專利名稱：一種滑輪支架及其利用此滑輪支架的線鋸裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種滑輪支架及其利用此滑輪支架的線鋸裝置，屬于
線鋸(wire saw)裝置領域。
背景技術：
目前，線鋸裝置廣泛應用于各個領域。日本生產的NTC442型線鋸 裝置是一種在半導體生產領域經常使用的一種線鋸裝置。在此線鋸裝 置中，是利用很多的導線滑輪完成對線的導向。如圖1所示，圖l是 現有技術中線鋸裝置的導線滑輪的固定方式示意圖，也就是滑輪支架 的設置方式示意圖。圖1包括圖la、圖lb和圖lc。圖la是現有技術 中線鋸裝置的導線滑輪的固定方式的俯視圖。圖lb是現有技術中線鋸 裝置的導線滑輪的固定方式的主視圖。圖lc是現有技術中線鋸裝置的 導線滑輪的固定方式的立體示意圖。在固定板1上固定連接著支撐架2, 支撐架2上活動連接有導線滑輪3。支撐架2和導線滑輪3的連接方式 如圖2所示，圖2是圖la中A-A向的視圖。如圖2所示，在支撐架2 設置導槽型孔201,螺釘202通過導槽將支撐架2和導線滑輪3連接， 并且導線滑輪3在橫向上是可以根據實際情況而進行調整的。如圖3 所示，在線鋸裝置工作過程中，鋼線4通過導4合滑4侖3,導線滑輪3上 的鋼線4的方向由導線滑輪3和外力的方向決定，圖3中的外力的方 向是垂直向下的，這樣是一種比較理想的工作狀態。在圖3中，鋼線4 的主要受力方向為垂直向下的，鋼線4只受拉伸的力。而在線鋸裝置 工作過程中，由于線鋸裝置的長期使用等原因，也可能出現如圖4所 示的情況，在圖4中，鋼線4不僅收到拉伸的力而且還受到剪切的力， 眾所周知，剪切力和拉伸力復合應力的結合對鋼線的破壞是很大的， 所以容易出現斷線的情況，斷線情況的出現將使得整鋸停工，并有可 能使得整鋸報廢。
發明內容
針對上述缺陷，本發明解決的技術問題在于，提供一種滑輪支架， 該滑輪支架可以在調節導線滑輪上鋼線的方向，使得鋼線的受力更加 合理。
為了解決以上的技術問題，本發明提供一下的技術方案 一種滑輪支架，用于線鋸裝置，包括固定裝置、支撐架和導線滑 輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導線滑輪設置在所述支 撐架上，所述支撐架與所述導線滑輪之間設置有可變向墊塊。
本發明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架與所述導線滑輪之 間設置可變向墊塊，使得滑輪支架上的導線滑輪能夠調節方向，從而 可以調節導線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方向與其所受外力的 方向一致，在鋼線的受力更加合理，鋼線也不易斷裂，從而可以提高 鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產的持續進行，甚至可以提 高利用此滑輪支架的線鋸裝置的壽命。
優選地，所述支撐架通過焊接方式固定在所述固定裝置上。 優選地，所述導線滑輪與所述支撐架通過穿孔螺釘連接。 優選地，所述穿孔螺釘的個數為兩個或者兩個以上。 優選地，所述支撐架上和所述導線滑輪上有導槽型孔，所述穿孔 螺釘穿過所述導槽型孔。
優選地，所述支撐架的長度為200mm (毫米)以上，所述導槽型孔 的長度為185mm以上。
優選地，所述固定裝置為板狀固定裝置。 本發明還提供一種線鋸裝置，包括上述的滑輪支架。 優選地，所述滑輪支架固定在線鋸裝置的側壁上。 與現有技術相比，本發明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架 與所述導線滑輪之間設置可變向墊塊，4吏得滑輪支架上的導線滑輪能 夠調節方向，從而可以調節導線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方 向與其所受外力的方向一致，在鋼線的受力更加合理，鋼線也不易斷 裂，從而可以提高鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產的持續 進行，甚至可以提高利用此滑輪支架的線鋸裝置的壽命。本發明提供的可調滑輪支架，特別適合應用于線鋸裝置。
圖la是現有技術中線鋸裝置的導線滑輪的固定方式的俯視圖。 圖1 b是現有技術中線鋸裝置的導線滑輪的固定方式的主視圖。 圖lc是現有技術中線鋸裝置的導線滑輪的固定方式的立體示意圖。
圖2是圖1中A-A向的視圖。
