專利名稱：洗邊機及洗邊機的固定裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種洗邊機，且特別是涉及一種洗邊機的固定裝置。
背景技術：
在半導體技術里， 一般會在晶片上形成多層的膜層。以鍍層為例，如果 要在晶片上形成銅層，會先以化學電鍍(無電電鍍)法在晶片上全面形成一層
銅層作為種子層(seed layer),再利用電鍍法(有電電鍍)，以種子層為基礎鍍 上銅。此時，因為晶片邊緣作為有電電鍍的通電路徑，例如需連接至電極， 所以邊緣的種子層不會往上長，因而在電鍍完成時，會在晶片上的邊緣留下 一圈較低的種子層。為了去除晶片的邊緣部分的膜層，在半導體領域里發展 出了洗邊機(Edge bevel Removal machine, EBR machine)。
洗邊機的動作一般是由旋轉(spin)、沖洗(rinse)和干燥(dry)三種動作組合 而成，所以也稱為萬走l爭沖洗干》喿才幾(spin rinse dry machine, SRD machine)。 其動作為在旋轉晶片的同時，朝晶片的中心噴純水，而朝晶片的邊緣噴溶 液，這個溶液包含了可以沖蝕邊緣膜層的化學物質，由此，晶片中心受到純 水的保護，只有晶片邊緣的膜層被沖蝕掉。
洗邊機中的固定裝置需要在晶片旋轉時固定住晶片，因而與晶片接觸的 部分屬于易磨損的部分，常有更換的必要。
又，因為常需要更換固定裝置中的磨損部分，還需要注意零件在多次的 拆裝固定裝置之后，仍需符合一定的精度要求。
實用新型內容
有鑒于對上述洗邊機的固定裝置的要求，本實用新型的目的就是在于提 供一種洗邊機的固定裝置，適用于與洗邊機的旋轉臂相連接，固定裝置包括 以卡榫連接方式連接至旋轉臂的第一固定部，及樞接至旋轉臂且具有可上下 回動自由度的第二固定部。第一固定部包括載臺部、支撐部以及阻擋部。支 撐部固定于載臺部上，阻擋部與載臺部相連并高于支撐部。第二固定部，包括第 一 夾持部及第二夾持部，第 一 夾持部與第二夾持部以卡榫連接的方式相 固定，且由第一夾持部樞接至旋轉臂。當旋轉臂旋轉至一預定速度時，第二 固定部的第二夾持部適于向上回動而夾持待洗物體，而當旋轉臂未旋轉至預 定速度時，第 一 固定部的阻擋部適用于擋止待洗物體。
上述第 一 固定部的支撐部可以點接觸的方式接觸待洗物體。第 一 固定部 的支撐部的材質可為耐磨耗材質。阻擋部的材質可為耐磨耗材質。上述載臺 部、支撐部、阻擋部可為一體成形。
上述第 一 固定部和旋轉臂的卡榫連接方式，例如使旋轉臂與第 一 固定部 之一具有第 一滑槽，且旋轉臂與第 一 固定部之另 一具有與第 一滑槽對應的第
一凸部。也可再包括第一螺栓固定旋轉臂與第一固定部。第一滑槽供旋轉臂
或第一固定部滑入，并通過鎖入第一螺栓固定旋轉臂與第一固定部，且第一
滑槽的滑入的方向、鎖入第 一螺栓的方向不受到第二固定部的干擾。
上述第二固定部中的第一夾持部、第二夾持部的卡榫連接方式，例如第
一夾持部與第二夾持部之一具有第二滑槽，且使第一夾持部與第二夾持部之 另 一具有與第二滑槽對應的第二凸部。也可再包括第二螺栓固定第 一夾持部
與第二夾持部。第二滑槽供第一夾持部或第二夾持部滑入，并通過鎖入第二 螺栓固定第一夾持部與第二夾持部，且第二滑槽的滑入的方向、鎖入第二螺 栓的方向不受到第一固定部的干擾。
根據本實用新型的特征，第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉臂，安裝 及拆卸方^f更。
根據本實用新型的特征，第二固定部中負責和旋轉臂樞接的部分(第一 夾持部)，以及負責夾持待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合 固定，是以，更換第二夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精 度，也不會因多次拆裝摳接的第 一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如 銷)。又，第一夾持部和第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸 方便。
根據本實用新型的特征，第一部固定部和旋轉臂的固定方向、固定方式 不會受到樞接于旋轉臂上的第二固定部的干擾。因而損^J貞率不同的第 一 固 定部和第二固定可各自獨立拆裝，減少維修時間。
根據本實用新型的特征，支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以 可以減少待洗物體和支撐部的磨擦力根據本實用新型的特征，使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質，可以減少 更換的頻率。
