疊層型壓電元件及其制造方法

專利名稱：：疊層型壓電元件及其制造方法
技術領域：
：本發明涉及疊層型壓電元件(以下也簡稱為"元件")及其制造方法，例如，涉及搭載在汽車發動機的燃料噴射裝置、噴墨等液體噴射裝置、光學裝置等的精密定位裝置或振動防止裝置等中的驅動元件，搭載在燃燒壓力傳感器、測震傳感器、加速度傳感器、負荷傳感器、超音波傳感器、壓敏傳感器、偏航速率傳感器等中的傳感器元件，以及搭載在壓電陀螺、壓電開關、壓電變壓器、壓電斷路器等中的電路元件上使用的疊層型壓電元件。
背景技術：
：以往，作為疊層型壓電元件，公知有交替疊層壓電體和內部電極的疊層型壓電執行機構。疊層型壓電執行機構分類為同時燒成類型、和交替疊層由l個壓電體構成的壓電瓷器與板狀體的內部電極的層疊類型兩種，但出于有利于低壓電化、降低制造成本方面、薄層化、以及有利于耐久性的考慮，同時燒成類型的疊層型壓電執行機構表現出優異性。圖24A、圖24B是表示專利文獻1中公開的以往的疊層型壓電元件的圖。該疊層型壓電元件由疊層體103和形成在其對置的一對側面上的外部電極105構成。疊層體103交替疊層有壓電體101和內部電極102，不過，內部電極102并不是形成在壓電體101的整個主面上，而成為所謂的局部電極結構。該局部電極結構的疊層體左右相異地疊層，使內部電極102每隔一層向側面露出。這樣，以往的同時燒成類型的疊層型壓電元件具有局部電極結構的內部電極圖形，使極性不同的內部電極和外部電極不相接觸。另外，在疊層體側面也有時將內部電極每隔l個由絕緣體覆蓋而與外部電極相絕緣。這樣，無論哪種類型，都在疊層體側面每隔一層露出內部電極，并在疊層體103的相對置的一對側面與每隔一層露出的內部電極相連接地形成外部電極105。此外，在疊層體103的疊層方向上兩端面疊層有惰性層104。另外，以往的疊層型壓電元件如下制作，S卩，通過在包含壓電體材料的陶瓷生片上印刷內部電極膏，再疊層多個這樣印刷了內部電極膏的陶瓷生片進行燒成而制作疊層體103，然后，在疊層體103的一對側面上形成外部電極105(例如，參照專利文獻1)。此外，在陶瓷生片上按圖24B所示那樣的規定圖形印刷內部電極膏。這樣同時燒成類型的疊層型壓電元件，為了使內部電極102和壓電體101密接，而謀求使內部電極102的燒結溫度和壓電體101的燒結溫度相一致，為此研究內部電極102、壓電體101的材料組成，使之滿足其要求。通常作為內部電極102采用銀和鈀的合金，但為了同時燒成壓電體IOI和內部電極102，其組成比通常設定為銀70重量％、鈀30重量％(例如，參照專利文獻2)。另外，由包含銀-鈀合金(含鈀)的金屬組成構成的內部電極102可抑制所謂的銀遷移現象(銀沿元件表面傳播移動的現象)。即，在只有銀的組成中會產生賦予對置的內部電極102之間電位差的情況、和電極中的銀從其正極向負極沿元件表面傳播移動的銀遷移現象。在高溫、高濕的環境中該現象明顯發生。另外，在疊層陶瓷電容器領域，關于內部電極，在專利文獻3中提出一種在內部電極端部設置空隙的方案，其目的在于提供一種可緩和在電介體層和內部電極層界面感應產生的應力、耐基板彎曲性等方面的可靠性優越、具有電氣特性的穩定性和高性能品質的疊層陶瓷電容器。但是，疊層型壓電元件與通常的疊層型電子構件(例如，疊層型陶瓷電容器)不同，在通電的情況下外加電場時，壓電體瓷器會產生較大的變形(位移)。另外，驅動次數與壓電體瓷器的變形次數相同。出于該點考慮，在頻繁地伴隨著位移的疊層型壓電元件中，基于維持內部電極的耐久性的目的，將內部電極形成為致密結構。在如上述那樣構成的疊層型壓電元件中，由軟釬料將導線固定在外部電極105上，通過在外部電極105之間外加規定電壓進行驅動，而能夠使用為壓電執行機構。專利文獻1:日本特開昭61-133715號公報專利文獻2:日本實開平1-130568號公報專利文獻3:日本特開2002-231558號公報但是，近年來，對于小型的壓電執行機構用的疊層型壓電元件，謀求在較大壓力下產生較大的位移量，而以往的疊層型壓電元件，成為壓電體101被內部電極102夾緊的狀態，存在不能增大壓電體101的位移量的問題。另外，在致密的內部電極也產生難以有效地獲得近年所謀求那樣的較大的位移并且，在長時間驅動疊層型壓電元件時，元件溫度上升，若該元件溫度超過散熱量則會產生熱失控現象導致破壞，存在位移量急劇劣化的問題。進而，在將以往的疊層型壓電元件利用于燃料噴射裝置等的驅動元件而用作為執行機構的情況下，期望的位移量逐漸變化，會產生裝置誤動作的問題。因此，謀求抑制長期連續運轉的位移量的變化和提高耐久性。另外，在使疊層型壓電元件在高電場、高壓力下長期連續驅動的情況下，基于局部電極結構，位移在特定部分變大，該部分成為起點會產生疊層部分剝離破壞這樣的問題。另外，由這樣特定部位的位移產生共振現象，會存在產生蜂鳴音、或者產生驅動頻率整數倍的高次諧波信號的問題。該蜂鳴音或高次諧波信號成為噪音成分，在用作執行機構時，存在成為誤動作的原因的問題。另外，在局部電極結構中，由于只夾在不同極性的內部電極間的壓電體表現出位移、不夾在內部電極間的壓電體沒有表現出位移，所以在高電場、高壓力下長期連續驅動時，應力集中在上述內部電極和上述絕緣區域的邊界。基于該應力會在絕緣區域即壓電體產生裂縫，裂縫傳播，存在極性不同的內部電極和外部電極之間短路導致疊層型壓電體元件破壞的問題。在產生上述那樣的裂縫時，會導致壓電體位移功能降低，因此，疊層型壓電元件的驅動位移量變化，可靠性和耐久性劣化。
發明內容為此，本發明的目的在于提供一種在高電壓、高壓力下可增大壓電執行機構的位移量，并且，即使在高電壓、高壓力下長期連續驅動時位移量也不會變化的耐久性優越的疊層型壓電元件及其制造方法。本發明的第1疊層型壓電元件是基于以下發現而達成的，S卩，通過將壓電體和內部電極之間的接合強度，在與壓電體的彎曲強度的關系上設定在適當的范圍，而即使在壓電體被內部電極夾緊的狀態下，也可減小夾緊力。即，本發明的第1疊層型壓電元件的特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在上述疊層體的第一側面，并與上述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在上述疊層體的第二側面，并與上述第二內部電極連接，并且，上述壓電體和上述內部電極之間的接合強度比上述壓電體的彎曲強度弱。另外，本發明的第2及第3疊層型壓電元件是基于以下發現而達成的，即，與之前的想法不同，通過大膽地在內部電極設置空隙，而使位移量顯著提高，同時還提高了耐久性。即，本發明的第2疊層型壓電元件的特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在上述疊層體的第一側面，并與上述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在上述疊層體的第二側面，并與上述第二內部電極連接，并且，上述內部電極含有空隙，上述空隙在上述內部電極剖面中所占的面積比例為570%。另外，本發明的第3疊層型壓電元件的特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在上述疊層體的第一側面，并與上述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在上述疊層體的第二側面，并與上述第二內部電極連接，并且，還設有沿上述疊層體的疊層方向貫穿上述內部電極的空隙。本發明的第4疊層型壓電元件是基于發明人發現的如下見解而達成的。S卩，疊層型壓電元件與電容器等其他的疊層型電子構件不同，驅動時元件自身會連續地產生尺寸變化。因此，在高電場、高壓力下長期連續驅動的情況下，只不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分進行有效的的壓電位移。這時，在不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的形狀為線對稱形狀時，成為對稱的中心線的一直線上的位移最大，處在該一直線上的元件側面成為起點，導致疊層部分剝離產生破壞。并且，由于存在位移集中的一直線，所以產生共振現象，而產生蜂鳴音或產生驅動頻率整數倍的高次諧波信號成為噪音成分，在用作執行機構的情況下，成為誤動作的原因。另外，由于存在這樣位移大的部分，所以在長期反復動作的情況下，位移量變化使耐久性劣化。基于以上見解達成的本發明的第4疊層型壓電元件的特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在上述疊層體的第一側面，并與上述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在上述疊層體的第二側面，并與上述第二內部電極連接，并且，上述第一內部電極和上述第二內部電極相對置的對置部分的形狀為非線對稱形狀。本發明的第5疊層型壓電元件是基于發明人發現的以下見解而做出的。如上所述，位于為了與極性不同的外部電極相絕緣而不形成內部電極的區域即絕緣區域的壓電體，由于不夾在不同極性的內部電極之間，所以即使驅動疊層型壓電元件，上述壓電體也不表現出位移。從而，在高電場、高壓力下長期連續驅動的情況下，只夾在不同極性的內部電極間的壓電體表現出位移，不夾在不同極性的內部電極間的壓電體不表現出位移，因此，應力集中在上述內部電極和上述絕緣區域的邊界。在這樣應力集中的邊界，裂縫容易在壓電體上產生。另外，在產生了裂縫的情況下，裂縫傳播，若極性不同的內部電極和外部電極之間形成短路，則元件破壞。另夕卜，由于壓電體為絕緣體，電流不會在不同極性的內部電極之間流動，所以產生用于驅動疊層型壓電元件的電壓集中在電極圖形端部所謂邊緣效應。因此，即使夾在不同極性的內部電極間的壓電體中的被電極圖形端部所夾的部位的位移也變化較大。但是，由于不夾在不同極性的內部電極間的壓電體不表現出位移，所以在其邊界集中更大的應力。在所述的情況下，如果內部電極和上述絕緣區域的邊界為直線狀，則在邊界的一部分產生裂縫時，裂縫以其一點為起點沿邊界呈直線狀生長導致疊層型壓電體元件破壞。另外，在內部電極圖形上形成如在內部電極和上述絕緣區域的邊界使直線彼此間對接那樣的任意角度的端部時，應力集中在如直線彼此間對接那樣的任意角度的端部，在絕緣區域即壓電體上產生裂縫。基于這樣的見解達成的本發明的第5疊層型壓電元件的特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在上述疊層體的第一側面，并與上述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在上述疊層體的第二側面，并與上述第二內部電極連接，并且，上述第一內部電極的與上述第二外部電極相對置的對置端部為圓弧形狀，上述第二內部電極的與上述第一外部電極相對置的對置端部為圓弧形狀。此外，上述第一內部電極的圓弧形狀的對置端部和上述第二外部電極之間、以及上述第二內部電極的圓弧形狀的對置端部和上述第一外部電極之間是上述的絕緣區域。根據以上的本發明的第1疊層型壓電元件，通過使壓電體和內部電極之間的接合強度比壓電體的強度弱，能夠減小內部電極夾緊壓電體的力，所以可增大疊層型壓電體元件的位移量。并且，由于可減小壓電體和內部電極之間的殘余應力，所以可提供驅動過程中的位移量一定的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。另外，根據本發明的第l疊層型壓電元件，即使內部電極采用硬度高的硬金屬的情況下，也可使壓電體被內部電極夾緊的力比較小，能夠減小殘余應力。從而，可減小連續驅動時的位移量的變化，并且，能夠抑制在長時間驅動殘余應力大的疊層型壓電元件時產生的元件溫度上升。據此，可防止該元件溫度超過散熱量時引起的熱失控現象，能夠防止位移量的劣化。另外，本發明的第2疊層型壓電元件，通過在內部電極中設置相對上述內部電極的面積占570%的空隙，而在壓電體因電場而變形時，被內部電極約束的力減弱，可使壓電體比較容易變形，而位移量提高，并且，也可減小在內部電極產生的應力，因此，耐久性也優越。另外，本發明的第3疊層型壓電元件，由于設有沿上述疊層體的疊層方向貫穿上述內部電極的空隙，所以在壓電體因電場而變形時，被內部電極約束的力減弱，可使壓電體比較容易變形，而位移量提高，并且，也可減小在內部電極產生的應力，因此，耐久性也優越。根據本發明的第4疊層型壓電元件，通過使不同極性的內部電極彼此間經由壓電體相重疊的部分的形狀為非線對稱形狀，在疊層型壓電元件驅動時即使元件的尺寸連續變化也可抑制疊層部分的剝離。另外，由于可抑制在元件的尺寸變化即位移集中時產生的共振現象，所以，不但可防止產生蜂鳴音，而且，能夠防止產生高次諧波信號，因此，會抑制控制信號的噪音，能夠抑制執行機構的誤動作。并且，通過使不同極性的內部電極在所有的元件側面露出，而在作為執行機構驅動時可使元件上產生的應力傳播到元件的外側，因此，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。并且，在內部電極上形成有用于使具有不同極性的內部電極和外部電極相絕緣的圖形，而無需在元件外側設置防止絕緣的區域，因此，防止絕緣部分不會隨著元件位移帶來的元件尺寸變化而剝離或剝離產生火花，所以，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。并且，通過在上述內部電極圖形上形成C面或R面，而在元件位移時，可避免應力集中在電極圖形的端部，因此，可提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。根據本發明的第5疊層型壓電元件，將上述第一內部電極的與上述第二外部電極對置的對置端部設成圓弧形狀、將上述第二內部電極的與上述第一外部電極對置的對置端部設成圓弧形狀，即將內部電極和絕緣區域的邊界設成R狀，從而能夠防止應力集中在形成于內部電極與極性不同的外部電極之間的絕緣區域、和內部電極的邊界上。因此，即使在高電場、高壓力下長期連續驅動疊層型壓電元件，也可抑制在極性不同的內部電極和外部電極之間形成的裂縫的生長，能夠防止極性不同的內部電極和外部電極之間的短路。并且，如果具有不同極性的上述內部電極經由上述壓電體相重疊的部分的各角部的形狀為R狀，則能夠防止應力一點集中在形成于內部電極與極性不同的外部電極之間的絕緣區域、和內部電極的邊界上，因此，能夠防止在上述邊界產生應力集中。據此，即使在高電場、高壓力下長期連續驅動疊層型壓電元件，在疊層型壓電元件的驅動方向即疊層方向上驅動伸縮，也可防止在具有不同極性的上下內部電極的上述邊界產生的沿疊層方向的裂縫，能夠提高元件的耐久性。并且，如果使上述內部電極在上述疊層體側面露出，可擴大夾在上述內部電極彼此間的壓電體的面積，因此，能夠增大上述壓電體的位移面積，并且，可使在驅動時元件中產生的應力傳播到元件外側，從而，可提供位移量優越的高可靠性的疊層型壓電元件。從而，即使連續驅動疊層型壓電元件，期望的位移量也不會有效地變化，因此，不會產生裝置誤動作，能夠提供耐久性優越的高可靠性的噴射裝置。另外，在本發明的第1第5疊層型壓電元件中，在將構成內部電極的金屬的熱膨脹系數設為ap將構成外部電極的金屬的熱膨脹系數設為02時，熱膨脹系數比(a乂a》為0.9以上且小于1，從而，即使連續驅動疊層型壓電元件，內部電極和外部電極的熱膨脹系數的差也小，因此，即使元件的連續驅動次數增加使元件溫度上升，也可防止在內部電極和外部電極之間產生密接不良。