專利名稱：全自動硅片上下料機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種上下料機，特別涉及一種全自動硅片上下料 機，該設備屬于獨立的整體設備，用于太陽能電池制造行業或半導體 行業，實現硅片到籃具的上料和下料。
技術背景太陽能電池作為可再生的環保能源已經越來越受到人們的關注，世界太陽能電池近幾年的年銷售增長率已超過40%，與其相關的設備 也得到了迅猛的發展。目前，在國家倡導節能的宏觀政策的推動下， 北京、上海、廣東、江蘇等都在積極開發太陽能電池產品。針對眾多 太陽能電池制造廠家仍采用手工將硅片裝入籃具和從籃具中取出硅 片，發明了全自動硅片上下料機，它作為太陽能電池生產的輔助設備， 極大的提高了生產效率并降低了硅片碎片率，有效的降低成本。 發明內容本實用新型提供全自動硅片上下料機，解決了手工將硅片裝入籃 具和從籃具中取出硅片，引起的硅片碎片率高和生產效率低的技術問 題。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是 全自動硅片上下料機，包括電動執行器l、下料位2、上料臺位 4、傳送帶6、籃具托盤操作機構7、操作臺面8、操作面板9、設備 框架IO、上料位升降機構ll、籃具上升機構12，在所述的操作臺面 8上的左右兩側前方處固定設置有籃具托盤操作機構7，該籃具托盤 操作機構7的操作臺與臺面下固定設置的籃具上升機構12的線性模 組14固定連接，該線性模組14與電機13的聯軸器固定連接，從而 實現對操作機構7的操作臺上放置的籃具托盤的升降；在籃具托盤操 作機構7的正后方設置有傳送帶6，該傳送帶的一端與籃具托盤操作機構7上的籃具托盤對正，以完成將皮帶上傳送的硅片自動依次傳送到每一層籃具中，該傳送帶的另一端的下方為下料位2;在左右兩傳送皮帶的上方設置有電動執行器1，其上設置有吸盤操作裝置3，在 電動執行器1的前方及兩傳送皮帶的中間位置的操作臺面8上設置有 一矩形孔，該孔中設置有上料臺位4，該臺位4與操作臺面8下固定 設置的上料位升降機構11上的線性模組16固定連接，升降機構11 中的電機17通過操作線性模組16實現上料臺位4上的硅片的升降； 電動執行器1上的吸盤操作裝置3可沿導軌水平左右移動，以實現對 吸附硅片的左右傳送。所述的操作臺面8上設置的矩形孔的左右兩側設置有吹氣分離 裝置。所述的操作臺面8上，在每條傳送帶6的兩側都設置有定位機構 5，實現對每片硅片的方向的矯正和定位。本實用新型結構簡單操作方便，適用于不同的硅片的自動上料和 下料。
圖1是本實用新型的總體結構示意圖 圖2是上料位升降機構11的結構示意圖 圖3是電動執行器1的結構示意圖 圖4是籃具上升機構12的結構示意圖具體實施方式
以下結合附圖詳細敘述本實用新型的具體實施方式
全自動硅片上下料機，主要包括電動執行器1及其上的吸盤操作裝置3、下料位2、上料位4、定位機構5、傳送帶6、籃具托盤7、 操作臺面8、操作面板9、設備框架IO、上料位升降機構ll、籃具上 升機構12、交流伺服電機13、線性模組14、籃具15。上料位升降機構11和籃具上升機構12的精密定位運動由交流伺 服電機13完成。采用高精度、高速、低慣量交流伺服電機13控制線 性模組14精確移動，同時由編碼器提供反饋信息，形成閉環控制， 實現既高速又精確的移動。上料位4的吹氣分離裝置在兩側安裝，潔凈壓縮空氣經過調壓、 節流，進入一個末端做成扁平的、只留一條細縫的銅管，并且銅管的 細縫是垂直的。這樣從銅管細縫里產生的氣流是垂直的、有層次的， 就能把上料位最上面的硅片有層次的、輕易的吹開，便于吸盤吸附， 既提高了設備的效率又降低了硅片的碎片率。