專利名稱：識別工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及集成電路制造領域，特別涉及一種用以識別晶片標記的識 別工具。
背景技術：
在半導體制造過程中，對晶片選擇性地并重復性地執行光刻、蝕刻、擴散、 化學氣相沉積、離子注入以及金屬沉積等制程，以在晶片上形成導電層、半導 體層和非導電層中的至少一種，由此形成半導體器件。
當制造半導體器件時，為確保晶片的安全儲存、搬移，避免破損和污染， 廣泛運用晶舟盒(pod)作為晶片的承載及運輸工具，并且需依照晶片的標記 (wafermark)依序的將晶片裝載于晶舟盒內。具體請參考圖1,其為晶片及其 標記區域的示意圖，晶片IO上的一角落有一標記區域11，標示著晶片10的標 記。 一般，晶舟盒內的晶片是按照標記順序依次地被放置，這樣有利于在需要 抽查某一片晶片時，可方便快捷的尋找到所需抽查的晶片。
現有技術中通常使用的識別工具為真空吸筆。首^，將真空吸筆插入到兩 片晶片之間的空隙，然后輕輕吸住一晶片的表面并拖出一小部分，以識別晶片 的標記，識別完后，再將晶片推回原位并放下，然后再進行下一片的檢查。目 前，使用真空吸筆識別一片晶片的標記大概需要幾十秒的時間，若一晶舟盒中 裝滿25片晶片，要檢查完全部晶片，需要耗費約十幾分鐘，非常浪費時間，且 檢查過程花費的時間越長，晶片沾污到顆粒以及其它的污染物的機率越高，越 容易出現缺陷。另外，使用真空吸筆吸取晶片的過程中，若操作人員不慎抖動 手部，或吸筆的真空部分出現故障，都容易使晶片脫離真空吸筆，而導致破片 情況的發生，帶來極大的損失。
實用新型內容
有筌于此，本實用新型的目的是提供一種識別工具，用于識別存放在晶舟 盒內的晶片的標記，以縮短識別時間，并可避免破片情況的發生。
本實用新型提出了一種識別工具，用以識別晶舟盒內晶片上的標記，包括 支撐臺，用以放置所述晶舟盒；驅動裝置，設置于所述支撐臺內；以及斜板， 斜板，設置于所述支撐臺內對應于晶舟盒底部的位置，與所述驅動裝置連接； 其中，所述驅動裝置推動所述斜板沿所述支撐臺上升，以將所述晶片頂出所述
晶舟盒。
可選的，所述驅動裝置包括電機，設置于所述支撐臺內；絲杠，設置于 所述支撐臺內，并由所述電機帶動旋轉；以及滑塊，安裝在所述絲杠上，與所 述斜板滑動連接，通過所述電機的帶動而沿所述絲杠線性運動，并推動所述斜 板沿所述支撐臺上升或下降。
可選的，所述驅動裝置還包括一導軌，其與所述滑塊滑動連接，并與所述 絲杠平行設置。
可選的，所述支撐臺具有一容置部，所述容置部的截面呈"V"型。 可選的，所述斜板為梯形或三角形。 可選的，所述支撐臺的材質為金屬。 可選的，所述斜板的材質為鐵氟龍。
本實用新型提出了一種識別工具，可方便快捷的識別晶舟盒中晶片的標記， 可有效的節省時間，且無破片的危險。
圖1為晶片及其標記區域的示意圖2為本實用新型一實施例所提供的識別工具的透視圖3A至圖3C為本實用新型一實施例所提供的識別工具的使用示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的識別工具作進一步詳細說 明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰 地輔助說明本實用新型實施例的目的。
請參考圖2，其為本實用新型一實施例所提供的識別工具的透視圖，所述識 別工具100包括中空的支撐臺110、驅動裝置120以及斜板130，其中，支撐 臺110具有一容置部111，所述容置部111的截面呈V形，驅動裝置120設置于 支撐臺110內部，斜板130設置于支撐臺IIO上，與驅動裝置120連接，優選 為梯形，其相對于放置在V形容置部111內的晶舟盒20具有一傾斜面。
詳細的，驅動裝置120包括電機121、絲杠122以及滑塊123，其中，電 機121設置于支撐臺110內，絲杠122設置于支撐臺110內，并由電機121帶 動旋轉，滑塊123安裝在絲杠122上，其與斜板130滑動連接，滑塊123通過 電機121的帶動而沿絲杠122線性運動，并推動斜板130沿支撐臺110的容置 部111上升。另外，驅動裝置120還包括一導軌124,其為一滑杠，與滑塊123 滑動連接，并與絲杠122平行設置，所述導軌124可增加滑塊123運動時的穩 定性。