更，本實用新型的目的在提供一種洗邊機，包括旋轉底座、多個旋轉 臂及上述的固定裝置。旋轉臂的一端是以卡榫連接的方式，等間隔地固定至 旋轉底座。其中旋轉臂的另一端以卡榫方式連接著第一固定部，且樞接著第 二固定部。
在旋轉底座與旋轉臂之一還可具有第三滑槽，且旋轉座與旋轉臂之另一 具有與第三滑槽對應的第三凸部。更可包括第三螺栓固定旋轉底座與旋轉臂。
根據本實用新型的特征，旋轉臂是以卡榫方式連接至旋轉旋轉底座，安 裝及拆卸方便。
本實用新型的優點在于
1 .第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉臂，安裝及拆卸方便。
2. 第二固定部中負責和旋轉臂樞接的部分(第 一 夾持部)，以及負責夾持 待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合固定，所以，更換第二 夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精度，也不會因多次拆裝 摳接的第一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如銷)。又，第一夾持部和 第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸方便。
3. 第一部固定部和旋轉臂的固定方向、固定方式不會受到樞接于旋轉臂 上的第二固定部的干擾。因而損耗頻率不同的第一固定部和第二固定可各自 獨立拆裝，減少維修時間。
4. 支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以可以減少待洗物體和支 撐部的磨擦力。
5 .使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質，可以減少更換的頻率。 6.旋轉臂是以卡榫方式連接至旋轉旋轉底座，安裝及拆卸方便。 為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特 舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。
圖1是依照本實用新型實施例的洗邊機的立體圖2是依照本實用新型實施例的洗邊機的固定裝置中的第 一 固定部的立體圖3是圖2的右側視圖； 圖4是圖2前3見圖5是旋轉臂與第一固定部連接的一端的立體圖； 圖6是依照本實用新型實施例的洗邊機的固定裝置中的第二固定部的立 體分解圖7是依照本實用新型實施例的洗邊機的固定裝置安裝于旋臂上的安裝 完成圖(從旋轉的離心方向往中心看過去)；
圖8、圖9是洗邊機在運作時固定裝置的動作示意圖，其中圖8為旋轉 底座處于低速旋轉的狀態，圖9為旋轉底座處于高速旋轉的狀態。
主要元件符號說明
100旋轉底座
200旋轉臂
300固定裝置
310第一固定部
312載臺部
314支撐部
316阻擋部
320第二固定部
330第一夾持部
340第二夾持部
200b、 310b、 330b凸部
150螺栓
345、 350螺孔
100s、 200s、 340s滑槽
200h、 330h樞接孔
500待洗物體
具體實施方式
請參照圖1,其繪示出依照本實用新型實施例的一種洗邊才幾(其中各個液 體噴頭已省略)的立體圖。本實用新型的洗邊機包括旋轉底座100、多個旋轉臂200、多個固定 裝置300、中心噴頭(未圖示)及邊緣噴頭(未圖示)。因為中心噴頭及邊緣噴頭 為本領域人員所現有，在此予以省略。
洗邊機的運作方式筒述如下先將待洗物體，例如晶片(未附圖)置于固 定裝置300之間，接著中心噴頭(未圖示)噴出純水，旋轉底座100旋轉帶動 旋轉臂200,此時由固定裝置300保持著待洗物體不致因離心力而脫出，跟 著由邊緣噴頭(未附圖)噴出溶液，再加快轉速，最后甩干待洗物體。
以下詳細介紹各元件及其動作。
圖1中是以3個旋轉臂200為例，旋轉臂200的一端是以卡榫連接的方 式，等間隔地固定至旋轉底座100。卡榫連接方式，舉例而言，是使旋轉底 座100與旋轉臂200之一具有滑槽，且使旋轉座100與旋轉臂200之另 一具 有與該滑槽對應的凸部，亦即利用外形的凹凸配合來連接兩者，不需限定哪 一方為凸或哪一方為凹。
