線狀鋸及線狀鋸系統的制作方法

專利名稱：線狀鋸及線狀鋸系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種線狀鋸以及一種具有該線狀鋸和工件轉移裝置的線狀鋸系統，該
線狀鋸利用線材切斷例如由半導體材料、磁性材料、陶瓷等硬脆材料構成的工件。
背景技術：
當前，作為這種技術，例如提出專利文獻1及專利文獻2中公開的結構。
在專利文獻1中記載的現有結構中，在加工用輥間的工件切斷用線材的上方配置 保持部件，該保持部件用于以可向線材升降的吊起狀態保持工件。在工件的上表面固定被 保持體，該被保持體被支撐為，相對于所述保持部，可以向加工用輥的軸線方向滑動。與線 狀鋸相對應地配置工件轉移裝置，在該工件轉移裝置上支撐工件上的被保持體，在其與線 狀鋸側的保持部件之間設置用于引導工件轉移的引導部件。 另外，在專利文獻2中記載的現有結構中，在加工用輥間的線材的上方配置保持 部件，該保持部件用于以可向線材升降的吊起狀態保持工件。在工件的上表面固定被保持 體，該被保持體被支撐為，相對于所述保持部件，可以向與加工用輥的軸線方向正交的方向滑動。 專利文獻1 :特開2008-246643號公報
專利文獻2 :特開平10-202499號公報

發明內容
但是，在這些現有結構中存在下述問題。 在專利文獻1中記載的現有結構中，通過使工件上的被保持體相對于線狀鋸的保 持部件向加工用輥的軸線方向滑動，從而進行轉移。由此，在將多個工件以沿著加工用輥的 軸線方向并列設置的狀態，固定在被保持體上，或者將加工用輥軸線方向上較長的工件固 定在被保持體上的情況下，使被保持體相對于保持部件的滑動距離變長。并且，如果滑動 距離變長而保持部件的引導方向和被保持體的移動方向不一致，則在所述滑動中會產生扭 動。因此，在滑動距離較長的情況下，必須使被保持體的移動方向準確地與保持部件的引導 方向一致，即使在線狀鋸側設置對被保持體的導入進行引導的構造，工件的安裝作業也很 繁瑣。 另外，在專利文獻2中記載的現有構成中，沒有設置對將工件上的被保持體安裝 在線狀鋸側的保持部件上的情況下的導入進行引導的構造。因此，被保持體相對于保持部 件的導入很困難，即使滑動方向為與加工用輥的軸線方向正交的方向，工件的轉移作業也 無法容易地進行。 本發明是著眼于在如上所述的現有技術中存在的問題點而提出的。其目的在于，
提供一種可以容易地進行工件相對于線狀鋸的安裝的線狀鋸及線狀鋸系統。 為了實現上述目的，本發明為一種線狀鋸，其平行地配置多根加工用輥，并且在與
該加工用輥相對的位置上，設置可安裝/拆卸地保持工件的保持單元，利用在所述加工用輥之間張緊設置的線材，將由該保持單元保持的工件切斷，其特征在于，使工件相對于所述
保持單元的安裝/拆卸方向，為與平行于所述加工用輥軸線的上下方向平面相交叉的方
向，并且在該保持單元上，設置用于引導工件向安裝位置導入的導入引導部。 因此，即使在將多個輥并列設置在加工用輥的軸線方向上狀態下，或者，工件在加
工用輥的軸線方向上較長的情況下，也可以向保持單元容易地導入工件，并且可以不較大
幅度滑動地安裝。因此，可以容易地進行工件的安裝作業而不產生扭動。 在上述的構成中，優選使工件相對于所述保持單元的安裝/拆卸方向，為與平行
于所述加工用輥軸線的上下方向平面正交的方向。 另外，在所述構成中，優選所述保持單元具有保持部件，其將固定在工件上表面的 被保持體可滑動地吊起，從而將工件向被加工位置引導，并且將其保持在該被加工位置，在 該保持部件的前端部設置所述導入引導部。根據該結構，由于保持部件具有工件的保持功 能以及滑動導軌功能，所以可以簡化結構，并且，通過導入引導部的作用，可以順利地進行 工件向保持部件的滑動而不會扭動。 另外，在所述構成中，在所述保持單元上形成用于限制所述被保持體的位置的限
