專利名稱：太陽電池模塊的制造方法和太陽電池的制造方法
技術領域：
本發明涉及太陽電池模塊的制造方法和太陽電池的制造方法，該 太陽電池模塊包括具有保護膜的太陽電池。
背景技術：
由于太陽電池能夠將清潔且取之不盡的太陽光直接變換為電，所
以期待作為新的能源。
通常，每個太陽電池的輸出為幾W左右。因此，在將太陽電池用
作房屋或大樓等的電源時，采用通過將多個太陽電池電連接而提高輸
出的太陽電池模塊。多個太陽電池通過配線材料相互電連接。各太陽
電池包括生成光生載流子的光電變換部、收集光生載流子的多個細線
電極和連接有配線材料的連接用電極。多個細線電極和連接用電極形
成在光電變換部上。
在此，以提高太陽電池的耐候性和耐擦傷性為目的，已知在光電 變換部上形成覆蓋多個細線電極的樹脂層的方案(例如參照日本特開 2008—34592號公報)。這樣的樹脂層例如采用膠版印刷法，通過在光 電變換部上涂布樹脂材料而形成。具體而言，通過將配置有樹脂材料 的橡皮布按壓在光電變換部上，將樹脂材料復制到光電變換部上。橡 皮布形成為圓柱狀，橡皮布的柱面例如由硅橡膠等彈性部件構成。
在此，在被按壓在形成于光電變換部上的多個細線電極上的橡皮 布的柱面上，形成與各細線電極對應的凹陷。因此，將橡皮布按壓在 光電變換部上時，進入凹陷中的多余的樹脂材料被各細線電極壓出， 樹脂材料會涂布到連接用電極上。結果，存在連接用電極與配線材料 的接合性降低的問題。另一方面，雖然也考慮到與連接用電極充分隔開地形成樹脂層， 但是此吋太陽電池的耐候性和耐擦傷性降低。
發明內容
本發明是鑒于上述問題完成的，其目的在于提供一種太陽電池模 塊的制造方法和太陽電池的制造方法，能夠通過以高精度在光電變換 部上形成樹脂層，抑制連接用電極和配線材料的接合性的降低。
本發明提供一種太陽電池模塊的制造方法，該太陽電池模塊具備 第一和第二太陽電池、以及將第一和第二太陽電池相互連接的配線材 料，該方法的特征在于，包括工序A，在第一和第二太陽電池各自 的光電變換部上，形成多個細線電極和與上述多個細線電極各自的一 端部連接的連接用電極；工序B，在印刷機的橡皮布(blanket)上配置 具有透光性的樹脂層；工序C，通過將橡皮布按壓在第一和第二太陽 電池各自的光電變換部上，將樹脂層復制到光電變換部上；和工序D， 將配線材料與第一和第二太陽電池各自的連接用電極連接，其中，在 工序B中，在俯視橡皮布時，樹脂層中與連接用電極的外緣對應的部 分形成多個凹部，在工序C中，在俯視光電變換部時，多個細線電極 各自的一端部上配置多個凹部的各個。
根據本發明特征的太陽電池模塊的制造方法，各凹部與各細線電 極中與連接用電極連接的部分重疊。因此，將橡皮布按壓在光電變換 部上時，進入在橡皮布的柱面上與各細線電極對應形成的凹陷中的多 余的樹脂材料被導入到各凹部中。因此，能夠抑制由于在連接用電極 上涂布樹脂材料而導致的連接用電極與配線材料的接合性的降低。
在本發明特征的太陽電池模塊的制造方法中，在工序C中，可以 從多個細線電極各自的另一端部上向一端部上依次復制樹脂層。
本發明提供一種太陽電池的制造方法，該太陽電池電連接有配線 材料，該方法的特征在于，包括工序A，在光電變換部上形成多個 細線電極和與上述多個細線電極各自的一端部連接的連接用電極；工 序B，在印刷機的橡皮布上配置具有透光性的樹脂層；和工序C，通過 將橡皮布按壓在光電變換部上，將樹脂層復制到光電變換部上，其中， 在工序B中，在俯視橡皮布時，樹脂層中與連接用電極的外緣對應的部分形成多個凹部，在工序c中，在俯視光電變換部時，多個細線電
極各自的一端部上配置多個凹部的各個。
根據本發明，提供一種太陽電池模塊的制造方法和太陽電池的制 造方法，能夠通過以高精度在光電變換部上形成樹脂層，抑制連接用 電極和配線材料的接合性的降低。
圖1是本發明實施方^式的太陽電池模塊100的側面圖。
