專利名稱：襯底移送軸用支撐塊及利用該支撐塊的襯底移送裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及襯底移送裝置，尤其涉及用于支撐襯底移送軸的支撐塊及利 用該支撐塊的襯底移送裝置，所述襯底移送軸用于移送平板顯示器等的襯底。
背景技術：
通常，如平板顯示器(Flat Panel Display: FPD)的各種襯底，需要經過 例如蒸鍍、清洗、干燥、曝光、顯影、蝕刻等各種制造工藝。此時，襯底通 過襯底移送裝置被移送到各個制造工藝中，并且襯底連續向一側水平移動， 以用于在特定工藝中對移送中的襯底進行各種處理。
襯底移送裝置使用多個襯底移送軸，而所述襯底移送軸利用軸承可旋轉 地設置在支撐塊上。為了使襯底移送軸的旋轉更加流暢，同時為了防止由于 磨損而縮短壽命，應向軸承周期性地供給潤滑液。在現有技術中，為了供給 潤滑液使用朝軸承噴射潤滑液的方式，或使用軸承的 一部分浸在設于支撐塊 外側的潤滑液供給箱內的潤滑液里而被驅動的方式。
但是，如果釆取前者的方式，則需要另設潤滑液供給管，這不僅不便于 進行襯底移送裝置的維護作業，而且噴射到軸承的潤滑液濺射到其他部位而 影響美觀。并且，如果采取后者，則需要在潤滑液供給箱內裝填潤滑液，從 而使潤滑液的消耗量大，而且在軸承上產生的異物不能向外部流出而殘留在 潤滑液供給箱內部，從而由于所述異物造成軸承的磨損加快，導致通過襯底 移送裝置移送的襯底被污染。
另外，圖1示出現有襯底移送裝置的一例。從圖1所示的襯底移送裝置 可以看出，襯底移送裝置主要具備襯底移送軸1和襯底移送框架2。沿著襯 底的移送方向在襯底處理槽(bath) 3并列設置多個襯底移送軸1,而且襯底 移送框架2可旋轉地分別支撐這種襯底移送軸1的兩端。尤其，襯底移送框 架2由主體2a和封蓋2b組成，而且在主體2a與封蓋2b之間具有與襯底移 送軸1接觸的軸承(未圖示)，從而可使襯底移送軸1流暢的旋轉。此外，在 襯底移送框架2設有用于分別向軸承供給潤滑液的潤滑液供給線2c。 在這種現有的襯底移送裝置中，襯底移送框架2長度非常長，相當于襯
底的移送距離，為了制造襯底移送框架2制造商必須在主體2a直接加工形成 軸承固定槽和潤滑液供給線2c。尤其，供給線2c必須加工成使潤滑液朝固定 于軸承固定槽的軸承流動，并可向外排出使用后的潤滑液的結構。
但是，由于現有的襯底移送框架2的長度非常長，相當于襯底的移送距 離，因此制造商不便利用槍鉆(gun drill)等工具直接加工軸承固定槽和潤滑 液供給線2c,從而對于制造襯底移送框架2帶來很多困難。并且，完成制造 的襯底移送框架2也因其長度過長而不便于搬運和保管，而且也不易于現場 設置。尤其，在布置(layout)襯底移送裝置所需的工程設備時，需要適當長 度的襯底移送框架，但是由于現有的襯底移送框架2的長度是固定值，所以 導致不能精確地應對工程設備的布置。
發明內容
本發明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種不需要另設 外部潤滑液供給管，并且能夠以少量的潤滑液降低軸承的磨損的襯底移送軸 用支撐塊。
本發明的另一目的在于，提供一種構成制造容易且搬運和保管及現場設 置容易的襯底移送框架的襯底移送軸用支撐塊。
本發明的又一目的在于，利用所述支撐塊能夠根據襯底移送距離容易調 整長度的襯底移送裝置。
為了解決上述第一個目的，本發明提供一種襯底移送軸用支撐塊，其包 含主體和封蓋，所述主體包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉地支撐襯底 移送軸的軸^c;潤滑液注入口，以用于/人外部注入潤滑液；沿著襯底移送軸 的排列方向貫通形成的潤滑液供給通道，其與所述潤滑液注入口連通；分支 通道，以用于將所述潤滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤滑液排出口， 以用于從所述軸承安裝槽排出潤滑液。所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承 安裝槽的狀態下與所述主體結合而蓋住軸承安裝槽。