制面，并且設有驅動單元，其使所述保持部件可以相對于所述限制面接近/分離，使所述保
持部件向所述接近方向移動，而使所述被保持體相對于所述限制面以限制狀態壓接。根據
如上所述構成，由于限制面向下方開放，所以可以容易地進行清掃限制面。 另外，在線狀鋸系統的發明中，其特征在于，由技術方案3或者4中記載的線狀鋸
以及工件轉移裝置構成，工件轉移裝置，其可以在轉移位置、和從該位置離開的位置之間移
動，該轉移位置是將所述被保持體配置在所述保持部件的高度位置上，支撐該工件以使該
工件可以在工件轉移裝置與所述保持部件之間轉移的位置。因此，在本發明中，利用工件轉
移裝置，可以容易地進行工件相對于線狀鋸的安裝/拆卸作業。 在所述構成中，也可以在線狀鋸和工件轉移裝置之間設置定位單元，其使工件轉 移裝置相對于所述保持部件進行定位。按照如上所述，在工件向線狀鋸的安裝中，工件相對 于保持部件即工件安裝位置的定位變得容易。 另外，在上述的構成中優選所述工件轉移裝置具有引導部件，其用于可滑動地吊 起固定在工件上表面的被保持體，并且向線狀鋸的保持部件的前端引導工件。根據如上所 述的結構，可以容易地在引導部件和線狀鋸的保持部件之間轉移工件。 另外，在所述的構成中優選所述工件轉移裝置具有托盤，其用于接收從吊在所述 引導部件上的工件滴下的漿液。如上所述，可以防止污染線狀鋸的周邊的地面等。
另外，優選設有固定單元，其支撐在框架上，使所述引導部件可以在向所述保持部 件靠近的位置、和離開保持部件的位置之間移動，并且至少在所述離開位置將引導部件固 定。根據如上所述，可以將工件穩定在安裝/拆卸位置上，而使工件的安裝/拆卸變得容易。
發明的效果 如上所述，根據本發明，實現可以容易地進行工件相對于線狀鋸的安裝/拆卸作 業的效果。


圖1是表示一個實施方式的線狀鋸系統的要部斜視圖。
圖2是圖1的線狀鋸系統中的線狀鋸的要部放大正視圖。 圖3是該線狀鋸的要部側視圖。 圖4是放大表示該線狀鋸的工件支撐裝置的正視圖。 圖5是該工件支撐裝置的要部斜視圖。 圖6是表示工件相對于圖4的工件支撐裝置安裝/拆卸時的狀態的正視圖。 圖7是圖4的7-7線中的放大剖面圖。 圖8是放大表示圖1的線狀鋸系統中的工件轉移裝置的斜視圖。 圖9是該工件轉移裝置的側視圖。 圖10是該工件轉移裝置的放大俯視圖。 圖11是圖9的11-11線中的放大剖面圖。 圖12是圖10的12-12線中的放大剖面圖。 圖13是放大表示支撐體相對于工件轉移裝置的移動體的定位結構的斜視圖。 圖14是表示工件相對于圖9的工件轉移裝置的搭載時狀態的側視圖。
具體實施例方式
下面參照

本發明的一個實施方式。 如圖1所示，本實施方式的線狀鋸系統具有線狀鋸20，其用于切斷工件W ;以及工件轉移裝置41，其用于向該線狀鋸20安裝加工前的工件W，或者取下加工后的工件W。
如圖1至3所示，在所述線狀鋸20中，在基臺21上的立柱22上安裝設置切斷機構23。該切斷機構23具有彼此隔開間隔而平行延伸的一對加工用輥24、25，在這些加工用輥24、25的外周以規定間距形成環狀槽24a、25a。在加工用輥24、25的各環狀槽24a、25a中，連續巻繞由l根線材構成的線材26。另外，通過利用未圖示的行進用電動機使加工用輥24、25旋轉，使線材26在加工用輥24、25之間行進。在該情況下，線材26的行進方式為，重復進行一定量前進以及一定量后退，作為整體逐步地前進，或者向一個方向連續地前進。所述加工用輥只要具有一對即可，如果是彼此隔開間隔而平行配置的結構，則也可以大于或等于3根。 在線狀鋸20的主體上形成開口 20a，其向與加工用輥24、25的軸線方向正交的方向開放，用于使工件W進出。 