圖2是本發明實施方式的太陽電池IO的受光面側的平面圖。
圖3是圖2的X部分的放大圖。
圖4是圖2的Y—Y線的放大截面圖。
圖5是本發明實施方式中形成樹脂層15所使用的膠版印刷機的示 意圖。
圖6是表示在本發明實施方式的版胴61的柱面上形成的凹版部 61a 61c的圖。
圖7是表示在本發明實施方式的橡皮布62的柱面上配置的樹脂層 15的圖。
具體實施例方式
下面，利用
本發明的實施方式。在下面附圖的記載中， 相同或類似的部分標注相同或類似的符號。其中，應該注意附圖僅為 示意圖，各尺寸的比率等與現實不同。因此，具體的尺寸等應該參考 下面的說明來判斷。此外，當然也包括在附圖之間的各尺寸的關系和 比率不同的部分。
(太陽電池模塊的結構)
下面，參考圖1說明本發明實施方式的太陽電池模塊的結構。圖1 是本發明實施方式的太陽電池模塊100的側面圖。
如圖1所示，太陽電池模塊IOO包括多個太陽電池10、配線材料 20、受光面側保護材料30、背面側保護材料40和密封材料50。
太陽電池IO具備太陽電池基板11和樹脂層15。太陽電池基板11 具備光電變換部12、多個細線電極13和連接用電極14。光電變換部12具有太陽光射入的受光面和設置在受光面的相對側的背面。受光面 和背面是光電變換部12的主面。多個細線電極13和連接用電極14各 自形成在光電變換部12的受光面上和背面上。太陽電池10的詳細結 構將在下面描述。
配線材料20將沿配列方向配列的多個太陽電池10電連接。具體 而言，配線材料20將一個太陽電池IO所具備的在光電變換部12的受 光面上形成的連接用電極14和與一個太陽電池10鄰接的另一個太陽 電池IO所具備的在光電變換部12的背面上形成的連接用電極14連接。 由此，將一個太陽電池IO與另一個太陽電池10電連接。
作為配線材料20，可以使用形成為薄板狀或捻線狀的銅等導電材 料。并且，可以在用作配線材料20的薄板狀銅等的表面上電鍍焊錫等 導電體。
受光面側保護材料30配置在密封材料50的受光面側，保護太陽 電池模塊100的表面。作為受光面側保護材料30，可以使用具有透光 性和擋水性的玻璃、透光性塑料等。
背面側保護材料40配置在密封材料50的背面側，保護太陽電池 模塊100的背面。作為背面側保護材料40，可以使用PET (Polyethylene Terephthalate:聚對苯二甲酸乙二醇酯)等樹脂膜、具有由樹脂膜夾著 鋁箔等金屬箔的結構的疊層膜等。
密封材料50在受光面側保護材料30和背面側保護材料40之間， 密封由配線材料20相互電連接的多個太陽電池10。作為密封材料50， 可以使用EVA、 EEA、 PVB、硅樹脂、聚氨酯樹脂、丙烯酸樹脂、環 氧樹脂等透光性樹脂。
并且，可以在具有以上結構的太陽電池模塊100的外周安裝鋁框架。
(太陽電池的結構)
下面，參考圖2說明本發明實施方式的太陽電池的結構。圖2是 本發明實施方式的太陽電池10的受光面側的平面圖。
如圖2所示，太陽電池10具備光電變換部12、多個細線電極13、 連接用電極14和樹脂層15。
光電變換部12通過在受光面接受太陽光而生成光生載流子。所謂
7的光生載流子是指太陽光被光電變換部12吸收而產生的空穴和電子。 光電變換部12在內部具有n型區域和p型區域，在n型區域和p型區 域的界面形成半導體結。光電變換部12可以使用半導體基板形成，該 半導體基板由單晶硅、多晶硅等結晶系半導體材料，GaAs、 InP等化 合物半導體材料等半導體材料構成。并且，光電變換部12具有所謂的 HIT結構，在該結構中，通過在單晶硅基板和非晶硅層之間實質地夾 入本征非晶硅層，條低其界面上的缺陷，改善異性結合界面的特性。
多個細線電極13是收集來自光電變換部12的光生載流子的電極。 如圖2所示，多個細線電極13形成在光電變換部12的受光面的大致 整個區域上。多個細線電極13可以由以樹脂材料為粘接劑、以銀顆粒 等導電性顆粒為填充物的樹脂型導電性膏，或者燒結型導電性膏(所 謂的陶瓷膏)等形成。