在圖1的例示中，旋轉底座IOO具有滑槽100s，例如為楔形，也可為其 他形狀，而旋轉臂200的一端則具有與滑槽100s形狀對應的凸部200b。本 領域人員應知，把滑槽形成在旋轉臂上而把凸部形成在旋轉底座上亦可。除 了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利用螺栓150固定旋轉底座100與 旋轉臂200。
旋轉臂200的另一端以卡榫方式連接著第一固定部310,并樞接著第二 固定部320。我們將第一固定部310與第二固定部320合稱為固定裝置300。 [固定裝置300]
固定裝置300包括第一固定部310和第二固定部320。 [第一固定部310]
請參照圖2~圖4,其中圖2為依照本實用新型實施例的洗邊機的固定裝 置中的第一固定部的立體圖，圖3為圖2的右側^f見圖，圖4為圖2的前視圖。
第一固定部310,具有載臺部312、支撐部314以及阻擋部316,大致呈 L字形，其中載臺部312屬L字形中的略水平部分，而阻擋部316屬L字形 中的略直立部分。支撐部314略呈錐狀，固定于載臺部312上，阻擋部316 與載臺部312相連并高于支撐部314。
支撐部314用以接觸并支撐待洗物體，雖然上述以錐形為例，但對于形狀并沒有特別限定，只是考量到減少支撐部314與待洗物體接觸的磨擦力， 可使其接觸方式為點接觸方式。例如使支撐部314具有一弧狀表面，用以接
觸并支撐待洗物體，其接觸方式為點接觸方式。且考量到支撐部314會因接 觸待洗物體而磨耗，支撐部314的材質可采耐磨耗材質，例如為聚醚醚酮 (PEEK)。
當旋轉底座100帶動旋轉臂200旋轉至預定速度以下(例如為1500rpm) 時，第 一 固定部310的阻擋部316適用于擋止待洗物體受離心力引影響而脫 離。同樣的考量到阻擋部316會因接觸待洗物體而磨耗，阻擋部的材質可采 耐磨耗材質，例如為聚醚醚酮.(PEEK)。
在第一固定部310中，至少在支撐部314及阻擋部316采用耐磨耗材質 即可，也可以將載臺部312、支撐部314、阻擋部316—體成形，全采用耐 磨耗材質亦可。此處雖然將第一固定部310例示為略L字形，但本領域人員 應知載臺部312的作用在連接支撐部314與阻擋部316，其形狀自可作適當 的變化。
再請參照圖5,其繪示出旋轉臂與第一固定部連接的一端的立體圖。
第一固定部310，是以卡榫連接的方式連接至旋轉臂200,舉例而言， 是使旋轉臂200與第一固定部310之一具有滑槽，且使旋轉臂200與第一固 定部310之另 一具有與滑槽對應的凸部。亦即利用外形的凹凸配合來連接兩 者，不需限定哪一方為凸或哪一方為凹。
在圖2及圖5的例示中，旋轉臂200與第一固定部310連接的一端是呈 被切去一個矩形體的形狀，并留下一小段矩形體，在留下的部分里具有滑槽 200s,例如為楔形，亦可為其他形狀，而固定部310則具有與滑槽200s形狀 對應的凸部310b。本領域人員應知，把滑槽形成在第一固定部310上而把凸 部形成在旋轉臂200上亦可。除了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利 用螺栓來固定第一固定部310與旋轉臂200，因而在第一固定部310上具有 螺孔350。螺孔350是供螺栓從第一固定部310與旋轉臂200連接的相對側 鎖入的，以固定旋轉臂200與第一固定部310。
旋轉臂200和第一固定部310的安裝方式是具有滑槽的一方供另一方 滑入，再鎖入螺栓固定兩者。在本例中滑槽200s供第一固定部310的凸部 310b滑入，并通過鎖入螺栓(未附圖)固定旋轉臂200與第一 固定部310。[第二固定部]
再請參照圖6,其繪示依照本實用新型實施例的洗邊機的固定裝置中的 第二固定部的立體分解圖。
第二固定部320，略呈雙翼狀(在此僅為舉例，形狀并不受限)，包括第 一夾持部330及第二夾持部340。第一夾持部330與第二夾持部340以卡榫 連接的方式相固定，舉例而言，是使第一夾持部330與第二夾持部340之一 具有滑槽，且使第一夾持部330與第二夾持部340之另一具有與滑槽對應的 凸部。亦即利用外形的凹凸配合來連接兩者，不需限定哪一方為凸或哪一方 為凹。
在圖6的例示中，第二夾持部340的一端具有滑槽340s,例如為楔形， 也可為其他形狀，而第一夾持部330則具有與滑槽340s形狀對應的凸部 330b。本領域人員應知，把滑槽形成在第一夾持部330上而把凸部形成在第 二夾持部340上亦可。除了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利用螺栓 (未圖示)來固定第一夾持部330與第二夾持部340，因而在第二夾持部340 上具有螺孔345,且在第一夾持部上具有與螺孔345對應的螺孔(未圖示)。 螺孔345是供螺栓(未附圖)從第二夾持部340往第一夾持部330鎖入，以固 定第一夾持部330與第二夾持部340。
