專利名稱：機械式晶圓固定裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種機械式晶圓固定裝置，特別是涉及一種具緩沖效 果且不易損壞晶圓的指形壓夾。
謂"
晶圓在蝕刻的制程中需有 一 的械具令其位置固定，而該械具的設計良 窳，則直接關系到晶圓制程的良率，如何設計出一可有效固定，卻又不會 使晶圓損壞的夾具，實為一改良重點所在。
請參閱中國臺灣專利申請案號87212441號，"千式蝕刻機的晶圓夾具"， 以及美國專利640664號，『Clamp for affixing a wafer in an etching chamberi，上述兩件習用前案，其皆是利用 一鉗環(huán)式的夾具以固定晶圓， 該鉗環(huán)內徑具有復數(shù)向圓心略為伸出的凸耳，借該凸耳以壓觸于晶圓的外 圍，并達到固定晶圓的目的；
上述習用前案雖具定位晶圓之效，然而其無可避免的會有下列缺失
1. 直接以環(huán)鉗的凸耳壓迫于晶圓上的固定方式，該環(huán)鉗、凸耳、晶圓 之間并無法設計出有一效的緩沖機制，意即一但環(huán)鉗的壓力過大，該壓力 便會立刻經由凸耳施于晶圓上，而晶圓與凸耳接觸之處便難逃損壞的命運。
2. 無法限制鉗環(huán)對晶圓的向下總壓力最大值，若該鉗環(huán)因夾放動作的 行程過大，造成總下壓力突增時，則該總下壓力亦會完全傳遞至晶圓上， 如此突增的過大的總壓力，不單會造成晶圓磨損，甚至會令晶圓破裂。
3. 如申請案號87212441的前案圖5至7所示，由于鉗環(huán)上每一凸耳 的施力均相同且無法單獨調整控制，若遇特殊規(guī)格的晶圓則難以配合使用， 需配合更換不同規(guī)格鉗環(huán)以配合之，如此不僅成本較高且操作上更為不便。
綜上所述可知，習用晶圓夾具可說是相當?shù)牟痪哂袑嵱眯?，仍有加?改良的必要。
有鑒于上述現(xiàn)有的晶圓夾存在的缺陷，本設計人基于從事此類產品設 計制造多年豐富的實務經驗及專業(yè)知識，并配合學理的運用，積極加以研 究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設一種新型結構的機械式晶圓固定裝置，能夠改進一般現(xiàn) 有的晶圓夾，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經過反復試 作樣品及改進后，終于創(chuàng)設出確具實用價值的本實用新型。
發(fā)明內容
本實用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的晶圓夾存在的缺陷，而提供
一種新型結構的機械式晶圓固定裝置，所要解決的技術問題是使其改善習 用的晶圓固定裝置不具緩沖功效、無法限制向下總壓力、單一凸耳難以各 別調整等缺失，從而更加適于實用。
本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現(xiàn) 的。依據(jù)本實用新型提出的一種機械式晶圓固定裝置，其本體是包括一基 部與一身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端設有一壓件與一彈 性件，借該彈性件提供壓件壓固時的緩沖效果。
本實用新型的目的及解決其技術問題還可以可采用以下的技術措施來 進一步實現(xiàn)。
前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部設有一較壓件凸出的停 止塊。
前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部前端設有一穿孔供壓件 與彈性件容設。
前述的初4戒式晶圓固定裝置，其中所述的穿孔頂端設有一固定件。 前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的基部設有至少一定位孔。 前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的本體是由基部向身部前端漸
縮，而呈一流線型。
本實用新型的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現(xiàn)。依
據(jù)本實用新型提出的一種機械式晶圓固定裝置，其本體是包括一基部與一
身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端形成有一具彈性的壓件，
借該壓件自身的彈力而提供壓固時的緩沖效果。
本實用新型的目的及解決其技術問題還可以采用以下的技術措施來進
一步實現(xiàn)。
前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部設有一較壓件凸出的停 止塊。
