專利名稱：一種工作平臺移動機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及機械和半導體制造行業中的工作平臺，尤其涉及一種工作平臺的
移動機構。
背景技術：
目前，在機械和半導體行業中，為了實現工作平臺的移動，最常用的技術手段采用 電機絲桿傳動，如機床的工作平臺也采用電機絲桿傳動。電機絲桿傳動可以實現較為精確 的位置傳動，定位精度和重復定位精度較高，誤差小。工作平臺移動平穩。在一定空間范圍 里可以實現較大的行程。 但是，對于以下情況用電機絲桿傳動就很難實現。當安裝的空間很小，以至于小到 無法安裝電機。當要求有較大的行程，但要求安裝的距離遠遠小于行程的距離。或者當要 求工作平臺經常在斷電和斷氣的情況下維修，以上情況若用這種工作平臺移動機構就可以 較易實現。
實用新型內容本實用新型解決的技術問題是在工作平臺的狹小的安裝空間中，為工作平臺提供
一種新型結構的移動機構，可以在有較大的行程，但要求安裝的距離遠遠小于行程的距離
的場合使用，同時可以實現在斷電和斷氣的情況下對工作平臺的維修需求。
—種工作平臺移動機構，其特征在于，包括基礎框架1，若干個固定盤，氣浮3，導
軌4，若干個支架，工作平臺6，若干個拉桿，支撐板8，固定螺栓9，支撐架組件11 ，若干個軸
套，氣缸組件14，固定座16 ，滾輪組件21 ，其中， 氣浮3通過螺栓與導軌4均安裝在基礎框架1上； 第一定位螺栓13依次穿過氣缸組件14和第二軸套12后，安裝在基礎框架1上； 另一個第一定位螺栓13依次穿過氣缸組件14和第一拉桿15后用螺母固定； 固定座16安裝在基礎框架1上用螺栓固定，第一固定盤19和第一軸套20通過螺 栓連接后，螺栓再次穿過第一拉桿15與固定座16固定； 固定螺栓9依次套上兩個第一軸套20后穿過第二拉桿7，用兩個螺母將固定螺栓 9固定，螺栓依次套上兩個第一軸套20后穿過第一固定盤19后，再次穿過第二拉桿7和第 二固定盤2后固定； 滾輪組件21通過螺栓安裝在工作平臺6上，工作平臺6組件安裝在氣浮3上，通 過螺栓穿過第二固定盤后固定； 第三支架5通過螺栓安裝在基礎框架1上，螺栓穿過第三支架5、支撐板與工作平 臺8固定； 第二支架17通過螺栓安裝在基礎框架1上，第二定位螺栓18穿過第二支架17、支 撐板8與工作平臺6固定； 第一支架10通過螺栓安裝在基礎框架1上，支撐架組件11通過螺栓安裝在第一支架10上。 所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的氣缸組件14可以繞第一定位 螺栓13作旋轉運動。所述的第一拉桿15可以繞固定座16旋轉。所述的第一拉桿15在氣 缸組件14推動下可以繞固定座16旋轉。所述的第二拉桿7可以繞固定螺栓9旋轉。所述 的第二拉桿7在第一拉桿15推動下可以繞固定螺栓9旋轉。所述的第二拉桿7可以推動 工作平臺6作水平運動。 所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的滾輪組件21包括，輪22，襯套 23，右輪邊24，定位墊片25，底座26，軸承27，螺栓28，左輪邊29 ; 滾輪螺栓28依次穿過左輪邊29、輪22、軸承27和襯套23及右輪邊24用開槽沉 頭螺釘28固定。內六角圓柱頭螺釘穿過定位墊片25及底座26后再次穿過螺栓28固定。 所述的右輪邊24及左輪邊29起定位作用。所述的氣缸組件14可以繞第一定位螺栓13作 旋轉運動。 所述的氣缸組件14可以推動第一拉桿15在繞固定座16旋轉。所述的第一拉桿 15推動第二拉桿7繞固定螺栓9旋轉。所述的第二拉桿7可以推動工作平臺6作水平運 動。滾輪組件21可以沿導軌作水平運動。所述的工作平臺移動時，氣浮3會把工作平臺浮 起。 本實用新型的有益效果是整個移動機構裝置結構緊湊，體積小，重量輕，當空間小 到無法安裝電機時仍可以安裝本實用新型提供的移動機構。該機構定位精度高，此機構有 較大的行程，安裝的距離遠遠小于行程的距離，在斷電和斷氣的情況下具有維修簡便的優 點。
圖1是工作平臺移動機構主視示意圖； 圖2是工作平臺移動機構俯視示意圖； 圖3是工作平臺移動機構右視示意圖； 圖4是工作平臺移動機構滾輪組件主視示意圖； 圖5是工作平臺移動機構滾輪組件俯視示意圖。 標號說明1.基礎框架2.第二固定盤3.氣浮4.導軌5.第三支架6.工作平臺7.第二拉桿8.支撐板9.固定螺栓10.第一支架11.支撐架組件12.第二軸套13.第一定位螺栓14.氣缸組件15.第一拉桿16.固定座17.第二支架18.第二定位螺栓19.第一固定盤20.第一軸套21.滾輪組件22.輪23.襯套24.右輪邊25.定位墊片26.底座27.軸承28.滾輪螺栓29.左輪邊1001.大理石平板
