專利名稱：具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，尤其涉及一種應用在 多層印刷電路板、液晶顯示器面板、薄膜太陽能電池及觸控面板等電子產品的基板濕制程 設備。
背景技術：
現有多層印刷電路板、液晶顯示器面板、薄膜太陽能電池及觸控面板等電子產品 的基板濕式清洗設備，如圖1及圖2所示，在一機臺10上方設置有一擺動機構20，并在擺動 機構20結合有多數組噴洗裝置30及一驅動裝置40，使擺動機構20可以在機臺10上直線 往復運動。其中，該擺動機構20，在機臺10內側面固設有復數組軸承座201，相互對應的軸 承座201之間樞設一軸桿202，軸桿202的一端以一橫梁203跨接結合，該橫梁203再結合 有一框架204，故可借由驅動裝置40帶動框架204而使擺動機構20呈直線往返運動，進一 步使噴洗裝置30針對輸入機臺10內的基板施行清洗。但，上述現有的擺動機構20只能被 驅動裝置40帶動作直線往返運動，為了能全面清洗基板，必需在擺動機構20上結合有多數 組排列的噴洗裝置30，再分別接上水閥301、水管302等組件，如此導致結構繁瑣、維護工作 麻煩、成本增加。因此，如何發明出一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，以使復向噴 洗機構可以產生直線往復移動及往復滾轉運動，因而能夠針對各種電子產品的基板進行多 向全面清洗，將是本實用新型所欲積極提供之處。
發明內容有鑒于上述現有技術的缺憾，發明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克 服，憑其從事該項產業多年的累積經驗，進而研發出一種具有復向噴洗機構的基板濕制程 裝置，以期達到制程設備結構精簡、可調整噴洗角度與速率及多向全面清洗的目的。本實用新型的主要目的在提供一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其借著 一機臺、一噴洗機構、一滾轉驅動裝置及一直線驅動裝置的結構設計，組成具有復向噴洗機 構的基板濕制程裝置，致使噴洗機構可以被直線驅動裝置帶動直線往復移動，同時被滾轉 驅動裝置帶動往復滾轉運動，借此使噴洗機構針對輸入機臺的基板進行噴洗作業，進而達 到制程設備結構精簡、可調整噴洗角度與速率，及多向全面清洗的目的。本實用新型的次要目的在提供一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其借著 滾轉驅動裝置結構改良，致使滾轉驅動裝置只要一驅動馬達通過一傳動軸就可以帶動多組 噴洗機構，達到制程設備結構精簡、設備成本降低的目的。本實用新型的另一目的在提供一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其借著 滾轉驅動裝置結構改良，致使滾轉驅動裝置可以與噴洗機構同步直線往復移動，并由滾轉 驅動裝置同時帶動噴洗機構呈現往復滾轉運動。為達上述目的，本實用新型的實施內容包含有一機臺、兩組以上結合在機臺上的 噴洗機構、一帶動噴洗機構的滾轉驅動裝置、及一帶動噴洗機構的直線驅動裝置，其特征在于各該噴洗機構具有一結合在機臺一側的第一軸承座、一結合在機臺另一側的第二軸承 座、及一結合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路，該管路的管身結合有一個以上的噴 嘴；該滾轉驅動裝置具有一驅動馬達、一被驅動馬達帶動的傳動軸、及分別對應各噴洗機構 而結合在傳動軸及管路前端的驅動輪組，各驅動輪組包含一結合在傳動軸的主驅動組件， 及一結合在噴洗機構管路前端的從驅動組件。另外，本實用新型該噴洗機構管路的前端可 結合有一延伸到機臺外側的移動座，該滾轉驅動裝置結合在移動座上，使滾轉驅動裝置同 步直線往復移動。 借此，本實用新型一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，可經由直線驅動裝 置帶動噴洗機構的管路呈直線往復移動，同時借滾轉驅動裝置帶動噴洗機構的管路呈往復 滾轉運動，因此當輸入清洗液進入該管路之后，即可經由管路的多數個噴嘴針對輸入機臺 的基板進行多面向的清洗作業，進而達到制程設備結構精簡、設備成本降低、可調整噴洗 角度與速率、及多向全面清洗的功效。