圖3是現有技術中線鋸裝置工作過程中理想鋼線的工作狀態圖。 圖4是現有技術中線鋸裝置工作過程中出現偏差的鋼線的工作狀 態圖。
圖5是實施例1提供的滑輪支架的俯視圖。
圖6是實施例1提供的滑輪支架的工作原理圖。
圖6a是實施例1中滑輪支架調整前的工作狀態圖。
圖6b是實施例1中滑輪支架調整后的工作狀態圖。
圖7是實施例1中可變向墊塊的具體設置方式。
圖中各標記為
1一一固定板(固定裝置)，2 — 一支撐架，201 — 一導槽型孔，202 ——螺釘，3——導線滑輪，4——鋼線，5——可變向墊塊，501—— 弧形導槽，502 — 一轉軸。
具體實施例方式
為了本領域的技術人員能夠更好地理解本發明所提供的技術方 案，下面結合具體實施例進行進一步地闡述。 實施例1
本實施例提供一種滑輪支架，用于線鋸裝置。
本發明所提及的線鋸裝置也可以簡稱為線鋸。
請參見圖5,圖5是本實施例所提供的滑輪支架的俯視圖。本發明 所提供的滑輪支架均用于線鋸裝置。圖5中的滑輪支架包括固定裝置1 、 支撐架2和導線滑輪3，所述支撐架2固定在所述固定裝置1上，所述導線滑輪3設置在所述支撐架2上，所述支撐架2與所述導線滑輪3 之間設置有可變向墊塊5。
本實施例中的固定裝置1與背景技術中提到的固定板的作用是一 樣的，都是為了給滑輪支架的支撐架提供固定的場所。所以此處的固 定裝置1可以用固定板來代替，或者其他形狀的固定裝置都是可以接 受的。
請參見圖6,圖6是本實施例所提供的滑輪支架的工作原理圖，圖 6包括圖6a和圖6b。從圖6可以看出此滑輪支架的工作原理是在圖 6a中，鋼線4的方向與導線滑輪3上導槽的方向(圖中，導線滑輪上 的導槽方向是豎直向下的，導線滑輪上的導槽是凹槽)已經不再平行 也不在一條直線上，鋼線4的受力一方面是受鋼線軸線方向的拉力， 一方面是受導線滑輪3上導槽的剪切力，這樣是非常容易出現斷線情 況。然而由于滑輪支架上有一個可變向墊塊5,如圖6b所示，所以操 作人員可以通過調整可變向墊塊來調節導線滑輪3的方向，使得導線 滑輪3的導槽方向與鋼線4的受力方向保持一致或者基本保持一致， 這樣就消除了導線所受的剪切力或者大大降低了導線所受的剪切力。
支撐架2通過焊接固定的方式固定在固定裝置1上，也可以采用 其他的固定方式，例如鉚接、螺釘連接等，需要注意的是，由于線鋸 裝置的精密性，所以支撐架與固定裝置的連接最好采用非常牢固的固 定連接，以保證線鋸裝置工作過程中的精確性。
對于可變向墊塊的設置方式，可以參見圖7。圖7為本實施例中可 變向墊塊的具體設置方式。圖7為將導線滑輪去除之后的主視圖。從 圖中可以看出，可變向墊塊5中，包括弧形導槽501，弧形導槽501中 可以設置調整部件，使得調整部件繞著轉軸502旋轉，從而可以完成 對導線滑輪的調節，使得導線滑輪的導槽的方向與鋼線的軸向一致或 者基本一致。
圖7所示的可變向墊塊的設置方式可以在一個方向上調節導線滑 輪的方向，如果需要在其他方向上調節導線滑輪的方向，那么則可以 根據需要做適當的變更設計即可。同時根據上述的原理，也可以使得 可變向墊塊能夠在兩個維度方向上調節導線滑輪的方向。 一般不需要在三個維度方向上調節導線滑輪的方向，因為， 一方面實現比較困難， 另一方面，也沒有太大的必要，因為通過導線滑輪導槽上的鋼線是線 性的，只要調整使得鋼線的方向與導線滑輪導槽的方向一致即可，沒 有必要作太多的無用功。
圖7中的可變向墊塊上的弧形導槽501的調整角度大約在30°以 內，這樣已經完全可以滿足鋼線調整的需要，不需要再進行太大的調 整幅度，如果設計調整角度大于30° , —方面實現難度加大，另外一 方面，也沒有太大的必要。可變向墊塊還包括一個自鎖裝置，自鎖裝 置的作用是當角度調整到合適位置之后，可以使得導線滑輪的位置 固定。自鎖裝置最簡單的實現方式就是通過控制導向軸在導槽501之 中的位置來實現。
另外，從圖7中可以看出，支撐架2上的導槽201的長度是非常 長的，相對與現有技術中的50mm左右調整到了 185mm,可以大大提高 導線滑輪的橫向移動距離，對于鋼線的調整，提供了更大的余地。支 撐架的長度為200腿。
實施例2
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調節導線滑輪的方向，從而可以調節鋼線與導線滑輪之 間的作用力方式從拉應力和剪切應力的組合，調整為只有拉應力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側壁上。
將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 其成為最靠近出線口的那個滑輪支架，以調整從整鋸出來的鋼線的方 向和受力情況。