即，可抑制連續驅動過程中的剝離或斷線，能夠防止執行位移量變小的問題，進而能夠防止剝離的部分產生火花而導致破壞的問題。據此，不存在裝置的誤動作，并且，可具有無熱失控的優越的耐久性。另外，在本發明的第1第5疊層型壓電元件中，通過在內部電極和外部電極的接合部設置中間層，可緩和因內部電極和外部電極的熱膨脹差產生的應力，防止電極剝離，能夠提高驅動過程中的耐久性。并且，通過在上述內部電極中與金屬組成物一起添加無機組成物，而使上述內部電極和上述壓電體的界面的密接強度增大，因此，可抑制上述內部電極和上述壓電體的界面上的剝離。如上所述，根據本發明的疊層型壓電元件，可以提供位移量大且即使連續驅動疊層型壓電元件所期望的位移量也不會變化而耐久性優越的高可靠性的噴射裝置。圖1A是本發明的實施方式1的疊層型壓電元件的立體圖。圖IB是表示實施方式1的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖2A是本發明的實施方式2的疊層型壓電元件的立體圖。圖2B是表示實施方式2的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖3是實施方式2的疊層型壓電元件的配置在壓電體之間的內部電極的放大剖視圖。圖4A是本發明的疊層型壓電元件的變形例的立體圖。圖4B是本發明的疊層型壓電元件的變形例的剖視圖。圖5A是本發明的實施方式3的疊層型壓電元件的立體圖。圖5B是表示實施方式3的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖6A是表示實施方式3的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖6B是表示實施方式3的疊層型壓電元件中的不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖7是表示實施方式3的疊層型壓電元件中內部電極與外部電極的距離的橫向剖視圖。圖8A是表示本發明的實施例4的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖8B是表示本發明的實施例4的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖8C是表示本發明的實施例4的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖9A是表示本發明的實施例5的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖9B是表示本發明的實施例5的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖9C是表示本發明的實施例5的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖10A是本發明的實施方式4的疊層型壓電元件的立體圖。圖10B是表示實施方式4的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖10C是表示實施方式4的變形例的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖10D是表示實施方式4的變形例的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖10E是表示實施方式4的變形例的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖11A是表示實施方式4的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。圖11B是表示實施方式4的疊層型壓電元件中的不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖12是表示實施方式4的疊層型壓電元件中內部電極與外部電極的距離的橫向剖視圖。圖13A是表示本發明的實施例6的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖13B是表示本發明的實施例6的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖13C是表示本發明的實施例6的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖14A是表示本發明的實施例7的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖14B是表示本發明的實施例7的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖14C是本發明的實施例7的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖15是表示本發明的實施方式5的疊層型壓電元件中外部電極與內部電極的接合部分的剖面的局部放大圖。圖16是本發明的實施方式6的噴射裝置的剖視圖。圖17A是表示比較例1的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖17B是表示比較例1的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖17C是表示比較例1的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重疊的部分的圖。圖18A是表示比較例2的疊層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。圖18B是表示比較例2的疊層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。疊的部分的0097]圖0098]圖0099]圖l的部分的0100]圖0101]圖0102]圖l的部分的0103]圖0104]圖0105]圖l的部分的0106]圖0107]圖0108]圖l的部分的0109]圖0110]圖圖18C是表示比較例2的疊層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重l的部分的0112]圖0113]圖展開立體圖圖3-槽，4、15、電執行機構執行機構。19A19B19C圖。20A20B20C圖。21A21B21C圖。22A22B22C圖。23A23B23C圖。24A24B是表示比較例3的;是表示比較例3的;是表示比較例3的j是表示比較例4的;是表示比較例4的;是表示比較例4的j是表示比較例5的;是表示比較例5的;是表示比較例5的j是表示比較例6的;是表示比較例6的;是表示比較例6的j是表示比較例7的;是表示比較例7的;是表示比較例7的jt層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重t層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重t層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重t層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重t層型壓電元件中一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中另一極性的內部電極圖形的俯視圖。t層型壓電元件中不同極性的內部電極經由壓電體相重是以往例的疊層型壓電元件的立體圖。是表示以往例的疊層型壓電元件的壓電體層與內部電極層的疊層狀態的中1、11_壓電體，13-疊層體，2、12、82、92-內部電極，2a、82a、92a-電極部分，85-外部電極，6-導線，9、14-惰性層，31-收納容器，33-噴射孔，35-閥，43-壓，10-疊層型壓電體元件，20-空隙，31-收納容器，33-噴射孔，35-閥，43-壓電具體實施例方式以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。實施方式l圖1是表示本發明的實施方式1的疊層型壓電元件的結構的圖，圖1A是立體圖，圖1B是表示壓電體層和內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。本實施方式1的疊層型壓電元件，如圖1A、圖1B所示，在由交替疊層壓電體11和內部電極12而成的疊層體13的一對相對置的側面形成外部電極，在該外部電極15上每隔一層連接內部電極12。S卩，在形成外部電極15的疊層體側面每隔一層露出內部電極12使外部電極15與該露出的內部電極12電導通地接合。另外，在疊層體13的疊層方向兩端通過疊層多個壓電體11(不包含內部電極12)而形成惰性層14。這里，在將本發明的疊層型壓電元件作為疊層型壓電執行機構使用的情況下，可以將導線用軟釬料連接固定在外部電極15上，并將所述導線連接在外部電壓供給部。另夕卜，配置在壓電體層11之間的內部電極12例如由銀-鈀等金屬材料形成，通過內部電極12向各壓電體ll施加規定的電壓，從而，使壓電體ll產生由反壓電效應引起的位移。反之，由于惰性層14是不配設有內部電極12的多個壓電體11的層，所以即使外加電壓也不會產生位移。而且，在本實施方式1中，其特征在于壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度弱。即，在壓電體11被內部電極12夾緊的結構中，若壓電體11和內部電極12之間的接合強度在壓電體11的強度以上，則接合于內部電極12的壓電體11的界面部分即使外加電壓也不會壓電位移，因此，疊層型壓電元件的位移量變小。反之，若壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度弱，則與壓電體11和內部電極12之間的接合強度在壓電體11的強度以上的情況相比較，能夠增大疊層型壓電元件的位移量。如上所述，為了增大疊層型壓電體元件的位移量，需要使壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度弱，不過，其接合強度，優選為壓電體11的強度的70%以下、更優選為50%以下、最好為40%以下。這樣，通過使其接合強度為壓電體ll的強度的70%以下，而能夠減小接合在內部電極12上的壓電體11的界面部分的殘余應力，可增大疊層型壓電元件的位移量。另外，使壓電體11和內部電極12之間的接合強度為壓電體11強度的50%以下、最好40%以下，能夠提高連續驅動時的耐久性。另外，在本發明(實施方式l)中，優選壓電體11和內部電極12之間的接合強度為70MPa以下。這是因為若比70MPa大，則內部電極夾緊壓電體11的力變大，位移量變小。不過，接合強度為OMpa，不能保證疊層型壓電元件自身的形狀。因此，為了增大疊層型壓電體元件的位移量，優選壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度弱，并且，優選上述壓電體11和內部電極12之間的接合強度比OMPa大且為70MPa以下。而且，為了增大疊層型壓電元件的位移量，優選壓電體11和內部電極12之間的接合強度為50MPa以下。另外，為了增大疊層型壓電元件的位移量并且提高耐久性，壓電體11和內部電極12之間的接合強度更優選為40MPa以下，并且，為了提高耐久性，最好在lOMPa以上、35MPa以下。這里，壓電體11的強度、壓電體11和內部電極12之間的接合強度的評價及比較如下所述。在評價時，通過將疊層型壓電元件例如加工成3mmX4mmX36mm的尺寸，而使內部電極12的電極面與試驗片的長度方向大致垂直。對該試驗片，按照JISR1601規定的4點彎曲強度試驗方法，從與長度方向大致垂直的方向施加負荷，來測定彎曲強度。這時，試驗片將在內部電極12和壓電體11的界面破壞時的值作為壓電體和內部電極之間的接合強度，試驗片將在壓電體11處破壞時的值作為壓電體的強度(彎曲強度)。并且，在本發明實施方式1更優選的方式中，使上述外部電極15和內部電極12之間的接合強度比壓電體11和內部電極12的接合強度大。這樣，如果壓電體11和內部電極12之間的接合強度為外部電極15和內部電極12的強度以上，則可提高疊層型壓電元件連續驅動時的耐久性。在本發明中，作為使壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度弱的具體方法(制造方法)，具有以下等方法，即，(1)減小壓電體ll的表面粗糙度，而減小壓電體11和內部電極12接合時的拉樁(anchor)效應；(2)基于抑制燒成時壓電體11和內部電極12的接合部的結晶生長的目的，選定材料組成，使內部電極12開始燒結的燒結開始溫度比壓電體11開始燒結的燒結開始溫度低；(3)為了減小壓電體11和內部電極12的接合處的面積，而減小內部電極的占有面積；(4)在壓電體11和內部電極12之間形成玻璃層。作為具體方法(一例)，在壓電體11和內部電極12的界面例如與構成內部電極12的金屬粉末一起添加其金屬氧化物粉末而印刷電極圖形，使可形成溫度比壓電體11開始燒結的燒結開始溫度低的液相。這樣，通過使內部電極12開始燒結的燒結開始溫度比壓電體11開始燒結的燒結開始溫度低，而在同時燒成時，最初會在內部電極12部分生成液相，燒結在內部電極12單獨進行。在壓電體11和內部電極12之間形成玻璃層的情況下，使冷卻速度比10(TC/小時快，以便液相成為玻璃層。并且，由于在內部電極12由硬度高的金屬構成時，壓電體11和內部電極12的接合強度高，因此，由硬度低的金屬構成內部電極12。下面，對本發明的疊層型壓電元件的制法進行說明。為了作成本實施方式1的疊層型壓電元件，首先，混合由PbZr03-PbTi03等構成的鈣鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的預燒粉末、由丙烯酸系、丁縮醛系等有機高分子構成的粘合劑、DBP(酞酸二丁酯)、DOP(鈦酸二辛酯)等增塑劑制作漿料。并且，利用公知的刮刀法或壓延輥法等帶成型法成型該漿料制作成為壓電體11的陶瓷生片。接著，在銀-鈀等構成內部電極12的金屬粉末中添加混合氧化銀等金屬氧化物、粘合劑及增塑劑等而制成導電膏，再將其通過絲網印刷等方法印刷在上述各生片的上表面形成為140iim的厚度。而且，疊層多個在上表面印刷了導電膏的生片，對該疊層體以規定的溫度脫粘合劑后，以900120(TC進行燒成，而制成疊層體13。這時，在惰性層14部分的生片中添加銀-鈀等構成內部電極12的金屬粉末、或在疊層惰性層14部分的生片時，將由銀-鈀等構成內部電極的金屬粉末及無機化合物、粘合劑和增塑劑組成的漿料印刷在生片上，從而，可使惰性層14與其他部分燒結時收縮動作狀態以及收縮率相一致，能夠形成致密的疊層體。此外，疊層體13并不僅限于通過上述制法制成的，只要能夠制作通過交替疊層多個壓電體11和多個內部電極12而成的疊層體13，無論采用哪種制法形成均可。