圖1為現有基板清洗設備的立體圖。 圖2為現有基板清洗設備的俯視圖。 圖3為本實用新型較佳具體實施例的立體圖。 圖4為本實用新型較佳具體實施例的放大示意圖。 圖5為本實用新型另一較佳具體實施例的立體圖。 圖6為本實用新型另一較佳具體實施例的放大示意圖< 圖7為本實用新型較佳具體實施例的應用狀態示意圖<主要組件符號說明1......機臺[0018]11.....固定座[0019]12.....移動座[0020]13.....馬達座[0021]2....· ·噴洗機構[0022]21...· ·第一軸承座[0023]22.....第一軸承座[0024]23.....管路[0025]24.....噴嘴[0026]25.. · ·軸桿[0027]26.. · ·橫桿[0028]27.....框架[0029]3....· ·滾轉驅動裝置[0030]31...· ·驅動馬達[0031]32.. · ·傳動軸[0032]33.....驅動輪組[0033]331....主驅動組件[0034]332...從驅動組件[0035]34....間接傳動組[0036]341.. 軸座[0037]342.. 間接傳動軸[0038]343...傳動輪組[0039]4. · · ·.直線驅動裝置
具體實施方式
為充分了解本實用新型的目的、特征及功效，現通過下述具體的實施例，并配合附 的圖，對本實用新型做一詳細說明，說明如后參閱圖3及圖4所示，本實用新型具復向噴洗機構的基板濕制程設備，其較佳的具 體實施例包含有一機臺1、兩組以上結合在機臺1上的噴洗機構2、一帶動噴洗機構2往 復滾轉的滾轉驅動裝置3、及一帶動噴洗機構2直線往復移動的直線驅動裝置4，其特征在 于各該噴洗機構2分別具有一結合在機臺1 一側的第一軸承座21 (如圖7所示)、 一結合在機臺1另一側的第二軸承座22、及一結合在第一軸承座21與第二軸承座22之間 的管路23，該管路23的管身結合有一個以上的清洗液噴嘴24 ；該滾轉驅動裝置3具有一驅 動馬達31、一被驅動馬達31帶動的傳動軸32、及分別對應各該噴洗機構2的管路23前端 而結合在傳動軸32及管路23前端的驅動輪組33，各該驅動輪組33包含有一結合在傳動 軸32的主驅動組件331，及一結合在噴洗機構2管路23前端的從驅動組件332，該主驅動 組件331可帶動從驅動組件332轉動，可為具有螺旋結構的渦桿與渦輪或齒輪或其它型式 的傳動組件，借此組成本實用新型具復向噴洗機構的基板濕制程裝置。再如圖3及圖4所示，本實用新型各該噴洗機構2較佳的具體實施例更包含所 述該管路23的前、后端各分別設置有能夠軸向移動及滾轉狀結合第一軸承座21與第二軸 承座22的一軸桿25，而將該滾轉驅動裝置3的從驅動組件331結合在管路23前端的軸桿 25。且該管路23前端的軸桿25可延伸到機臺1外側，并將該滾轉驅動裝置3結合在機臺 1外側，使從驅動組件331結合在機臺1外側的軸桿25。又，本實用新型可在二管路23的 前端及后端之間跨置結合有一橫桿26，其后端的橫桿26結合有一框架27，該框架27與前 述直線驅動裝置4結合，使該直線驅動裝置4帶動框架27、橫桿26及管路23呈直線往復移 動。本實用新型滾轉驅動裝置3較佳的具體實施例更包含如圖3所示，該機臺外側設 有一固定座11，借此滾轉驅動裝置3結合在固定座11上，使滾轉驅動裝置3構成固定位置 的型式。或如圖5、圖6及圖7所示，該滾轉驅動裝置3構成可以與噴洗機構2同步直線往 復移動，并由滾轉驅動裝置3 (管路23)同時帶動噴洗機構2呈現往復滾轉運動的型式，其 包含在該噴洗機構2 (管路23)前端結合有一延伸到機臺1外側的移動座12，或在管路23 前端之間跨置的橫桿26結合所述延伸到機臺1外側的移動座12，借此將前述該滾轉驅動裝 置3結合在移動座12。又，所述該移動座12可以結合有一馬達座13，如此將滾轉驅動裝置 3結合在馬達座13上。再如圖5及圖6所示，本實用新型該滾轉驅動裝置3的傳動軸32更包含有一間接傳動組34，該間接傳動組34具有一軸座341、分別對應各噴洗機構2而結合在軸座341 的間接傳動軸342，如此將前述各驅動輪組33的主驅動組件331結合在間接傳動軸342，并 將從驅動組件332結合在噴洗機構2的管路23或軸桿25前端。另在所述該傳動軸32與 間接傳動軸342之間結合有一傳動輪組343，傳動輪組343可為齒輪或其它種類的輪組。本實用新型具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置應用實施時，作為多層印刷電路 板、液晶顯示器面板、薄膜太陽能電池及觸控面板等電子產品基板的濕制程設備之一。其進 行噴洗作業的方式如圖7所示，利用該直線驅動裝置4帶動噴洗機構2的框架27、橫桿26 及管路23直線往復移動，同時利用該滾轉驅動裝置3的驅動馬達31帶動傳動軸32，再由傳 動軸32 (及間接傳動軸342)的主驅動組件331帶動從驅動組件332轉動，如此就能使噴洗 機構2的軸桿25及管路23產生往復滾轉運動。因此，當輸入清洗液進入管路23之后，即 可經由管路23的噴嘴24噴出清洗液，在噴洗機構2直線往復移動及往復滾轉運動中針對 輸入機臺1的基板進行多面向的清洗作業，而且本實用新型該滾轉驅動裝置3的驅動馬達 31可以依照實際應用需求設定成獨立運作，亦可依照實際需求調整其帶動噴洗機構2滾 轉的角度及頻率。如上所述，本實用新型完全符合專利三要件新穎性、進步性和產業上的可利用 性。