前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的基部設有至少一定位孔。 前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的本體是由基部向身部前端漸 縮，而呈一流線型。
本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。 本實用新型本體是用以裝設于蝕刻機的整流環(huán)上，其是包括一基部與 一身部，該本體是由基部向身部前端漸縮而呈一流線型，有助于氣流通過， 該基部設有定位孔可配合螺固件以固定于蝕刻機整流環(huán)，而該身部前端設 有一穿孔，該穿孔內設有一壓件與一彈性件，該壓件是呈一細長桿狀，有 效縮小該壓件與晶圓的接觸面積，且借該彈性件提供壓件壓固時的緩沖效 果，再配合該本體身部設有一較壓件凸出的停止塊，本實用新型用于壓固 定位蝕刻機載盤上的晶圓時，該本體是可隨蝕刻機的整流環(huán)上下位移而達
到固定與釋放晶圓之效，而該身部則可借停止塊與栽盤外圍無晶圓之處抵 頂，限制本體的向下總壓力最大值，據(jù)以防止本體行程過大，而將過大的
向下總壓力直接施于晶圓上，避免晶圓破裂或損壞；
而該本體身部前端的壓件，其是用以壓固定位晶圓，該壓件位于身部 穿孔內的凸肋是與彈性件相抵接，除具緩沖效果外，借由選用適當彈性系 數(shù)的彈性件，是可精準的掌握每一壓件下壓于晶圓時，對晶圓所產生的壓 力，以確保晶圓在最穩(wěn)定的狀態(tài)下被固定于該位，并維持晶圓的完整性；
再者，每一本體每可單獨做調整，以因應不同或特殊規(guī)格的晶圓制程， 而增加蝕刻機整體的適用性，因此本實用新型實是一種相當具有實用性及 進步性的實用新型，值得產業(yè)界來推廣，并公諸于社會大眾。
綜上所述，本實用新型具有上述諸多優(yōu)點及實用價值，其不論在產品 結構或功能上皆有較大的改進，在技術上有顯著的進步，并產生了好用及 實用的效果，且較現(xiàn)有的晶圓夾具有增進的突出功效，從而更加適于實用， 并具有產業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實 用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用 新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施 例，并配合附圖，詳細說明如下。
圖l是本實用新型機械式晶圓固定裝置立體分解圖。
圖2是本實用新型機械式晶圓固定裝置與蝕刻機臺組裝局部示意圖。
圖3是本實用新型機械式晶圓固定裝置與蝕刻機臺組裝整體俯視圖。
圖4是本實用新型機械式晶圓固定裝置壓固晶圓使用狀態(tài)剖視示意圖。
10:本體101:上表面
102:下表面
11:基部111:定位孔
112:螺固件
12:身部121:穿孔
122:壓件
1221:凸肋123:彈性件
124:固定件
125:停止塊20:整流環(huán)
201:螺孔
21:栽盤22:晶圓
具體實施方式
為更進一步闡述本實用新型為達成預定發(fā)明目的所采取的技術手段及
功效，
以下結合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的機械式晶圓固 定裝置其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。
本實用新型是有關于一種機械式晶圓固定裝置，請參閱圖1至圖3所 示，這種機械式晶圓固定裝置其本體IO主要是用以裝設于晶圓制程用的蝕 刻機整流環(huán)20上，該本體10具有上表面101與下表面102,而該本體10 是包括
一基部ll，該基部11略呈一梯形狀，該基部11于本體10的上表面101 與下表面102間貫穿設置有至少一定位孔111，該定位孔111是可配合'螺固 件112而令本體10由基部11被鎖設固定于蝕刻機的整流環(huán)20相對應的螺 孔201上；該本體10的基部11與蝕刻機除鎖設固定的方式外，亦可釆嵌 卡固定、焊接固定或其它固定方式，且并不以上述的固定方式為限；
一身部12,該身部12是由基部11向一端延伸而形成者，該本體10的 整體形態(tài)是由基部11向身部12前端漸縮，而形成指形具流線型易于氣體 流通的外表；
該身部12前端處設有一穿孔121，該穿孔121概呈階級狀，該穿孔121 位于上表面101處的內徑較下表面102處的內徑大，該穿孔121內容設有 一壓件122與一彈性件123，并于穿孔121上表面101端以一固定件124將 壓件122與彈性件123限位于穿孔121內；該壓件122是概呈一細長桿狀， 以減少與晶圓接觸的面積，其中端形成有一較大外徑的凸肋1221以供彈性 件123抵頂，該壓件122前較是可由穿孔121伸出于本體IO的下表面102, 該彈性件123則抵頂于壓件122凸肋1221與固定件124之間；