在此，在本實施方式中，多個細線電極13由多個細線電極13a、 多個細線電極13b和多個細線電極13c構成。
各細線電極13a沿正交方向形成為線狀。如圖2所示，各細線電 極13a的一端部與連接用電極14L連接。
此外，各細線電極13b沿正交方向形成為線狀。各細線電極13b 的一端部與連接用電極14L連接，另一端部與連接用電極14R連接。
此外，各細線電極13c沿正交方向形成為線狀。各細線電極13c 的一端部與連接用電極14R連接。在本實施方式中，各細線電極13a、 各細線電極13b和各細線電極13c沿正交方向配置在一條直線上。
并且，細線電極13的尺寸、形狀和數量可以考慮光電變換部12 的尺寸和物性等，設定為適當的數量。例如，在光電變換部12的尺寸 是大約100mm的四邊形的情況下，可以形成大約50個細線電極13。
連接用電極14是電連接有配線材料20的電極。如圖2所示，連 接用電極14沿配列方向形成。連接用電極14可以使用與多個細線電 極13相同的材料形成。
在此，在本實施方式中，連接用電極14由連接用電極14L和連接 用電極14R構成。如上所述，在連接用電極14L上連接有多個細線電 極13a各自的一端部和多個細線電極13b各自的一端部。并且，在連 接用電極14R上連接有多個細線電極13b各自的另一端部和多個細線電極13c各自的一端部。其中，連接用電極14的尺寸、形狀和數量可 以根據光電變換部12的尺寸和物性等，設定為適當的數量。
樹脂層15是保護光電變換部12的薄膜。具體而言，樹脂層15在 光電變換部12的受光面和背面上以覆蓋多個細線電極13的方式形成。 樹脂層15使光電變換部12和多個細線電極13的耐候性和耐擦傷性提 高。特別是樹脂層15能夠抑制光電變換部12由于空氣中的水分而離 子化從而導致光電變換部12內部的pn半導體結的惡化。這樣，樹脂 層15具有抑制光電變換部12的光電變換效率降低的功能。
作為樹脂層15，可以使用EVA、 PVA、 PVB、硅樹脂、丙烯酸樹 脂、環氧樹脂、聚硅氨烷等透光性樹脂。并且，也可以在這些樹脂中 添加氧化硅、氧化鋁、氧化鎂、氧化鈦、氧化鋅等添加劑。
在本實施方式中，如圖2所示，樹脂層15由第一樹脂層15a、第 二樹脂層15b和第三樹脂層15c構成。
第一樹脂層15a以覆蓋多個細線電極13a的方式形成。在此，在 第一樹脂層15a的俯視圖中，在第一樹脂層15a中連接用電極14L側 的端部，即第一樹脂層15a中與連接用電極14L的外緣對應的部分， 形成有多個凹部15p。多個凹部15p沿配列方向以規定的間隔形成。在 各凹部15p中，各細線電極13a的一端部露出。g卩，第一樹脂層15a 不覆蓋各細線電極13a中與連接用電極14L連接的部分。
第二樹脂層15b以覆蓋多個細線電極13b的方式形成。在第二樹 脂層15b的俯視圖中，在第二樹脂層15b的連接用電極14L側的端部， 即第二樹脂層15b中與連接用電極14L的外緣對應的部分，形成有多 個凹部15p。在各凹部15p中，各細線電極13b的一端部露出。同樣， 在第二樹脂層15b的連接用電極14R側的端部，即第二樹脂層15b中 與連接用電極14R的外緣對應的部分，形成有多個凹部15p。在各凹 部15p中，各細線電極13b的另一端部露出。SP，第二樹脂層15b不 覆蓋各細線電極13b的兩端部分。
第三樹脂層15c以覆蓋多個細線電極13c的方式構成。在第三樹 脂層15c的俯視圖中，在第三樹脂層15c的連接用電極14R側的端部， 即第三樹脂層15c中與連接用電極14R的外緣對應的部分，形成有多 個凹部15p。多個凹部15p沿配列方向以規定的間隔形成。在各凹部15p中，各細線電極13c的一端部露出。g卩，第三樹脂層15c不覆蓋各 細線電極13c中與連接用電極14R連接的部分。 (樹脂層的形狀)