然后，在疊層型壓電元件的側面交替形成端部露出的內部電極12和端部不露出的內部電極12，在端部不露出的內部電極12和外部電極15之間的壓電體部分形成槽，在該槽內形成楊氏模量比壓電體11低的樹脂或橡膠等絕緣體。這里，上述槽利用內部切片裝置等形成在疊層體13側面。出于充分吸收因執行機構(疊層體)的伸縮產生的應力這一點考慮，構成外部電極15的導電材料優選楊氏模量低的銀或以銀為主成分的合金。例如，外部電極15如以下那樣形成。首先，在銀或以銀為主成分的合金粉末和玻璃粉末中添加粘合劑制成銀玻璃導電膏，將其成形為片狀，控制片的原密度為69g/cm再干燥(使溶劑揮發)。而且，將該片轉印在柱狀疊層體13的外部電極形成面上。接著，以比玻璃軟化點高的溫度、銀熔點(965°C)以下的溫度、且燒成溫度(°C)的4/5以下的溫度進行焙燒。據此，采用銀玻璃導電膏制成的片中的粘合劑成分散失，能夠形成由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成的外部電極15。此外，出于有效地形成頸部、使銀玻璃導電膏中的銀和內部電極12擴散接合、而且使外部電極15中的空隙有效地殘留、進而使外部電極15和柱狀疊層體13側面局部接合等方面的考慮，上述銀玻璃導電膏的焙燒溫度優選55070(TC。另外，銀玻璃導電膏中的玻璃成分的軟化點優選500700°C。在焙燒溫度比70(TC高時，銀玻璃導電膏的銀粉末過度燒結，不能形成呈有效的三維網狀結構的多孔質導電體，會使外部電極15過于致密。其結果，外部電極15的楊氏模量過高，不能充分吸收驅動時的應力，外部電極15有可能產生斷線。最好以玻璃軟化點的1.2倍以內的溫度進行焙燒。另一方面，在焙燒溫度比55(TC低的情況下，由于內部電極12端部和外部電極15之間沒有充分地進行擴散接合，所以不形成頸部，驅動時有可能在內部電極12和外部電極15之間產生火花。此外，優選銀玻璃導電膏的片厚度比壓電體11的厚度薄。出于跟隨執行機構伸縮這一點考慮，更優選為50iim以下。接著，通過將形成了外部電極15的疊層體13浸漬在硅橡膠溶液中、并且對硅橡膠溶液進行真空脫氣，而在疊層體13的槽內部填充硅橡膠，之后，從硅橡膠溶液提起疊層體13，將硅橡膠涂敷在疊層體13側面。然后，通過使填充在槽內部及涂敷在柱狀疊層體13側面的上述硅橡膠硬化，而達成本發明的疊層型壓電元件。而且，在外部電極15上連接導線，經由該導線給一對外部電極15外加0.13kV/mm的直流電壓，對疊層體13進行極化処理，從而，達成利用了本發明的疊層型壓電元件的疊層型壓電執行機構。將這樣制成的疊層型壓電執行機構的導線與外部的電壓供給部連接，在經由導線及外部電極15給內部電極12外加電壓時，各壓電體11因反壓電效應而位移較大。據此，可發揮作為例如向發動機噴射供給燃料的汽車用燃料噴射閥的功能。本發明的疊層型壓電元件并不局限于此，在不脫離本發明主旨的范圍內可以進行各種變更。另外，上述對在疊層體13相對置的側面形成外部電極15的例子進行了說明，但本發明中例如也可在相鄰的側面上形成一對外部電極。實施方式2圖2A、圖2B是表示本發明實施方式2的疊層型壓電元件的構成的圖，圖2A是立體圖、圖2B是剖視圖。另外，圖3是圖2的疊層型壓電元件的內部電極附近的局部剖開的放大圖。該實施方式2的疊層型壓電元件10的特征為具有控制內部電極2的空隙20，除這一點外，具有與實施方式1的疊層型壓電元件大致相同的結構。S卩，實施方式2的疊層型壓電元件IO，如圖2所示，在交替疊層壓電體1和內部電極2而成的疊層體的一對對置側面上形成有外部電極4，在其側面上外部電極4分別接合成與每隔一層露出的內部電極2端部電導通。另外，與實施方式l相同，在疊層型壓電元件10兩端設有惰性層9，在將本實施方式2的疊層型壓電元件10使用為疊層型壓電執行機構的情況下，通過軟釬料在外部電極4上連接固定導線6，通過將上述導線6與外部電壓供給部相連接，而由反壓電效應使壓電體1位移。而且，在本實施方式2的疊層型壓電元件10中，如圖3所示在夾在壓電體1之間的內部電極2中設置空隙20，并且，在內部電極2的剖面，控制該空隙20部分占整個剖面積的570%。S卩，經過本發明人刻苦研究的結果，發現通過如圖3所示在夾在壓電體1之間的內部電極2中按一定范圍內的比例設置空隙20，而可使位移量變大，能夠得到優越的疊層型壓電元件，從而達成本發明。關于在內部電極2內沒有這樣控制的空隙20的以往類型，在壓電體1受到電場而變形時，受到來自內部電極2的束縛使變形量變小，不能得到充分的疊層型壓電元件的位移量。反之，本發明的在內部電極2中具有空隙20的疊層型壓電元件，其壓電體自由變形，與以往相比可增大變形量。這里，對上述的空隙相對內部電極2的面積的所占比例(空隙率)進行說明。空隙率是在沿疊層方向切斷疊層型壓電元件的面上進行測定的。在該切斷面，測定內部電極部分存在的空隙的面積，再將該空隙的面積的總和除以內部電極2的面積(也包括空隙在內)得到的值乘上100倍而得出。另外，若空隙率比5%小，則壓電體1被外加電場而變形時，受到來自內部電極2的束縛，抑制壓電體1的變形，疊層型壓電元件的變形量變小。另外，由于產生的內部應力也變大，所以也會給耐久性帶來不良影響。另外，若空隙率比70%大，則由于在空隙20間的電極部分2a產生極細的部分，所以內部電極2自身的強度降低，容易在內部電極2產生裂縫，最差時有可能產生斷線等問題，因此，不優選。進一步講，由于內部電極2的導電性降低，所以電壓難以外加在壓電體1上，有時不能得到充分的位移量。此外，如圖3所示，空隙20不僅設在電極部分2a間，也能以包含在電極部分2a內部那樣的狀態存在。并且，上述空隙率更優選770%，最優選1060%。通過這樣構成，可使壓電體1更順暢地變形，并且，充分具有內部電極2的導電性，因此，能夠增大疊層型壓電元件10的位移量。另外，空隙20優選剖面中的最大寬度為liim以上。若這樣將剖面中空隙的最大寬度設為lym以上，則可提供一種因內部電極約束壓電體的力變小、壓電體容易變形而可增大位移量，因產生的應力也可降低而耐久性優越的疊層型壓電元件。在疊層型壓電元件的疊層方向剖面上，引出與電極平行的線并測定該線在內部電極剖面上存在的空隙尺寸內的長度，而該最大寬度是測定值中的最大值。從可更加增大位移量以及減少內部應力、提高耐久性的觀點出發，空隙20的最大寬度更優選2ym，最優選3lim。另外，在上述內部電極2剖面上，電極部分2a和空隙20的界面與壓電體1相接的部分的電極部分2a的切線22和壓電體1所成的角度24優選60度以上。如圖3所示，在疊層型壓電元件的疊層方向的剖面上，以電極部分2a和空隙2的界面與壓電體1相接的點為起點，引出與電極部分2a相切的線，以該切線22和壓電體1所成的角度24表示該角度24。這里，在角度24小于60度時，內部電極2中的電極部分2a與壓電體1相接產生的彎液面部位變大，內部電極2約束壓電體1的力變大，有可能位移量降低。并且，從因內部電極2約束壓電體1的力變小而可增大位移量、減小內部應力或提高耐久性的觀點出發，角度24更優選70度以上，最優選80度以上。另外，內部電極2中的金屬組成物優選以8IO族(VIII族)金屬及/或ll族(IB族)金屬為主成分。這是因為810族金屬及11族金屬，由于與壓電體1的潤濕性差，所以在壓電體1和內部電極2的界面容易產生空隙，若疊層它們進行燒成，則能夠形成具有比較高的空隙的內部電極2。并且，優選在內部電極2中添加與構成電極部分2a的材質的潤濕性差的無機組成物。這是因為潤濕性差的無機組成物位于內部電極2，從而，在燒成時，與構成電極部分的材料的潤濕性差，因此，該無機組成物周圍的電極部分2a剝離，在周圍形成沒有電極部分2a的部分即空隙20。這樣，有利于形成空隙，其結果，能夠提高位移量。這里，作為上述無機組成物，優選以BN、TiN、ZrN等氮化物為主成分，更優選以BN為主成分。此外，無機組成物也可以形成在壓電體1表面。下面，對本實施方式2的疊層型壓電元件10的制法進行說明。在該制造方法中，首先，與實施方式1相同，制作成為壓電體1的陶瓷生片。接著，將該生片切割成適當的大小，固定在框架上。接著，在銀-鈀等構成內部電極2的金屬粉末中添加混合粘合劑、增塑劑等制成導電膏，通過絲網印刷等方法將其印刷在上述各生片的上表面形成為140iim的厚度。這時，構成內部電極的金屬粉末重要的是采用熔點不同的2種以上的材料，使燒成后在內部電極2中形成空隙，作為材料優選金屬或合金。而且，在以構成內部電極2的金屬或合金中最低的熔點以上、且其他金屬的熔點以下的溫度預燒時，處在熔點以上而熔化的金屬或合金通過毛細管現象向內部電極中的空孔移動，移動了的部分成為空隙。這樣，能夠制作本發明的具有空隙的內部電極2。此外，上述空孔能夠通過例如在調制上述導電膏時產生在上述金屬粉末間的少許間隙、或上述粘合劑部分因脫粘合劑產生的間隙等形成。另外，除此之外，也可在構成內部電極2的材質中添加與該材質的潤濕性差的材質形成空隙20。并且，即使在印刷內部電極2的生片面上設置與構成內部電極2的材質的潤濕性差的材質也可形成空隙20。接著，同樣在生片的上表面通過絲網印刷等方法印刷140iim的包含成為銀_鈀等的燒結助劑的成分的虛設層，準備惰性層9用的生片。然后，疊層多個在上表面印刷了導電膏的生片和惰性層9用的生片，使惰性層9處在疊層型壓電元件端部，同時施加壓力使其密接。之后，將生片切割成適當大小，以規定溫度脫粘合劑后，以900105(TC燒成，制成疊層型壓電元件IO。在燒成時，重要的是以構成內部電極的金屬或合金中的、熔點低的金屬或合金的熔點以上、且比第二低的金屬或合金的熔點低的溫度保持后，再升溫進行燒成。此外，疊層型壓電元件10并不局限于通過上述制法制成，只要是在內部電極中形成空隙的方法，無論哪種制法均可形成。然后，與實施方式1相同，達成實施方式2的疊層型壓電元件10。另外，上述對于在疊層型壓電元件10的相對置的側面形成外部電極4的例子進行了說明，但是，在本發明中也可以例如在相鄰的側面上形成一對外部電極。實施方式3以下，對本發明實施方式3的疊層型壓電元件進行說明。圖5A、圖5B是表示實施方式3的疊層型壓電元件的構成的圖，其中，圖5A是立體圖，圖5B是表示壓電體層和內部電極層的疊層狀態的展開立體圖。另外，圖6A、圖6B是表示本實施方式3的疊層型壓電元件的內部電極圖形的放大圖，其中，圖6A是表示壓電體層和內部電極層的疊層狀態的展開立體圖，圖6B是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的透視圖。本實施方式3的疊層型壓電元件，如圖所示，除了內部電極和外部電極與實施方式1及2不同之外，其他構成均與實施方式1及2相同。S卩，在實施方式3的疊層型壓電元件中，如圖6A所示，其特征在于不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為非線對稱形狀。這里，所謂不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a表示經由疊層型壓電元件的壓電體11形成且被外加不同極性的電壓的內部電極82的電極圖形彼此間相重合的區域。實際上，壓電體11在被外加不同極性的電場的內部電極82所夾的區域(上述的不同極性的內部電極82彼此間經由壓電體ll重疊的部分82a)有效地壓電位移，作為疊層型壓電元件而動作。因此，若在不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀是線對稱形狀，則由于如山的棱線那樣位移大的部分集中在成為對稱的中心線的一直線上，所以在驅動元件時，成為對稱的中心線的一直線位移最激烈，位于一直線上的元件側面成為起點，導致疊層部分剝離破壞，因此，不優選。而且，存在位移集中的一直線，而產生共振現象，產生蜂鳴音或產生驅動頻率整數倍的高次諧波信號，會成為噪音成分，在用作執行機構的情況下，成為誤動作的原因，因此，不優選。反之，在將不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀設成非線對稱形狀時，即使疊層型壓電元件驅動時元件的尺寸變化連續地產生，也能夠抑制疊層部分剝離。另外，由于能夠抑制在元件的尺寸變化即位移集中時產生的共振現象，所以不僅能防止產生蜂鳴音，而且，也能防止高次諧波信號的產生，因此，可抑制控制信號的噪音，能夠抑制執行機構的誤動作。這里所說的非線對稱形狀表示不能成為線對稱的形狀。即，無論從哪個方向看都不是左右對稱的形狀。并且，在本發明中，優選不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a的形狀為點對稱形狀。不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀不為點對稱時，若使元件位移，則元件位移的中心軸不集中，位移軸晃動，所以不優選。通過內部電極82形狀是點對稱形狀，而使元件位移的中心軸在一直線上，元件位移的軸不晃動，因此，能夠提供一種位移方向成一直線的位移不晃動且耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。這里，所指的點對稱表示為存在所謂的對稱中心的形狀。本發明中，在不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的面內規定任意1點，在以該1點為中心使不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a與面平行旋轉的情況下，旋轉前后的形狀在180°以內的旋轉角重合。而且，這時成為旋轉中心的點是對稱中心。作為點對稱廣泛公知有18(T旋轉對稱、12(T旋轉對稱、9(T旋轉對稱，但是，優選通過抑制用于確保內部電極82和外部電極85導通的路徑為最小限度，而能以簡單的結構高精度地制作疊層型壓電元件的180°旋轉對稱。另外，在對稱的中心是不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的重心時，由于疊層型壓電元件所有的不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的重心沿疊層方向集中在一直線上，所以不僅位移方向的中心軸成為一直線，而且，重心與位移方向的中心軸相一致，因此，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構，故進一步優選。并且，在本發明中，優選不同極性的內部電極82在所有的元件側面露出。對于內部電極82在元件側面不露出的部分，由于電極不露出的位置在驅動時不能位移，所以驅動時位移的區域封在元件內部，而位移時的應力集中在有電極的部分和無電極的部分的交界處，會產生耐久性的問題，故不優選。通過不同極性的內部電極82在所有的元件側面露出，而能夠將作為執行機構驅動時在元件內產生的應力傳播到元件的外側，因此，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。而且，在本發明中，優選，在內部電極82上形成有用于與不同極性的外部電極85絕緣的圖形。若在內部電極82上不形成用于與不同極性的外部電極85絕緣的圖形，則存在短路的問題。