專利名稱：承載裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于機械設備領域，尤其涉及實用新型一種承載裝置。
背景技術：
近年來，隨著產業日益發達，為了提升產品的產能以及制造良率，對于機械設備的 需求也日益增加。其中，機械設備中與產品直接接觸的承載裝置為影響產品產能以及良率 的重要因素。舉例而言，承載裝置中結構設計的精確度越高，越能降低機械設備的維修次數 以及縮短每次機械設備的維修時間，產能就能適度提升。再者，承載裝置中與產品接觸的磨 耗越少時，就能維持產品的良率。因此，承載裝置的優劣攸關產品的制造成本，進而影響產 業的競爭力。 —般而言，傳統設置于機械設備中的承載裝置主要是由一基座以及多個固定于基 座上的支撐墊所構成。以顯示器的生產流程為例，待載物(如基板)與所述多個支撐墊接觸 并通過這些支撐墊承載于基座上，使得基板與基座之間保持一定高度。在實際運作中，基板 傳送機構(如機械手臂等)會伸入基板與基座之間的空間而將基板往下一制作流程傳送。 現有的支撐墊除了用以維持基板被傳送時所需的高度外，尚有防止基板滑動以及避免基板 直接與基座接觸而產生刮傷的功能。 然而，前述的支撐墊是利用螺牙鎖固于基座上，且當基板承載于前述支撐墊上時，
基板的重量會施加于與其接觸的支撐墊上，由于前述支撐墊僅能以單點的方式接觸基板，
因此每一支撐墊所承受的力量較大。這種支撐墊在機械設備經過一段時間的運轉之后，不
可避免地容易產生磨損的問題，嚴重者，支撐墊的螺牙甚至會松脫或掉落。如此一來，除了
會影響基板傳送至下一流程的精確度外，嚴重者還會將磨耗產生的微粒(particle)滯留
于生產的產品中，而且松脫或掉落的支撐墊若滯留在基板的傳送路徑上亦會造成產品的刮
傷或破片。尤其對于集成電路或液晶顯示器等無塵等級要求度甚高的半導體制程而言，這
種通過支撐墊來承載基板的承載裝置對產品的產能以及良率是一大殺手。 由于支撐墊屬于耗材，除了需要定時更換外，再加上現有的支撐墊較容易損壞，因
此機械設備需要較頻繁地停機來定期維修。此外，由于支撐墊是個別獨立地設置在基座上，
因此支撐墊的拆卸、新品安裝或維修不易，甚至需要將基座自承載裝置拆卸下來進行大規
模調整。實務上，在生產設備的一般保養時程或者是故障排除時，由于機臺可容許的停滯
時間不長，因此在有限的時間內如何進行承載裝置中支撐墊的維修以確保生產機臺的精確
度，提高生產機臺的時間稼動率成為產業發展的一大重要課題。
發明內容本實用新型的目的在于實用新型提供一種承載裝置，旨在解決現有技術提供的具 有承載待載物的支撐條可維護性差的問題。 本實用新型是這樣實現的，實用新型一種承載裝置，其適于承載一基板，且承載裝 置包括基座、支撐條以及固定件。基座具有一承載面以及一相對于承載面的背面。支撐條位于承載面上，基板適于與支撐條接觸而承載于基座的承載面上。固定件自背面穿設部分 基座而將支撐條鎖固于基座的承載面上。 在本實用新型實用新型的一實施例中，上述的基座例如是包括二承載板，其中承 載板彼此相隔一距離而沿著水平面設置，且支撐條例如是位于每一承載板彼此鄰近邊緣的 承載面上。并且，每一承載板在彼此鄰近邊緣的承載面上還可以具有一下陷表面，而支撐條 可以位于承載面的下陷表面上，且支撐條的表面凸出承載板其它區域的表面。進一步來說， 每一承載板在下陷表面的區域的厚度小于承載板其它區域的厚度。此外，支撐條更可以自 每一承載板的承載面沿著承載板的側面往承載板的厚度方向延伸。 在本實用新型實用新型的一實施例中，支撐條與基板的接觸面例如為一連續面， 且支撐條與基板的接觸面高于基座的承載面。 在本實用新型實用新型的一實施例中，基座例如具有多個貫孔，支撐條與基座接 觸的一側例如具有多個螺孔，其中貫孔分別暴露出螺孔，且固定件例如是分別穿設貫孔而 固定于螺孔上。此外，固定件可以是多個螺絲，其中每一螺絲具有一螺栓以及一螺帽，螺栓 分別穿設貫孔而鎖附于支撐條的螺孔上。 在本實用新型實用新型的一實施例中，固定件的材質例如與支撐條的材質不同。 在本實用新型實用新型的一實施例中，固定件的材質包括聚醚醚酮 (Polyetheretherketone， PEEK)。 在本實用新型實用新型的一實施例中，支撐條的材質包括鐵氟龍。 在本實用新型實用新型的一實施例中，承載裝置更可以包括多個支撐墊，位于承