下面，參照
樹脂層15的詳細形狀。圖3是圖2的X部分 的放大圖。圖4是圖2的Y—Y線的放大截面圖。
如圖3和圖4所示，第一樹脂層15a的凹部15p配置在細線電極 13a上。因此，細線電極13a包括在光電變換部12的受光面上露出的 露出部13a,和被第一樹脂層15a覆蓋的被覆部13a2。露出部13a,相當 于細線電極13a中與連接用電極14L連接的一端部。
同樣，第二樹脂層15b的凹部15p配置在細線電極13b上。因此， 細線電極13b包括在光電變換部12的受光面上露出的露出部13b,和被 第二樹脂層15b覆蓋的被覆部13b2。露出部13b,相當于細線電極13b 中與連接用電極14L連接的一端部。
此外，樹脂層15與連接用電極14離開配置。如圖3所示，樹脂 層15和連接用電極14的間隔是a。此外，如圖4所示，樹脂層15的 凹部15p的最深部和連接用電極14的間隔是p。 a和p可以考慮構成 樹脂層15的樹脂材料的粘性和厚度等設定。此外，由于凹部15p與細 線電極13對應設置，所以凹部15p的尺寸、形狀等可以根據細線電極 13的尺寸、形狀、間隔等適當設定。
(太陽電池模塊的制造方法)
接著，說明本發明實施方式的太陽電池模塊的制造方法。 首先，形成光電變換部12。接著，在光電變換部12的受光面上沿 第一方向形成多個細線電極13，并沿與第一方向大致正交的第二方向 形成兩個連接用電極14L、 14R。同樣，在光電變換部12的背面上， 也形成多個細線電極13和兩個連接用電極14L、 14R。從而形成太陽 電池基板11。
接著，在光電變換部12的受光面上形成由透光性樹脂構成的樹脂 層15。作為形成樹脂層15的方法，可以采用下述方法(例如膠版印刷 法、輥涂法等)，通過使輥一邊轉動， 一邊按壓在光電變換部12的受 光面上，將配置在輥的曲面上的液態或凝膠狀的透光性樹脂層復制到 光電變換部12的受光面上。具體而言，參照
形成樹脂層15的方法。圖5是本發明實 施方式中形成樹脂層15所使用的膠版印刷機的示意圖。膠版印刷機具 備版胴61、樹脂槽62、橡皮布63、搬送裝置64和載置臺65。
圓柱狀的版胴61向轉動方向y轉動。如圖6所示，在版胴61的 柱面上形成有特定圖案的凹版部61a 61c。在此，所謂的特定圖案是 與配置在光電變換部12的受光面上的樹脂層15的形狀對應的形狀(參 照圖2)。 SP，在俯視圖中，在凹版部61a中的凹版部61b側設置有多 個凹部。并且，在俯視圖中，在凹版部61b中的凹版部61a和凹版部 61c側設置有多個凹部。此外，在俯視圖中，在凹版部61c中的凹版部 61b側設置有多個凹部。
樹脂槽62蓄積液態或凝膠狀的透光性樹脂。正在轉動的版胴61 浸漬在樹脂槽62中蓄積的液態或凝膠狀的透光性樹脂中。如圖6所示， 在版胴61的曲面上，附著在凹版部61a 61c以外的區域上的透光性 樹脂被除去，僅在凹版部61a殘留有樹脂。
圓柱狀的橡皮布63向轉動方向S轉動。橡皮布63的柱面由硅橡 膠等彈性部件構成。通過使橡皮布63的柱面與版胴61的柱面接觸， 殘留在版胴61的凹版部61a 61c中的樹脂復制到橡皮布63的柱面上。 由此，樹脂層15配置在橡皮布63的柱面上。配置在橡皮布63的柱面 上的樹脂層15的平面形狀是上述特定圖案。B卩，如圖7所示，是在樹 脂層15中與連接用電極14的外緣對應的部分上形成有多個凹部15p 的圖案。
搬送裝置64 (例如皮帶輸送機等)將載置在平板的載置臺65上的 太陽電池基板ll向規定的搬送方向搬送。搬送裝置64將太陽電池基 板ll沿正交方向(參照圖2)搬送，同時，使其在沿轉動方向5轉動 的橡皮布63下通過。通過將橡皮布63按壓在太陽電池基板11上，配 置在橡皮布63的柱面上的樹脂層15被復制到太陽電池基板11的受光 面上。