通過在內部電極82上形成用于與不同極性的外部電極85絕緣的圖形，則無需在元件外側設置防止絕緣的區域，因此，防止絕緣部分不會隨著元件位移帶來的元件尺寸變化而剝離或剝離產生火花，因此，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。并且，在本發明中，通過使不同極性的內部電極82和外部電極85的距離L1為0.15mm，而能夠提供同時增大位移量及防止絕緣破壞二者的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。在超過5mm時，隨著內部電極面積的減少，壓電體11的驅動區域變小，故不優選。在比O.lmm小時，絕緣特性急劇劣化。為了增大驅動尺寸提高耐久性，優選O.lmm以上且3mm以下、更優選0.5mm以上且lmm以下。這里，所謂距離Ll表示配置了內部電極82的壓電體11上的內部電極82和外部電極85的絕緣距離中的最短距離。并且，在本發明中，如圖7所示，通過使元件表面的不同極性的內部電極82和外部電極85的距離L2為0.lmm5mm，而能夠提供同時增大位移量并且防止絕緣破壞二者的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。在超過5mm時，隨著內部電極面積的減少，壓電體11的驅動區域變小，故不優選。在比O.lmm小時，絕緣特性急劇劣化。為了增大驅動尺寸提高耐久性，優選O.lmm以上且3mm以下、更優選0.5mm以上且lmm以下。這里，所謂距離L2表示疊層體80側面上的1個內部電極82和外部電極85的絕緣距離中的最短距離。并且，在本發明中，通過在內部電極82圖形上形成C面或R面，而在元件位移時，可避免應力集中在電極圖形端部，因此，能夠提供位移量大且耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。在所有電極圖形上形成C面或R面時，耐久性提高，故優選。在壓電體ll自身形成有C面或R面時，耐久性進一步提高，故優選。在電極圖形的所有外周由曲線形成時，位移量進一步變大且耐久性提高，故優選。下面，對本實施方式3的疊層型壓電元件的制法進行說明。在本制造方法中，首先，與實施方式1及2相同，制作陶瓷生片及內部電極82用的導電膏。接著，在各生片上表面通過絲網印刷等方法印刷140iim厚度的導電膏。這時，形成內部電極圖形，使不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a的形狀設成非線對稱形狀。而且，疊層多個在上表面印刷了導電膏的生片，再對該疊層體以規定的溫度脫粘合劑后，通過在900120(TC燒成而制成疊層體80。這時，在惰性層14部分的生片中添加銀-鈀等構成內部電極82的金屬粉末、或在疊層惰性層14部分的生片時將由銀-鈀等構成內部電極82的金屬粉末及無機化合物、粘合劑、增塑劑組成的漿料印刷在生片上，從而，可使惰性層14與其他部分的燒結時收縮動作狀態以及收縮率相一致，故優選，這與實施方式1及2相同。此外，疊層體80并不僅限于通過上述制法制成的，只要能夠制作通過交替疊層多個壓電體11和多個內部電極82而成的疊層體80，無論采用哪種制法形成均可。以下，與實施方式1及2相同，可制造實施方式3的疊層型壓電元件。本發明的疊層型壓電元件并不局限于此，在不脫離本發明主旨的范圍內可以進行各種變更。另外，上述對在疊層體80相對置的側面形成外部電極85的例子進行了說明，但本發明中例如也可在相鄰的側面上形成一對外部電極。實施方式4接下來，對本發明實施方式4的疊層型壓電元件進行說明。圖10A、圖10B是表示本實施方式4的疊層型壓電元件的構成的圖，其中，圖10A是立體圖、圖10B是表示壓電體和內部電極的疊層狀態的展開立體圖。另外，圖11是表示本發明的疊層型壓電元件的內部電極圖形的放大圖，其中，圖11A是表示壓電體和內部電極的疊層狀態的展開立體圖、圖11B是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的透視圖。本實施方式4的疊層型壓電元件，除了內部電極的構成與實施方式3不同之外，其他構成均與實施方式3大致相同。即，在實施方式4的疊層型壓電元件中，在交替疊層壓電體11和內部電極92而成的疊層體13的一對相對置的側面形成外部電極85，其外部電極85和內部電極92如下述那樣進行連接。這里，形成在一對側面中一側面上的外部電極85是正極的外部電極，形成在另一側面上的外部電極是負極或接地用的外部電極。而且，在疊層體90中，正極用內部電極92和負極用內部電極92交替配置，在一側面上，外部電極85，與正極用內部電極92相連接、與負極用內部電極92通過絕緣區域96絕緣分離開。另外，在另一側面上，外部電極85，與負極用內部電極92相連接、與正極用內部電極92通過絕緣區域96絕緣分離開。這里，尤其在實施方式4的疊層型壓電元件中，圖10B所示，其特征在于將形成在壓電體11主面的絕緣區域96和內部電極92的邊界形成為圓弧形狀(R狀)。這樣將絕緣區域96和內部電極92的邊界形成為圓弧形狀是因為若內部電極92和絕緣區域96的邊界為直線狀，則發現在邊界的一部分產生裂縫時，以該一點為起點沿邊界裂縫呈直線狀生長而破壞元件。另外還因為通過在內部電極92和絕緣區域96的邊界具有如使直線彼此間對接那樣的角形狀的端部的內部電極圖形來形成時，應力集中在上述角形狀的端部有可能在絕緣區域96產生裂縫。在這樣產生裂縫時，其裂縫傳播，在極性不同的內部電極92和外部電極85之間產生短路，疊層型壓電體元件的耐久性明顯降低。此外，在圖10B中，將內部電極92的圖形向絕緣區域96以凸型形成為R狀，但，在本發明中由于內部電極92和絕緣區域96的邊界是R狀即可，所以并不僅限于上述凸型。例如也可以將內部電極92的圖形向絕緣區域96形成為凹型、或將具有R狀的凸型和凹型交替連續形成(例如，參照圖10C、10D、10E)。另外，從上述明顯可知為了更加提高疊層型壓電元件的耐久性，優選是凸型或凹型中任一個的R狀，因為與具有多個不同曲率半徑的曲部相比由單一曲率半徑的曲部形成上述邊界其耐久性優越，故優選。并且，在給疊層型壓電元件外加電壓使元件位移后，解除電壓時從元件側面給內部電極施加壓縮應力，因此，為了進一步提高耐久性，優選凹型。另外，優選具有不同極性的內部電極92彼此間經由壓電體11相重疊的部分的形狀為R狀。這是因為由于被不同極性的內部電極所夾的壓電體ll的區域是有效位移的區域，所以只要上述重疊的部分的端部形狀是直線狀，則應力會集中在上述邊界，并在該處容易產生裂縫。從而，由于具有不同極性的上下內部電極92間所夾的壓電體11沿疊層型壓電元件的驅動方向即疊層方向伸縮驅動，所以上述裂縫容易從上述邊界沿疊層方向生長，有可能產生將極性不同的內部電極92彼此間連結起來那樣的裂縫導致短路。而且，優選上述不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的形狀為點對稱形狀。這是因為在不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的形狀不為點對稱的情況下，若使元件位移，則元件位移的中心軸不集中，因此，會導致位移的軸晃動，故不優選。通過內部電極92的形狀為點對稱形狀，而元件位移的中心軸成為一直線，元件位移的軸不晃動，因此，能夠提供位移方向呈一直線而位移不晃動的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。這里，提到的點對稱是表示存在所謂對稱中心的形狀。即，在不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的面內規定任意1點，在以該1點為中心使不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分92a與面平行旋轉的情況下，旋轉前后的形狀在18(T以內的旋轉角重合。而且，這時成為旋轉中心的點是對稱中心。作為點對稱廣泛公知有18(T旋轉對稱、12(T旋轉對稱、9(T旋轉對稱，但是，優選通過抑制用于確保內部電極92和外部電極85導通的路徑為最小限度，而能以簡單的結構高精度地制作疊層型壓電元件的180°旋轉對稱。另外，在對稱的中心是不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的重心時，由于疊層型壓電元件所有的不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的重心沿疊層方向集中在一直線上，所以不僅位移方向的中心軸成為一直線，而且，重心與位移方向的中心軸相一致，因此，能夠提供耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構，故進一步優選。并且，優選內部電極92在疊層體13的側面露出。這是因為對于內部電極92在元件側面不露出的部分，由于電極不露出的位置在驅動時不能位移，所以驅動時位移的區域封在元件內部，而位移時的應力容易集中在上述邊界處，會產生耐久性的問題，故不優選。這里，如圖11A所示，將被外加不同極性的電壓的內部電極92的電極圖形配置在壓電體11上，如圖11B所示，以上述電極圖形彼此間經由壓電體11相重合的區域表示所謂不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a。實際上，壓電體11在被外加不同極性的電場的內部電極92所夾的區域(上述的不同極性的內部電極92彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a)有效地壓電位移，作為疊層型壓電元件進行驅動。另夕卜，優選上述R狀的曲率半徑R為O.510mm。這是因為在上述R狀的曲率半徑R小于0.5mm時，曲率小，所以實際上，內部電極92和絕緣區域96的邊界與在內部電極圖形形成如直線彼此間對接那樣角形狀的端部相同，應力集中在端部而容易在絕緣區域即壓電體上產生裂縫。另夕卜，只要曲率半徑R為0.510mm，則即使內部電極和上述絕緣區域的邊界的一部分產生裂縫的情況下，也因邊界為曲線而能夠抑制裂縫沿邊界一下子呈直線狀成長。在產生這樣的裂縫時，有可以裂縫傳播使不同極性的內部電極彼此間短路而破壞疊層型壓電體元件。另外，還因為在超過10mm時，相反曲率變大，產生與內部電極92和絕緣區域96的邊界為直線狀時相同的現象，在邊界的一部分產生裂縫的情況下，以該一點為起點沿邊界裂縫生長而破壞元件。上述R狀的曲率半徑R更優選為15mm，而可提高耐久性。若進一步設為13mm，則能夠耐久性高且使疊層型壓電元件小型化。另外，優選在內部電極92設置空隙21，在該內部電極92剖面上空隙21相對整個剖面積所占的面積比為570%。這是因為在使空隙21相對內部電極92的面積占570%時，位移量變大，能夠得到位移量優越的疊層型壓電元件。若內部電極92沒有空隙21，則壓電體11受到電場而變形時，容易受到來自內部電極92的束縛，因此，變形量變小，不能得到充分的疊層型壓電元件的位移量。反之，內部電極92中有空隙21的疊層型壓電元件，壓電體自由變形，變形量變大。這里，上述的空隙21相對內部電極92的面積的所占比例(空隙率)是在沿疊層方向切斷疊層型壓電元件的面上進行測定的。在該切斷面，測定內部電極部分存在的空隙的面積，再將該空隙的面積的總和除以內部電極2的面積(也包括空隙在內)得到的值乘上ioo倍而得出。另外，若空隙率比5%小，則壓電體11被外加電場而變形時，受到來自內部電極92的束縛，抑制壓電體ll的變形，疊層型壓電元件的變形量變小。另外，由于產生的內部應力也變大，所以也會給耐久性帶來不良影響。另一方面，若空隙率比70%大，則由于在空隙21間的電極部分產生極細的部分，所以內部電極92自身的強度降低，容易在內部電極92產生裂縫，最差時有可能產生斷線等問題，因此，不優選。進一步講，由于內部電極92的導電性降低，所以電壓難以外加在壓電體11上，有時不能得到充分的位移量。此外，空隙21不僅設在電極部分間，也能以包含在電極部分內部的狀態存在。并且，上述空隙率更優選770%，最優選1060%。通過這樣，可使壓電體l更順暢地變形，并且，充分具有內部電極92的導電性，因此，能夠增大疊層型壓電元件的位移量。另外，優選空隙21剖面中的最大寬度為l踐以上。在疊層型壓電元件的疊層方向剖面上，引出與電極平行的線并測定該線在內部電極剖面上存在的空隙尺寸內的長度，而該最大寬度是測定值中的最大值。并且，從可更加增大位移量以及減少內部應力、提高耐久性的觀點出發，空隙21的最大寬度更優選2iim，最優選3iim。另外，在上述內部電極92剖面上以電極部分和空隙的界面與壓電體ll相接的部分為起點引出的與電極部分相切的切線22和壓電體11所成的角度23優選60度以上。在疊層型壓電元件的疊層方向的剖面上，以電極部分和空隙21的界面與壓電體11相接的點為起點，引出與電極部分相切的線，以該切線22和壓電體11所成的角度23表示該角度。這里，在角度23小于60度時，內部電極92中的電極部分與壓電體11相接產生的彎液面部位變大，內部電極92約束壓電體11的力變大，有可能位移量降低。并且，從因內部電極92約束壓電體11的力變小而可增大位移量、減小內部應力或提高耐久性的觀點出發，角度更優選70度以上，最優選80度以上。另外，優選疊層體13是多邊形柱狀體。這是因為在疊層體13為円柱體時，若不是正圓則中心軸會晃動，因此，必須下功夫作成高精度的圓，難以采用同時燒成實現量產化的制法，另外，即使在疊層大致圓形狀的疊層體后或在燒成后研磨外周形成為圓柱狀，也難以高精度地對齊內部電極的中心軸。反之，若為多邊形柱狀體，可在決定了基準線的壓電體上形成內部電極，并且也可沿基準線進行疊層，因此，能夠以量產化的制法形成驅動軸即中心軸，從而，能夠設成耐久性高的元件。另夕卜，通過不同極性的內部電極92和外部電極85的距離L1為0.15mm，而能夠提供同時增大位移量及防止絕緣破壞二者的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。在超過5mm時，隨著內部電極面積的減少，壓電體11的驅動區域變小，故不優選。在比O.lmm小時，絕緣特性急劇劣化。為了增大驅動尺寸提高耐久性，優選O.lmm以上且3mm以下、更優選0.5mm以上且lmm以下。這里，所謂距離Ll表示配置了內部電極92的壓電體11上的內部電極92和外部電極85的絕緣距離中的最短距離。(如圖12所示)。并且，在本發明中，通過使元件表面的不同極性的內部電極92和外部電極85的距離L2(如圖12所示)為0.lmm5mm，而能夠提供增大位移量的同時還可防止絕緣破壞的耐久性優越的高可靠性的壓電執行機構。在超過5mm時，隨著內部電極面積的減少，壓電體11的驅動區域變小，故不優選。在比0.lmm小時，絕緣特性急劇劣化。為了增大驅動尺寸提高耐久性，優選O.lmm以上且3mm以下、更優選0.5mm以上且lmm以下。這里，所謂距離L2表示疊層體13側面上的1個內部電極92和外部電極85的絕緣距離中的最短距離。下面，對實施方式4的疊層型壓電元件的制法進行說明。在本制造方法中，首先，與實施方式13相同，制作陶瓷生片及用于形成內部電極92的導電膏。接著，在各生片上表面通過絲網印刷等方法印刷140iim厚度的導電膏。這里，為了在內部電極92上形成R狀的圖形，預先在絲網印刷版上形成用于成為R狀的圖形進行印刷。在利用薄膜方法形成電極的情況下，將形成有用于成為R狀的圖形的金屬掩模為代表的掩模圖形配置成生片狀而形成電極圖形。