在所述切斷機構23的上方位置配置漿液供給裝置27。另外，從該漿液供給裝置27向加工用輥24、25間的線材26供給含有游離磨粒的漿液。 在切斷機構23的上方，在立柱22上可升降地配置用于支撐工件W的工件支撐裝置28。工件W如圖2所示，沿加工用輥24、25的軸線方向并列設置多個，或者如未圖示的那樣，為向加工用輥24、25的軸線方向延伸的較長的單個工件。另外，在線狀鋸20運行時，線狀鋸26在切斷機構23的加工用輥24、25之間行進，并且，一邊從漿液供給裝置27向該線狀鋸26上供給漿液，一邊利用工件支撐裝置28使工件W向切斷機構23下降。由此，工件W被線材26按壓而切斷。 下面，詳細說明用于將所述工件W保持在線狀鋸20上的結構。 如圖4至6所示，在所述工件W的上表面粘結固定玻璃平板31以及金屬平板32。
在金屬平板32的上表面，利用未圖示的多個螺栓，可拆卸地安裝金屬制的被保持體33。在被保持體33的上表面突出設置多個被保持片34，在各被保持片34的頂壁上表面形成被限制面34a。在相鄰的各一對的被保持片34的內側形成臺階狀的第1卡合部34b及第2卡合部34c，它們在向線狀鋸20安裝的狀態下，向與所述加工用輥24、25的軸線方向正交的方向延伸。 如圖5至圖7所示，作為用于支撐所述工件W的保持單元的工件支撐部件35，在加工用輥24、25間架設的線材26的上方，可升降地配置在線狀鋸20上。在工件支撐部件35的下表面，支撐作為保持單元的多個保持部件36，該保持部件36正面形狀大致為倒T字狀，可以與所述被保持體33上的第1卡合部34b卡合。在工件支撐部件35的上表面配置作為驅動單元的多個壓力缸37，在這些壓力缸37的活塞桿37a的下端，利用螺栓38固定所述保持部件36。 另外，通過所述壓力缸37的活塞桿37a向下方突出動作，保持部件36從上方位置移動至圖6中以實線表示以及圖7中以虛線表示的下方位置。在該狀態下，所述工件轉移裝置41上的工件W的被保持體33的第1卡合部34b移動至與保持部件36卡合的位置。并且，第1卡合部34b在保持部件36上向其基端側滑動。然后，通過壓力缸37的活塞桿37a向上方進行回退動作，從而使保持部件36移動至圖4及圖7中以實線所示的上方位置。由此，被保持體33經由第1卡合部34b被提升，該被保持體33上的被限制面34a與工件支撐部件35的下表面的限制面35a壓接。其結果，工件W以吊起的狀態保持在工件支撐部件35的限制面35a上。 如圖3及圖7所示，在所述保持部件36的后方，在工件支撐部件35的下表面突出設置定位部件39。另外，如圖3所示，在工件W上的被保持體33沿著導入引導部36a引導移動至保持部件36的基端側時，被保持體33的后面與該定位部件39抵接。利用該抵接，被保持體33相對于工件支撐部件35，被定位在前后方向的規定位置上。
如圖4至圖7所示，在所述各保持部件36的前端部，朝前方突出形成可以與被保持體33上的第1卡合部34b卡合的導入引導部36a。該導入引導部36a利用傾斜面，朝向前端緣形成尖細狀。并且，如圖7中點劃線所示，在將保持部件36配置在下方位置的狀態下，被保持體33的第1卡合部34b從導入引導部36a的前端側被引導移動至保持部件36的基端側。另外，保持部件36配置為，使被保持體33的滑動方向，成為與在上下方向穿過所述加工用輥24、25的軸線的平面正交的方向。但是，如果工件W的加工沒有問題，則也可以將保持部件36配置為，使被保持體33的滑動方向成為與在上下方向穿過所述加工用輥24、25的軸線的平面斜向相交的方向。 下面，詳細說明所述工件轉移裝置41的結構及其關聯結構。 如圖1及圖8至圖10所示，該工件轉移裝置41的框架42具有縱框部42a ;以及一對臂部42b，它們從該縱框部42a的下端向側方突出設置。在框架42的下面四角處安裝車輪43。框架42具有用于使工件轉移裝置41移動的把手44。在框架42的臂部42b間，經由支撐板46配置多個滾輪45，這些滾輪沿著臂部42b的延伸方向，并且在與臂部42b的延伸方向正交的方向上隔開間隔。在支撐板46的上表面設置定位突起47。