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作詳細說明。[0035] 結合圖1、圖2、圖3、圖4、圖5，本實用新型包括整個調整裝置包括基礎框架1， 第二固定盤2，氣浮3，導軌4，第三支架5，工作平臺6，第二拉桿7，支撐板8，固定螺栓9，第 一支架IO，支撐架組件ll，第二軸套12，第一定位螺栓13，氣缸組件14，第一拉桿15，固定 座16，第二支架17，第二定位螺栓18，第一固定盤19，第一軸套20，滾輪組件21，輪22，襯套 23，右輪邊24，定位墊片25，，底座26，軸承27，螺栓28，左輪邊29。 本實施例中的工作平臺移動機構的具體結構是將氣浮3通過螺栓固定安裝在基 礎框架1上，將導軌4通過螺栓固定安裝在基礎框架1上，第一定位螺栓13依次穿過氣缸 組件14和第二軸套12后，安裝在基礎框架1上。第二個第一定位螺栓13依次穿過氣缸組 件14和第一拉桿15后用螺母固定。固定座16用螺栓固定安裝在基礎框架1上，螺栓依次 穿過第一固定盤19和第一軸套20后， 再次穿過第三支架5和固定座16固定。固定螺栓9依次套上兩個第一軸套20后 穿過第二拉桿7，用兩個螺母將固定螺栓9固定。螺栓依次套上兩個第一軸套20后穿過第 一固定盤19后，再次穿過第二拉桿7和固定盤2后固定。將滾輪組件21安裝在工作平臺 6上，用螺栓固定。將工作平臺6組件安裝在氣浮3上，用螺栓固定。螺栓穿過第二固定盤 2后固定。第三支架5安裝在基礎框架1上，用螺栓固定。螺栓穿過第三支架5和支撐板8 用螺母固定。螺栓穿過支撐板8及工作平臺6后固定。第二支架17安裝在基礎框架1上， 用螺栓固定。第二定位螺栓18穿過第二支架17和支撐板8用螺母固定。螺栓穿過支撐板 8及工作平臺6后固定，第一支架10安裝在基礎框架1上，用螺栓固定。支撐架組件11安 裝在第一支架10上，用螺栓固定。本例滾輪組件21的安裝方法是螺栓28依次穿過左輪 邊29、輪22、軸承27和襯套23及右輪邊24用開槽沉頭螺釘28固定。內六角圓柱頭螺釘 穿過定位墊片25及底座26后再次穿過螺栓28固定。 氣缸組件14可以繞第一定位螺栓13作旋轉運動。第一拉桿15可以繞固定座16 旋轉。第一拉桿15在氣缸組件14推動下可以繞固定座16旋轉。第二拉桿7可以繞固定 螺栓9旋轉。第二拉桿7在第一拉桿15推動下可以繞固定螺栓9旋轉。第二拉桿7可以 推動工作平臺6作水平運動。 滾輪組件21的右輪邊24及左輪邊29起定位作用。氣缸組件14可以繞第一定位 螺栓13作旋轉運動。氣缸組件14可以推動第一拉桿15在繞固定座16旋轉。 第一拉桿15推動第二拉桿7繞固定螺栓9旋轉。第二拉桿7可以推動工作平臺 6作水平運動。滾輪組件21可以沿導軌作水平運動。工作平臺移動時，氣浮3會把工作平 臺6浮起。 滾輪組件21的工作平臺6放置到標準的大理石平板1001上，用百分表測量大理 石平板的平行度，若平行度不好，在底座26墊銅箔，繼續調整平行度，直到滿足要求為止。 測量工作平臺組件兩滾輪內側邊的距離H1。測量兩導軌4內側邊的距離H2，同時用百分表 測量每一邊兩個輪子內側邊平行度，若不平行在底座26側面墊銅箔，最終調整平行。比較 Hl與H2是否相等，若不相等，調整導軌的距離使其相等。給氣缸組件通氣，工作平臺就會沿 著導軌作平穩運動。 在上述工作平臺移動機構的基礎上，可以增加電磁閥、傳感器、軟件及硬件等設 施。通過控制器來控制氣缸的行程。這樣可以實現自動控制。 在光刻機整機集成過程中，一些工件的移動就需要工作平臺移動機構，要求工作平臺移動機構結構緊湊，體積小，重量輕，可以在狹小的空間內安裝，(空間小到無法安裝電 機)。定位精度高，此移動機構有較大的行程，但安裝的距離遠遠小于行程的距離。在斷電 和斷氣的情況下易維修。工作平臺移動機構就是這樣一個符合要求的裝置。根據需求，設 計了一個工作平臺移動機構。 以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并不用于限制本發明。凡在本發明的精 神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