為了解決上述第一及第二個目的，本發明公開一種襯底移送軸用支撐塊， 其包含主體和封蓋，所述主體支撐一個襯底移送軸，其包含用于安裝軸承 的軸承安裝槽，所述軸承可旋轉地支撐襯底移送軸；沿著所述襯底移送軸的 排列方向貫通形成的潤滑液供給通道，以用于從外部供給潤滑液；分支通道，
以用于將所述潤滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤滑液排出口，以用 于從所述軸承安裝槽排出潤滑液；分別在沿著所述襯底移送軸的排列方向的 兩端部形成的結合部。所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承安裝槽的狀態下 與所述主體結合而蓋住軸承安裝槽。
為了解決上述第三個目的，本發明公開一種襯底移送裝置，其包含由 為實現本發明的第二目的而提供的支撐塊構成并沿著襯底移送方向設置的一 系列的第一支撐塊；根據安裝于所述第一支撐塊的軸承安裝槽的軸承可旋轉 地設置于第一支撐塊的襯底移送軸；與所述襯底移送軸的端部相連接的驅動 機構，以用于旋轉驅動襯底移送軸。
根據本發明，用于向支撐襯底移送軸的軸承供給潤滑液的通道被埋設在 襯底移送軸用支撐塊的內部，從而不必另設外部潤滑油供給管，因此改善了 其美觀性，且更容易維護及維修襯底移送裝置。
并且，根據本發明，用于潤滑軸承的潤滑液的量較少，而且所使用的潤 滑液全部被回收而可對襯底移送軸的驅動部位重復使用，從而有利于節約成 本。
并且，根據本發明，獨立的個體單位支撐塊通過相互連接的結構而形成 襯底移送框架時，相對于獨立的一體結構的現有技術，不僅在形成潤滑液供 給線等的加工及制造方面非常有利，而且在搬運和保管及現場設置也變得更 力口容易。
并且，根據本發明，襯底移送裝置的整個長度根據支撐塊的結合數量而 決定，從而可根據所需的襯底移送距離容易調整襯底移送裝置的長度。因此， 本發明的襯底移送裝置非常有利于布置制造襯底的工程設備。
圖1是示出現有襯底移送裝置的一例的立體圖2是示出本發明的支撐塊的第一實施例的分解投影立體圖3是示出圖2的支撐塊和襯底移送軸的旋轉驅動部的主要部分的剖視
圖4是示出本發明的支撐塊的第二實施例和襯底移送軸的旋轉驅動部的 主要部分的剖視圖5是示出本發明的支撐塊的第三實施例的分解立體圖； 圖6是圖5的支撐塊的主體的主視圖； 圖7是圖5的支撐塊的主體的側面剖視圖； 圖8是示出構成圖5的第三實施例的主體的變形例的主視圖； 圖9是示出利用了本發明所提供的支撐塊的襯底移送裝置的立體圖。 附圖主要符號說明20、 lll為主體，21、 llla為軸承安裝槽，22、 llld 為潤滑液排出口， 23為潤滑液注入口， 24、 lllb為潤滑液供給通道，25、 lllc 為分支通道，26為潤滑液回收引導結構，30、 112為封蓋，llle、 lllf為結 合部。
具體實施例方式
以下，參照附圖來詳細說明本發明的優選實施例。但是，以下實施例的
為各種形態，并且本發明所要保護的范圍并不限定于以下所述的實施例。
圖2是示出本發明的支撐塊的第一實施例的分解投影立體圖，圖3是示 出圖2的支撐塊和襯底移送軸的旋轉驅動部的主要部分的剖視圖。
如圖2及圖3所示的本實施例的支撐塊包含主體20，具有用于安裝軸 承10的軸承安裝槽21,所述軸承10用于可旋轉地支撐襯底移送軸40,且其 內部形成有用于朝所述軸承安裝槽21供給潤滑液的通道；封蓋30,以用于 與所述主體20結合而蓋住軸承安裝槽21。以此所述支撐塊形成襯底移送框
恕不。
所述軸承安裝槽21具有側面部的臺階比中央部高的呈半圓形的底部，在 其臺階低的中央部安裝軸承10。并且，在軸承安裝槽21的臺階較高的側面 部的一部分形成有可排出潤滑液的潤滑液排出口 22。具有如上結構的軸承安 裝槽21,在中央部的槽中固定軸承10的外輪，而在軸承安裝槽21的側面露 出軸承10的滾珠，以使軸承10更加牢固地被固定。這種結構使供給潤滑液 和排出所使用的潤滑液變得更加容易。