以新穎性和進步性而言，本實用新型借著機臺、噴洗機構、滾轉驅動裝置及直線驅動裝 置設計，致使噴洗機構可被直線驅動裝置帶動直線往復移動，同時被滾轉驅動裝置帶動往 復滾轉運動，借此使噴洗機構針對輸入機臺的基板進行噴洗作業，進而達到制程設備結構 精簡、設備成本降低、可調整噴洗角度與速率、及多向全面清洗的效用。就產業上的可利用 性而言，利用本實用新型所衍生的產品，當可充分滿足目前市場的需求。本實用新型在上文中已以較佳實施例提供，但本領域技術人員應理解的是，該實 施例僅用于描繪本實用新型，而不應解讀為限制本實用新型的范圍。應注意的是，凡是與該 實施例等效的變化與置換，均應設為涵蓋于本實用新型的范疇內。因此，本實用新型的保護 范圍當以下文的權利要求所界定者為準。
權利要求一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其包含有一機臺、兩組以上結合在機臺上的噴洗機構、一帶動噴洗機構的滾轉驅動裝置、及一帶動噴洗機構的直線驅動裝置，其特征在于各該噴洗機構具有一結合在機臺一側的第一軸承座、一結合在機臺另一側的第二軸承座、及一結合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路，該管路的管身結合有一個以上的噴嘴；該滾轉驅動裝置具有一驅動馬達、一被驅動馬達帶動的傳動軸、及分別對應各噴洗機構而結合在傳動軸及管路前端的驅動輪組，各驅動輪組包含一結合在傳動軸的主驅動組件，及一結合在噴洗機構管路前端的從驅動組件。
2.如權利要求1所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該管路的前、 后端各分別設置有能夠軸向移動及滾轉狀結合第一軸承座與第二軸承座的一軸桿，該滾轉 驅動裝置的從驅動組件結合在管路前端的軸桿。
3.如權利要求2所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該管路前端 的軸桿延伸到機臺外側，該滾轉驅動裝置結合在機臺外側。
4.如權利要求3所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該機臺外側 設有一固定座，該滾轉驅動裝置結合在固定座上。
5.如權利要求3所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該管路的前 端結合有一延伸到機臺外側的移動座，該滾轉驅動裝置結合在移動座。
6.如權利要求5所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該管路的前 端之間跨置結合有一橫桿，該橫桿結合所述的移動座。
7.如權利要求5所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該移動座結 合有一馬達座，該滾轉驅動裝置結合在馬達座上。
8.如權利要求1所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該滾轉驅動 裝置的傳動軸更包含一間接傳動組，該間接傳動組具有一軸座、分別對應各噴洗機構而結 合在軸座的間接傳動軸；以及該驅動輪組的主驅動組件結合在間接傳動軸，從驅動組件結 合在噴洗機構的管路前端。
9.如權利要求8所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該傳動軸與 間接傳動組之間結合有一傳動輪組。
10.如權利要求1所述具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其特征在于，該管路的后 端之間跨置結合有一橫桿，該橫桿結合有一框架，該框架與直線驅動裝置結合。
專利摘要本實用新型提供一種具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置，其包含有一機臺、兩組以上結合在機臺的噴洗機構、一帶動噴洗機構的滾轉驅動裝置、及一直線驅動裝置。其中各該噴洗機構具有結合在機臺的第一軸承座、第二軸承座、及結合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路，管路結合有噴嘴；該滾轉驅動裝置具有驅動馬達、被驅動馬達帶動的傳動軸、及分別對應各噴洗機構而結合在傳動軸及管路前端的驅動輪組，各驅動輪組包含結合在傳動軸的主驅動組件，及結合在噴洗機構管路前端的從驅動組件，借此組成具有復向噴洗機構的基板濕制程裝置。
文檔編號H01L21/00GK201676838SQ20092029319
公開日2010年12月22日 申請日期2009年12月15日 優先權日2009年12月15日
發明者何瑞竹, 劉素珍, 周坤麟, 藍文正, 郭先立, 高自強 申請人:敘豐企業股份有限公司