所述線狀鋸20的基臺21的底面，高于設置該線狀鋸20的工廠等的地面(未圖示)。如圖1及圖8所示，在所述線狀鋸20的基臺21的底面，以向與加工用輥24、25的軸線方向正交的方向延伸的方式，配置作為引導部件的引導板48。在引導板48的前端形成尖細狀的導入引導面48a。另外，如圖1中箭頭所示，在工件轉移裝置41的框架42向線狀鋸20的基臺21接近移動時，滾輪45沿著引導板48的導入引導面48a而被導入，與引導板48的兩側面卡合。利用該卡合，工件轉移裝置41相對于線狀鋸20定位在加工用輥24、25的軸線方向的規定位置。另外，通過定位突起47與引導板48的前端卡合，將工件轉移裝置41定位在與加工用輥24、25的軸線方向正交的方向的規定位置上。利用所述滾輪45、定位突起47、及引導板48，構成用于將工件轉移裝置41定位在所述工件支撐部件35上的定位單元。 如圖1及圖8至圖10所示，在所述框架42的縱框部42a的內側面，可升降地支撐升降體49。另外，通過使升降用把手50旋轉，經由由未圖示的鏈輪及鏈條等組成的升降機構，使升降體49上升或者下降。升降體49支撐箱型的移動體51，使其可以在水平面內向與框架42的臂部42b的延伸方向正交的方向移動。另外，通過使移動用把手52旋轉，經由由未圖示的滾珠絲桿等組成的移動機構，使移動體51向所述方向移動。 如圖8及圖11至圖12所示，在所述移動體51的兩側內面，在與移動體51的移動方向正交的方向上延伸配置導軌53。在移動體51內，在兩個導軌53之間支撐支撐體54，使其可以經由多個滾輪55向與移動體51的移動方向正交的方向移動。在支撐體54上，固定用于對該支撐體54進行移動操作的把手56。 如圖8至圖11及圖13所示，在所述移動體51的一側上面，在支撐體54的移動方向上隔開間隔而配置具有定位孔57a的一對定位板57。在支撐體54的一側安裝固定板58，該固定板58具有可以選擇其一地與兩個定位板57的定位孔57a相重合的插入孔58a。另外，在支撐體54移動至圖8至圖10及圖12所示的外側位置(接近線狀鋸20的工件W的位置)的狀態、以及支撐體54如圖12中點劃線所示移動至接近升降體49的內側位置(從線狀鋸20的工件W離開的位置)的狀態下，通過將定位銷59從插入孔58a插入到一側的定位孔57a中，從而將支撐體54定位固定在外側位置或者內側位置上。由所述定位板57、固定板58及定位銷59構成固定單元。 如圖l及圖8至圖12所示，在所述支撐體54的上表面前緣處，突出設置可以與工件W上的被保持體33的第2卡合部34c卡合的多個引導部件60。這些引導部件60朝向前端緣而以尖細狀形成。另外，如圖8、圖IO及圖12所示，在各引導部件60與被保持體33的第2卡合部34c卡合的狀態下，在支撐體54的前部以吊起的狀態支撐工件W。
如圖10及圖12所示，在所述支撐體54的前面配置多個橡膠襯墊61。另外，在引導部件60插入到被保持體33的第2卡合部34c內時，這些橡膠襯墊61施加緩沖地與被保持體33抵接。 如圖8、圖9、圖ll及圖12所示，在所述移動體51的底面的開口部62上安裝托盤63。另外，在引導部件60吊起加工后的工件W的狀態下，在支撐體54移動至升降體49側的內側位置時，利用托盤63接收從工件W滴下的漿液。 下面，說明工件W相對于如上所述構成的線狀鋸20的安裝/拆卸時的動作。
