專利名稱：一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及提高化學藥液濃度、溫度均勻性的一種多晶太陽能電池片的鏈式
制絨的裝置，為多晶太陽能電池片的鏈式制絨工藝，屬于太陽能電池片的加工制造領域。
背景技術：
現有的多晶太陽能電池片的制造工藝中，制絨工藝是關鍵的一步，制絨的好壞直接關系到電池片的性能，其中對藥液的濃度、溫度均勻性的要求最為關鍵；傳統多晶鏈式制絨工藝采用藥液在槽體兩側溢流、藥液浸沒多晶硅片方式(如圖1、2所示)，在制絨槽內，中部的藥液置換與其它部位的藥液不能同步進行，造成藥液濃度、溫度的不均勻，無法控制Wafer的反應速度，進而影響制絨的效果。
發明內容為了克服現有技術結構的不足，本實用新型提供一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，很好的解決了這一 問題。 本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的方法，含有以下步驟 步驟1 ;采用槽體四面溢流方式，使得反應后液體快速溢出； 步驟2 ;采用上噴淋方式；在藥液槽的上部，增加了一定數量的噴淋管，藥液由上部直接補充到硅片的周圍；這樣使藥液和硅片接觸更加充分，同時也使藥液溫度更有利于控制，保持均勻一致，改善制絨效果； 步驟3 ;采用槽體內槽底部進液，進液口向下，并對進液管路進行處理，使藥液進
入內槽后均勻的流向槽體的各部位，保證槽體內部各部位溫度、濃度的均一性， 步驟4 ;控制調節流量，根據流量計的讀數，通過控制閥調整管路中液體的流量達
到要求。 —種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，含有槽體，噴淋裝置， 槽體分為內、外槽，進液管路由槽體外部穿過內槽槽體側板進入內槽槽體內部空
間，在進液管路上鉆兩列小孔，兩列小孔在管路的圓周上成60°角分布，兩列小孔之間夾角
朝向槽體底部。 內槽的上部開有堰口，由進液管進入的液體，向上溢出堰口流到外槽內，外槽底部開有回液口，回液口通過管路與藥液循環供給槽相連，靠重力使藥液流回藥液循環供給槽。[0012] 噴淋裝置包括噴淋管和流量調節機構兩部分；噴淋管由塑料管制成，在上面開有一定直徑和距離的孔； 流量調節機構由流量計和控制閥組成流量計與控制閥通過管路相連，根據流量
計的讀數，通過控制閥調整管路中液體的流量達到要求。 本實用新型的有益效果 1、溫度控制更容易，溫控精度達到士rc以內；[0016] 2、有效改善制絨效果，提高產品品質，降低反射率，制絨后反射率達到20%以下。 本實用新型的槽體四面溢流，使得反應后液體快速溢出；加了上噴淋方式，這樣使 藥液和Wafer接觸更加充分，同時也使藥液溫度更有利于控制，保持均勻一致，改善制絨效 果。 在原有的槽體兩面溢流的基礎上，為了加快藥液的流動，并保證各流動部分相對 而言更加均勻流動，在槽體的側面開出通道，這樣在槽體的中部藥液就不必流向兩端的堰 口回到藥液供給箱，減少了中部反應后的藥液流向槽體的兩端時對其它硅片的影響，盡量 保證每一片硅片周圍的藥液是新的藥液，而不是剛反應后的藥液，降低了反應帶來的溫度 升高，補充了反應后藥液的損耗，更利于藥液的溫度、濃度的控制，保證藥液在硅片周圍的 均一性，進而保證制絨的均一性。 其次，為了進一步保證硅片周圍藥液(特別是槽體中部的藥液)的溫度、濃度的均
一性，在藥液槽的上部，增加了一定數量的噴淋管，藥液由上部直接補充到硅片的周圍。一
個是新藥夜的補充降低了硅片反應后大量放熱而造成的溫度增加，有利于溫度的恒定；另
外，由于有新藥夜補充了反應時藥液成分的消耗，有利于硅片周圍藥液濃度的恒定。 總之，采取上述方法后，進一步加強了對藥液溫度、濃度均一性的控制，保證藥液
溫度、濃度在要求的范圍內變化，保證了制絨的效果達到生產要求，并有所提高。
圖1為現有技術示意圖； 圖2為現有技術示意圖； 圖3為本實用新型結構示意圖； 圖4為本實用新型結構示意圖。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
具體實施方式
實施例1 :如圖3所示，采用四面溢流的形式，加速藥液的流動和更新，帶走硅片反 應所放的熱量，保證硅片反應溫度和濃度的均一性，從而保證制絨的效果更佳。