在主體20內部形成的通道包含潤滑液注入口 23,其露在主體20側面； 潤滑液供給通道24,其一部分連接于所述潤滑液注入口 23,且沿著主體20 的長度方向，即沿著在襯底移送裝置中襯底移送軸40所排列的方向形成在主 體20內部的中央；使潤滑液供給通道24與軸承安裝槽21連通的分支通道 25，其一側連接于潤滑液供給通道24,另一側連接于所述軸承安裝槽21的
臺階稍高的側面部的側面。
在這種結構中，在軸承10插入到軸承安裝槽21的狀態下，用其底面具
有插入軸承的插入口的封蓋30蓋住并裝配到下側的主體20時，軸承10會被
牢固地固定。
在如上所述的狀態下，從外部通過潤滑液注入口 23注入潤滑液時，潤滑 液經過潤滑液供給通道24和分支通道25而供給到軸承安裝槽21。
在主體20側面的所述潤滑液排出口 22的下側具有沿著主體20的長度方 向延伸而形成的潤滑液回收引導結構26。潤滑液回收引導結構26優選地朝 一個方向傾斜，以便從軸承安裝槽21經過潤滑液排出口 22排出的潤滑液能 夠聚集到廢潤滑液容器(未圖示)之中。
如上所述，流經軸承10的潤滑液通過潤滑液排出口 22向主體22的側面 排出。即，優選地潤滑液排出口 22和分支通道25中間隔著軸7 、 10而相互面 對，且潤滑液排出口 22位于襯底被移送的路徑側的主體20的內側面，且分 支通道25位于主體20的外側面，這是為了防止由于通過潤滑液排出口 22排 出的潤滑液所導致的裝置美觀性的降低。并且，由于連接于襯底移送軸40的 從動齒輪50和連接于驅動軸60的主動齒輪70及潤滑液供給箱80位于主體 20的外側，因此，不便在主體20外側面設置所述潤滑液回收引導結構26。
如上所述的本發明的第一實施例，將潤滑液供給到軸承的通道埋設在主 體20的內部，因此外觀美麗，且容易維護裝置。并且使用后的潤滑液可以被 收集而進行凈化處理后可重復使用，因此是非常經濟的。
圖4是將本發明的第二實施例所提供的支撐塊和襯底移送軸的旋轉驅動 部的主要部分對應于圖3而示出的剖視圖。
本實施例中，流經主體20'的軸承安裝槽21'的潤滑液可排放到用于向 驅動襯底移送軸40的主動齒輪70和從動齒輪50供給潤滑液的潤滑液供給箱 80。即，主體20'具有儲存潤滑液的潤滑液供給箱80，以用于潤滑驅動村底 移送軸40的主動齒輪70和從動齒輪50。并且，排出潤滑液的潤滑液排出口 22'朝著所述潤滑液供給箱80呈開口狀，所述潤滑液是流經潤滑液注入口 2 3'和潤滑液供給通道24'及分支通道25'并在軸承安裝槽21'潤滑軸承 IO后的潤滑液。因此，從潤滑液排出口 22'排出的潤滑液流到潤滑液供給箱 80,所述潤滑液為了使主動齒輪70和從動齒輪50流暢地運轉而起到潤滑的 作用。
如上所述，用于潤滑軸承10的潤滑液，再次用于潤滑主動齒輪70和從
動齒輪50的情況下，也不會發生從軸承10流出的異物再次流入到軸承10的 情況，從而防止了軸承10的急劇的磨損。所述主動齒輪70及從動齒輪50的 驅動不會受到由軸承10流出的微細異物的影響。
圖5是示出本發明的支撐塊的第三實施例的分解立體圖，圖6和圖7分 別是圖5的支撐塊的主體的主視圖和側面剖視圖。下面通過參照這些附圖來 詳細說明本實施例。
本實施例的支撐塊IIO被區分為主體111和封蓋112，在一個支撐塊110 安裝有一個軸承(未圖示)的狀態下支撐一個襯底移送軸(未圖示)。主體 111其上端部具有用于安裝軸承的軸承安裝槽llla,封蓋112在所述安裝槽 llla安裝有軸承的狀態下通過蓋住軸承安裝槽llla來保護軸承。
為了給安裝于所述軸承安裝槽llla的軸承供給潤滑液，主體111形成有 從外部通向軸承安裝槽llla的潤滑液供給流路。潤滑液供給流路由潤滑液供 給通道lllb和分支通道lllc構成，所述潤滑液供給通道lllb用于與外部的 潤滑液供給源(未圖示)連接，所述分支通道lllc用于將所述潤滑液供給通 道lllb連通到軸承安裝槽llla。尤其，潤滑液供給通道lllb的方向與在多 個襯底移送軸沿著襯底的移送方向并列排列時的排列方向 一致。這如同后述， 一系列的支撐塊110對應襯底移送軸沿著襯底的移送方向被連接時，形成在 各自的單位支撐塊110的潤滑液供給通道lllb以"一"字形狀連通，以使潤 滑液能夠順暢地供給。如上所述，潤滑液供給通道lllb沿著襯底移送軸的排 列方向水平形成，因此分支通道lllc具有從潤滑液供給通道lllb垂直延伸 至主體上端部的軸承安裝槽llla的結構。