請繼續參考圖3A至圖3C，其為本實用新型一實施例所提供的識別工具的 使用示意圖，需要說明的是，圖3B及圖3C中沒有畫出晶舟盒20,但是通過圖 示說明容易理解其實際工作原理。使用本實用新型 一實施例所提供的識別工具 IOO對晶片30的標記進行識別的過程如下首先，將裝載晶片30的晶舟盒20 放置于支撐臺IIO的容置部111內，接著，啟動電機121,電機121的轉動帶動 絲杠122的轉動，絲杠122的轉動又帶動滑塊123沿絲杠122線性運動，滑塊 123的運動則推動斜板130沿支撐臺IIO上升，其中，晶舟盒20的底部可供斜 板130穿過，使斜板130的傾斜面與晶片30的周邊相抵，而將晶片30微微地 頂出晶舟盒20，以露出晶片30上的標記，且第二片晶片會比第一片晶片多突出 一些，以便于識別第二片晶片的標記，而第三片晶片會比第二片晶片多突出一 些，以便于識別第三片晶片的標記，以此類推直至最后一片。然后， 一次識別 完晶舟盒20內的所有晶片的標記。其中，容置部111的截面為V形，可固定晶 舟盒20,避免晶舟盒20在操作過程中產生滑動，且可防止被頂出的晶片30掉 出于支撐臺110外，而導致產生破片情況。
本實用新型一實施例所提供的識別工具100的支撐臺110為金屬材質，以支撐沉重的晶舟盒20，至于斜板130的材質則為具有一些軟度的鐵氟龍，以避 免其與晶片接觸時對晶片造成損傷。
綜上所述，本實用新型所提供的識別工具，用以識別存放在晶舟盒內的晶 片的標記，所述識別工具包括支撐臺，用以放置所述晶舟盒；驅動裝置，設 置于所述支撐臺內；斜板，設置于所述支撐臺內對應于晶舟盒底部的位置，與 所述驅動裝置連接；其中，所述驅動裝置推動所述斜板沿所述支撐臺上升，以 將所述晶片頂出所述晶舟盒。本實用新型所提供的識別工具，可方便快捷的識 別晶舟盒中晶片的標記，有效的節省時間，且無破片的危險。
顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離 本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實 用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動 和變型在內。
權利要求1、一種識別工具，用以識別晶舟盒內晶片上的標記，其特征在于，包括支撐臺，用以放置所述晶舟盒；驅動裝置，設置于所述支撐臺內；以及斜板，設置于所述支撐臺內對應于晶舟盒底部的位置，與所述驅動裝置連接；其中，所述驅動裝置推動所述斜板沿所述支撐臺上升，以將所述晶片頂出所述晶舟盒。
2、 如權利要求1所述的識別工具，其特征在于，所述驅動裝置包括 電機，設置于所述支撐臺內；絲杠，設置于所述支撐臺內，并由所述電機帶動旋轉；以及 滑塊，安裝在所述絲杠上，與所述斜板滑動連接，通過所述電機的帶動而 沿所述絲杠線性運動，并推動所述斜板沿所述支撐臺上升或下降。
3、 如權利要求2所述的識別工具，其特征在于，所述驅動裝置還包括一導 軌，其與所述滑塊滑動連接，并與所述絲杠平行設置。
4、 如權利要求1所述的識別工具，其特征在于，所述支撐臺具有一容置部， 所述容置部的截面呈"V"型。
5、 如權利要求1所述的識別工具，其特征在于，所述斜板為梯形或三角形。
6、 如權利要求1所述的識別工具，其特征在于，所述支撐臺的材質為金屬。
7、 如權利要求1所述的識別工具，其特征在于，所述斜板的材質為鐵氟龍。
專利摘要本實用新型提供一種識別工具，用以識別存放在晶舟盒內的晶片的標記，所述識別工具包括支撐臺，用以放置所述晶舟盒；驅動裝置，設置于所述支撐臺內；斜板，設置于所述支撐臺內對應于晶舟盒底部的位置，與所述驅動裝置連接；其中，所述驅動裝置推動所述斜板沿所述支撐臺上升，以將所述晶片頂出所述晶舟盒。本實用新型所提供的識別工具，可方便快捷的識別晶舟盒中晶片的標記，有效的節省時間，且無破片的危險。
文檔編號H01L21/66GK201364885SQ20092006683
公開日2009年12月16日 申請日期2009年1月13日 優先權日2009年1月13日
發明者趙俊深, 郭瑩瑩 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司