專利名稱：具有門縫打開和關閉裝置的處理室的制作方法
技術領域：
本發明公開了一種具有門縫打開和關閉裝置的處理室。
背景技術：
處理室是已知的。然而，它們存在著各種缺點。
發明內容
本發明用于解決現有技術中的各種缺點。
為此，本發明提供一種具有門縫打開和關閉裝置的處理室，其 包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載入室本 體和從室本體中卸載；至少一個內門，所述內門可旋轉地安裝在門 縫的相對開口中的內開口處以便打開和關閉內開口；以及旋轉所述 至少 一 個內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。
優選地，還包括止動件，其限制所述至少一個內門在關閉方向 上的旋轉并且確定所述至少一個內門的關閉位置。
優選地，所述至少一個內門安裝為在內開口關閉時與室本體的 內壁處于相同的平面中。
優選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室本體外面的動力源，以及 動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過連接通路將動力從動力源傳
遞到所述至少一個內門以便打開和關閉所述至少一個內門。
優選地，所述至少一個內門部分地或整體地包括網眼結構。
優選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室本體外面的動力源，以及 動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過連接通路將動力源的動力傳 遞到所述至少一個內門以便打開和關閉所述至少一個內門。
優選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室本體外面的動力源，以及 動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過連接通路將動力源的動力傳 遞到所述至少一個內門以便打開和關閉所述至少一個內門。
優選地，動力源包括馬達。
優選地，動力傳遞設備包括螺桿，其通過馬達在向前/倒轉 方向上旋轉并且具有位于其外周上的外螺紋；可動塊，其擰緊至螺 桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其 相反端部結合至所述至少一個內門和可動塊。
優選地，還包括布置在連接通路內的密封元件。
優選地，動力傳遞設備包括螺桿，其通過馬達在向前/倒轉 方向上旋轉并且具有位于其外周上的外螺紋；可動塊，其擰緊至螺 桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其 相反端部借助于連桿結合至所述至少一個內門和可動塊，所述連桿 與所述至少一個內門和可動塊中的至少一個相結合。
優選地，還包括布置在連接通路內的密封元件。
優選地，所述至少一個內門包括至少兩個可旋轉地安裝在內開 口中的內門。優選地，所述至少兩個內門在其相對端部處可旋轉地安裝在內 開口中。
優選地，門驅動裝置包括至少兩個馬達。
優選地，所述至少兩個馬達嵌在室本體的壁中。
優選地，還包括安裝在門縫的相對開口中的外開口處的門閥。
根據本發明的另一方面，提供一種具有門縫打開和關閉裝置的 處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此 裝載和卸載；至少一個內門，其一端可旋轉地安裝在門縫的相對開 口中的內開口中以便打開和關閉內開口；以及旋轉所述至少一個內 門以便打開和關閉內開口的門驅動機構，其中所述至少一個內門安 裝為在內開口關閉時與室本體的內壁處于相同的平面中，并且其中 所述至少一個內門部分地或整體地包括網眼結構。
優選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室本體外面的動力源，以及 動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過連接通路將動力源的動力傳 遞到所述至少一個內門以便打開和關閉所述至少一個內門。