載面上，支撐墊沿著支撐條的長度方向排列，且支撐墊的排列方向與支撐條相隔一距離。此
外，每一支撐墊可以主要是由一螺栓以及一圓頭螺帽所構成，每一支撐墊通過螺栓而鎖固
于基座的承載面上，且圓頭螺帽凸出承載面。并且，支撐墊的材質包括聚醚醚酮。 在本實用新型中，承載裝置通過支撐條與基板接觸并將其承載于基座上，位于基
座承載面上的支撐條主要是利用固定件自基座的背面鎖固于基座上，并且支撐條的條狀結
構可以增加基板與支撐條的接觸面積。因此，本發明的承載裝置可以穩固地將支撐條固定
于基座上，并有效降低支撐條與基板之間的磨耗，提高基板在承載裝置上的精確度，提升設
備的時間稼動率與產品良率。
圖1為本實用新型實施例提供實用新型的一種承載裝置的部分上視示意圖； 圖2為圖1的承載裝置沿AA'剖面線的剖面示意圖； 圖3A與3B分別為依據本實用新型實用新型一實施例的承載裝置的承載面局部放 大立體圖以及背面局部放大立體圖； 圖4為本實用新型實施例提供實用新型的另一種承載裝置的部分上視示意圖； 圖5為圖4的承載裝置沿BB'剖面線的剖面示意圖。
具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施 例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。 在本實用新型實施例中，承載裝置通過支撐條與基板接觸并將其承載于基座上， 位于基座承載面上的支撐條主要是利用固定件自基座的背面鎖固于基座上，并且支撐條的 條狀結構可以增加基板與支撐條的接觸面積。因此，本發明的承載裝置可以穩固地將支撐 條固定于基座上，并有效降低支撐條與基板之間的磨耗，提高基板在承載裝置上的精確度， 提升設備的時間稼動率與產品良率。 圖1為本實用新型的一種承載裝置的部分上視示意圖。圖2為圖1的承載裝置沿 AA'剖面線的剖面示意圖。請同時參照圖1與圖2，承載裝置200適于承載一基板210，在 實際應用中，承載裝置200例如可以作為基板210在生產機臺中銜接前后制作流程的緩沖 區。此處的基板210泛指生產流程中的半成品或成品，也就是說，基板210可以是未加工或 者是已于其上完成部分制程的玻璃基板、晶圓或其它待處理物。如圖1與圖2所示，承載裝 置200主要是由基座220、支撐條230以及固定件240所構成的。如圖2所示，基座220具 有一承載面220A以及一相對于承載面220A的背面220B，支撐條230位于承載面220A上并 自承載面220A凸出。當基板210承載于基座220上時，基板210適于與支撐條230接觸而 被承載于基座220的承載面220A上。并且，固定件240是由基座220的背面220B穿設部 分基座220而將支撐條230鎖固于基座220的承載面220A上。 請繼續參照圖1與圖2，在本實施例中，基座220例如主要由彼此相隔一距離D的 二承載板222所構成，且二承載板222是沿著水平面設置，換言之，基板210是水平地被承 載于所述多個承載板222上。此外，設計者可以依據基板210的尺寸、重量、表面粗糙度與基 座220的大小、甚至是用以傳送基板210的機械手臂的設計經度等來設計支撐條230在承 載板222上的分布位置。