專利名稱:打線機臺的固定治具及其窗型壓板的制作方法
技術領域:
本發明關于一種固定治具及其壓板,詳言之,關于一種打線機臺的固定治具及其窗型壓板。
背景技術:
參考圖l,顯示已知打線機臺的固定治具l的分解示意圖。該固定治具l用以固
定一承載板21以利打線工藝,該承載板21包括一上表面211及一下表面212,數個芯片22黏附于該承載板21。該固定治具l包括一熱板ll、 二軌道12及一窗型壓板13。該熱板l 1包括一吸附面111 ,用以支撐該承載板21的下表面212且提供熱能至該承載板21。這些軌道12位于該熱板11的二側,以支撐該承載板21的二側。該窗型壓板13用以壓合該承載板21的上表面211,其包括一壓板本體131、至少一窗孔132及數個壓條133。該窗孔132貫穿該壓板本體131,用以顯露該承載板21的部分上表面211。部分這些壓條133位于該窗孔132內,且互相交^l昔而定義出數個開口 134。這些壓條133更包括數個條側壓條1331,這些側壓條1331位于該窗型壓4反13背面的兩側(如圖2所示)。
參考圖3,顯示已知打線機臺的固定治具的應用俯視示意圖。在半導體工藝的一打線工藝中,首先,該承載板21被置于這些軌道12上,且該熱板ll的吸附面lll支撐該承載板21的下表面212且提供熱能至該承載板21。接著,該窗型壓板13向下壓合于該承載板21,其中每一這些開口134對應每一這些芯片22,而后進行打線。完成打線后,該窗型壓板13向上提升,以利該承載板21依循運送方向前進,使尚未打線的芯片22前進至一預定位置。之后,該窗型壓板13再向下壓合該承載板21,以進行下一次打線作業。
然而以已知打線機臺的固定治具l進行打線的缺點如下。當該窗型壓板13向上提升時,該承載板21因和該窗型壓板13間的表面張力而向上翹曲(如圖4所示),而不利后續工藝。已知解決方法增加該窗型壓板13向下壓合的壓力,藉此使已翹曲的承載板21被壓平。然而該已知解決方法產生另一缺點,由于這些側壓條1331會壓到這些軌道12與該熱板11間的部分該承載板21 ,因此當該窗型壓板13增加向下壓合的
隙,而在該承載板21上產生壓痕,且使該承載板21產生翹曲(如圖5所示)。如此,在接續的灌模(Molding)工藝中,液態的封膠材料會經由該壓痕而溢出,導致封裝失敗。
因此,有必要提供一種創新且具進步性的打線機臺的固定治具及其窗型壓板,以解決上述問題。
發明內容
本發明提供一種打線機臺的固定治具,用以固定一承載板以利打線工藝,該承載板包括一上表面及一下表面,數個芯片黏附于該承載板,該固定治具包括一熱板及一窗型壓板。該熱板包括一吸附面,用以支撐該承載板的下表面且提供熱能至該承載板。該窗型壓板用以壓合該承載板的上表面,包括一壓板本體、至少一窗孔及至少一緩沖裝置。該窗孔貫穿該壓板本體,用以顯露該承載板的部分上表面。該緩沖裝置位于該窗孔之外,其包括一頂抵端,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵端頂抵該承載板的上表面,當該窗型壓板向上提升時,該頂抵端向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。藉此,不需如已知技術增加向下壓合的壓力,如此可避免承載板翹曲的情況,進而提升良率。
在一較佳實施例中,該緩沖裝置包括一彈性體及一頂抵塊,該彈性體包括一固定端及一自由端,該固定端固設于該壓板本體,該頂抵塊的一端連接該彈性體的自由端,另一端為該頂4氐端。
在一較佳實施例中,該緩沖裝置為一彈性片體,該彈性片體的一端為一固定端,固設于該壓板本體,另一端為該頂抵端,該彈性片體與該壓板本體具有一角度。
在一較佳實施例中,該緩沖裝置為一彈性緩沖層,其具有一上表面及一下表面,該上表面為一固定端,附著于該壓板本體,該下表面為該頂抵端。