而且，疊層多個在上表面印刷了導電膏的生片，再對該疊層體以規定的溫度脫粘合劑后，在900120(TC燒成而制成疊層體13。以下，與實施方式3相同，達成本實施方式4的疊層型壓電元件及利用其的疊層型壓電執行機構。本發明的疊層型壓電元件并不局限于此，在不脫離本發明主旨的范圍內可以進行各種變更。另外，上述對在疊層體13相對置的側面形成外部電極85的例子進行了說明，但本發明中例如也可在相鄰的側面上形成一對外部電極。實施方式5本發明實施方式5的疊層型壓電元件，在將實施方式1的疊層型壓電元件中的構成內部電極12的金屬元素的熱膨脹系數設為ap構成外部電極15的金屬的熱膨脹系數設為《2時，熱膨脹系數比(a/Q2)為0.9以上且小于1。除了該內部電極12的熱膨脹系數和外部電極15的熱膨脹系數之間具有特定的關系之外，實施方式5的疊層型壓電元件與實施方式1的疊層型壓電元件構成相同。這樣，內部電極12的熱膨脹系數和外部電極15的熱膨脹系數之間具有特定的關系基于以下理由。在上述熱膨脹系數比(a乂a》比0.9小時，內部電極12中金屬的熱膨脹系數和外部電極15中金屬的熱膨脹系數的差變得過大，因此，在元件的連續驅動次數增加使元件溫度上升的情況下，在內部電極12和外部電極15的接合部產生密接不良，疊層型壓電元件的有效位移量變小或在連續驅動過程中各電極產生剝離或內部電極12和外部電極15的接合部產生斷線。另一方面，在熱膨脹系數比(ai/a2)為l以上時，在連續驅動疊層型壓電元件的情況下，除了內部電極12熱膨脹外，壓電瓷器自身的尺寸也會變化，因此，施加在內部電極12和外部電極15的接合部的負荷變大。從而，疊層型壓電元件的耐久性變差，有效位移量變小，并且，在連續驅動過程中產生上述那樣的剝離或斷線。SP，通過熱膨脹系數比(a乂Q2)為0.9以上且小于l，而也可防止疊層型壓電元件的執行位移量變小的問題和剝離部分產生火花導致破壞的問題。進一步講，不存在裝置的誤動作，能夠具有不產生熱失控的優越的耐久性。在如上所述的本發明的疊層型壓電元件中，為了使熱膨脹系數比(ai/a2)為0.9以上且小于1而可采用下述方法。在此之前，為了制作疊層型熱電元件，在交替疊層壓電體ll和內部電極12后，同時燒成使壓電瓷器和內部電極12燒結，之后，設置外部電極15。這時，為了同時燒結壓電體11和內部電極12，作為內部電極12材料，采用具有燒結溫度比銀單質高且燒結溫度比鈀或鉑單質低這樣的特征的銀與鈀的合金金屬。另一方面，作為外部電極15為了以比同時燒成壓電體11和內部電極12的溫度低的溫度形成，而印刷在銀中添加了玻璃材料而成的銀膏進行燒成。但是，這些內部電極12和外部電極15的金屬材料不一致會產生熱膨脹差導致元件耐久性降低。即，在以熱膨脹系數比(ai/a2)表示時，其熱膨脹系數比(ai/a2)比0.9小。[O250]對于此，在本發明中，為了使熱膨脹系數比(a/ci2)為0.9以上且小于l，而需要由熱膨脹系數接近的電極材料構成內部電極12和外部電極15、或在內部電極12和外部電極15中添加熱膨脹系數接近的無機化合物。尤其，在這些電極中的金屬和無機化合物不分散均勻、金屬成分在內部電極12金屬與外部電極15金屬接合處偏多時，可有效地減小內部電極電阻抑制元件溫度上升。為此，具有在燒成外部電極15時減緩從最大燒成溫度降溫的降溫速度的方法。具體地講，只要降溫速度為600°C/小時以下即可，優選為300°C/小時以下。而且，為了提高元件的耐久性，優選熱膨脹系數比(a乂a》為0.95以上且小于1，更優選熱膨脹系數比(ai/a2)為0.97以上且小于l。另外，本實施方式6的疊層型壓電元件，如圖15所示，優選在內部電極12和外部電極15的接合部形成中間層70。這是因為在例如由濺射等薄膜制作技術形成外部電極15時，不能形成中間層，因此，基于內部電極12和外部電極15的熱膨脹差產生的應力集中在內部電極12和外部電極15的接合部，在驅動疊層型壓電元件的情況下，在內部電極12和外部電極15的接合部斷開，在斷開面產生火花或容易導致元件驅動停止。另一方面，為了形成中間層70，可以通過焙燒形成外部電極15，使內部電極12和外部電極15中所含的金屬成分相互擴散。具體地講，其是焙燒添加了低熔點玻璃材料的外部電極膏，使能夠以比內部電極燒成溫度低的溫度在外部電極中形成液相的方法。但是，由于只通過上述的方法不能形成中間層70，所以可以進一步將構成外部電極15的金屬氧化物添加在外部電極膏中，促進外部電極金屬在液相中的分散。據此，在進行外部電極15燒結的同時、在與外部電極15相接的內部電極12中經由液相將中間層70形成在內部電極和外部電極的接合部。這時，作為添加到外部電極膏中的物質，雖然可以只是構成外部電極15的金屬氧化物，但是為了在低溫下形成液相，而優選與其他的玻璃成分混合、或預先作為玻璃材料成分添加構成外部電極的金屬氧化物。另外，確認中間層70的形成的方法雖然可以通過顯微鏡進行，不過優選通過SEM來確認。此外，在將構成內部電極12的金屬元素的熱膨脹系數設為ap將構成外部電極15的金屬熱膨脹系數設為a2時，熱膨脹系數比(ai/a2)為0.9以上且小于l，并且通過在內部電極12和外部電極15的接合部設置中間層70，而可成為耐久性極優的疊層型壓電元件。這時，通過構成內部電極12的金屬組成物的80質量％以上是構成外部電極15的金屬組成物的主成分，而使內部電極12中的金屬部分和外部電極15中的金屬部分相互擴散，可在內部電極和外部電極之間得到極強的密接強度。因此，即使在內部電極和外部電極之間產生熱膨脹差也不會產生剝離。另外，由于不會在內部電極和外部電極之間形成新的金屬間化合物，所以能夠防止形成在驅動疊層型壓電元件時成為應力破壞的起點的組成不均勻處。據此，不存在裝置誤動作，并且，能夠具有不會產生熱失控的優越的耐久性。反之，外部電極15的金屬組成物的主成分在內部電極12的金屬組成物中構成小于80質量％時，在內部電極12和外部電極15之間形成新的金屬間化合物或合金，有時產生該形成部變硬且變脆的問題。尤其，由于疊層型壓電元件是通過驅動而尺寸變化的元件，所以隨著尺寸變化，在外部電極15和內部電極12的接合部負擔應力。在該接合部形成硬且脆的金屬間化合物或合金時，有時隨著元件的變形而在連續驅動過程中產生上述的剝離或斷線。另一方面，在只由構成外部電極15的金屬組成物的主成分構成內部電極12時，不能通過相互擴散形成中間層70。因此，在內部電極12和外部電極15的接合部不形成應力緩和層，從而，在連續驅動時疊層型壓電元件位移時，不具有耐久性。此外，為了提高元件耐久性，優選構成內部電極12的金屬組成物的85質量％以上是構成外部電極15的金屬組成物的主成分，更優選90質量％以上，最優選95質量％。另外，本發明的疊層型壓電元件優選由構成內部電極12的金屬成分和構成外部電極15的金屬成分組成的成分構成中間層70。據此，內部電極12和外部電極15相互擴散可具有極強的密接強度。另外，由于在內部電極12和中間層70之間、以及外部電極15和中間層70之間不形成有金屬間化合物或玻璃質，所以可防止成為應力破壞的基點的硬且脆的位置的形成。并且，由于可使燒成內部電極12時的環境和燒成外部電極15時的環境相同，所以能夠防止隨著燒成環境變化帶來的電極構成金屬的氧化還原反應等化學反應。因此，可抑制在內部電極12和外部電極15之間產生密接不良而導致在連續驅動過程中產生上述的剝離或斷線，不存在裝置的誤動作，進而可具有不產生熱失控的優越的耐久性。這里，由于若在中間層70存在玻璃質等無機化合物，則因內部電極12和外部電極15的熱膨脹差產生的應力集中在中間層70，所以比金屬硬且脆的無機化合物成為破壞的起點，因此，有時隨著元件的變形而在連續驅動過程中產生上述的剝離或斷線。為了由構成內部電極12的金屬成分和構成外部電極15的金屬成分組成的成分構成中間層70，而在形成外部電極時形成加入了外部電極氧化物的液相使金屬成分在內部電極金屬和外部電極金屬之間有選擇地結晶生長，液相成分被趕出到中間層70外部形成中間層70。為此，謀求在保持外部電極燒成溫度時形成液相、在冷卻階段使無機化合物不殘留在中間層70內，但是，通過在玻璃材料中添加外部電極氧化物，可在燒成冷卻時外部電極氧化物的金屬成分進入中間層70，液相在中間層70周圍作為玻璃層析出。這時，冷卻速度一快就會在外部電極氧化物的金屬成分進入中間層70之前，以氧化物的形態形成在中間層70內，因此，可以使從燒成保持溫度冷卻到60(TC的冷卻速度比500°C/小時慢。另外，本發明的疊層型壓電元件，在以上述中間層70的熱膨脹系數為c^時，無論^3比aJPc^都大還是都小，元件驅動過程中的應力都集中在中間層70產生斷裂。并且，若a2<a3<cip則在連續驅動疊層型壓電元件的情況下，除了內部電極12熱膨脹之外，壓電瓷器自身的尺寸也會變化，因此，加在內部電極12和外部電極15的接合部分的負荷變大，耐久性變差，有效位移量變小或連續驅動過程中產生剝離或斷線。因此，通過c^〈a3<c^，可使內部電極12和外部電極15相互擴散產生極強的密接強度，而且，因內部電極和外部電極的熱膨脹差產生的應力集中在整個中間層，從而，可避免應力集中在1點，能夠抑制在內部電極12和外部電極15之間產生密接不良而在連續驅動過程中產生上述剝離或斷線，不存在裝置的誤動作，并且，可具有不產生熱失控的優越的耐久性。在SEM觀察過程中一邊測量觀察位置的溫度一邊加熱，而通過測量溫度和中間層70的尺寸來測定中間層70的熱膨脹系數。或者，也可以另外制作同一組成的試樣求得熱膨脹系數。另外，本發明的疊層型壓電元件的上述中間層70的組成優選從內部電極12中的金屬組成向外部電極15中的金屬組成傾斜變化。這樣，由于因內部電極和外部電極的熱膨脹差產生的應力不會集中在中間層的一點而能夠緩和上述應力，所以，可防止電極剝離，提高內部電極和外部電極的密接強度，進一步使耐久性優越。即，在連續驅動疊層型壓電元件的情況下，即使除了內部電極12熱膨脹之外壓電瓷器自身尺寸還變化，也可抑制內部電極12與中間層70、及外部電極15與中間層70之間的應力集中，能夠以中間層70整體吸收應力。據此，可抑制因內部電極12和外部電極15之間的密接不良產生的連續驅動過程中的剝離或斷線，不存在裝置的誤動作，進而可具有不產生熱失控的優越的耐久性。為了形成那樣的傾斜層，在將外部電極安裝在元件上的情況下，需要進行熱処理。但是，為了抑制內部電極的金屬組成和外部電極的金屬組成相互擴散且成為均一組成，而需要在比內部電極的金屬組成和外部電極的金屬組成中的熔點或液相線低的溫度下進行其熱処理。優選在熔點或液相線的絕對溫度的50%95%的溫度下、更優選在80%95%的溫度下進行熱処理，從而，能夠使上述中間層70的組成從內部電極12中的金屬組成向外部電極15中的金屬組成傾斜變化。以上實施方式5的疊層型壓電元件，除了如上所述形成中間層之外，都與實施方式l等相同地制作。以下，對本發明的實施方式15中的內部電極、外部電極及壓電體的更優選方式進行說明。(內部電極)內部電極2中的金屬組成物優選以810族金屬及/或11族金屬為主成分。這是因為若使用這些金屬，則除了可抑制遷移之外，上述的金屬組成物還具有高耐熱性，因此，也可以同時燒成燒成溫度高的壓電體1和內部電極2。這樣在同時燒成壓電體和內部電極時，不僅可牢固地接合接合界面，而且，即使元件位移、應力加在內部電極上，也由于內部電極自身伸縮防止應力集中，所以能夠抑制裂縫的產生。另外，如實施方式2中所述的那樣，由于與壓電體1的潤濕性差，所以容易在壓電體1和內部電極2的界面產生空隙，在將它們疊層進行燒成時，能夠形成具有比較高的空隙的內部電極2。并且，內部電極2中的金屬組成物，在以810族金屬的含有量為Ml(質量％)、以11族金屬的含有量為M2(質量X)時，優選以滿足O<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分。這是因為在810族金屬超過15質量％時，內部電極2的電阻率變大，在連續驅動疊層型壓電元件的情況下，有時內部電極2發熱。據此，滿足上述條件是因為可抑制疊層壓電體元件的溫度上升，使元件位移量穩定。另外，為了進一步抑制內部電極2中的ll族金屬向壓電體l的遷移，優選8IO族金屬為O.001質量％以上且15質量％以下。另外，出于提高疊層型壓電元件10的耐久性這一點考慮，優選0.1質量％以上且10質量％以下。另外，在熱傳導優越、需要更高的耐久性的情況下，更優選0.5質量％以上且10質量％以下。另外，在謀求更高的耐久性的情況下，進一步優選1質量％以上且8質量％以下。這里還因為在11族金屬小于85質量％時，內部電極2的電阻率變大，在連續驅動疊層型壓電元件10的情況下，有時內部電極2發熱。另外，為了抑制內部金屬2中的11族金屬向壓電體1的遷移，優選11族金屬為85質量％以上且99.999質量％以下。另外，出于提高疊層型壓電元件10的耐久性這一點考慮，優選90質量％以上且99.9質量％以下。另外，在需要更高的耐久性的情況下，更優選90.5質量％以上且99.5質量％以下。另外，在謀求進一步高的耐久性的情況下進一步優選92質量％以上且98質量％以下。上述的內部電極2中金屬成分的示出質量％的810族金屬、11族金屬可通過EPMA(ElectronProbeMicroAnalysis)法等分析方法來特定。并且，本發明的內部電極2中的金屬成分優選810族金屬是Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、0s中至少1種以上、11族金屬是Cu、Ag、Au中至少1種以上。這是因為它們是近年來在合金粉末合成技術上量產性優越的金屬組成。而且，內部電極2中的金屬成分優選810族金屬是Pt、Pd中至少1種以上、11族金屬是Ag、Au中至少l種以上。據此，可以形成耐熱性優越、電阻率小的內部電極2。另外，內部電極2中的金屬成分更優選11族金屬是Cu。據此，在可以形成熱傳導性優越的內部電極2的同時、還可以減小產生的內部應力。此外，在采用內部電極2中的金屬成分為11族金屬中的Cu的疊層壓電體元件的噴射裝置中，例如即使產生燃料噴射壓力急劇上升的情形，也可防止噴射裝置失控。即，在燃料噴射壓力急劇上升、噴射裝置內的元件曝露于燃料蒸氣中的情況下，采用Ag電極的元件，存在由燃料中所含的S(硫)形成AgS，Ag腐蝕使元件的驅動停止的問題，但是，如果內部電極是Cu，則成為即使相對于S也穩定的材料，因此，即使產生異常情形，驅動上也不會產生問題。并且，內部電極2中的金屬成分的810族金屬優選為Ni。據此，可以形成耐熱性及耐氧化性優越的內部電極2。另外，優選在上述內部電極中添加與構成上述內部電極的材質的潤濕性差的無機組成物。這是通過潤濕性差的無機組成物位于內部電極2中，而在燒成時與內部電極2的潤濕性差，因此，該無機組成物周圍的電極部分2a剝離，會在周圍形成沒有電極部分2a的部分即空隙20，在形成空隙方面有利，其結果，能夠提高位移量。這里，作為上述無機組成物優選以BN、TiN、ZrN等氮化物為主成分、更優選以BN為主成分。此外，無機組成物也可以形成在壓電體1表面。(壓電體)另外，壓電體l優選以鈣鈦礦型氧化物為主成分。這樣，例如在由以鈦酸鋇(BaTi03)為代表的鈣鈦礦型壓電陶瓷材料等形成時，由于表現其壓電特性的壓電應變常數d33高，所以可增大位移量，并且，也能夠同時燒成壓電體l和內部電極2。作為上述示出的壓電體l，優選以由壓電應變常數d33比較高的PbZr03_PbTi03構成的f丐鈦礦型氧化物為主成分。