根據本發明的又一方面，提供一種具有門縫打開和關閉裝置的 處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此 裝載和卸載； 一對內門，其中一個內門具有可旋轉地安裝的一端以 便打開和關閉門縫的相對開口中的內開口的一側，并且另一個內門 具有可旋轉地安裝的一端以便打開和關閉內開口的另一側；以及旋 轉該對內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。
優選地，該對內門安裝為在內開口關閉時與室本體的內壁處于 相同的平面中。
優選地，該對內門中的每個部分地或整體地包括網眼結構。
優選地，門驅動機構包括至少兩個馬達。 優選地，所述至少兩個馬達嵌在室本體的壁中。
下面將參照附圖詳細描述實施例，其中同樣的附圖標記涉及相 同的元件，并且其中
圖1是根據一個實施例的處理室的橫截面視圖2是根據一個實施例具有門縫打開和關閉裝置的處理室的 視圖3和4是圖2所示門縫打開和關閉裝置的詳細剖視圖，圖3 示出了門縫打開的狀態，圖4示出了門縫關閉的狀態；
圖5是在從圖4的箭頭"P"方向看時的正視圖6和7是圖3和4所示動力傳遞設備的剖視圖，圖6示出了 門縫打開的狀態，圖7示出了門縫關閉的狀態；
圖8是根據另一個實施例具有門縫打開和關閉裝置的處理室 的橫截視圖；和
圖9是在從圖8的箭頭"Q"方向看時的正視圖。
具體實施例方式
現在將詳細參照實施例，其例子在附圖中示出。只要可能，同 樣的附圖標記在全部附圖和描述中用來涉及相同或類似的部件，并 且省略重復性的描述。
為了制造顯示基片，比如液晶顯示(LCD)基片，需要蝕刻基 片的裝置。這種蝕刻裝置設計來在兩個其間已經形成有強電場的電 極之間噴射特定反應氣體。這將反應氣體轉變為在中性狀態下具有
良好反應性的等離子體，同時反應氣體在電場之下釋放電子。等離 子體與部分氧化膜反應，氧化膜已經沉積在基片上并且未被光阻材 料覆蓋的部分暴露，從而蝕刻基片。蝕刻裝置可包括在其中可利用 等離子體處理基片的基片處理室、其中可存儲基片的負載鎖閉室、
以及定位在處理室和負載鎖閉室之間并且用作由此可裝載和卸載 基片的轉運區域的傳遞室。
圖1示出了用于顯示基片的蝕刻裝置的處理室，比如LCD基 片。如圖1所示，處理室1可包括室本體5、門縫2，其形成于室 本體5的壁中以便與傳遞室相通、以及打開和關閉門縫2的門閥4。 門縫2可用作基片3的通路并且可以在水平方向上很長。門閥4可 關閉以便在裝載和卸載基片3時允許基片3穿過門縫2。 一旦裝載 或卸載了基片3，門閥4可關閉以使得在處理室1的內部14形成 真空。
然而，如圖1所示，上述處理室被采用為使得門閥4安裝在處 理室1外面以便打開和關閉門縫2。為此，在關閉時，門閥4關閉 門縫2相對的開口 2a和2b中的外側開口 2a。因此，在蝕刻基片時， 處理室1的內部14在空間上與門縫2相通。于是，其中形成等離 子體的空間除了處理室1的內部14的空間之外還包括門縫2的空 間。于是，等離子體有差異地分布(也就是，其朝著門縫2更集中)， 并且因而，基片3也被有差異地蝕刻。
換言之，當處理室1的內部14被分為兩個部分門縫部分和 相對部分(即在圖1中看相對于中心線的左右兩側)，門縫2部分 上的等離子體空間增寬門縫2的空間。因此，在總體上看時，等離 子體空間不可避免地左右不對稱。于是，在蝕刻基片3時等離子體 可朝著門縫2集中。
圖2是示出根據一個實施例具有門縫打開和關閉裝置70的處
理室10的視圖。如圖2所示，具有門縫打開和關閉裝置70的處理 室10,根據一個實施例可包括室本體50，其中限定了可利用等 離子體蝕刻基片30的空間54,并且在其一個壁中形成門縫52，基 片30可通過門縫52裝載和卸載；以及門閥60。門縫打開和關閉 裝置70在室本體50內打開和關閉室本體50的門縫52。門閥60 在室本體50外打開和關閉室本體50的門縫52。