第一夾持部330和第二夾持部340的安裝方式是具有滑槽的一方供另 一方滑入，再鎖入螺栓固定兩者。在本例中滑槽340s供第一夾持部330的 凸部330b滑入，并通過鎖入螺栓(未附圖)固定第一夾持部330與第二夾持部 340。
此外，第一夾持部330還具有一樞接孔330h,旋轉臂200具有樞接孔 200h。把兩樞接孔330h、 200h對準，再利用銷(pin),把第一夾持部330樞 接至旋轉臂200。是以第二固定部320通過第 一 夾持部330樞接至旋轉臂200 ， 而具有可上下回動的自由度。
當旋轉底座100帶動旋轉臂200旋轉達一預定速度時(例如為1500rpm), 因為離心力的關系，第二固定部320會以樞接處(即樞接孔330h)為中心往上 回動，此時第二固定部320的第二夾持部330適于夾持待洗物體。
請再參照圖7,其繪示固定裝置安裝于旋臂上的安裝完成圖(從旋轉的離 心方向往中心看過去)。用于固定第一固定部310和旋轉臂200的螺栓為360，而用于固定第二 固定部320中的第一夾持部330和第二夾持部340的螺栓為355。
根據本創造的特征，螺栓360和螺栓355的鎖入方向及鎖入方式互不干 擾。亦即第一固定部310安裝到旋轉臂200的方式，或自旋轉臂200拆卸下 來的方式，不會受到第二固定部320的干擾。且第二固定部中的第二夾持部 340安裝到第一夾持部330的方式，或自第一夾持部330拆卸下來的方式， 不會受到第一固定部310的干擾。
又，第一固定部310安裝至旋轉臂200或自旋轉臂200拆卸的方式，不 會受到第二固定部320與旋轉臂200的樞接方式的影響。
是以，根據本實用新型的特征，在安裝完成固定裝置300之后，可依維 修或其他需要各自拆卸第一固定部、第二固定部。尤其是針對磨損頻率較高 的第一固定部、第二固定部中的第二夾持部可以獨立地更換。在不動到第二 固定部與旋轉臂的樞接的狀況下，就可以直接更換第二夾持部。
請再參照圖8、圖9，其繪示洗邊機在運作時固定裝置的動作示意圖， 其中圖8為旋轉底座處于低速旋轉的狀態，圖9為旋轉底座處于高速旋轉的 狀態。
如第8圖所示，在旋轉底座靜止時，待洗物體500，例如為晶片，被放 置于多個固定裝置310之間，并受到第一固定部310的支撐部314所支撐。 接著旋轉底座開始低速旋轉，此時第二固定部320因自重而下垂，待洗物體 500受到第一固定部310的阻擋部316的擋止便不會因離心力而脫出。
如第9圖所示，當旋轉底座加速至一預定速度時，例如為1500rpm，第 二固定部320因受到離心力的影響，往上回動，此時便由第二固定部320的 第二夾持部340扣夾住待洗物體500，防止待洗物體500脫出。
根據本實用新型的特征，至少具有下列優點
1. 第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉臂，安裝及拆卸方便。
2. 第二固定部中負責和旋轉臂樞接的部分(第 一 夾持部)，以及負責夾持 待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合固定，是以，更換第二 夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精度，也不會因多次拆裝
摳接的第一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如銷)。又，第一夾持部和 第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸方便。3. 第 一部固定部和旋轉臂的固定方向、固定方式不會受到樞接于旋轉臂 上的第二固定部的干擾。因而損耗頻率不同的第一固定部和第二固定可各自 獨立拆裝，減少維修時間。
4. 支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以可以減少待洗物體和支 撐部的磨擦力。
5. 使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質，可以減少更換的頻率。
6. 旋轉臂是以卡榫方式連接至旋轉旋轉底座，安裝及拆卸方便。
權利要求1. 一種洗邊機的固定裝置，適用于與洗邊機的旋轉臂相連接，其特征在于，該固定裝置包括第一固定部，以卡榫連接的方式連接至該旋轉臂，該第一固定部包括一載臺部，一支撐部以及一阻擋部，該支撐部固定于該載臺部上，該阻擋部與該載臺部相連并高于該支撐部；第二固定部，樞接至該旋轉臂，具有可上下回動的自由度，且該第二固定部包括一第一夾持部及第二夾持部，該第一夾持部與該第二夾持部以卡榫連接的方式相固定，且由該第一夾持部樞接至該旋轉臂，當該旋轉臂旋轉至一預定速度時，該第二固定部的該第二夾持部適于向上回動而夾持一待洗物體，而當該旋轉臂未旋轉至該預定速度時，該第一固定部的阻擋部適用于擋止該待洗物體。