具體而言，如圖7所示，樹脂層15沿轉動方向5移動，同時太陽 電池基板11沿正交方向移動。因此，第一樹脂層15a從光電變換部12 的形成受光面的端邊側向連接用電極14L側依次復制。即，第一樹脂 層15a朝向多個細線電極13a各自的與連接用電極14L連接的一端部
ii依次復制。
此外，第二樹脂層15b朝向多個細線電極13b各自的與連接用電 極14R連接的一端部依次復制。此時，應該注意，在光電變換部12的 俯視圖中，多個凹部15p分別配置在多個細線電極13a、 13b各自的一 端部上。
之后，通過對復制到太陽電池基板11的受光面上的樹脂層15進 行千燥，使其硬化。由此，制作太陽電池io。
接著，在一個太陽電池10的連接用電極14上連接配線材料20的 一端部，并且在另一個太陽電池10的連接用電極14上連接配線材料 20的另一端部。由此，將一個太陽電池10與另一個太陽電池10電連 接。
接著，在受光面側保護材料30上依次疊層密封材料50、由配線材 料20相互連接的多個太陽電池10、密封材料50和背面側保護材料40， 構成疊層體。
然后，通過在真空氣氛下對疊層體進行加熱壓合，制成太陽電池 模塊100。
(作用和效果)
本發明實施方式的太陽電池模塊100的制造方法包括工序A， 將多個細線電極13a各自的一端部連接到連接用電極14L上；工序B， 在橡皮布63上以特定圖案配置樹脂層15;工序C，通過將橡皮布63 按壓在光電變換部12上，將樹脂層15復制到光電變換部63上。在工 序B中，在第一樹脂層15a中與連接用電極14L的外緣對應的部分上 形成多個凹部15p。在工序C中，在俯視光電變換部12時，多個細線 電極13a各自的一端部上配置多個凹部15p的各個。
這樣，各凹部15p與各細線電極13a中與連接用電極14L連接的 部分重疊。因此，當將橡皮布63按壓在光電變換部12上時，進入在 橡皮布63的柱面上與各細線電極13a對應形成的凹陷中的多余的樹脂 材料被導入到各凹部15p中。因此，能夠抑制樹脂材料被涂布在連接 用電極14L上，從而能夠抑制連接用電極14L和配線材料20的粘接性 的降低。
此外，在本實施方式中，在第二樹脂層15b中與連接用電極14L和連接用電極14R的外緣對應的部分分別形成多個凹部15p。因此， 各凹部15p與各細線電極13b各自的兩端部重疊。
并且，在本實施方式中，在第三樹脂層15c中與連接用電極14R 的外緣對應的部分形成多個凹部15p。因此，各凹部15p和各細線電極 13c中與連接用電極14R連接的部分重疊。
這樣，根據本實施方式的太陽電池模塊100的制造方法，能夠以 高精度在光電變換部12上形成樹脂層15，所以能夠抑制連接用電極 14和配線材料20的粘接性的降低。
在此，第一樹脂層15a從光電變換部12的形成受光面的端邊側向 連接用電極14L側依次復制。此外，第二樹脂層15b向多個細線電極 13b各自中的與連接用電極14R連接的一端部依次復制。因此，在各 細線電極13a中與連接用電極14L連接的部分和各細線電極13b中與 連接用電極14R連接的部分中，樹脂材料特別容易在連接用電極14上 滲出。即使在這種情況下，根據本實施方式的太陽電池模塊100的制 造方法，能夠將多余的樹脂材料導入到各凹部15p中，所以能夠抑制 樹脂材料被涂布在連接用電極14上。
(其他的實施方式)
雖然本發明通過上述實施方式記載，但是不應該理解為構成公開 一部分的論述和附圖用于限定本發明。根據公開內容，本領域技術人 員可以清楚各種替代實施方式、實施例和應用技術。
例如，在上述實施方式中，在光電變換部12的受光面上和背面上 形成樹脂層15，但是樹脂層15也可以僅形成在光電變換部12的受光 面上或背面上的任何一個上。在這種情況下，優選樹脂層15形成在距 離在光電變換部12的內部形成的pn半導體結近的面上。光電變換效 率降低主要是因為pn半導體結的惡化所導致的。