另夕卜，供給到軸承安裝槽llla而起到潤滑作用之后應排出的廢潤滑液通 過形成在主體111的潤滑液排出口 llld排出。即，潤滑液排出口 llld設成 可從軸承安裝槽llla連通到主體111外，而且滯留在軸承安裝槽llla并起潤 滑作用的潤滑液通過潤滑液排出口 llld排出，而被排出的廢潤滑液通過另外 形成的通道(未圖示)被回收到潤滑液箱而重復使用。尤其，潤滑液排出口 llld優選地形成在相比軸承安裝槽llla更低的位置，以使從軸承安裝槽llla 排出的潤滑液不會漏到其他部位。
具有如上所述結構的支撐塊110沿著襯底移送軸的排列方向配置相應于 襯底的移送距離的數量，此時，為了可使支撐塊110互相結合而支撐塊110
之間的連接部位，即沿著襯底移送軸的排列方向的兩端部分別具有結合部
llle、 lllf。本實施例的結合部llle、 lllf,前者形成為凹部，后者形成為凸 部，從而使被結合的支撐塊110相互精確地對接。
在軸承安裝槽llla還可形成使潤滑液滯留的滯留槽(retainer groove ) lllg。即，通過分支通道111c供給到軸承安裝槽llla的潤滑液經常有一部分 滯留在滯留槽(retainer groove) lllg,同時持續向軸承供給，借此，形成流 暢的潤滑作用，且潤滑液的供給量也比現有技術減少很多。
圖8是示出前述的第三實施例的主體的變形例的主視圖。
如上所述沿著襯底移送軸的排列方向以相應于襯底的移送距離的數量配 置一系列的支撐塊110時，本變形例的支撐塊120位于襯底移送的開始部和 終止部。以下，為了方便說明將前述的第三實施例的支撐塊110稱為第一支 撐塊，本變形例的支撐塊120稱為第二支撐塊。
第二支撐塊120在其結合部位具有對應第一支撐塊110的凹凸結構的凹 凸結構，以用于在襯底移送的開始部和終止部分別與第一支撐塊110結合， 其相反側具有例如像階梯結構的連接部120a。并且，如圖9所示，具有對應 于所述連接部120a的連接部的端塊(end block) 130與第二支撐塊結合，從 而一系列的第一支撐塊110與第二支撐塊120及端塊130形成一個襯底移送 框架。此時，向第一支撐塊110與第二支撐塊120的潤滑液供給通道的潤滑 液的供給是根據從外部的潤滑液供給源(未圖示)通過端塊130連接到第二 支撐塊120的潤滑液供給通道(未圖示)的通常的供給管路(未圖示)而實 現。
圖9是具有如上所述結構的襯底移送框架所適用的襯底移送裝置的立體圖。
如上所述，第一支撐塊110和第二支撐塊120及端塊130設成沿著襯底 移送軸的排列方向依次連接的結構，在第一支撐塊110和第二支撐塊120上 分別設有根據安裝于軸承安裝槽llla的軸承可旋轉地被支撐的襯底移送軸 140。
并且，沿著支撐塊110、 120設有用于旋轉這些襯底移送軸140的驅動機 構150。驅動機構150與襯底移送軸140的端部連4妄而旋轉襯底移送軸140, 圖上所示的驅動機構150由驅動軸151和支撐軸承152及齒輪153構成。馬區 動軸151的長度對應支撐塊110、 120的總連接長度而形成，支撐軸承152固
定在從支撐塊110、 120中選擇的適合位置的支撐塊110、 120上可旋轉地支 撐驅動軸151。并且，齒輪153設置在驅動軸151上，其數量與支撐塊110、 120的數量一樣，而且所述齒輪153與形成在襯底移送軸140的齒輪嚙合， 由此使襯底移送軸140旋轉。并且，雖然在附圖中沒有示出，所述齒輪153 與如電機等動力提供裝置連接而接受旋轉驅動力。
在具有如上所述結構的本發明的襯底移送裝置中，需要對應襯底移送距 離來調整襯底移送裝置的長度時，在具有相同結構的第一支撐塊110中追加 或除去對應長度調整目標的數量，便可容易地調整整個襯底移送裝置的長度。