并且，壓電體的燒成溫度優選90(TC以上且105(TC以下。這是因為在燒成溫度為90(TC以下時，燒成溫度低而燒成不充分，難以制成致密的壓電體1;另外，若燒成溫度超過105(TC，則燒成時因內部電極2的収縮和壓電體1的収縮偏差產生的應力變大，在疊層型壓電元件10連續驅動時有可能產生裂縫。另外，優選與壓電體的燒成溫度有關系的內部電極2中的組成偏差在燒成前后為5%以下。這是因為在內部電極2中組成的偏差在燒成前后超過5%時，內部電極12中的金屬材料向壓電體11的遷移變多，相對于由疊層型壓電元件10的驅動產生的伸縮，內部電極2有可能不跟隨。這里，所謂內部電極2中組成的偏差，表示通過構成內部電極2的元素因燒成導致蒸發或向壓電體1擴散而內部電極2的組成變化的變化率。(外部電極)另外，外部電極優選由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成。如果外部電極4不由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成，則外部電極4不具有撓性，因此，不能跟隨疊層型壓電執行機構的伸縮，從而，有時產生外部電極4斷線或外部電極4與內部電極2的接點不良。這里，所述三維網狀結構，并不是指在外部電極4中存在所謂球形的空穴的狀態，而暗示為如下述那樣的構成外部電極4的導電材料粉末和玻璃粉末三維連結接合的狀態，即，為了在比較低溫的條件下焙燒構成外部電極4的導電材料粉末和玻璃粉末，空穴不阻止燒結進行而以某種程度連結的狀態存在。或者，優選外部電極4中的空隙率為3070體積％。這里，所謂空隙率是空隙4a在外部電極4中所占的比率。這是因為如果外部電極4中的空隙率比30體積％小，則外部電極4不能承受因疊層型壓電執行機構伸縮產生的應力，外部電極4有可能斷線；在外部電極4中的空隙率超過70體積％時，由于外部電極4的電阻值變大，所以在流過大電流時外部電極4產生局部發熱有可能導致斷線。另外，優選構成外部電極4的玻璃的軟化點(°C)是構成內部電極2的導電材料熔點(°C)的4/5以下。這是因為構成外部電極4的玻璃的軟化點超過構成內部電極2的導電材料的熔點的4/5時，由于構成外部電極4的玻璃的軟化點和構成內部電極2的導電材料的熔點成為相同程度的溫度，所以焙燒外部電極4的溫度必然接近構成內部電極2的熔點，因此，在焙燒外部電極4時，內部電極2及外部電極4的導電材料凝聚而妨礙擴散接合、或、不能將焙燒溫度設定在使外部電極4的玻璃成分充分軟化的溫度，所以有時不能得到由軟化的玻璃形成的充分的接合強度。并且，優選在外部電極4的壓電體1側表層部形成有玻璃富集層。這是因為如果不存在玻璃富集層，則難以與外部電極4中的玻璃成分接合，因此，有可能外部電極4不易與壓電體層l牢固接合。此外，優選構成外部電極4的玻璃為非晶質。這是因為在結晶質的玻璃中，外部電極4不能吸收由疊層型壓電執行機構的伸縮引起的應力，因此，有時產生裂縫等。而且，優選外部電極4的厚度比壓電體層1的厚度薄。這是因為如果外部電極4的厚度比壓電體層1的厚度厚，則由于外部電極4的強度增大，因此，在疊層體IO伸縮時，外部電極4和內部電極2的接合部的負荷增大，有時發生接點不良。此外，優選在外部電極4的外表面設置由埋設了金屬網或網狀金屬板的導電性粘結劑構成的導電性輔助構件7。若在外部電極4的外表面設置導電性輔助構件7，則在向疊層型壓電元件10通入大電流進行驅動時，外部電極4不能承受大電流而產生局部發熱，有可能斷線。另外，如果不在外部電極4的外表面使用金屬網或網狀金屬板，則疊層型壓電元件10伸縮產生的應力直接作用于外部電極4，從而有可能因驅動過程中的疲勞使外部電極4容易從疊層型壓電元件10側面剝離。金屬網是指編織金屬線而成的結構，網狀金屬板是指在金屬板上形成孔而形成網狀的結構。此外，優選導電性粘結劑由分散了導電性粒子的聚酰亞胺樹脂構成。這是因為通過使用聚酰亞胺樹脂，即使在高溫下驅動疊層型壓電元件10時也能夠具有比較高的耐熱性，而且通過使用這樣具有比較高的耐熱性的聚酰亞胺樹脂，導電性粘結劑也容易維持高的粘結強度。并且，導電性粒子優選為銀粉末。這是因為通過導電性粒子使用電阻值比較低的銀粉末，易于抑制導電性粘結劑的局部發熱。S卩，通過將電阻值低的銀粉末分散在耐熱性高的聚酰亞胺樹脂中，即使在高溫下使用時，也能夠形成電阻值低且維持高粘結強度的導電性輔助構件7。此外，更優選所述導電性粒子為片狀或針狀等非球形的粒子。這是因為通過將導電性粒子的形狀形成為片狀或針狀等非球形粒子，能夠使該導電性粒子之間的聚合牢固，能夠進一步提高該導電性粘結劑的剪切強度。另外，本發明的疊層型壓電元件10優選單板或疊層數為l或其以上。由此，可將對元件施加的壓力轉換為電壓，并且，通過對元件施加電壓，能夠使元件位移，因此，即使在元件驅動過程中被施加預料不到的應力，也分散應力進行電壓轉換，由此，能夠緩和應力，因此，能夠提供耐久性優異的高可靠性的疊層型壓電執行機構。而且，優選在本發明的疊層型壓電元件10側面端部露出的內部電極2和端部不露出的內部電極2被交替構成，在上述端部不露出的內部電極2和外部電極4之間的壓電體1部分形成有槽3，在該槽內形成有楊氏模量比壓電體1低的絕緣體。據此，在這樣疊層型壓電元件IO中，可緩和因驅動過程中的位移產生的應力，因此，即使連續驅動，也能夠抑制內部電極2的發熱。實施方式6圖16是表示本發明的實施方式6的噴射裝置的圖，在收納容器31—端設有噴射孔33，并在收納容器31內收容有可開閉噴射孔33的針閥35。在噴射孔33可連通地設置有燃料通路37，該燃料通路37與外部的燃料供給源連結，通常以一定的高壓向燃料通路37供給燃料。從而，形成為當針閥35開放噴射孔33時，供給到燃料通路37的燃料以一定的高壓向內燃機的未圖示的燃料室內噴出。另外，針閥35的上端部的直徑變大，構成為可與形成在收容容器31內的缸體39相滑動的活塞41。并且，在收容容器31內收容有上述的壓電執行機構43。在這樣的噴射裝置中，如果壓電執行機構43被外加電壓而伸長，則活塞41被推壓，針閥35堵塞噴射孔33，停止燃料的供給。另外，如果停止外加電壓，則壓電執行機構43收縮，碟形彈簧45推回活塞41，噴射孔33與燃料通路37連通，進行燃料的噴射。以上，雖然對本發明的實施方式的疊層型壓電元件及噴射裝置進行了說明，但本發明并不僅限于上述實施方式，例如，除了搭載在汽車發動機的燃料噴射裝置、噴墨等的液體噴射裝置、光學裝置等的精密定位裝置或振動防止裝置等中的驅動元件，或者搭載在燃燒壓力傳感器、測震傳感器、加速度傳感器、負荷傳感器、超音波傳感器、壓敏傳感器、偏航速率傳感器等中的傳感器元件，以及搭載在壓電陀螺、壓電開關、壓電變壓器、壓電斷路器等中的電路元件之外，只要是利用壓電特性的元件，當然就可以適用。實施例實施例1作為實施例l，按以下所述的方式制作了由本發明實施方式1的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構。首先，制成混合了以平均粒徑為0.4iim的鈦酸鋯酸鉛(PbZr03_PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的預燒粉末、粘合劑、及增塑劑的漿料，用刮刀法制成厚度為150ym的壓電體11的陶瓷生片。在陶瓷生片的一面上通過絲網印刷法形成3ym厚度的導電膏，且該導電膏是在規定的組成比的銀-鈀合金中加入了氧化銀和粘合劑而成的，疊層300張形成有該導電膏的片進行燒成。燒成是在80(TC進行保持后、再在IOO(TC進行燒成。然后，通過切片裝置在疊層體側面的內部電極端部每隔一層形成深度為50iim，寬度為50iim的槽。接著，向平均粒徑為2ym的片狀的銀粉末90體積％和剩余部分以平均粒徑為2ym的硅作為主成分的軟化點為64(TC的非晶質的玻璃粉末10體積％的混合物中添加相對銀粉末和玻璃粉末的總計重量100質量份為8質量份的粘合劑，充分混合而制作銀玻璃導電膏。通過絲網印刷在脫模薄膜上形成這樣制成的銀玻璃導電膏，干燥后，從脫模薄膜剝離，得到銀玻璃導電膏的片。經阿基米德法測定該片的原密度，為6.5g/cm3。其次，將所述銀玻璃導電膏的片轉印在疊層體13的外部電極15面上，在65(TC下焙燒30分鐘，形成由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成的外部電極15。還有，此時的外部電極15的空隙率經圖像解析裝置解析外部電極15的剖面相片測定的結果，為40%。之后，將導線連接在外部電極15上，借助導線向正極及負極的外部電極15施加15分鐘的3kV/mm的直流電場而進行極化處理，制作了使用如圖1所示的疊層型壓電元件的疊層型壓電執行機構。對得到的疊層型壓電元件外加200V的直流電壓，結果沿疊層方向得到表1所示位移量。接著，將制成的表l中的疊層型壓電元件加工成3mmX4mmX36mm的尺寸、以JISR1601的4點彎曲來測定彎曲強度。該試樣片的內部電極12的電極面與試驗片的長度方向大致垂直。在該試樣片上從與長度方向大致垂直的方向負載，測定彎曲強度。在試驗中，由于當試驗片在內部電極12和壓電體11的界面破壞時，壓電體和內部電極之間的接合強度比壓電體的強度大，所以將這時的值作為壓電體和內部電極之間的接合強度。另一方面，由于試驗片在壓電體11處破壞時，壓電體的強度比壓電體和內部電極之間的接合強度大，所以將該值作為壓電體的強度。為了進行比較，將壓電體加工成3mmX4mmX36mm的尺寸，以JISR1601的4點彎曲來測定彎曲強度，其結果記載在表1中。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>*標記表示本發明范圍外的例子。表1中，元件是疊層型壓電元件。另外，破壞處記為壓電體的部分表示只在壓電體破壞，破壞處記為邊界的部分表示在壓電體和內部電極的邊界破壞。另外，無機組成物添加量是按體積％表示內部電極中無機組成物添加量。而且，接合強度欄表示與壓電體的強度相比，壓電體和內部電極之間的接合強度是強還是弱，位移量是指疊層型壓電元件的位移量。從表1可以確認在壓電體11和內部電極12之間的接合強度比壓電體11的強度強時(試樣NO.l)，不能充分增大疊層型壓電元件的位移量；而在壓電體和內部電極之間的接合強度比壓電體的強度弱時(試樣No.27)，能夠充分增大疊層型壓電元件的位移實施例2.作為實施例2制作由本發明的實施方式1的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構進行評價。該實施例2的疊層型壓電元件與實施例1相比，其內部電極12的材料組成不同。該實施例2的疊層型壓電元件，除了內部電極12的材料組成以外，均與實施例1相同制成，且按與實施例1相同的方法進行評價。表2表示這樣評價的與彎曲強度的關系。此外，也一并測定了各試樣的位移量的變化率。作為變化率，對各試樣的疊層型壓電元件達到驅動次數1X10"欠時的位移量(ym)、和開始連續驅動前的疊層型壓電元件初期狀態的位移量(ym)進行比較，調查位移量和疊層型壓電元件劣化的程度。其結果表示在表2中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>(1)Pd、Pt、Ag、其他金屬以重量X表示內部電極金屬中的含有量。(2)位移量的變化率表示連續驅動后相對初期狀態的變化量的變化。從表2發現在試樣No.1的內部電極12為100%銀時，疊層型壓電元件由于銀遷移而損壞不能連續驅動；此外，試樣No.15、16，在內部電極12的金屬組成物中810族金屬含有量超過15重量％，而且，11族金屬的含有量小于85重量％，因此，內部電極12的硬度增大，疊層型壓電執行機構的耐久性降低。與此相對，還發現No.214，內部電極12中的金屬組成物在將810族金屬的含有量為M1質量％、將11族金屬的含有量為M2質量X時以滿足0《Ml《15、85《M2《100、Ml+M2=100質量％的金屬組成物為主成分，因此，可減小內部電極12的硬度，并且，能夠減小內部電極12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在內部電極12產生的發熱，因此，可制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。而且，發現No.1719也可減小內部電極的硬度，并且，能夠減小內部電極12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在內部電極12產生的發熱，因此，可制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。實施例3在實施例3中，如下述那樣制作由本發明實施方式2的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構進行評價。這里，首先，制作混合了以鈦酸鋯酸鉛(PbZr03-PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的預燒粉末、粘合齊U、及增塑劑而成的漿料，利用刮刀法制作厚度150i！m的成為壓電體1的陶瓷生片。在該陶瓷生片的一面上通過絲網印刷法印刷厚度4iim的導電膏，該導電膏是在以任意組成比形成的銀_鈀合金中加入Ag和粘合劑而成的。準備300張這些片用作疊層體。除此另外準備成為保護層的生片，將它們按照從下起30張保護層、300張疊層體、30張保護層這樣的順序進行疊層，壓制后，脫脂，以Ag熔點以上的溫度暫時保持后，以IOO(TC最終燒成。另外，除此之外，在將粘合劑加到Ag中而成的導電膏中添加BN，經過同樣的工序，得到空隙20的比例比較大的內部電極2。并且，在Cu中加入了粘合劑而成的導電膏、在Ni中加入了粘合劑而成的導電膏也同樣通過絲網印刷法印刷成4iim的厚度。準備300張這些片用作疊層體。除此另外準備成為保護層的生片，將它們按照從下起30張保護層、300張疊層體、30張保護層這樣的順序進行疊層，壓制后，脫脂，以各自導電膏所含的金屬熔點以上的溫度暫時保持后，再升溫最終燒成。之后，通過切片裝置在疊層體側面的內部電極2端部每隔一層形成深度50i！m、寬度50iim的槽。接著，在平均粒徑2iim的片狀銀粉末為90體積％、其他部分為以平均粒徑2ym的硅為主成分的軟化點為64(TC的非晶質的玻璃粉末10體積％的混合物中，添加相對銀粉末和玻璃粉末的總計質量100質量份為8質量份的粘合劑，充分混合而制作銀玻璃導電膏。通過絲網印刷在脫模薄膜上形成這樣制成的銀玻璃導電膏，干燥后，從脫模薄膜剝離，得到銀玻璃導電膏的片。經阿基米德法測定該片的原密度，為6.5g/cm3。其次，將銀玻璃膏的片轉印在疊層體的外部電極面上，在65(TC下焙燒30分鐘，形成了由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成的外部電極4。還有，此時的外部電極4的空隙率經圖像解析裝置解析外部電極4的剖面相片測定的結果，為40%。之后，將導線連接在外部電極4上，借助導線向正極及負極的外部電極施加15分鐘的3kV/mm的直流電場而進行極化處理，制作了使用如圖2所示那樣的疊層型壓電元件的疊層型壓電執行機構。對得到的疊層型壓電元件外加170V的直流電壓，結果得到表3所示位移量。