此外，在上述實施方式中，在利用膠版印刷法形成樹脂層15的工 序中，使用圓柱狀的橡皮布63，但是不限于此，例如，也可以使用平 板狀的橡皮布形成樹脂層15。
此外，在上述實施方式中，與連接用電極14L和連接用電極14R 離開地設置樹脂層15，但是也可以使樹脂層15與連接用電極14L和連 接用電極14R接觸。即使在這種情況下，多余的樹脂材料也會被導入到各凹部15p中。
此外，在上述實施方式中，與光電變換部12的形成受光面的各端 邊隔開地設置樹脂層15，但是不限于此，也可以形成樹脂層15直到各 端邊。
此外，在上述實施方式中，在版胴61的曲面上，去除樹脂的區域 和殘留樹脂的區域可以沒有高低差。具體而言，去除樹脂的區域和殘 留樹脂的區域可以被化學分離。
此外，在上述實施方式中，在光電變換部12的背面上形成多個細 線電極13和連接用電極14，但是不限于此。具體而言，收集光生載流 子的電極可以以覆蓋光電變換部12的背面的整個表面的方式形成。本 發明不限定形成在光電變換部12的背面上的電極的形狀。
此外，在上述實施方式中，多個細線電極13在光電變換部12的 受光面上沿正交方向形成為直線狀，但是各細線電極13的形狀也可以 不是直線狀。本發明不限定各細線電極13的形狀。
如上所述，本發明當然也包括未在此記載的各種實施方式。因此， 本發明的技術范圍僅由根據上述說明的妥當的權利要求的發明特定事 項所決定。
1權利要求
1.一種太陽電池模塊的制造方法，該太陽電池模塊具備第一和第二太陽電池、以及將所述第一和第二太陽電池相互連接的配線材料，該方法的特征在于，包括工序A，在所述第一和第二太陽電池各自的光電變換部上，形成多個細線電極和與所述多個細線電極各自的一端部連接的連接用電極；工序B，在印刷機的橡皮布上配置具有透光性的樹脂層；工序C，通過將所述橡皮布按壓在所述第一和第二太陽電池各自的所述光電變換部上，將所述樹脂層復制到所述光電變換部上；和工序D，將所述配線材料與所述第一和第二太陽電池各自的所述連接用電極連接，其中，在所述工序B中，在俯視所述橡皮布時，所述樹脂層中與所述連接用電極的外緣對應的部分形成多個凹部，在所述工序C中，在俯視所述光電變換部時，在所述多個細線電極各自的所述一端部上配置所述多個凹部的各個。
2. 如權利要求l所述的太陽電池模塊的制造方法，其特征在于 在所述工序C中，從所述多個細線電極各自的另一端部上向所述一端部上依次復制所述樹脂層。
3. —種太陽電池的制造方法，該太陽電池電連接有配線材料，該 方法的特征在于，包括-工序A，在光電變換部上形成多個細線電極和與所述多個細線電 極各自的一端部連接的連接用電極；工序B，在印刷機的橡皮布上配置具有透光性的樹脂層；和工序C，通過將所述橡皮布按壓在所述光電變換部上，將所述樹 脂層復制到所述光電變換部上，其中，在所述工序B中，在俯視所述橡皮布時，所述樹脂層中與所述連 接用電極的外緣對應的部分形成多個凹部，在所述工序C中，在俯視所述光電變換部時，所述多個細線電極 各自的所述一端部上配置所述多個凹部的各個。
全文摘要
本發明提供一種太陽電池模塊的制造方法和太陽電池的制造方法。本發明實施方式的太陽電池模塊(100)的制造方法包括將多個細線電極(13a)各自的一端部連接到連接用電極(14L)的工序A；在橡皮布(63)上配置樹脂層(15)的工序B；和將樹脂層(15)復制到光電變換部(63)上的工序C。在工序B中，在第一樹脂層(15a)中與連接用電極(14L)的外緣對應的部分上形成多個凹部(15p)。在工序C中，在多個細線電極(13a)各自的一端部上配置多個凹部(15p)的各個。
文檔編號H01L31/18GK101651168SQ20091017335
公開日2010年2月17日 申請日期2009年7月24日 優先權日2008年7月25日
發明者小林伸二, 山崎敦子 申請人:三洋電機株式會社