在將工件W向線狀鋸20的工件支撐裝置28上安裝的情況下，如圖14所示，工件W以在其上表面經由玻璃平板31及金屬平板32固定被保持體33的狀態下，搭載在工件搬運用推車66上，搬送至與工件轉移裝置41對應的位置。在該情況下，工件轉移裝置41的支撐體54移動配置在圖12中點劃線所示的 側位置。并且，利用升降用把手50的操作使升降體49升降，并利用移動用把手52的操作使移動體51移動，從而將支撐體54上的引導 部件60配置在與工件W上的被保持體33的第2卡合部34c相對應的位置。
在該狀態下，如果通過操作把手56的操作，將支撐體54從圖12中點劃線所示的 內側位置移動至實線所示的外側位置，則引導部件60插入到工件W上的被保持體33的第 2卡合部34c內。然后，通過使升降體49上升，以在支撐體54的前部吊起的狀態支撐工件 W。另外，通過支撐體54從外側位置向內側位置移動，將工件W搭載在移動體51內。
另一方面，在線狀鋸20的工件支撐裝置28中，通過各壓力缸37的突出動作，如圖 6所示，將保持部件36移動配置在下方位置。在該狀態下，如圖1中箭頭所示，將搭載了工 件W的工件轉移裝置41移動至與所述保持部件36相對應的位置。另外，通過工件轉移裝 置41側的滾輪45及定位突起74與線狀鋸20側的引導板48卡合，工件轉移裝置41相對 于線狀鋸20定位在規定的工件安裝/拆卸位置。 然后，工件轉移裝置41的升降體49根據需要進行升降，并且通過移動體51向左 右方向移動，將吊在引導部件60上的工件W上的被保持體33的第1卡合部34b，配置在與 線狀鋸20的工件支撐裝置28中的保持部件36的導入引導部36a相對應的位置上。在該 狀態下，工件轉移裝置41的支撐體54從內側位置向外側位置移動。因此，如圖7中點劃線 所示，工件W上的被保持體33的第1卡合部34b，從工件支撐部件35的前方側，沿著保持部 件36的導入引導部36a向保持部件36的基端側滑動。 另外，如圖3所示，被保持體33通過與設置在工件支撐部件35的下表面的定位部 件39抵接而被定位在前后方向的規定位置，被保持體33的第1卡合部34b配置在與保持 部件36相對應的卡合位置。在該狀態下，通過工件轉移裝置41的支撐體54從外側位置向 內側移動，將工件W從工件轉移裝置41的引導部件60轉移到線狀鋸20的保持部件36上。
在該情況下，保持部件36配置為，通過所述滾輪45和引導板48的卡合，使被保持 體33的滑動方向成為與加工用輥24、25的軸線方向相交叉的方向。因此，如圖2及圖4所 示，即使在將多個工件W以并列設置在加工用輥24、25的軸線方向上的狀態固定在被保持 體33上的情況下，或者工件W在加工用輥24、25的軸線方向上較長的情況下，工件W上的 被保持體33也可以相對于保持部件36不扭動而順利地轉移。 然后，如果線狀鋸20的工件支撐裝置28中的各壓力缸37進行回退動作，則如圖4 所示，保持部件36向上方位置移動，與被保持體33的第1卡合部34b卡合，該被保持體33 被向工件支撐部件35的限制面35a提起。通過該提起，該被保持體33上的被限制面34a 與工件支撐部件35的限制面35a壓接，將工件W以吊起的狀態保持在工件支撐部件35的 限制面35a上，設置在被加工位置上。 另外，在線狀鋸20中，在由線材26對工件W的加工結束之后，在從工件支撐裝置 28中取出加工后的工件W的情況下，只要利用工件轉移裝置41進行與所述工件W安裝時相 反的操作即可。 本實施方式的結構具有以下效果。 (1)工件W相對于所述工件支撐部件35的保持部件36的安裝/拆卸方向，與平行 于加工用輥24軸線的上下方向平面正交。并且，在所述保持部件36的前端形成用于引導 工件W向安裝位置導入的導入引導部。