并且，室溫下對該疊層型壓電元件以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓進行驅動試驗。而且，該疊層型壓電元件連續測試到驅動次數為1X109次，在那一時刻對疊層型壓電元件外加170V的直流電壓，測定位移量，計算出驅動試驗前后的位移量的變化。驅動試驗前后的位移量的變化表示為將驅動試驗前后的位移差的絕對值除以驅動試驗前的位移量再乘上ioo倍的值。此外，空隙率、空隙的最大寬度及角度如下述那樣進行測定。空隙率是在將疊層型壓電元件沿疊層方向切斷得到的面上進行測定的。在其切斷面上，測定內部電極2中存在的空隙20的面積，將其空隙20面積的總和除以內部電極2的面積(也包括空隙在內)得到的值乘上100倍而得出。在任意5處以上進行測定，以其平均值作為空隙率。另外，關于最大寬度，在疊層型壓電元件10的疊層方向的剖面上，引出與電極平行的線并測定該線在內部電極2剖面上存在的空隙20尺寸內的長度，而該最大寬度是測定值中的最大值。在任意10處進行測定，將所有結果中最大的值作為最大寬度。最后，以內部電極2中電極部分2a和空隙20的界面與壓電體1相接的部分為起點，從該起點引出的電極部分2a的切線和壓電體1所成角度24的測定是在疊層型壓電元件10的疊層方向的剖面上，在任意IO處測定任意IO個角度，計算其平均值表示為代表值。其結果表示在表3中。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>(1)角度欄的角度表示內部電極的切線和壓電體所成角度。(2)變化率表示驅動試驗前后的位移量的變化率。從表3發現比較例中的試樣No.1，由于內部電極2的空隙率小于5%，所以內部電極2約束壓電體1的力變大，因此，初期位移量明顯變小，并且，在連續驅動試驗前后的位移量的變化率為1.1%，其耐久性也降低；另外，試樣No.9，由于內部電極2的空隙率超過70%，所以不能給壓電體1外加期望的電壓，初期的位移量降低，并且，在連續驅動時，隨著內部電極2強度的降低，耐久性也降低。與此相對，還發現在內部電極2具有570%的空隙20的本發明的試樣No.28、1038的初期的位移量為48iim以上，與比較例中No.1、9相比，位移量大，作為疊層型壓電元件10性能優越；本發明的試樣No.28、1038的在連續驅動試驗前后的位移量的變化率為0.8X以下，與比較例中No.1、9相比要小，并且，本發明產品在耐久性方面也優越。尤其，還發現空隙20的最大寬度為1ym以上或以內部電極2中電極部分2a和空隙20的界面與壓電體1相接的部分為起點，從該起點引出的電極部分2a的切線和壓電體1所成角度24為60度以上的試樣No.38、1019、2138的初期位移量大、為50ym以上，另外，在連續驅動試驗前后的變化率小、為0.6%以下，作為疊層型壓電元件其位移特性和耐久性也優越。實施例4在實施例4中，如下述那樣制作由本發明的實施方式3的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構。首先，制作混合了以平均粒徑為0.4iim的鈦酸鋯酸鉛(PbZr03_PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的預燒粉末、粘合劑、及增塑劑而得到的漿料，利用刮刀法制作厚度150ym的成為壓電體l的陶瓷生片。在陶瓷生片的一面上通過絲網印刷法形成3Pm厚度的導電膏，疊層300張這樣的片進行燒成。并且，該導電膏是在銀-鈀合金(銀95質量％_鈀5重量％)中添加了粘合劑而成的，燒成是在80(TC進行保持后、再在IOO(TC進行燒成。這里，內部電極82的形狀分別印刷成圖8、圖9、圖17、圖18、圖19所示的形狀。圖8AC是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為非線對稱形狀且為點對稱形狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件所有的元件側面露出的內部電極圖形的圖。這里，圖8A、圖8B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖8C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a的圖。圖9AC是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為非線對稱形狀且為點對稱形狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件所有的元件側面露出的內部電極圖形、并且內部電極圖形形成有R面的圖。這里，圖9A、圖9B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖9C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的圖。圖17AC是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為線對稱形狀且為點對稱形狀、只一極性的內部電極在疊層型壓電元件的一部分元件側面露出的內部電極圖形的圖。這里，圖17A、圖17B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖17C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的俯視圖。圖18AC是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a的形狀為線對稱形狀且為點對稱形狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件所有的元件側面露出的疊層型壓電元件的內部電極圖形的圖。這里，圖18A、圖18B是表示不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖18C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的圖。圖19AC是表示不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為線對稱形狀且為非點對稱形狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件所有的元件側面露出的疊層型壓電元件的內部電極圖形的圖。這里，圖19A、圖19B是表示不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖19C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的圖。接著，向平均粒徑為2iim的片狀的銀粉末和剩余部分以平均粒徑為2ym的硅作為主成分的軟化點為64(TC的非晶質的玻璃粉末的混合物中添加相對銀粉末和玻璃粉末的總計重量100質量份為8質量份的粘合劑，充分混合而制作銀玻璃導電膏。通過絲網印刷在脫模薄膜上形成這樣制成的銀玻璃導電膏，干燥后，從脫模薄膜剝離，得到銀玻璃導電膏的片。然后，將上述銀玻璃膏的片轉印疊層在疊層體80的外部電極85面上，以70(TC焙燒30分鐘，形成外部電極85。之后，將導線連接在外部電極85上，借助導線向正極及負極的外部電極85施加15分鐘的3kV/mm的直流電場而進行極化處理，制作了使用如圖5A所示那樣的疊層型壓電元件的疊層型壓電執行機構。對得到的疊層型壓電元件外加170V的直流電壓，在所有的疊層型壓電執行機構上沿疊層方向得到45iim的位移量。并且，室溫下對該疊層型壓電元件以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓進行連續驅動試驗到1X109次。其結果如表4所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>*標記是本發明范圍外的例子。其中，表4中以字母文字表示的欄表示以下意思。A:內部電極的構成；B:不同極性的內部電極彼此間相重疊的部分的形狀；C:不同極性的內部電極彼此間相重疊的部分的形狀為線對稱；D:不同極性的內部電極彼此間相重疊的部分的形狀為點對稱；E:不同極性的內部電極在所有的元件側面露出；F:內部電極圖形形成有C面或R面；G:初期狀態的位移量(ym);H:連續驅動后(1X109次)的位移量(ym);I:連續驅動后(1X109次)在疊層部分剝離；J:高次諧波成分的噪音產生；K:在lKHz以上產生蜂鳴音。從表4發現比較例中的試樣編號3、4、5的內部電極82圖形，由于不同極性的內部電極彼此間經由壓電體ll相重疊的部分82a的形狀為線對稱，所以在連續驅動疊層型壓電執行機構時，壓電位移變大的部分成為線對稱的中心線，在該中心線上位移明顯變大，因此，其位移傳遞到元件側面的壓電體11和內部電極82的疊層界面，施加在該疊層界面的負荷增大產生剝離，并且，產生蜂鳴音或噪音。與此相對，本發明的實施例中的試樣編號1、2中，內部電極82的圖形，由于不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分82a的形狀為非線對稱，所以連續驅動1X109次后，元件位移量也不會明顯降低，具有作為疊層型壓電執行機構所需的有效位移量，另外，可制作不產生誤動作具有優越的耐久性的疊層型壓電執行機構。尤其，試樣編號2的內部電極圖形具有R面，因此，連續驅動1X109次后，元件位移量也幾乎不變化，耐久性極其優越。實施例5在實施例5中，改變實施例4的試樣No.2的疊層型壓電執行機構的內部電極82的材料組成，測定各試樣的位移量的變化率。這里，所謂位移量的變化率是對各試樣的疊層型壓電元件達到驅動次數1X10"欠時的位移量(ym)和開始連續驅動前的疊層型壓電元件初期狀態的位移量(ym)進行比較得到的。其結果表示在表5中。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>Pd、Ag、Cu、Ni(質量X)是按內部電極金屬中所含的各元素的質量％表示的，位移量的變化率(％)表示連續驅動后相對初期狀態的位移量的變化率。從表5發現在試樣No.1將內部電極82設為100%銀的情況下，疊層型壓電元件由于銀遷移而損壞不能連續驅動；另外，試樣No.18，由于內部電極82中的金屬組成物中，810族金屬的含有量超過15質量％，另外，11族金屬的含有量小于85質量％，所以內部電極82的電阻率大，而在連續驅動疊層型壓電元件時發熱，疊層型壓電執行機構的位移量降低。與此相對，還發現試樣No.214，由于內部電極82中的金屬組成物在將810族金屬的含有量為M1質量％、將11族金屬的含有量為M2質量X時以滿足0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100質量％的金屬組成物為主成分，所以可減小內部電極82的電阻率，即使連續驅動也可抑制在內部電極82產生發熱，因此，能夠制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。并且，發現試樣No.1517也可減小內部電極82的電阻率，即使連續驅動也可抑制在內部電極82產生發熱，因此，能夠制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。實施例6在實施例6中，如下述那樣制作由本發明的實施方式4的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構。首先，制作混合了以平均粒徑為0.4iim的鈦酸鋯酸鉛(PbZr03_PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的預燒粉末、粘合劑、及增塑劑而得到的漿料，利用刮刀法制作厚度150ym的成為壓電體ll的陶瓷生片。在陶瓷生片的一面上通過絲網印刷法按圖13、圖14、圖20、圖21、圖22、圖23所示的形狀印刷形成3iim厚度的導電膏，分別疊層300張這樣的片進行燒成。并且，該導電膏是在銀_鈀合金(銀95質量％-鈀5重量％)中添加了粘合劑而成的，燒成是在80(TC進行保持后、再在IOO(TC進行燒成。圖13AC表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為R狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件的所有元件側面露出的內部電極圖形的圖。這里，圖13A、圖13B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖13C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的圖。圖14AC是表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為R狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件的所有元件側面露出的內部電極圖形、并且，壓電體11上形成有R面的圖。這里，圖14A、圖14B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖14C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的圖。圖20AC是表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為直線狀、只一極性的內部電極在疊層型壓電元件的一部分元件側面露出的內部電極圖形的圖。這里，圖20A、圖20B是表示具有不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖20C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的俯視圖。圖21AC是表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為直線狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件的所有元件側面露出的疊層型壓電元件的內部電極圖形的圖。這里，圖21A、圖21B是表示不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖21C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的圖。圖22AC是表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為直角狀、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件的所有元件側面露出的疊層型壓電元件的內部電極圖形的圖。這里，圖22A、圖22B是表示不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖22C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的圖。