專利名稱：一種快速熱處理爐用的晶片盒定位支撐臺的制作方法
技術領域：
本發明是用于快速熱處理爐中的晶片盒的定位支撐架臺，屬于半導體設備領域。
背景技術：
單晶片的快速熱處理爐是在幾十秒的時間內，將單個晶片加熱到400 1300°C 范圍內，然后迅速晶片冷卻，由于它是快速加熱快速降溫，快速熱處理爐極大的減小了熱預 算。快速熱處理最常應用于晶片的離子注入后退火。現在的單晶片處理爐采用晶片盒裝晶 片的自動機械手批處理方式，熱處理爐中有兩個晶片盒架臺，分別定義為發送片盒架臺和 接收片盒架臺，搬運機械手將晶片從發送片盒取出后，送入加熱腔體處理完后再取出晶片 冷卻，最后搬送回接收片盒，晶片盒固定放置在片盒架臺上。
發明內容
本發明采用將晶片盒放在片盒架36上，通過兩鉤形連接塊12的末端鉤住標準晶 片盒下的橫板，晶片盒在片盒架臺上時，就壓下壓簧壓帽13和壓簧26，通過一連接軸8和一 壓塊7傳替到微型行程開關27，使微型行程開關27閉合，電路給電信號給控制系統，晶片盒 在片盒架臺上。當一盒晶片都處理完畢后，要取走晶片盒，就旋動滾花轉動手柄9，通過與之 緊定的轉動軸10，再傳替到與轉動軸10緊定的鉤形連接塊12，兩鉤形連接塊12通過橫連 桿30連接到一塊，同步松開兩鉤行連接塊12，晶片盒取走后，松開滾花轉動手柄9，在拉簧 24的拉力作用下，拉簧連接板14帶動豎連桿15轉動，豎連桿15與轉動連接塊35相連，轉 動連接片35與一鉤形連接塊12緊定固定在一連接轉動軸18上，一系列的轉動傳替使鉤形 連接塊12轉回初始未鉤晶片盒的自然位置。三個緊定螺釘21配合底座22和片盒架固定 圓盤1，可調節片盒架的平面度和片盒架臺的高度，極大的方便了晶片傳送機械手的對準和 參數聯調。該機構由以下零件構成一片盒架固定圓盤1，一下支柱2，一下連接板3，一上連 接板4，一上支柱5，一轉動手柄6，一個壓塊7，一連接軸8，一個滾花轉動手柄9，一轉動軸 10，一連接板11，兩鉤形連接塊12，一壓簧壓帽13，兩拉簧連接片14，一豎連桿15，一轉動 板16，兩短軸17，一連接傳動軸18，一內六角螺釘19和墊圈20，三個高度緊定調節螺釘21， 一底座22，六定位銷23，一拉簧24，十三個盤頭十字槽螺釘25，一壓簧26，一微型行程開關 27，六個內六角螺釘28，一軸套29，一橫連桿30，十個微型法蘭軸承31，七個開口擋圈32，一 短傳動軸33，三內六角螺釘34，一轉動連接塊35，一片盒架36。如附圖所示所述的片盒架固定圓盤1用于整個片盒架臺的固定。所述的下支柱2下與底座22相連，上與下連接板3相連。所述的下連接板3下端與下支柱2相連接，上用螺釘19和墊片20相連接到上連 接板4。所述的所述的上連接板4下端與下連接板3連接，上與上支柱5相連接。
所述的上支柱5上安裝連接板11，其上端部開有U型槽，壓微型行程開關27的壓 塊7在槽內滑動，壓簧26放置在片盒架36上支柱5上與U型槽同心的圓孔內，該孔為階梯 通孔，孔下端只能穿過連接軸8，微型行程開關27通過盤頭十字槽螺釘25固定在上支柱5 上，在上支柱5上與U型槽相對側，拉簧24通過拉簧連接片14固定在上支柱5上，上支柱 5的下端開孔，中間穿過連接傳動軸18，軸18兩端分別固定轉動手柄6和轉動板16。所述的轉動手柄6用盤頭十字槽螺釘25固定在連接傳動軸18上。所述的壓塊7與連接軸8通過盤頭十字槽螺釘25固定，傳替壓簧26的壓力，開閉 合微型行程開關27。所述的連接軸8連接壓塊7和壓簧壓帽13。氣流通過多孔分散吹出，均勻冷卻晶 片。大冷卻板嵌裝在圓柱腔體3上孔內，上壓壓蓋圓環6。所述的滾花轉動手柄9用于取放晶片盒時，需轉動兩鉤形連接塊12，擰動滾花轉 動手柄9，帶動轉動軸10轉動，轉動傳替到轉動兩鉤形連接塊12上。所述的轉動軸10用于傳替滾花轉動手柄9的轉動。所述的連接板11連接上支柱5和片盒架36。所述的鉤形連接塊12 —端由盤頭十字槽螺釘25與轉動軸10和連接傳動軸18緊 定，一端設計成鉤形鉤住晶片盒下的橫板。所述的壓簧壓帽13頂晶片盒，當有晶片盒在片盒架臺上時，壓簧壓帽13就壓下壓 簧26，使連接軸8和壓塊7下壓微型行程開關27，使其閉合，當片盒架臺上沒有晶片盒，壓 簧回推壓簧壓帽13，帶動連接軸8和壓塊7上移，松開閉合的微型行程開關27。所述的拉簧連接片14共兩個，分別固定拉簧24的兩端，一個裝在豎連桿15上，另 一個裝在上支柱5上。所述的豎連桿15用軸連動轉動板16和轉動連接塊35。所述的轉動板16連接短軸17和連接傳動軸18，兩端都用盤頭十字槽螺釘25緊定。