圖3和4是圖2所示門縫打開和關閉裝置70的詳細剖視圖。 圖3示出了門縫52打開的狀態，圖4示出了門縫52關閉的狀態。
如圖3和4所示，門縫打開和關閉裝置70可包括打開和關閉 門縫52的內門75、打開和關閉內門75的門驅動機構80、以及防 止內門75不必要地關閉的止動件90。內門75可以是安裝在門縫 52的相對開口 52a和52b中的內開口 52b上的板，其與室本體50 的內部54相接觸，以便打開和關閉內開口 52b。
內門75可通過鉸鏈機構H結合至內開口 52b以便可繞著其下 端旋轉。而且，在關閉時，內門75的尺寸適合于內開口 52b。因 而，當內門75朝著室本體50的內部54旋轉時，可打開內開口 52b。 相反，當內門75朝著室本體50的外面旋轉時，可關閉內開口 52b。
內門75在旋轉以關閉內開口 52b時可安裝至與室本體50的內 壁54a相同的平面中，從而與室本體50的內壁54a—起用作平的 壁。內門75在內開口 52b關閉時可安裝為相對于室本體50的內壁 54a沒有高度差。也就是，當內開口52b關閉時，內門75可安裝為 使得其面對室本體50內部54的內表面75a與內壁54a—致。而且， 內門75可在其下端提供有凸起72,在關閉時其可朝著室本體50 外面突出預定的長度。
圖5是在圖4的箭頭"P"的方向上看時的正視圖。如圖5所示，內門75可部分地或整體地由金屬網74構成。在這個實施例中， 內門70具有網眼結構，以減少其重量。
門驅動機構80可使得內門75繞著鉸鏈機構H旋轉預定的角度 以打開和關閉門縫52的內開口 52b。門驅動機構80可包括產生動 力的動力源81、以及傳遞動力源81的動力以使內門75旋轉的動 力傳遞設備82。動力源可以是安裝在室本體50外面的馬達81。
動力傳遞設備82可用來將馬達81的動力通過線性連接通路53 傳遞到內門72，通路53可形成于室本體50中以在空間上將門縫 52與室本體50的外面相連接。動力傳遞設備82可包括螺桿83、 可動塊84以及操作線85。
螺桿83可以是線性桿，其可安裝在室本體50下以便正好布置 在內門75下面。螺桿83可豎直地安裝在室本體50下面以便可旋 轉。而且，螺桿83可沿著其長度在其外周上具有外螺紋，并且可 借助于馬達81在向前/倒轉方向上旋轉。
可動塊84可螺旋至螺桿83以便與螺桿83形成螺旋副。在螺 桿83向前/倒轉地旋轉(或者按照螺桿83的旋轉方向)時，可動 塊84沿著螺桿83上下運動。
操作線85可借助于可動塊84沿著螺桿83上下運動的運動力 而使內門75旋轉，從而打開和關閉內開口 52b。操作線85可在其 相反端部分別連接至內門75和可動塊84。
而且，尤其，操作線85可連接至內門75的凸起72。操作線 85可具有剛性。可選地，操作線85還可包括包圍其外表面的護套。 而且，操作線85可插入穿過室本體50的連接通路53，然后連接 至內門75和可動塊84。如上所述，當可動塊84向下運動時，操 作線85使內門75旋轉以關閉內開口52b。盡管附圖中未示出，不
過包圍操作線85的波紋管可安裝在室本體50和可動塊84之間以 防止操作線85妨礙其周圍物和改善其外觀。
馬達81能以下述方式致動，即，防止可動塊84過度地向上運 動以致于負載過度(即，馬達持續轉動螺桿83而不管內開口 52a 完全打開或關閉的狀態)。當然，這可以利用例如傳感器或控制設 備來實現。
止動件90可限制上述可由門驅動機構80關閉的內門75的旋 轉。止動件90可用來確定內門75的關閉位置，并且因而，允許門 縫52的內開口 52b由內門75準確地關閉。止動件卯可實施為至 少一個凹陷或凸起，其可形成于內開口 52處以便在內門75關閉內 開口 52b時與內門75的上端相接觸。
止動件卯的位置和構造可以改變。例如，止動件卯可實施為 環，其可安裝在螺桿83上以使得當內開口 82b完全關閉時可動塊 84不再向下運動。止動件90的功能，如上所述，可通過控制馬達 81的致動來實現。無論如何，止動件90可提供來對內門75的旋 轉施加物理限制，從而防止故障，并且改進操作可靠性。