在一較佳實施例中,該緩沖裝置為一活動塊體,該活動塊體包括一支撐部及一頂抵部,該支撐部位于該容置空間內,該支撐部的面積大于該頂抵開口的面積,以防止該支撐部掉出該容置空間,該頂4氐部的下端為該頂抵端,該頂抵部的面積小于該頂4氐開口的面積,使得該頂抵部可以于該頂4氐開口內移動。
6圖1顯示已知打線機臺的固定治具的分解示意圖2顯示已知窗型壓板的背面的透視示意圖3顯示已知打線機臺的固定治具的應用俯視示意圖4顯示沿著圖3的線4-4的剖面示意圖5顯示已知窗型壓板壓合承載板的剖面示意圖6顯示本發明打線機臺的固定治具的第一實施例的分解示意圖7顯示本發明窗型壓板的第一實施例的背面的透視示意圖8顯示圖7的局部放大圖9顯示本發明打線機臺的固定治具的第一實施例的應用俯視示意圖;圖10顯示沿著圖9的線10-10的剖面示意圖11顯示本發明打線機臺的固定治具的第 一 實施例的窗型壓板向上提升的剖面示意圖12顯示本發明打線機臺的固定治具的第二實施例的窗型壓板壓合承載板的示意圖13顯示本發明打線機臺的固定治具的第二實施例的窗型壓板向上提升的示
意圖14顯示本發明打線機臺的固定治具的第三實施例的窗型壓板壓合承載板的示意圖15顯示本發明打線機臺的固定治具的第三實施例的窗型壓板向上提升的示
意圖16顯示本發明打線機臺的固定治具的第四實施例的窗型壓板壓合承載板的示意圖;及
圖17顯示本發明打線機臺的固定治具的第四實施例的窗型壓板向上提升的示意圖。
主要組件符號說明
1 已知打線機臺的固定治具
3A 本發明打線才幾臺的固定治具的第一實施例
3B 本發明打線機臺的固定治具的第二實施例
3C 本發明打線機臺的固定治具的第三實施例
3D 本發明打線機臺的固定治具的第四實施例4 熱板
5 本發明窗型壓板的第一實施例
6 軌道
7 本發明窗型壓板的第二實施例
8 本發明窗型壓板的第三實施例
9 本發明窗型壓板的第四實施例
11 熱板
12 軌道
13 窗型壓板
21 承載板
22 芯片
23 承載板
24 芯片 41 吸附面
51 壓板本體
52 窗孔
53 壓條
54 開口
55 彈性體
56 頂4氐塊
57 緩沖裝置 71 壓板本體 75 彈性緩沖層 77 緩沖裝置 81 壓板本體 85 彈性片體 87 緩沖裝置 91 壓板本體 95 活動塊體 97 緩沖裝置 111 吸附面
8131壓板本體
132窗孔
133壓條
134開口
211上表面
212下表面
231上表面
232下表面
511凹槽
531側壓條
551固定端
552自由端
561頂抵端
751固定端
752頂抵端
851固定端
852頂抵端
911容置空間
912頂才氐開口
951支撐部
952頂抵部
953頂抵端
1331側壓條
具體實施例方式
參考圖6,顯示本發明打線機臺的固定治具3A的第一實施例的分解示意圖。該 固定治具3A用以固定一承載板23以利打線工藝,該承載板23包括一上表面231及一 下表面232,數個芯片24黏附于該承載板23。在本實施例中,該承載板23可為一基 板條(Substrate Strip)或一導線架(Leadframe),這些芯片24黏附于該承載板23的上表 面231。該固定治具3A包括一熱板4及一窗型壓板5。在本實施例中,該固定治具3A 更包括二條軌道6,這些軌道6位于該熱板4的二側,以支撐該承載板23的二側。該熱板4包括一吸附面41,用以支撐該承載板23的下表面232且提供熱能至該承栽板 23。在其它應用中,該熱板4更包括數個吸氣孔,這些吸氣孔連通至該吸附面41。
該窗型壓板5用以壓合該承載板23的上表面231,其包括一壓板本體51、至少 一窗孔52及至少一緩沖裝置57。在本實施例中,該窗型壓板5更包括數個條壓條53, 這些壓條53包括數個條側壓條531 (如圖7及圖8所示),這些側壓條531位于該窗型 壓板5的背面兩側。部分這些壓條53位于該窗孔52內,且互相交錯而定義出數個開 口54,每一這些開口54對應每一這些芯片24 (如圖9所示)。該窗孔52貫穿該壓板本 體51,用以顯露該承載板23的部分上表面231。在本實施例中,該窗孔52顯露這些 芯片24。
