專利名稱:太陽能電池擴散用源瓶的制作方法
技術領域:
本實用新型屬于光電技術領域,具體涉及一種太陽能電池片生產過程
中的摻雜雜質源(pocu)安全有效的保存的擴散用源瓶。
背景技術:
在太陽能電池片生產中,需要將p型襯底硅片表面通過高溫擴散方式
形成一薄層n型層,從而形成太陽能電池所必須的pn結。目前摻雜雜質源 多是存放于石英源瓶中,并通過高純氮氣攜帶進入工藝反應。現有的源瓶 為石英玻璃部件,使用中容易出現炸裂。 發明內容
本實用新型的目的是針對現有技術的不足,提供一種P0CU液態源存 放瓶。
本實用新型包括圓筒形的石英瓶本體,石英瓶本體內豎直設置有進氣 管和出氣管;進氣管的一端距離石英瓶本體瓶底4 6mm,另一端與進氣四 氟軟接頭連接;出氣管的一端伸入石英瓶本體6 8mm,另一端與出氣四氟 軟接頭連接;石英瓶本體頂部設置有充裝口。
本實用新型結構簡單,進氣管與出氣管通過四氟軟接頭連接,充裝口 同樣采用四氟活接密封,有效避免了進出氣口斷裂現旬象的發生。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖l所示,太陽能電池擴散用源瓶包括硅圓筒形的石英瓶本體4, 石英瓶本體4內豎直設置有進氣管6和出氣管3;進氣管的一端距離石英 瓶本體瓶底4 6腿,另一端與進氣四氟軟接頭1連接;出氣管3的一端伸 入石英瓶本體6 8mm,另一端與出氣四氟軟接頭2連接。石英瓶本體頂部 設置有充裝口 5,用來充裝工藝用P0CL3液體。
權利要求1、太陽能電池擴散用源瓶,包括圓筒形的石英瓶本體,其特征在于石英瓶本體內豎直設置有進氣管和出氣管;進氣管的一端距離石英瓶本體瓶底4~6mm,另一端與進氣四氟軟接頭連接;出氣管的一端伸入石英瓶本體6~8mm,另一端與出氣四氟軟接頭連接;石英瓶本體頂部設置有充裝口。
專利摘要本實用新型涉及太陽能電池擴散用源瓶。現有的源瓶為石英玻璃部件,使用中容易出現炸裂。本實用新型包括圓筒形的石英瓶本體,石英瓶本體內豎直設置有進氣管和出氣管;進氣管的一端距離石英瓶本體瓶底4~6mm,另一端與進氣四氟軟接頭連接;出氣管的一端伸入石英瓶本體6~8mm,另一端與出氣四氟軟接頭連接;石英瓶本體頂部設置有充裝口。本實用新型結構簡單,進氣管與出氣管通過四氟軟接頭連接,充裝口同樣采用四氟活接密封,有效避免了進出氣口斷裂現旬象的發生。
文檔編號H01L31/18GK201402817SQ20092011831
公開日2010年2月10日 申請日期2009年4月23日 優先權日2009年4月23日
發明者何旭梅, 何旭芳, 向小龍, 周善培, 酈曉苗 申請人:浙江弘晨光伏能源有限公司