附圖標記S表示密封元件，其可安裝在連接通路53中以在門 縫52的內開口 52關閉時維持氣密狀態。密封元件S可通過堵塞連 接通路53來允許室本體50的內部54保持在真空環境下以使得操 作線85的操作不受阻礙。
下面將描述這里公開的根據本發明的處理室的操作。
為了關閉門縫52，當門縫52的內開口 52b打開時，內門75 降低，并且動力傳遞設備82的可動塊84維持升高狀態。在此狀態 下，馬達81可被致動。然后，螺桿83通過馬達81的旋轉而轉動。 與螺桿83擰緊的可動塊84沿著螺桿83向下運動。由于可動塊84
的運動方向可由螺桿83的旋轉方向決定，馬達81可在一個方向上 旋轉螺桿83以使得可動塊84向下運動。在可動塊84向下運動時， 操作線85被拉動。此時，內門75繞著鉸鏈結構H旋轉，并且豎直 地站立。當內門75變得與止動件卯相接觸并且內開口 52b關閉時， 馬達81的致動被停止。
這樣，當內門52b由內門75關閉時，室本體50的內部54與 門縫52隔離。于是，室本體50的內部54兩側地對稱(參見圖2)。 而且，當內開口52b關閉時，內門75與室本體50的內壁54a處于 相同的平面中。因而，室本體50的內壁54a中沒有高度差。于是， 在蝕刻基片30時，等離子體的分布是均勻的。
為了打開門縫52,和門縫52關閉時不同，馬達81致動以使得 螺桿83在相反方向上旋轉，并且從而可動塊84向上運動。此時， 可以為剛性的操作線85被可動塊84的升高力所推壓，從而推壓內 門75。于是，內門75被旋轉，并且因而門縫52的內開口 52b被 打開。
圖6和7是示出圖3和4所示動力傳遞設備的另一實施例的剖 視圖。更具體地，圖6示出了門縫52打開的狀態，圖7示出了門 縫52關閉的狀態。
圖6和7所示動力傳遞設備82a與圖3和4所示動力傳遞設備 82的不同之處僅在于，線性操作桿86和連桿87替代了操作線85。 類似于操作線85，操作桿86插入穿過室本體50的連接通路53， 并且其下端結合至可動塊84。
連桿87將操作桿86的上端與內門75相結合。連桿87將操作 桿86 (可被可動塊84沿著連接通路54升高)的運動力傳遞至內 門75以使得內門75被旋轉。孔87s (通過該孔，連桿87可由鉸鏈
與操作桿86相結合)可具有槽形狀。當然，連桿87可以改變；也 就是，連桿87可具有任何構造，只要內門75可通過操作桿86的 旋轉而轉動。而且，動力傳遞設備82a的結構可以改變；例如，螺 桿83可安裝在水平方向而非在豎直方向以使得操作桿86和可動塊 84可結合。
圖8是根據另一第二實施例具有門縫打開和關閉裝置120的處 理室100的橫截視圖。圖9是在圖8的箭頭"Q"方向上看時的正 視圖。
如圖8和9所示，根據本實施例具有門縫打開和關閉裝置170 的處理室IOO與前述實施例相同，除了內門175和門驅動機構180 的構造之外。
類似于前述實施例的內門75，本實施例的內門175打開和關閉 門縫52的內開口 52b。然而，與前述實施例中設計為具有一單個 打開和關閉門的內門75不同，本實施例的內門175可包括上門 175a，其可打開和關閉門縫52的內開口 52b的上部；下門175b， 其可安裝在上門175a的下面并且打開和關閉門縫52的內開口 52b 其余的下部。
上門175a可由鉸鏈機構Hl結合至內開口 52b以便可繞著其上 端旋轉。下門175b可由鉸鏈機構H2結合至內開口 52b以便可繞著 其下端旋轉。而且，上門175a和下門175b可裝備有金屬網174以 便部分地或整體地具有網眼結構。
同時，本實施例的內門175可在朝著室本體50的內部54旋轉 時可打開內開口 52b。相反，內門175可在朝著室本體50的外面 旋轉時可關閉內開口 52b。內門175在關閉時可安裝成與室本體50 的內壁54a在相同的平面中。
本實施例的門驅動機構180可用來旋轉上門175a和下門175b 以打開和關閉內開口 52b,并且可包括兩個馬達。馬達可埋在室本 體50的壁中以使得其軸可借助于例如結合件分別直接結合至上門 175a和下門175b的鉸鏈機構HI和H2。
盡管已經為了示例性的目的描述了示例性實施例，但是本領域 的熟練人員將理解到，在不偏離本發明如所附權利要求所公開的范 圍和精神之下，各種變型、增加和替換都是可能的。