操作面板9可以旋轉，通過它設置和修改各種工藝動作及各項工藝參數，它還有程序過程控制、故障報警等功能。吸盤裝置3由氣缸和四個小吸盤組成，真空吸附可靠，穩定性好。 定位機構5采用氣缸運動限位，自動矯正硅片方向，保證硅片安 全可靠的上料。傳送帶6采用質地柔軟的圓皮帶，減少與硅片的接觸面積，避免 損傷和污染硅片。籃具托盤7固定籃具采用斜面定位，加裝可調限位塊，穩定可靠。 對不同尺寸硅片只需簡單的調整限位塊。電動執行器1采用速度和加速度可調的元件，可以滿足不同工藝 的需要。傳輸速度快，運行穩定可靠。下料位2設有吹氣孔，可以將硅片吹起處于懸浮狀態，防止硅片 劃傷，便于硅片下料。.工作時，上料位升降機構11上下垂直運動，帶動上料位4上下 垂直運動，同時電動執行器l左右水平運動，帶動吸盤3左右水平運 動，實現硅片的吸取，然后電動執行器l左右水平運動，將硅片放到 傳送帶6上，定位機構5動作矯正硅片，同時籃具上升機構12帶動 籃具托盤7上下垂直運動，傳送帶6運行將硅片送入籃具實現上料。 籃具上升機構12帶動籃具托盤7上下垂直運動，傳送帶6運行將硅 片傳到下料位2實現下料。
權利要求1、一種全自動硅片上下料機，包括電動執行器(1)、下料位(2)、上料臺位(4)、傳送帶(6)、籃具托盤操作機構(7)、操作臺面(8)、操作面板(9)、設備框架(10)、上料位升降機構(11)、籃具上升機構(12)，其特征在于，在所述的操作臺面(8)上的左右兩側前方處固定設置有籃具托盤操作機構(7)，該籃具托盤操作機構(7)的操作臺與臺面(8)下固定設置的籃具上升機構(12)的線性模組(14)固定連接，該線性模組(14)與電機(13)的聯軸器固定連接，從而實現對操作機構(7)的操作臺上放置的籃具托盤的升降；在籃具托盤操作機構(7)的正后方設置有傳送帶(6)，該傳送帶的一端與籃具托盤操作機構(7)上的籃具托盤對正，以完成將皮帶上傳送的硅片自動依次傳送到每一層籃具中，該傳送帶的另一端的下方為下料位(2)；在左右兩傳送皮帶的上方設置有電動執行器(1)，其上設置有吸盤操作裝置(3)，在電動執行器(1)的前方及兩傳送皮帶的中間位置的操作臺面(8)上設置有一矩形孔，該孔中設置有上料臺位(4)，該臺位(4)與操作臺面(8)下固定設置的上料位升降機構(11)上的線性模組(16)固定連接，升降機構(11)中的電機(17)通過操作線性模組(16)實現上料臺位(4)上的硅片的升降；電動執行器(1)上的吸盤操作裝置(3)可沿導軌水平左右移動，以實現對吸附硅片的左右傳送。
2、 根據權利要求1所述的全自動硅片上下料機，其特征在于， 所述的操作臺面(8)上設置的矩形孔的左右兩側設置有吹氣分離裝 置。
3、 根據權利要求1或2所述的全自動硅片上下料機，其特征在 于，所述的操作臺面(8)上，在每條傳送帶(6)的兩側都設置有定 位機構(5)，實現對每片硅片的方向的矯正和定位。
專利摘要本實用新型公開了一種全自動硅片上下料機，它解決了目前在眾多太陽能電池制造廠家仍采用手工將硅片裝入籃具和從籃具中取出硅片，生產效率低，碎片率高，浪費嚴重的技術問題。全自動硅片上下料機，包括電動執行器、下料位、吸盤、上料位、定位機構、傳送帶、籃具托盤、操作臺面、操作面板、設備框架、上料位升降機構和籃具上升機構。全自動硅片上下料機易于安裝、方便操作、自動化程度高，可以提高生產效率，降低碎片率，滿足各種硅片工藝對上下料的要求。
文檔編號H01L21/677GK201117644SQ20072010259
公開日2008年9月17日 申請日期2007年9月20日 優先權日2007年9月20日
發明者吳洪坤, 孫曉波, 瑞 寧, 瑾 張, 李永生 申請人:中國電子科技集團公司第二研究所