舉例而言，在本實施例中，基于力學平衡的考慮，支撐條230例如 是位于每一承載板222彼此鄰近邊緣220E的承載面220A上，且支撐條230與基板210的 接觸面例如為一連續面，使得基板210的重量可以均勻地經由支撐條230而分散至承載板 222上，如此，可以降低支撐條230單位面積所承受的基板210重量，并且使基板210的彎曲 程度抑制在一定程度內。另一方面，為了進一步增進承載裝置200的量產性，支撐條230與 基板210的接觸面例如是高于基座220的承載面220A。如此，基板210在利用機械手臂進 行傳送時，亦可以防止基板210因與基座220接觸產生刮傷，同時降低基板210與基座220 因接觸后瞬間剝離所產生的靜電。 值得注意的是，本實用新型的支撐條230是通過位于基座220背面220B的固定件 240而固定于基座220承載面220A上的，因此當基板210承載于基座220上時，不會與固定 件240直接接觸，防止基板與支撐條發生摩擦。詳言之，如圖1與圖2所示，在本實施例中， 固定件240包括多個沿著支撐條230長度方向排列的螺絲240a，其中每一螺絲240a具有一 螺栓242以及一螺帽244。實務上，將支撐條230由基座220的背面220B利用固定件240 鎖固于基座220的承載面220A的固定方式可列舉下列方式。于基座220的預定位置上設 置多個貫孔Hl，并且支撐條230與基座220接觸的一側設置多個對應貫孔Hl的螺孔H2，亦 即，基座220上的多個貫孔Hl分別暴露出支撐條230上的螺孔H2。并且，每一螺絲240a的 螺栓242分別穿設基座220的貫孔Hl而鎖附于支撐條230的螺孔H2上。在本實施例中， 支撐條230中的螺孔H2是沿著厚度方向而貫穿支撐條230，當然，在其它實施例中，支撐條 230中的螺孔H2亦可以不貫穿支撐條230，換言之，螺孔H2的深度小于支撐條230的厚度，但本實用新型并不以此為限。 當然，本實用新型并不限于上述的固定方式，使用者可以依據基座220與支撐條 230尺寸、或者是裝置的空間大小來選擇不同的固定方式來進行。特別的是，本實用新型的 固定件240與支撐條230是分別設置于基座220的兩相對側，因而本實用新型的支撐條230 與固定件240彼此獨立扮演用以承載基板210以及用以固定支撐條230的角色。因此，基 板210不會與固定件240接觸，如此一來，相較于現有技術，本實用新型的承載裝置200可 以有效避免現有承載裝置200因螺牙松脫使得與基板直接接觸的構件(如現有的支撐墊) 產生偏移(shift)、掉落，進而導致基板受到污染或刮傷等問題。 此外，基座220的材質例如為不銹鋼。值得注意的是，本實用新型的固定件240與 支撐條230可以基于不同機能的考慮可以選用不同的材質來制作。舉例而言，與基板210 接觸的支撐條230可以選用材質較具有緩沖效果的材質，以避免支撐條230在承載基板210 時造成基板210的損傷，其材質例如為鐵氟龍。另一方面，用以將支撐條230固定于基座 220上的固定件240可以選用硬度較高、不易變形的材質。如此一來，工程師可以依據螺絲 設定標準固鎖規格的磅數來進行安裝與調整，使得固定件240能更穩固地將支撐條230鎖 固于基座220上，進而有效避免現有螺牙松脫的狀況，其中固定件240的材質例如是聚醚醚 酮。 圖3A與3B分別為依據本實用新型一實施例的承載裝置的承載面局部放大立體 圖以及背面局部放大立體圖。請先參照圖2與圖3A，為了進一步增強支撐條230的機械強 度，在本實施例中，每一承載板222在彼此鄰近邊緣的承載面220A上還可以具有一下陷表 面220C，而支撐條230可以位于承載面220A的下陷表面220C上。進一步來說，每一承載板 222在下陷表面220C的區域的厚度小于承載板222其它區域的厚度，并且在本實施例中，支 撐條230的表面高于承載板其它區域表面。