該緩沖裝置57位于該窗孔52之外,該緩沖裝置57包括一頂抵端561 (如圖10所 示)。當該窗型壓板5壓合該承載板23的上表面231時,該頂抵端561頂抵該承載板23 的上表面231,當該窗型壓板5向上提升時,該頂抵端561向下推開該承載板23,以 防止該承載板23被連同該窗型壓板5—起向上提升。
參考圖10及圖11,顯示本發明打線才幾臺的固定治具3A的作動示意圖,其中圖 10沿著圖9的線10-10的剖面示意圖。圖10顯示該窗型壓板5向下壓合的示意圖。圖 11顯示該窗型壓板5向上提升的示意圖。配合參考圖9,在本實施例中,該緩沖裝置 57位于這些側壓條531上,且該緩沖裝置57包括一彈性體55及一頂抵塊56,該彈性 體55為一彈簧,包括一固定端551及一自由端552,該固定端551固設于該壓板本體 51,該頂抵塊56為一球體,其一端連接該彈性體55的自由端552,另一端為該頂4氐 端561。此外,該壓板本體51更包括至少一凹槽511,該彈性體55的該固定端551固 定于該凹槽511內,且該頂抵塊56于該凹槽511內移動。本實施例的作動方式如下。
參考圖IO,當該窗型壓板5壓合該承載板23的上表面231時,該頂抵塊56的頂 抵端561頂抵該承載板23的上表面231,該彈性體55為壓縮狀態。接著參考圖ll,當 該窗型壓板5向上提升時,該頂抵端561受該彈性體55彈力而向下推開該承載板23, 以防止該承載板23被連同該窗型壓板5—起向上提升。
參考圖12,顯示本發明打線機臺的固定治具3B的第二實施例的示意圖,其中 該窗型壓板7壓合該承載板23。參考圖13,顯示本發明打線機臺的固定治具3B的第 二實施例的窗型壓板7向上提升的示意圖。本實施例的固定治具3B與該第一實施例 的固定治具3A (圖6)大致相同,其中相同的組件賦予相同的編號。本實施例與該 第 一實施例的不同處在于該壓板本體71及該緩沖裝置77的結構不同。在本實施例 中,該壓板本體71不具有任何凹槽,該纟爰沖裝置77為一彈性緩沖層75,其材質為橡膠,且具有一上表面及一下表面,該上表面為一固定端751,附著于該壓板本體71。 該下表面為一頂抵端752。參考圖12,當該窗型壓板7壓合該承載板23的上表面231 時,該頂抵端752頂抵該承載板23的上表面231,該彈性緩沖層75為壓縮狀態。參考 圖13,當該窗型壓板7向上提升時,該頂抵端752受該彈性緩沖層75的回復力而向下 推開該承載板23,以防止該承載板23被連同該窗型壓板7—起向上提升。
參考圖14,顯示本發明打線機臺的固定治具3C的第三實施例的示意圖,其中 該窗型壓板8壓合該承載板23。參考圖15,顯示本發明打線機臺的固定治具3C的第 三實施例的窗型壓板8向上提升的示意圖。本實施例的固定治具3 C與該第 一 實施例 的固定治具3A (圖6)大致相同,其中相同的組件賦予相同的編號。本實施例與該 第一實施例的不同處在于該壓板本體81及該緩沖裝置87的結構不同。在本實施例 中,該壓板本體81不具有任何凹槽,該緩沖裝置87為一彈性片體85,該彈性片體85 的一端為一固定端851,固設于該壓板本體81,另一端為一頂^^端852。參考圖14, 當該窗型壓板8壓合該承載板23的上表面231時,該頂抵端852頂4氐該承載板23的上 表面231,且該彈性片體85產生形變。參考圖15,當該窗型壓板8向上提升時,該頂 抵端852受該彈性片體85的回復力而向下推開該承載板23,以防止該承載板23被連 同該窗型壓板8—起向上提升。此時,該彈性片體85與該壓板本體81具有一角度。