—種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的方法，含有以下步驟 步驟1 ;采用槽體四面溢流方式，使得反應后液體快速溢出； 步驟2 ;采用上噴淋方式；在藥液槽的上部，增加了一定數量的噴淋管2，藥液由上 部直接補充到硅片3的周圍；這樣使藥液和Wafer接觸更加充分，同時也使藥液溫度更有利 于控制，保持均勻一致，改善制絨效果； 步驟3 ;采用槽體內槽底部進液，進液口向下，并對進液管路進行處理，使藥液進 入內槽后均勻的流向槽體的各部位，保證槽體內部各部位溫度、濃度的均一性，溫度控制在
8士rc、藥液濃度為h20 : hf : hno3 = 4:3:6; 步驟4 ;控制調節流量，根據流量計的讀數，通過控制閥調整管路中液體的流量達 到要求。通過對藥液流量、流向、范圍的控制，及時補充新鮮藥液到需要的地方，更好的控制 溫度、濃度的均一性。 —種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，含有槽體，噴淋裝置，[0033] 槽體分為內槽1、外槽，內槽1底部進液，進液口向下，并對進液管路5進行處理，使藥液進入內槽1后均勻的流向槽體的各部位，保證槽體內部各部位溫度、濃度的均一性。[0034] 進液管路由槽體外部穿過內槽1槽體側板進入內槽1槽體內部空間，在進液管路5上鉆兩列小孔，兩列小孔在管路的圓周上成60。角分布，兩列小孔之間夾角朝向內槽l的槽體底部。 內槽1的上部的四面開有堰口 4，實現藥液的四面溢流，使藥液在槽體內形成良好
的均勻流動狀態，有利于藥液的溫度、濃度的控制；由進液管路5進入的液體，向上溢出堰
口 4流到外槽內，外槽底部開有回液口 ，回液口通過管路與藥液循環供給槽相連，靠重力使
藥液流回藥液循環供給槽。內槽1溢流出的藥液在外槽停留時間比兩面溢流時間長，反應
后溫度升高的藥液會自然降溫，減少了溫控系統的負擔，有利于溫度的控制。 噴淋裝置包括噴淋管2和流量調節機構兩部分；噴淋管2由塑料管制成，在上面開
有一定直徑和距離的孔；控制藥液的流向、范圍的分布。 流量調節機構由流量計和控制閥組成流量計與控制閥通過管路相連，根據流量計的讀數，通過控制閥調整管路中液體的流量達到要求。通過對藥液流量、流向、范圍的控制，及時補充新鮮藥液到需要的地方，更好的控制溫度、濃度的均一性。
權利要求一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，其特征是含有槽體，噴淋裝置，槽體分為內、外槽，進液管路由槽體外部穿過內槽槽體側板進入內槽槽體內部空間，在進液管路上鉆兩列小孔，兩列小孔在管路的圓周上成60°角分布，兩列小孔之間夾角朝向槽體底部；內槽的上部開有堰口，由進液管進入的液體，向上溢出堰口流到外槽內，外槽底部開有回液口，回液口通過管路與藥液循環供給槽相連，靠重力使藥液流回藥液循環供給槽；噴淋裝置包括噴淋管和流量調節機構兩部分；噴淋管由塑料管制成，在上面開有一定直徑和距離的孔；流量調節機構由流量計和控制閥組成，流量計與控制閥通過管路相連。
2. 根據權利要求1所述的一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，其特征是內槽 的上部的四面開有堰口。
專利摘要一種多晶太陽能電池片的鏈式制絨的裝置，采用槽體四面溢流方式，使得反應后液體快速溢出；采用上噴淋方式；藥液由上部直接補充到硅片的周圍；這樣使藥液和硅片接觸更加充分，同時也使藥液溫度更有利于控制，保持均勻一致，改善制絨效果；采用槽體內槽底部進液，進液口向下，并對進液管路進行處理，控制調節流量，內槽的上部開有堰口，由進液管進入的液體，向上溢出堰口流到外槽內，外槽底部開有回液口，回液口通過管路與藥液循環供給槽相連，靠重力使藥液流回藥液循環供給槽。本實用新型的有益效果溫度控制更容易，溫控精度達到±1℃以內；有效改善制絨效果，提高產品品質，降低反射率，制絨后反射率達到20％以下。
文檔編號H01L31/20GK201523023SQ20092017315
公開日2010年7月7日 申請日期2009年8月26日 優先權日2009年8月26日
發明者劉燁, 孫良欣 申請人:北京中聯科偉達技術股份有限公司