如此，由于支撐條230的厚度可以不受承載板 厚度的限制而適時地增厚，因此可增加支撐條230的機械強度，使其即使在進行鎖固程序 時亦不易變形。 此外，在本實施例中，支撐條230更可以自每一承載板222的承載面220A沿著承 載板222的側面往厚度方向延伸，如圖2與圖3A所示，支撐條230通過其L型結構不但可 以增進機械強度，并且可以將硬度較高的基座220包覆在支撐條230中以降低基板210與 基座220接觸產生摩擦或刮傷的機率，可進一步增進產品良率。 請接著參照圖2與圖3B，如前述，固定件240是自基座220背面220B穿設基座220 而鎖固于位在基座220承載面220A的支撐條230上，并且在本實施例中，當固定件240將 支撐條230鎖固于基座220上時，每一螺絲240a的螺帽244整體埋設于基座220中，換句 話說，螺帽244的表面與基座220的底面切齊或者低于基座220的底面。并且，螺帽244上 具有一用以方便拆裝的凹槽246，可以縮短維修時間、進一步增加設備的時間稼動率。 值得一提的是，由于支撐條230是通過位于基座220相對側的固定件240加以固 定，如此將承載基板210與固定支撐條230的分工設計使得本實用新型不同于現有，支撐 條230的磨耗可以大幅降低，并且由于上述的分工設計，固定件240可以選用硬度較高的 材質。因此本實用新型的承載裝置不但可以延長固定件240的使用壽命，還可以將支撐條 230更穩固地鎖固于基座220上。另一方面，在進行支撐條230的維修或新品更換時，固定 件240可用標準固鎖規格磅數來進行安裝，大幅縮短維修時間以及減少不同人員進行安裝
6的差異性，使得機臺的產能利用率大幅提升而增加產能 此夕卜，圖4為本實用新型的另一種承載裝置的部分上視示意圖，圖5為圖4的承載 裝置沿BB'剖面線的剖面示意圖。請同時參照圖4與圖5，為了進一步增加承載裝置200的 量產性，承載裝置200更可于承載面220A上選擇性地設置多個支撐墊250，其中支撐墊250 的材質例如是聚醚醚酮。如圖4所示，支撐墊250沿著支撐條230的長度方向排列，且支撐 墊250的排列方向與支撐條230相隔一距離d。詳細而言，在本實施例中，每一支撐墊250 例如主要是由一螺栓252以及一圓頭螺帽254所構成，每一支撐墊250通過螺栓252而鎖 固于基座220的承載面220A上，且圓頭螺帽254凸出承載面220A，而圓頭螺帽254可以適 時地發揮支撐基板210的功能。 在實際的應用層面上，基于制程上的特殊考慮，基板210的重量主要是通過支撐 條230而分散在基座220上。在一些特殊情況下，如基板210容易受到其尺寸、重量或傳送 程序的影響而產生較大的彎曲形變時，可以進一步在基座的適當位置設置支撐墊250，通過 這些支撐墊250可以進一步分散基板210的重量，增加基板210在承載裝置200中的精確 度，并提高承載裝置200的量產性，但本實用新型并不以此為限。 綜上所述，在本實用新型實施例中，承載裝置是利用支撐條來將基板承載在基座 的承載面上，并且在承載面相對的背面利用固定件將其穩固地固定在基座上，因此本實用 新型相較于現有的承載裝置具有至少以下的優點 1.承載裝置中支撐條的條狀結構可以增加基板與支撐條的接觸面積。因此，本實 用新型的支撐條可以均勻地分散基板的重量，可減少摩擦、磨耗等問題，增加支撐條的使用 壽命，降低機臺保養頻率，提升設備的時間稼動率與產品良率。 2.承載裝置中所承載的基板不會接觸到固定件，因此固定件的固定結構(如螺 牙)不會產生松脫而導致損傷基板的情形，進而提升產品良率。 3.在機臺的日常保養時程或是故障排除時，支撐條的更換或維護較簡易，且固定 件可以以標準固鎖規格磅數進行安裝，大幅縮短停機維護時程，提升機臺的產能利用率。 以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本 實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型 的保護范圍之內。