參考圖16,顯示本發明打線機臺的固定治具3D的第四實施例的示意圖,其中 該窗型壓板9壓合該承載板23。參考圖17,顯示本發明打線機臺的固定治具3D的第 四實施例的窗型壓板9向上提升的示意圖。本實施例的固定治具3D與該第 一 實施例 的固定治具3A (圖6)大致相同,其中相同的組件賦予相同的編號。本實施例與該 第一實施例的不同處在于該壓板本體91及該緩沖裝置97的結構不同。在本實施例 中,該壓板本體91更包括至少一容置空間911,該容置空間911包括一頂抵開口912。 該緩沖裝置97為一活動塊體95,該活動塊體95包括一支撐部951及一頂抵部952。該 支撐部951位于該容置空間911內,該支撐部951的面積大于該頂抵開口912的面積, 以防止該支撐部951掉出該容置空間911。該頂抵部952的下端為一頂抵端953,該頂 抵部952的面積小于該頂抵開口 912的面積,使得該頂抵部952可以于該頂抵開口 912 內移動。參考圖16,當該窗型壓板9壓合該承載板23的上表面231時,該頂抵部952 的該頂抵端953頂抵該承載板23的上表面231。參考圖17,當該窗型壓板9向上提升 時,由于該活動塊體95的重力作用,使得該頂抵部952的該頂抵端953向下推開該承 載板23 ,以防止該承載板23被連同該窗型壓板9一起向上提升。
藉此,在本發明中,該窗型壓板5,7,8,9的緩沖裝置57,77,87,97提供一下推力以
ii推開該承載板23,以防止該承載板23連同該窗型壓板5,7,8,9一起向上提升。因而不 需如已知技術增加向下壓合的壓力,如此可避免承載板23翹曲的情況,進而提升良 率。
惟上述實施例僅為說明本發明的原理及其功效,而非用以限制本發明。因此, 習于此技術的人士對上述實施例進行修改及變化仍不脫本發明的精神。本發明的權 利范圍應如后述的權利要求書所列。
權利要求
1.一種窗型壓板,用以壓合一承載板的上表面,數個芯片黏附于該承載板,包括一壓板本體;至少一窗孔,貫穿該壓板本體,用以顯露該承載板的部分上表面;及至少一緩沖裝置,位于該窗孔之外,該緩沖裝置包括一頂抵端,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵端頂抵該承載板的上表面,當該窗型壓板向上提升時,該頂抵端向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。
2. 如權利要求1的窗型壓板,其中該承載板為一基板條(SubstrateStrip)或一導 線架(Leadframe)
3. 如權利要求1的窗型壓板,更包括數個條壓條,部分這些壓條位于該窗孔 內,且互相交錯而定義出數個開口 ,每一這些開口對應每一這些芯片。
4. 如權利要求1的窗型壓板,其中這些芯片黏附于該承栽板的上表面,該窗 型壓板的該窗孔顯露這些芯片。
5. 如權利要求1的窗型壓板,其中該緩沖裝置包括一彈性體及一頂抵塊,該 彈性體包括一固定端及一自由端,該固定端固設于該壓板本體,該頂抵塊的一端連 接該彈性體的自由端,另一端為該頂抵端,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時, 該頂抵塊的頂抵端頂抵該承載板的上表面,該彈性體為壓縮狀態,當該窗型壓板向 上提升時,該頂抵端受該彈性體的彈力而向下推開該承載板,以防止該承載板被連 同該窗型壓板一起向上提升。
6. 如權利要求5的窗型壓板,其中該壓板本體更包括至少一凹槽,該彈性體 的該固定端固定于該凹槽內,且該頂抵塊于該凹槽內移動。
7. 如權利要求5的窗型壓板,其中該彈性體為一彈簧,該頂抵塊為一球體。
8. 如權利要求1的窗型壓板,其中該緩沖裝置為一彈性片體,該彈性片體的 一端為一固定端,固設于該壓板本體,另一端為該頂抵端,該彈性片體與該壓板本 體具有一角度,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵端頂抵該承載板的 上表面,且該彈性片體產生形變,當該窗型壓板向上提升時,該頂抵端受該彈性片 體的回復力而向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提 升。