2. 如權利要求1所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該第一固定部 的支撐部以點接觸的方式接觸該待洗物體。
3. 如權利要求2所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該第一固定部 的支撐部具有一弧狀表面，用以接觸該待洗物體。
4. 如權利要求2所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該笫一固定部 的支撐部的材質為耐磨耗材質。
5. 如權利要求1所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該阻擋部的材 質為耐磨耗材質。
6. 如權利要求4或5所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該耐磨耗 材質包括聚醚醚酮。
7. 如權利要求1所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該載臺部、該 支撐部、該阻擋部是一體成形。
8. 如權利要求1所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該旋轉臂與該 第 一 固定部之一具有一第 一滑槽，且該旋轉臂與該第 一固定部之另 一具有與 該第 一滑槽對應的 一第 一 凸部。
9. 如權利要求8所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，還包括一第一 螺栓固定該旋轉臂與該第 一 固定部。
10. 如權利要求9所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該第一滑槽供該旋轉臂或該第 一 固定部滑入，并通過鎖入該第 一螺栓固定該旋轉臂與該第 一固定部，且該第一滑槽的滑入的方向、鎖入該第一螺栓的方向不受到該第二固定部的干"^L。
11. 如權利要求1所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該第一夾持部與該第二夾持部之一具有一第二滑槽，且該第一夾持部與該第二夾持部的另 一具有與該第二滑槽對應的一第二凸部。
12. 如權利要求11所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，還包括一第 二螺栓固定該第一夾持部與該第二夾持部。
13. 如權利要求12所述的洗邊機的固定裝置，其特征在于，該第二滑槽 供該第一夾持部或該第二夾持部滑入，并通過鎖入該第二螺栓固定該第一夾 持部與該第二夾持部，且該第二滑槽的滑入的方向、鎖入該第二螺栓的方向 不受到該第一固定部的干擾。
14. 一種洗邊機，包括 旋轉底座；多個旋轉臂，該些旋轉臂的一端是以卡榫連接的方式，等間隔地固定至 該旋轉底座；以及其特征在于，該洗邊機還包括 多個如權利要求1所述的固定裝置，其中該些旋轉臂的另 一端以卡榫方式連接著該第 一 固定部，且該另 一端 樞接著該第二固定部。
15. 如權利要求14所述的洗邊機，其特征在于，該旋轉底座與該旋轉臂 之一具有一第三滑槽，且該旋轉座與旋轉臂之另一具有與該第三滑槽對應的 一第三凸部。
16. 如權利要求15所述的洗邊機，其特征在于，還包括一第三螺栓固定 該旋轉底座與該旋轉臂。
專利摘要本實用新型公開一種洗邊機及洗邊機的固定裝置。洗邊機的固定裝置適用于與洗邊機的旋轉臂相連接，固定裝置包括以卡榫連接的方式連接至旋轉臂的第一固定部及樞接至旋轉臂而具有可上下回動自由度的第二固定部。第一固定部包括載臺部、支撐部以及阻擋部，支撐部固定于載臺部上，阻擋部與載臺部相連并高于該支撐部。第二固定部包括以卡榫方式相連接固定的第一夾持部及第二夾持部，且由第一夾持部樞接至旋轉臂。當旋轉臂旋轉至一預定速度時，第二夾持部適于向上回動而夾持待洗物體，而當旋轉臂未旋轉至預定速度時，阻擋部適用于擋止待洗物體。
文檔編號H01L21/67GK201307587SQ20082020828
公開日2009年9月9日 申請日期2008年9月10日 優先權日2008年9月10日
發明者戴志釗, 林政均, 鄭锜彪, 陳柏元 申請人:聯華電子股份有限公司