綜上所述，依據優選實施例說明了本發明，但是本發明并不限定于上述 實施例，在不脫離本發明的技術構思范圍的情況下，根據本領域的具有通常 知識的技術人員可進行各種變形和修改。
權利要求
1、一種襯底移送軸用支撐塊，其包含主體和封蓋，所述主體包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉地支撐襯底移送軸的軸承；潤滑液注入口，以用于從外部注入潤滑液；沿著襯底移送軸的排列方向貫通形成的潤滑液供給通道，其與所述潤滑液注入口連通；分支通道，以用于將所述潤滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤滑液排出口，以用于從所述軸承安裝槽排出潤滑液，所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承安裝槽的狀態下與所述主體結合而蓋住軸承安裝槽。
2、 根據權利要求1所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述主體具 有潤滑液回收引導結構，以用于回收通過所述潤滑液排出口排出的潤滑液。
3、 根據權利要求1所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述主體具 有儲存潤滑液的潤滑液供給箱，以用于潤滑驅動襯底移送軸的齒輪，所述潤滑液排出口朝所述潤滑液供給箱開口 ，從而潤滑液從潤滑液排出 口排至潤滑液供給箱。
4、 一種襯底移送軸用支撐塊，其包含主體和封蓋， 所述主體支撐一個襯底移送軸，其包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉地支撐襯底移送軸的軸承；沿著所述襯底移送軸的排列方向貫通形成的潤 滑液供給通道，以用于從外部供給潤滑液；分支通道，以用于將所述潤滑液 供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤滑液排出口，以用于從所述軸承安裝槽 排出潤滑液；分別在沿著所述襯底移送軸的排列方向的兩端部形成的結合部，蓋住軸承安裝槽。
5、 根據權利要求4所述的村底移送軸用支撐塊，其特征在于所述軸承安 裝槽還形成有滯留槽，以用于使通過所述分支通道供給的潤滑液滯留。
6、 根據權利要求4所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述潤滑液 排出口位于相對所述軸承安裝槽更低的位置。
7、 一種襯底移送裝置，其包含由權利要求4所記載的結構構成并沿著 襯底移送方向設置的 一 系列的第 一 支撐塊；根據安裝于所述第 一 支撐塊的軸承安裝槽的軸承可旋轉地設在第 一 支撐 塊的襯底移送軸；及與所述襯底移送軸的端部相連接的驅動機構，以用于旋轉驅動襯底移送軸。
8、根據權利要求7所述的襯底移送裝置，其特征在于還包含第二支撐 塊，其在襯底移送的開始部和終止部分別與所述第一支撐塊結合，并且在與 第一支撐塊結合部位的相反側具有連接部；及端塊，其具有與所述第二支撐塊的連接部相對應的連接部，從而與所述 第二支撐塊結合。
全文摘要
本發明公開一種襯底移送軸用支撐塊及利用該支撐塊的襯底移送裝置。在本發明中，用于向支撐襯底移送軸的軸承供給潤滑液的通道被埋設在襯底移送軸用支撐塊的內部，從而不必另設外部潤滑油供給管，因此改善了其美觀性，且更容易維護及維修襯底移送裝置。并且，獨立的個體單位支撐塊根據相互連接的結構而形成襯底移送框架時，相對于獨立的一體結構的現有技術，不僅在形成潤滑液供給線等的加工及制造方面非常有利，而且在搬運和保管及現場設置也變得更加容易。
文檔編號H01L21/677GK101359587SQ20081014470
公開日2009年2月4日 申請日期2008年7月30日 優先權日2007年7月31日
發明者盧鎮成, 李在成 申請人:K.C.科技股份有限公司