9. 如權利要求1的窗型壓板,其中該緩沖裝置為一彈性緩沖層,其具有一上 表面及一下表面,該上表面為一固定端,附著于該壓板本體,該下表面為該頂抵端, 當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵端頂抵該承栽板的上表面,該彈性 緩沖層為壓縮狀態,當該窗型壓板向上提升時,該頂抵端受該彈性緩沖層的回復力 而向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。
10. 如權利要求1的窗型壓板,其中該壓板本體更包括至少一容置空間,該 容置空間包括一頂抵開口,該緩沖裝置為一活動塊體,該活動塊體包括一支撐部及 一頂抵部,該支撐部位于該容置空間內,該支撐部的面積大于該頂"t氐開口的面積, 以防止該支撐部掉出該容置空間,該頂抵部的下端為該頂抵端,該頂抵部的面積小 于該頂抵開口的面積,使得該頂抵部可以于該頂抵開口內移動,當該窗型壓板壓合 該承載板的上表面時,該頂抵部的該頂抵端頂抵該承載板的上表面,當該窗型壓板 向上提升時,由于該活動塊體的重力作用,使得該頂抵部的該頂抵端向下推開該承 載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。
11. 一種窗型壓板,用以壓合一承載板的上表面,數個芯片翁附于該承載板,包括一壓板本體,包括至少 一容置空間,該容置空間包括一頂抵開口 ; 至少一窗孔,貫穿該壓板本體,用以顯露該承載板的部分上表面;及 至少一緩沖裝置,位于該窗孔之外,該緩沖裝置為一活動塊體,該活動塊體 包括一支撐部及一頂抵部,該支撐部位于該容置空間內,該頂抵部的下端為該頂抵 端,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵部的該頂抵端頂抵該承載板的上表面,當該窗型壓板向上提升時,由于該活動塊體的重力作用,使得該頂抵部的 該頂抵端向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。
12. 如權利要求11的窗型壓板,其中該承載板為一基板條(Substrate Strip) 或 一導線架(Leadframe)。
13. 如權利要求11的窗型壓板,更包括數個條壓條,部分這些壓條位于該 窗孔內,且互相交錯而定義出數個開口,每一這些開口對應每一這些芯片。
14 如權利要求11的窗型壓板,其中這些芯片黏附于該承載板的上表面,該窗 型壓板的該窗孔顯露這些芯片。
15 如權利要求11的窗型壓板,其中該支撐部的面積大于該頂抵開口的面積, 以防止該支撐部掉出該容置空間。
16 如權利要求11的窗型壓板,其中該頂抵部的面積小于該頂抵開口的面積, 使得該頂抵部可以于該頂抵開口內移動。
全文摘要
本發明關于一種打線機臺的固定治具及其窗型壓板。該窗型壓板用以壓合一承載板的上表面,其包括一壓板本體、至少一窗孔及至少一緩沖裝置。該窗孔貫穿該壓板本體,用以顯露該承載板的部分上表面。該緩沖裝置位于該窗孔之外,包括一頂抵端,當該窗型壓板壓合該承載板的上表面時,該頂抵端頂抵該承載板的上表面,當該窗型壓板向上提升時,該頂抵端向下推開該承載板,以防止該承載板被連同該窗型壓板一起向上提升。藉此,可以避免該承載板翹曲的情況,進而提升良率。
文檔編號H01L21/603GK101685785SQ20091014895
公開日2010年3月31日 申請日期2009年6月4日 優先權日2008年9月26日
發明者柳熙錫, 金仁鎬, 金大根 申請人:日月光半導體制造股份有限公司