該身部12在穿孔121與基部11之間向下表面102的方向延伸出有一 停止塊125，且該停止塊125較壓件122更為凸出，而具有擋止限制本體 10的向下總壓力之效。
將復數(shù)個本體10以基部11的定位孔111與螺固件112鎖設，平均的裝 設于蝕刻機的整流環(huán)20上，如圖2與圖3所示，如此便完成該本體10的 組裝。
續(xù)請參閱圖4所示，本實用新型用于壓固定位蝕刻機載盤21上的晶圓 22時，該本體10是可隨蝕刻機的整流環(huán)20上下位移而達到固定與釋放晶 圓22之效，而該身部12則可借停止塊125與載盤21外圍無晶圓22之處 抵頂，限制本體10的向下總壓力最大值，據(jù)以防止本體IO行程過大，而 將過大的向下總壓力直接施于晶圓22上，避免晶圓22破裂或損壞；
而該本體10身部12前端的壓件122,其是用以壓固定位晶圓22，該 壓件U2位于身部12穿孔121內的凸肋1221是與彈性件123相抵接，除
具緩沖效果外，借由選用適當彈性系數(shù)的彈性件123,是可精準的掌握每一 壓件122下壓于晶圓22時，對晶圓22所產生的壓力，以確保晶圓22在最 穩(wěn)定的狀態(tài)下被固定于該位，并維持晶圓22的完整性。
由上所述者僅為用以解釋本實用新型的較佳實施例，并非企圖據(jù)以對 本實用新型做任何形式上的限制，是以，凡有在相同的創(chuàng)作精神下所做有 關本實用新型的任何修飾或變更者，皆仍應包括在本實用新型意圖保護的
范疇內，其中如該壓件亦可采用具彈性的材質所制，并直接成形于身部上， 如此亦可借由該壓件自身彈力，而提供壓固晶圓時的緩沖效果。
權利要求1、一種機械式晶圓固定裝置，其特征在于其本體是包括一基部與一身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端設有一壓件與一彈性件，借該彈性件提供壓件壓固時的緩沖效果。
2、 根據(jù)權利要求1所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述身部 設有一較壓件凸出的停止塊。
3、 根據(jù)權利要求1或2所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述 身部前端設有 一 穿孔供壓件與彈性件容設。
4、 根據(jù)權利要求3所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述穿孔 頂端設有一固定件。
5、 根據(jù)權利要求1或2所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述 基部設有至少一定位孔。
6、 根據(jù)權利要求1或2所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述 本體是由基部向身部前端漸縮，而呈一流線型。
7、 一種機械式晶圓固定裝置，其特征在于其本體是包括一基部與一 身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端形成有一具彈性的壓件， 借該壓件自身的彈力而提供壓固時的緩沖效果。
8、 根據(jù)權利要求7所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述身部 設有一較壓件凸出的停止塊。
9、 根據(jù)權利要求7或8所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所述 基部設有至少一定位孔。
10、 根據(jù)權利要求7或8所述的機械式晶圓固定裝置，其特征在于所 述本體是由基部向身部前端漸縮，而呈一流線型。
專利摘要本實用新型是關于一種機械式晶圓固定裝置，其主要是用以裝設于蝕刻機的整流環(huán)上，其是包括一基部與一身部，該本體是由基部向身部前端漸縮而呈一流線型，有助于氣流通過，該基部設有定位孔可配合螺固件以固定于蝕刻機整流環(huán)，而該身部前端設有一穿孔，該穿孔內設有一壓件與一彈性件，該壓件是呈一細長桿狀，有效縮小該壓件與晶圓的接觸面積，且借該彈性件提供壓件壓固時的緩沖效果，再配合該本體身部設有一較壓件凸出的停止塊，以防止本體對晶圓產生過大的向下總壓力而造成破裂。
文檔編號H01L21/687GK201072755SQ20072014829
公開日2008年6月11日 申請日期2007年5月18日 優(yōu)先權日2007年5月18日
發(fā)明者陳慶安 申請人:志圣工業(yè)股份有限公司