權利要求一種承載裝置，適于承載一基板，其特征在于，所述承載裝置包括一基座，具有一承載面以及一相對于所述承載面的背面；一支撐條，位于所述承載面上，所述基板適于與所述支撐條接觸而承載于所述基座的所述承載面上；以及一固定件，自所述背面穿設部分所述基座而將所述支撐條鎖固于所述基座的所述承載面上。
2. 如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述基座包括二承載板，所述二承載板彼此相隔一距離而沿著水平面設置，所述支撐條位于每一承載板彼此鄰近邊緣的承載面上。
3. 如權利要求2所述的承載裝置，其特征在于，所述每一承載板在彼此鄰近邊緣的承載面上具有一下陷表面，所述支撐條位于所述承載面的下陷表面上，且所述支撐條的表面凸出所述承載板其它區域的表面。
4. 如權利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述每一承載板在所述下陷表面的區域的厚度小于所述承載板其它區域的厚度。
5. 如權利要求2所述的承載裝置，其特征在于，所述支撐條自每一承載板的承載面沿著承載板的側面往所述承載板的厚度方向延伸。
6. 如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述支撐條與所述基板的接觸面為一連續面，且所述支撐條與所述基板的所述接觸面高于所述基座的所述承載面。
7. 如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述基座具有多個貫孔，所述支撐條與所述基座接觸的一側具有多個螺孔，所述多個貫孔分別暴露出所述多個螺孔，且所述固定件分別穿設所述多個貫孔而固定于所述多個螺孔上，所述固定件包括多個螺絲，每一螺絲具有一螺栓以及一螺帽，所述多個螺絲的螺栓分別穿設所述多個貫孔而鎖附于所述支撐條的所述多個螺孔上。
8. 如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述固定件的材質與所述支撐條的材質不同，所述固定件的材質包括聚醚醚酮，所述支撐條的材質包括鐵氟龍。
9. 如權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述承載裝置還包括多個支撐墊，位于所述承載面上，所述多個支撐墊沿著所述支撐條的長度方向排列，且所述多個支撐墊的排列方向與所述支撐條相隔一距離。
10. 如權利要求9所述的承載裝置，其特征在于，所述每一支撐墊包括一螺栓以及一圓頭螺帽，每一支撐墊通過所述螺栓而鎖固于所述基座的承載面上，且所述圓頭螺帽凸出所述承載面，所述多個支撐墊的材質包括聚醚醚酮。
專利摘要本實用新型適用于機械設備領域，提供了一種承載裝置，適于承載一基板，所述承載裝置包括一基座、一支撐條以及一固定件。其中，基座具有一承載面以及一相對于承載面的背面。支撐條位于承載面上，基板適于與支撐條接觸而承載于基座的承載面上。固定件自背面穿設部分基座而將支撐條鎖固于所述基座的承載面上。因此，在本實用新型中，承載裝置可以降低磨耗問題、避免產品異常、以及提高機械設備的時間稼動率。
文檔編號H01L21/683GK201490172SQ20092013204
公開日2010年5月26日 申請日期2009年5月21日 優先權日2009年5月21日
發明者蔡榮光, 黃炯菖 申請人:深圳華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司