因此，即使是將多個工件W并列設置在加工用輥24 的軸線方向上的狀態下，或者，工件W在加工用輥24的軸線方向上較長的情況下，也可以相對于保持部件36簡單地導入工件W，并且可以不劇烈滑動地進行安裝。因此，工件W的安裝 作業可以不產生扭動而容易地進行。 (2)所述工件支撐部件35具有保持部件36，其可滑動地吊起固定在工件W上表面 的被保持體33，將工件W引導至被加工位置，并且將其保持在該被加工位置上，在該保持部 件36的前端部形成所述導入引導部36a。因此，由于所述保持部件36具有工件W的保持功 能以及滑動引導功能，所以部件個數減少，可以簡化結構。另外，通過所述導入引導部36a 的作用，可以順利地向保持部件36導入工件W而不扭動。 (3)在所述工件支撐部件35上形成限制面35a，其用于限制工件W的被保持體33 的被限制面34a的位置。另外，保持部件36被壓力缸37提起，所述被限制面34a相對于所 述限制面35a以限制狀態壓接。因此，由于將工件W定位在規定位置上，所以可以實現高精 度加工。另外，由于保持部件36的兩側的限制面35a向下方開放，所以可以容易地進行該 限制面35a的清掃。如果以在限制面35a上附著漿液的狀態下將工件W支撐在工件支撐部 件35上，則工件W的位置錯位，可能無法進行高精度加工，但是本實施方式可以簡單地消除 上述可能發生的情況。與此相對應，例如在所述專利文獻2中，由于相當于本實施方式的限 制面35a的限制面形成在L形狀的支撐部的上表面、即朝上的表面處，所以難以進行該限制 面的清掃。 (4)由于設置工件轉移裝置41，其可以在轉移位置和從該位置離開的位置之間移 動，該轉移位置是將被保持體33配置在保持部件36的高度位置上，支撐工件W而使該工件 W在其與所述保持部件之間轉移的位置，所以，可以容易地進行工件W相對于線狀鋸20的安 裝/拆卸作業。 (5)在線狀鋸20和工件轉移裝置41之間設置定位單元，該定位單元由用于將工件 轉移裝置41相對于保持部件36定位的滾輪45和引導板48等組成。因此，在工件W向線 狀鋸20安裝時，工件相對于保持部件36的定位容易，使工件W的安裝作業更容易。
(6)在所述工件轉移裝置41上設置托盤63，其用于接收從吊在引導部件60上的 工件W滴下的漿液。因此，可以防止漿液污染線狀鋸20的周邊的地面和作業者的衣服等。
(7)引導部件60在接近保持部件36的位置以及離開保持部件36的位置這兩個位 置上，設置用于固定支撐引導部件60的支撐體54的定位板57、固定板58、以及定位銷59。 因此，可以將工件W穩定在相對于工件支撐部件35的安裝/拆卸位置以及待機位置上，從 而使工件W的安裝/拆卸作業變得更加容易。
(變形例) 另外，本實施方式可以如下所述進行變形并具體化。
利用由電動機等形成的驅動機構，使工件轉移裝置41的升降體49和移動體51 升降或者移動。 *利用由電動機等形成的驅動機構，使工件轉移裝置41的支撐體54向內側位置和 外側位置移動。，在所述實施方式中，相對于加工用輥24使工件W升降而對工件W進行加工，但也 可以與此相反，使加工用輥24升降而對工件W進行加工。 *工件轉移裝置41的移動體51上的定位板57僅設置在支撐體54的前進位置側。 即，引導部件60構成為，在接近線狀鋸20的工件支撐部件35的位置上固定支撐體54。
(其它的技術思想) 根據所述實施方式可以得到以下未在權利要求書中記載的技術思想。
(A) —種線狀鋸，其特征在于，設置保持部件，其可滑動地吊起固定在工件上表面
的被保持體，將工件引導至被加工位置，并且保持在該被加工位置，在該保持部件的前端部