權利要求一種工作平臺移動機構，其特征在于，包括基礎框架(1)，若干個固定盤，氣浮(3)，導軌(4)，若干個支架，工作平臺(6)，若干個拉桿，支撐板(8)，固定螺栓(9)，支撐架組件(11)，若干個軸套，氣缸組件(14)，固定座(16)，滾輪組件(21)其中，氣浮(3)通過螺栓與導軌(4)安裝在基礎框架(1)上；第一定位螺栓(13)依次穿過氣缸組件(14)和第二軸套(12)后，安裝在基礎框架(1)上；另一個第一定位螺栓(13)依次穿過氣缸組件(14)和第一拉桿(15)后用螺母固定；固定座(16)安裝在基礎框架(1)上用螺栓固定，第一固定盤(19)和第一軸套(20)通過螺栓連接后，螺栓再次穿過第一拉桿(15)與固定座(16)固定；固定螺栓(9)依次套上兩個第一軸套(20)后穿過第二拉桿(7)，用兩個螺母將固定螺栓(9)固定，螺栓依次套上兩個第一軸套(20)后穿過第一固定盤(19)后，再次穿過第二拉桿(7)和第二固定盤(2)后固定；滾輪組件(21)通過螺栓安裝在工作平臺(6)上，工作平臺(6)組件安裝在氣浮(3)上，通過螺栓穿過第二固定盤后固定；第三支架(5)通過螺栓安裝在基礎框架(1)上，螺栓穿過第三支架(5)、支撐板與工作平臺(8)固定；第二支架(17)通過螺栓安裝在基礎框架(1)上，第二定位螺栓(18)穿過第二支架(17)、支撐板(8)與工作平臺(6)固定；第一支架(10)通過螺栓安裝在基礎框架(1)上，支撐架組件(11)通過螺栓安裝在第一支架(10)上。
2. 如權利要求1所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的氣缸組件(14)可 以繞第一定位螺栓(13)作旋轉運動。
3. 如權利要求l所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第一拉桿(15)可 以繞固定座(16)旋轉。
4. 如權利要求3所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第一拉桿(15)在 氣缸組件(14)推動下可以繞固定座(16)旋轉。
5. 如權利要求1所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第二拉桿(7)可 以繞固定螺栓(9)旋轉。
6. 如權利要求5所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第二拉桿(7)在 第一拉桿(15)推動下可以繞固定螺栓(9)旋轉。
7. 如權利要求5所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第二拉桿(7)可 以推動工作平臺(6)作水平運動。
8. 如權利要求1所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的滾輪組件(21)包 括，輪(22)，襯套(23)，右輪邊(24)，定位墊片(25)，底座(26)，軸承(27)，螺栓(2S)，左輪 邊(29);滾輪螺栓(28)依次穿過左輪邊(29)、輪(22)、軸承(27)和襯套(23)及右輪邊(24) 用開槽沉頭螺釘(28)固定。內六角圓柱頭螺釘穿過定位墊片(25)及底座(26)后再次穿 過螺栓(28)固定。
9. 如權利要求1所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的氣缸組件(14)可以繞第一定位螺栓(13)作旋轉運動。
10. 如權利要求1所述，一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的氣缸組件(14)可以推動第一拉桿(15)在繞固定座(16)旋轉。
11. 如權利要求10所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于 所述的第一拉桿(15)推動第二拉桿(7)繞固定螺栓(9)旋轉。
12. 如權利要求11所述的一種工作平臺移動機構，其特征在于所述的第二拉桿(7)可以推動工作平臺(6)作水平運動。滾輪組件(21)可以沿導軌 作水平運動。
專利摘要本實用新型屬于半導體制造業中的工作平臺移動機構，該移動機構包括基礎框架、若干個固定盤、氣浮、導軌、支架、工作平臺、若干個拉桿、支撐板、固定螺栓、支撐架組件、軸套、氣缸組件、固定盤和滾輪組件。該移動機構的氣缸組件可以繞定位螺栓作旋轉及伸縮運動，第一拉桿可以繞固定座旋轉，第一拉桿在氣缸組件推動下可以繞固定座旋轉，第二拉桿可以繞固定螺栓旋轉，第二拉桿在第一拉桿推動下可以繞固定螺栓旋轉，第二拉桿可以推動工作平臺作水平運動。該工作平臺可以在有較大的行程，但要求安裝的距離遠遠小于行程的距離的場合使用，同時可以實現在斷電和斷氣的情況下對工作平臺的維修需求。
文檔編號H01L21/677GK201466012SQ20092006749
公開日2010年5月12日 申請日期2009年2月4日 優先權日2009年2月4日
發明者吳榮基, 趙正龍 申請人:上海微電子裝備有限公司