實施例3
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調節導線滑輪的方向，從而可以調節鋼線與導線滑輪之 間的作用力方式從拉應力和剪切應力的組合，調整為只有拉應力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側壁上。 '將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 其成為不是最靠近出線口的那個滑輪支架，以調整滑輪支架出來的鋼 線的方向和受力情況，使得多個滑輪支架所引導的鋼線的分布更為合理。
實施例4
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調節導線滑輪的方向，從而可以調節鋼線與導線滑輪之 間的作用力方式從拉應力和剪切應力的組合，調整為只有拉應力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側壁上。
將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 靠近出線口的那個滑輪支架和其他一些不靠近出線口的那個滑輪支 架，通過局部或者全部調整，可以使得整個線鋸裝置內部的鋼線分布 以及,人線出口處的鋼線分布更為合理。
以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領 域的普通l支術人員來說，在不脫離本發明原理的前l是下，還可以做出 若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
8
權利要求
1、一種滑輪支架，用于線鋸裝置，其特征在于，包括固定裝置、支撐架和導線滑輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導線滑輪設置在所述支撐架上，所述支撐架與所述導線滑輪之間設置有可變向墊塊。
2、 根據權利要求l所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架通 過焊接方式固定在所述固定裝置上。
3、 根據權利要求1所述的滑輪支架，其特征在于，所述導線滑輪 與所述支撐架通過穿孔螺釘連接。
4、 根據權利要求3所述的滑輪支架，其特征在于，所述穿孔螺釘的個凄t為兩個或者兩個以上。
5、 根據權利要求4所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架上和所述導線滑輪上有導槽型孔，所述穿孔螺^r穿過所述導槽型孔。
6、 根據權利要求5所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架的 長度為200mm以上，所述導槽型孔的長度為185mm以上。
7、 根據權利要求1所述的滑輪支架，其特征在于，所述固定裝置 為板狀固定裝置。
8、 一種線鋸裝置，其特征在于，包括權利要求1~6任意一項所 述的滑輪支架。
9、 根據權利要求8所述的線鋸裝置，其特征在于，所述滑輪支架 固定在線鋸裝置的側壁上。
全文摘要
本發明公開一種滑輪支架，用于線鋸裝置，包括固定裝置、支撐架和導線滑輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導線滑輪設置在所述支撐架上，所述支撐架與所述滑輪之間設置有可變向墊塊。本發明還公開了利用此滑輪支架的線鋸裝置。與現有技術相比，本發明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架與所述導線滑輪之間設置可變向墊塊，使得滑輪支架上的導線滑輪能夠調節方向，從而可以調節導線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方向與其所受外力的方向一致，在鋼線的受力更加合理，從而可以提高鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產的持續進行。本發明提供的可調滑輪支架，特別適合應用于線鋸裝置。
文檔編號H01L21/02GK101531036SQ200910131880
公開日2009年9月16日 申請日期2009年4月8日 優先權日2009年4月8日
發明者尹興海, 張曉方, 亮 楊 申請人:英利能源(中國)有限公司