，能夠在物品支撐體觀與把持部4之間進行容器5的傳遞和接收。(2)盡管在上述實施方式中，物品支撐體觀沿著導軌2并排的狀態設置有多個，但 對于物品支撐體觀設置數目可以進行合適的變更。此外，對于物品支撐體觀的設置位置， 雖然設置在導軌2的左右兩側，也能夠只設置在導軌2的一側。(3)盡管在上述實施方式中，移動車3上設置有2個操作部件，即用于對位于移動 車3的走行方向右側的物品支撐體觀進行變更操作的操作部件50，和用于對位于移動車 3的走行方向左側的物品支撐體觀進行變更操作的操作部件50，但操作部件50也可以例 如通過在移動車3的走行方向右側和左側的兩側上配備自由進退的卡合輥，從而在移動車 3設置1個操作部件來實施。(4)盡管上述實施方式中，作為物品舉例說明了搬送容納有半導體基板的容器5 的物品搬送裝置，但是可以對搬送的物品進行合適的變更。工業上的可利用性
本發明可適合利用于設有沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移動位置的頂側的 移動路徑自由移動的物品搬送體的物品搬送設備。
權利要求
1.一種物品搬送設備，設有沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移動位置的頂側的 移動路徑自由移動的物品搬送體，所述物品支撐體相對于設置于頂側的固定框體自由移動地支撐在向接近所述移動路 徑的一側突出的物品接收和傳遞用的突出位置和向遠離所述移動路徑的一側退后的退后 位置，所述物品搬送體構成為在停止于所述物品裝載移動位置的狀態下，相對于所述突出位 置的所述物品支撐體，進行物品的傳遞和接收，其中，所述物品支撐體具備相對于所述固定框體在相對于所述移動路徑的遠近方向上被自 由移動地支撐并形成為從所述固定框體向下方延伸的形狀的移動體和以從所述移動體的 下端部沿著所述遠近方向延伸的方式設置的載置體，所述載置體由抵接載置部和移動限制部所構成，所述抵接載置部以在沿著所述移動路 徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小，并從所述移動體的下端部沿著所述遠近方向 延伸的方式設置，所述移動限制部具有以從所述抵接載置部沿著所述移動路徑的方向延伸 的方式設置并抵接于物品的側面部的立壁部分，且以在相對于所述移動路徑的遠近方向上 比物品寬度小的方式形成。
2.根據權利要求1所述的物品搬送設備，其特征在于，所述物品支撐體在沿著所述移 動路徑的方向上以鄰接狀態設有多個。
3.根據權利要求1或2所述的物品搬送設備，其特征在于，所述抵接載置部形成為在相 對于所述移動路徑的遠近方向上寬度比物品的寬度小，所述物品搬送設備設有具備以從所述抵接載置部沿著所述遠近方向延伸的方式設置 并抵接物品的側面部的立壁部分、而且形成為在沿著移動路徑的方向上寬度比所述抵接載 置部的寬度小的遠近方向移動限制部。
4.根據權利要求1 3中任一項所述的物品搬送設備，其特征在于，所述抵接載置部上 設置有多個孔部。
5.根據權利要求1 4中任一項所述的物品搬送設備，其特征在于，所述固定框體配設 成在沿著所述移動路徑的方向和所述遠近方向上與所述退后位置的所述物品支撐體重合。
6.根據權利要求1 5中任一項所述的物品搬送設備，其特征在于，在頂側以沿著所述 移動路徑的方式設置有在所述遠近方向上隔開間隔的一對支撐固定框體用的支撐軌體，所述固定框體在由所述一對支撐軌體的各支撐軌體的止擋支撐部止擋支撐的狀態下 懸掛支撐在所述一對支撐軌體上。
全文摘要
在物品支撐體支撐物品的狀態下防止對從上方側到下方側的凈化空氣的流動的阻礙，在抑制清潔度低下的同時保管物品。物品支撐體(28)具備相對于固定框體(29)在相對于移動路徑的遠近方向上被自由移動地支撐并形成為從固定框體(29)向下方延伸的形狀的移動體(30)和以從移動體(30)的下端部沿著遠近方向延伸的方式設置的載置體(31)，載置體(31)由抵接載置部(40)和移動限制部(41)所構成，其中，抵接載置部以沿著移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且比物品的寬度小，并從移動體的下端部沿著遠近方向延伸的方式設置，移動限制部具有以從抵接載置部(40)沿著移動路徑的方向延伸的方式設置并抵接于物品的側面部的立壁部分(41a)，且以在相對于所述移動路徑的遠近方向上比物品寬度小的方式形成。
文檔編號H01L21/677GK102067299SQ200980121719
公開日2011年5月18日 申請日期2009年1月15日 優先權日2008年4月9日
發明者乾吉隆, 吉田充 申請人:株式會社大福