設置用于向該保持部件導入工件的導入引導部。 (B)如所述技術思想(A)所述的線狀鋸，其特征在于，在所述保持部件的上方位 置，形成用于限制所述被保持體的位置的限制面，并且設置驅動單元，該驅動單元使所述保 持部件可以相對于所述限制面接近/離開，通過使所述保持部件向所述接近方向移動，使 被保持體相對于所述限制面以限制狀態壓接。 (C) —種線狀鋸系統，其具有工件轉移裝置，該工件轉移裝置設有工件保持部 (60)，該工件保持部(60)支撐在可移動的框架(42)上，將工件(W)保持在安裝于線狀鋸 (20)上的安裝部(33)的高度位置，該工件轉移裝置在其與線狀鋸(20)之間轉移工件(W)， 其特征在于， 設置托盤(63)，其用于接收從保持在所述保持部(60)上的工件(W)滴下的漿液。
權利要求
一種線狀鋸，其平行地配置多根加工用輥，并且在與該加工用輥相對的位置上，設置可安裝/拆卸地保持工件的保持單元，利用在所述加工用輥之間張緊設置的線材，將由該保持單元保持的工件切斷，其特征在于，使工件相對于所述保持單元的安裝/拆卸方向，為與平行于所述加工用輥軸線的上下方向平面相交叉的方向，并且在該保持單元上，設置用于引導工件向安裝位置導入的導入引導部。
2. 如權利要求l所述的線狀鋸，其特征在于，使工件相對于所述保持單元的安裝/拆卸方向，為與平行于所述加工用輥軸線的上下 方向平面正交的方向。
3. 如權利要求l所述的線狀鋸，其特征在于，所述保持單元具有保持部件，其將固定在工件上表面的被保持體可滑動地吊起，從而 將工件向被加工位置引導，并且將其保持在該被加工位置，在該保持部件的前端部設置所 述導入引導部。
4. 如權利要求3所述的線狀鋸，其特征在于，在所述保持單元上形成用于限制所述被保持體的位置的限制面，并且設有驅動單元， 其使所述保持部件可以相對于所述限制面接近/分離，使所述保持部件向所述接近方向移 動，而使所述被保持體相對于所述限制面以限制狀態壓接。
5. —種線狀鋸系統，其特征在于，由下述裝置構成 權利要求3或4所述的線狀鋸；以及工件轉移裝置，其可以在轉移位置、和從該位置離開的位置之間移動，該轉移位置是將 所述被保持體配置在所述保持部件的高度位置上，支撐該工件以使該工件可以在工件轉移 裝置與所述保持部件之間轉移的位置。
6. 如權利要求5所述的線狀鋸系統，其特征在于，在線狀鋸和工件轉移裝置之間設置定位單元，其使工件轉移裝置相對于所述保持部件 進行定位。
7. 如權利要求5所述的線狀鋸系統，其特征在于，所述工件轉移裝置具有引導部件，其用于可滑動地吊起固定在工件上表面的被保持 體，并且向線狀鋸的保持部件的前端引導工件。
8. 如權利要求7所述的線狀鋸系統，其特征在于，所述工件轉移裝置具有托盤，其用于接收從吊在所述引導部件上的工件滴下的漿液。
9. 如權利要求7或8所述的線狀鋸系統，其特征在于，設有固定單元，其支撐在框架上，使所述引導部件可以在向所述保持部件靠近的位置、 和離開保持部件的位置之間移動，并且至少在所述離開位置將引導部件固定。
全文摘要
本發明涉及一種線狀鋸及線狀鋸系統，其可以相對于保持部件安裝/拆卸工件上的被保持體，而不會劇烈地滑動，從而可以容易地進行安裝/拆卸作業。設置多根纏繞了工件切斷用的線材(26)的加工用輥(24、25)。設置可滑動地吊起固定在工件W的上表面的被保持體(33)的保持部件(34)，利用該保持部件(34)，將被保持體(33)向工件支撐部件(35)的限制面提起，保持在該限制面上。將保持部件(34)配置為，使被保持體(33)的滑動方向是與加工用輥(24、25)的軸線方向相交叉的方向。在保持部件(34)的前端部設置用于向保持部件(34)的基端側引導被保持體(33)的導入引導部(36a)。
文檔編號H01L21/304GK101774149SQ20091024957
公開日2010年7月14日 申請日期2009年12月25日 優先權日2008年12月25日
發明者具志堅仁, 小林茂雄 申請人:小松Ntc株式會社