圖23AC是表示內部電極92和絕緣區域96的邊界為直線狀、不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的形狀為非點對稱形、不同極性的內部電極在疊層型壓電元件的所有元件側面露出的疊層型壓電元件的內部電極圖形的圖。這里，圖23A、圖23B是表示不同極性的各個內部電極圖形的俯視圖、圖23C是表示具有不同極性的內部電極彼此間經由壓電體11相重疊的部分92a的圖。接著，向平均粒徑為2iim的片狀的銀粉末和剩余部分以平均粒徑為2ym的硅作為主成分的軟化點為64(TC的非晶質的玻璃粉末的混合物中添加相對銀粉末和玻璃粉末的總計重量100質量份為8質量份的粘合劑，充分混合而制作銀玻璃導電膏。通過絲網印刷在脫模薄膜上形成這樣制成的銀玻璃導電膏，干燥后，從脫模薄膜剝離，得到銀玻璃導電膏的片。然后，將上述銀玻璃膏的片轉印疊層在疊層體13的外部電極85面上，以70(TC焙燒30分鐘，形成外部電極85。之后，將導線連接在外部電極85上，借助導線向正極及負極的外部電極85施加15分鐘的3kV/mm的直流電場而進行極化處理，制作了使用如圖10所示那樣的疊層型壓電元件的疊層型壓電執行機構。對得到的疊層型壓電元件外加170V的直流電壓，在所有的疊層型壓電執行機構上沿疊層方向得到45iim的位移量。并且，室溫下對該疊層型壓電元件以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓進行連續驅動試驗到1X109次。其結果如表6所示。表6<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>其中，表6中字母文字表示的欄表示以下的意思。A:內部電極的構成；B:內部電極和絕緣區域的邊界是(〇)否(X)為R面；C:不同極性的內部電極彼此間相重疊的部分的形狀；D:不同極性的內部電極彼此間相重疊的部分的形狀是(〇)否(X)為點對稱；E:不同極性的內部電極是(〇)否(X)在所有的元件側面露出；F:初期狀態的位移量(m);G:連續驅動后(1X109次)的位移量(ym);H:連續驅動后(1X109次)是否在疊層部分產生裂縫；I:是否產生高次諧波成分的噪音。從表6發現比較例中的試樣編號3、4、5、6，由于內部電極92和絕緣區域96的邊界不為R狀，所以在連續驅動疊層型壓電執行機構時，應力集中在壓電位移大的部分和不產生壓電位移的部分的邊界，施加在該疊層界面的負荷增大在壓電體11的絕緣區域96產生裂縫，并且，驅動過程中產生噪音。與此相對，本發明實施例中的試樣編號1、2，由于內部電極92和絕緣區域96的邊界為R狀，所以在連續驅動1X109次后，元件位移量也不會明顯降低，具有作為疊層型壓電執行機構所需的有效位移量，另外，可制作不產生誤動作具有優越的耐久性的疊層型壓電執行機構。尤其，試樣編號2，由于壓電體11具有R面，因此，連續驅動1X109次后，元件位移量也幾乎不變化，耐久性極其優越。實施例7改變實施例6的試樣No.2的疊層型壓電執行機構的內部電極92的材料組成，測定各試樣的位移量的變化率。這里，所謂位移量的變化率是對各試樣的疊層型壓電元件達到驅動次數1X10"欠時的位移量(ym)和開始連續驅動前的疊層型壓電元件初期狀態的位移量(ym)進行比較得到的。其結果表示在表7中。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>在表7中，表記為Pd、Ag、Cu、Ni的欄表示內部電極金屬中的各金屬的質量％。另外，表記為位移量的變化率的欄表示連續驅動后相對初期狀態的位移量的變化率(％)，試樣1的損壞是因遷移而破壞的。從表7發現在試樣No.1將內部電極92設為100%銀的情況下，疊層型壓電元件的一部分由于銀遷移而產生損壞；另外，試樣No.18，由于內部電極92中的金屬組成物中，810族金屬的含有量超過15質量％，另外，11族金屬的含有量小于85質量％，所以內部電極92的電阻率大，而在連續驅動疊層型壓電元件時發熱，疊層型壓電執行機構的位移量降低。與此相對，試樣No.214，由于內部電極92中的金屬組成物在將810族金屬的含有量為M1質量％、將IB族金屬的含有量為M2質量％時以滿足0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100質量％的金屬組成物為主成分，所以可減小內部電極92的電阻率抑制發熱，并且，設成富有伸縮性的內部電極92，因此，能夠制作不產生裂縫、元件位移量穩定的疊層型執行機構。還發現試樣No.1517也可減小內部電極92的電阻率，即使連續驅動也能抑制在內部電極92產生發熱，因此，能夠制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。實施例8在實施例8中，如下述那樣制作由本發明的實施方式5的疊層型壓電元件構成的疊層型壓電執行機構。首先，制作混合了以鈦酸鋯酸鉛(PbZr03-PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的預燒粉末、粘合劑、及增塑劑而得到的漿料，利用刮刀法制作厚度150ym的成為壓電體11的陶瓷生片。在陶瓷生片的一面上通過絲網印刷法形成3Pm厚度的導電膏，分別疊層300張這樣的片在IOO(TC進行燒成。并且，該導電膏是在按任意的組成比形成的銀-鈀合金中添加了粘合劑而成的。然后，通過切片裝置在柱狀疊層體側面的內部電極端部每隔一層形成深度50iim、寬度50iim的槽。接著，向平均粒徑為2ym的片狀的銀粉末90體積％和剩余部分以平均粒徑為2ym的硅作為主成分的軟化點為64(TC的非晶質的玻璃粉末10體積％的混合物中添加相對銀粉末和玻璃粉末的總計重量100質量份為8質量份的粘合劑，充分混合而制作銀玻璃導電膏。通過絲網印刷在脫模薄膜上形成這樣制成的銀玻璃導電膏，干燥后，從脫模薄膜剝離，得到銀玻璃導電膏的片。經阿基米德法測定該片的原密度，為6.5g/cm3。其次，將所述銀玻璃導電膏的片轉印在疊層體13的外部電極15面上，在65(TC下焙燒30分鐘，形成由呈三維網狀結構的多孔質導電體構成的外部電極15。還有，此時的外部電極15的空隙率經圖像解析裝置解析外部電極15的剖面相片測定的結果，為40%。之后，將導線連接在外部電極15上，借助導線向正極及負極的外部電極15施加15分鐘的3kV/mm的直流電場而進行極化處理，制作了如圖1所示那樣的疊層型壓電元件。實施例9在實施例9中，對于除上述制法之外、還控制內部電極12及外部電極15的金屬組成而制作的本發明的疊層型壓電執行機構測定疊層型壓電執行機構在連續驅動前后的元件位移量的變化率。對于上述那樣得到的疊層型壓電執行機構外加170V的直流電壓，結果在所有的疊層型壓電執行機構中沿疊層方向得到45ym的位移量。并且，在室溫下對該疊層型壓電執行機構以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓，連續驅動到IX109次來進行試驗。另外，內部電極12和外部電極15的熱膨脹系數是通過SEM—邊測量觀察處的溫度一邊加熱而測量溫度與內部電極12及外部電極15的尺寸而測定的。其結果如表8所示。表8表8-1<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>在表8-3中，構成比例欄表示外部電極主成分構成內部電極的比例(質量％)。初期位移量A(m)欄表示連續驅動前的初期狀態的位移量A(m)。連續驅動后的最大位移量B(ym)欄表示連續驅動1X10"欠后的最大位移量(iim)。位移量的變化率(％)欄表示連續驅動后的位移量B相對初期狀態的位移量A的變化率(I(A_B)/AX100|)。記載為破壞的部分表示在內部電極和外部電極之間產生火花而破壞的意思。從表8發現比較例中的試樣編號1、2及15，由于在以構成內部電極12的金屬元素的熱膨脹系數為ap以構成外部電極15的金屬的熱膨脹系數為c^時其熱膨脹系數比(ai/a2)為l以上，所以在連續驅動疊層型壓電執行機構時，除了內部電極12熱膨脹外，壓電瓷器自身尺寸也變化，施加在內部電極12和外部電極15的接合部分的負荷變大，在內部電極12和外部電極15之間產生火花、在連續驅動過程中產生斷線。另外，試樣編號14，通過施加在上述接合部分的負荷，疊層型壓電執行機構的有效位移量變小。[CM55]另一方面，比較例中的試樣編號13，由于熱膨脹系數比(ai/a2)比0.9小，所以構成內部電極12的金屬的熱膨脹系數a工和構成外部電極15的熱膨脹系數a2的差變大，在內部電極12和外部電極15之間產生密接不良，疊層型壓電元件的有效位移量變小。與此相對，本發明的實施例中的試樣編號312，由于是內部電極12和外部電極15的熱膨脹系數比(ai/a2)形成在0.9以上且小于l的范圍的疊層型壓電執行機構，所以連續驅動1X109次后，元件位移量也不會明顯降低，具有作為疊層型壓電執行機構所需的有效位移量，另外，可以制作不產生熱失控或誤動作具有優越耐久性的疊層型壓電執行機構。實施例10作為實施例10，對于除上述制法之外、還控制內部電極12及外部電極15的金屬組成而制作的本發明的疊層型壓電執行機構測定了中間層70的形成狀態、外部電極15的主成分構成內部電極的比例、和疊層型壓電執行機構在連續驅動前后的元件位移量的變化率。此外，通過將在外部電極15的金屬組成中加入了玻璃材料的混合物作為膏進行印刷焙燒，而形成外部電極15。對于上述那樣得到的疊層型壓電執行機構外加170V的直流電壓，結果在所有的疊層型壓電執行機構中沿疊層方向得到45ym的位移量。并且，在室溫下對該疊層型壓電執行機構以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓，連續驅動到IX109次來進行試驗。其結果如表9所示。表9表9-1<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>表9-2<table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table>表9-3<table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>的劣化的程度的關聯進行了驗證。這里，測定以任意次數驅動疊層型壓電執行機構的過程中的最大元件位移量(連續驅動過程中的最大元件位移量)，并且，測定以規定次數驅動上述的疊層型壓電執行機構后的元件位移量(連續驅動后的元件位移量)，而所謂劣化的程度是以該連續驅動后的元件位移量相對上述連續驅動過程中的最大元件位移量變化的比例表示的。據此，通過使以任意次數驅動過程中的疊層型壓電執行機構以規定次數連續驅動，而可以確認導致劣化的狀況。對于上述那樣得到的疊層型壓電執行機構外加170V的直流電壓，結果在所有的疊層型壓電執行機構中沿疊層方向得到45ym的位移量。并且，在室溫下對該疊層型壓電執行機構以150Hz的頻率外加0+170V的交流電壓，連續驅動到IX109次來進行試驗。其結果如表IO所示。表10<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>在表10中，Pd(質量X)、Ag(質量X)、Cu(質量X)及附(質量％)欄表示內部電極金屬中的各金屬的比例。位移量的變化率(％)欄表示連續驅動后相對初期狀態的位移量的變化率。記載為損壞的部分表示因遷移產生破壞的意思。從該表10發現試樣編號l，由于以100%銀形成內部電極12，所以，產生銀遷移、施加在內部電極12和外部電極15的接合部分的負荷變大，在內部電極12和外部電極15之間產生火花、在連續驅動過程中產生斷線，因此，難以連續驅動。另外，試樣編號18、19，由于在內部電極12的金屬組成物中810族金屬的含有量超過15質量％，并且11族金屬的含有量小于85質量％，所以，劣化會因連續驅動而增大，疊層型壓電執行機構的耐久性降低。與此相對，在試樣編號216中，由于內部電極12中的金屬組成物在將810族金屬的含有量為M1質量X、將11族金屬的含有量為M2質量X時以滿足0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分，所以可減小內部電極12的電阻率，即使連續驅動也可抑制內部電極12產生發熱，因此，能夠制作元件位移量穩定的疊層型執行機構。另外，本發明并不局限于上述實施例，在不脫離本發明主旨的范圍內當然是可以進行各種變更的。權利要求一種疊層型壓電元件，其特征在于，具有疊層體，其交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成；第一外部電極，其形成在所述疊層體的第一側面，并與所述第一內部電極連接；第二外部電極，其形成在所述疊層體的第二側面，并與所述第二內部電極連接，并且，所述第一內部電極的與所述第二外部電極相對置的對置端部為圓弧形狀，所述第二內部電極的與所述第一外部電極相對置的對置端部為圓弧形狀。2.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于所述圓弧形狀的中心處于所述內部電極內。3.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于所述圓弧形狀的中心處于所述內部電極之外。4.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于所述第一內部電極和所述第二內部電極相重疊的對置部分的角分別為圓弧形狀。5.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于所述圓弧形狀的曲率半徑R設定在0.510mm的范圍內。6.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于在將構成所述內部電極的金屬的熱膨脹系數設為ap將構成所述外部電極的金屬的熱膨脹系數設為02時，熱膨脹系數比a乂a2為0.9以上且小于l。7.根據權利要求l所述的疊層型壓電元件，其特征在于在所述內部電極和所述外部電極的接合部設有中間層，所述中間層的組成與所述內部電極及所述外部電極不同。8.根據權利要求7所述的疊層型壓電元件，其特征在于所述中間層由構成所述內部電極的金屬組成物和構成所述外部電極的金屬組成物組成。9.根據權利要求7所述的疊層型壓電元件，其特征在于在將所述中間層的熱膨脹系數設為^時，存在a3<^的關系。全文摘要本發明提供一種在高電壓、高壓力下可增大壓電執行機構的位移量，并且，即使在高電壓、高壓力下長期連續驅動時也不會使位移量變化的耐久性優越的疊層型壓電元件及其制造方法，為此，其具有交替疊層至少1個壓電體與由第一及第二內部電極構成的多個內部電極而成的疊層體、形成在所述疊層體的第一側面并與所述第一內部電極連接的第一外部電極、形成在所述疊層體的第二側面并與所述第二內部電極連接的第二外部電極，并且，所述壓電體和所述內部電極之間的接合強度比所述壓電體的彎曲強度弱。文檔編號H01L41/273GK101694865SQ20091020467公開日2010年4月14日申請日期2005年3月9日優先權日2004年3月9日發明者岡村健,坂上勝伺,寺園正喜,近藤光央申請人:京瓷株式會社;