所述的短軸17連接豎連桿15與轉動板16，兩端開有軸頸用于開口擋圈32來限位 微型法蘭軸承31。所述的連接傳動軸18在上支柱5的兩邊分別連接轉動板16和轉動手柄6。所述的螺釘19和墊圈20緊固連接下連接板3和上連接板4。所述的高度緊定調節螺釘21共三個，通過擰過底座22上的螺紋孔，頂推片盒架固 定圓盤1來調節片盒架的平面度和整個片盒架臺的高度。所述的底座22用螺釘上與下支柱2下與片盒架固定圓盤1相連接。所述的定位銷23共6個，用于下支柱2和底座22、下支柱2和下連接板3、上連接 板4和上連接柱5的定位安裝。所述的拉簧24拉動豎連桿15的轉動。所述的盤頭十字槽螺釘25用于軸18與轉動塊35和拉簧連接片14與上支柱5和 豎連桿15間，以及鉤形連接塊12與橫連桿30之間的連接和緊定。所述的壓簧26采用微型壓縮彈簧，只需提供小的回彈力推回壓簧壓帽13。所述的微型行程開關27在壓塊7下壓其上時的彈片，使其閉合，給電路導通信號， 顯示晶片盒在片盒架臺上；在取走晶片盒后，微型行程開關27上的彈片又回彈，電路又處于截止狀態，顯示晶片盒不在片盒架臺上。所述的螺釘28用于緊固連接底座22和下支柱2。所述的軸套29用于加強軸10的固定和微型法蘭軸承31的定位。所述的橫連桿30用于連接兩鉤形連接塊12，將滾花轉動手柄9的轉動從轉動軸 10處的傳替到到短連接軸33端。所述的微型法蘭軸承31用于支撐各軸的轉動，共10個，轉動軸10上與連接塊11 接觸處有三個，短連接軸33上與連接塊11接觸處有三個，短連接軸32兩端有兩個，連接傳 動軸18與上支柱接觸處的兩端有兩個。所述的開口擋圈32用于微型法蘭軸承31的限位。。所述的短傳動軸33由微型法蘭軸承31支撐固定在連接塊11上。所述的螺釘34固定連接片盒架36與連接塊11。所述的轉動連接板35與一鉤形連接塊12同心貼裝在短傳動軸33上，轉動連接板 35與鉤形連接塊12之間用螺釘固定連接為一體。所述的片盒架36是晶片盒的支撐體。
圖1為片盒的定位支撐臺示意圖；圖2為片盒的定位支撐臺的A向視圖；圖3片盒的定位支撐臺俯視圖.
具體實施例方式晶片盒的定位支撐臺，該裝置中的片盒架是根據四寸、六寸和八寸標準晶片盒底 部特征設計，做到三種尺寸兼容；晶片盒在定位支撐臺上時，下壓壓簧壓桿，裝置中微型行 程開關27在壓塊7下壓其上時的彈片，使行程開關閉合，給電路導通信號，檢測電路指示燈 亮，顯示晶片盒在片盒架臺上；在取走晶片盒后，微型行程開關27上的彈片又回彈，電路又 處于截止狀態，顯示晶片盒不在片盒架臺上，拉簧助力的轉動鉤型連桿用于鉤住固定晶片 盒，取放片盒時只需轉動滾花轉動手柄9，裝卸片盒便捷、能實時監測。本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而 言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本專利的侵 犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種晶片盒的定位支撐臺，其特征在于一個片盒架、一個拉簧控制的轉動鉤型連 塊，一壓簧和壓桿與微型行程開關。
2.如權利要求1所述的一種晶片盒的定位支撐臺，其特征在于所述的片盒架是根據 標準晶片盒底部設計的平面支撐板。
3.如權利要求1所述的一種晶片盒的定位支撐臺，其特征在于所述的拉簧控制的轉 動鉤型連接塊，靜止時鉤型塊鉤住片盒底部，取盒時鉤型塊轉動松開，取完后鉤型塊在拉簧 作用下自動回到靜止位。
4.如權利要求1所述的一種晶片盒的定位支撐臺，其特征在于所述的壓簧與壓桿連 動來控制行程開關的開閉。
全文摘要
本發明公開了一種晶片盒的定位支撐臺，涉及快速熱處理爐，屬于半導體制造領域。該結構包括一個片盒架、一個拉簧控制的轉動鉤型連桿，一個固定支架臺，一與壓簧和壓桿連動的微型行程開關。所述的片盒架，用于支撐晶片盒，由螺釘與固定支架臺連接；所述的拉簧助力的轉動鉤型連桿用于鉤住固定晶片盒；所述的固定支架臺用于整個片盒架的固定，以及將整個片盒架臺固定在晶片傳輸系統中，讓機械手取送晶片到晶片盒內的準確位置，晶片盒在定位支撐臺上時，下壓彈簧壓桿，行程開關閉合，檢測電路指示燈亮。
文檔編號H01L21/324GK102002759SQ20091009066
公開日2011年4月6日 申請日期2009年9月3日 優先權日2009年9月3日
發明者袁衛華, 邱小莎, 金則軍, 鐘新華, 龍會躍 申請人:北京中科信電子裝備有限公司