作為一個例子，在這里公開實施例的描述中，內門可安裝為朝 著室本體的內部向下旋轉。然而，內門可設計為以相反方向旋轉以 打開和關閉。在此情況下，可進行適合的結構變化以避免可通過門 縫裝載和卸載的基片和內門之間的干擾。
而且，在這里公開實施例的門驅動機構的描述中，作為動力源 的馬達可安裝在室本體外面，并且馬達的動力可由動力傳遞設備傳 遞至位于室本體內的內門。然而，馬達也可設計為嵌在室本體的壁 中，或者可安裝在室本體的外面以使得其軸可直接與鉸鏈機構相結 合。另外，在一個實施例的門驅動機構的描述中，馬達可嵌在室本 體的壁中。然而，馬達可安裝在室本體外面。
這里公開的實施例提供了具有門縫打開和關閉裝置的處理室， 該門縫打開和關閉裝置利用至少一個旋轉門來打開和關閉室本體 內側的室本體門縫，從而防止在蝕刻基片時室本體內部在空間上與 門縫相連接，以及防止等離子體由于朝著門縫集中而不均勻地分 布。
這里公開的實施例還提供了具有門縫打開和關閉裝置的處理 室，其中在門縫被門縫打開和關閉裝置所關閉時至少一個門與室本 體的內壁一致而沒有高度差，從而維持在蝕刻基片時等離子體更均
勻的分布。
根據一個實施例，具有門縫打開和關閉裝置的處理室提供為包 括室本體，其一個壁中形成有由此裝載和卸載基片的門縫；內門， 其一端可旋轉地安裝在門縫的相對開口中的內開口中以便打開和 關閉內開口 ；以及旋轉內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。 處理室還可包括止動件，其限制內門在關閉方向上的旋轉，并且因 而確定內門的關閉位置。
內門可安裝為在內開口關閉時處于與室本體的內壁相同的平 面中。而且，內門可部分地或整體地具有網眼結構。
室本體可包括連接室本體外面和門縫的連接通路，并且門驅動 機構可包括安裝在室本體外面的動力源，以及將動力源的動力通過 連接通路傳遞到內門以便打開和關閉內門的動力傳遞單元或設備。 動力源可包括馬達。
動力傳遞設備可包括螺桿，其可通過馬達和其外周上的外螺 紋在向前/倒轉方向上旋轉、可動塊，其可擰緊至螺桿以與螺桿形 成螺旋副、以及操作線，其可插入連接通路并且可在其相反端部結 合至內門和可動塊。
可選地，動力傳遞單元可包括螺桿，其可通過馬達在向前/ 倒轉方向上旋轉并且其可具有位于其外周上的外螺紋、可動塊，其 可擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副、以及操作線，其可插入連接通 路并且可在其相反端部借助于連桿結合至內門和可動塊，所述連桿 與內門和可動塊中的至少一個相結合。
根據另一實施例，具有門縫打開和關閉裝置的處理室提供為包 括室本體，其一個壁中形成有由此裝載和卸載基片的門縫； 一對 內門，其中之一具有可旋轉地安裝的一端以便打開和關閉門縫的相
對開口中的內開口的一側，并且其另一個具有可旋轉地安裝的一端
以便打開和關閉內開口的另一側；以及旋轉內門以便打開和關閉內 開口的門驅動機構。內門可安裝為在內開口關閉時與室本體的內壁 處于相同的平面中。而且，每個內門可部分地或整體地具有網眼結 構。
根據具有根據這里公開實施例的門縫打開和關閉裝置的這種 處理室，至少一個內門可安裝在門縫的相對開口中的內開口中(門 縫可用作基片的通路)，并且因而內開口可由內門打開和關閉。因 此，當內開口關閉時，室本體的內部可在空間上與門縫隔開。從而， 在蝕刻基片時，可防止等離子體朝著門縫集中。而且，等離子體可 均勻地分布。
另外，內門可安裝為在關閉時與室本體的內壁一致，以使得形 成等離子體的空間可準確地對稱，并且因而，等離子體可均勻地分 布。而且，這種對稱結構使得電極和地面之間的距離恒定。這就動 力而言是有利的。
本說明書中涉及的"一個實施例"、"實施例"、"示例性實施 例"等意味著，結合實施例描述的具體特點、結構或特征包括在本 發明的至少一個實施例中。說明書不同位置中這種句子的出現不是 必須都涉及相同實施例。而且，在結合任何實施例描述一個具體特 點、結構或特征時，結合其它實施例來實現這種特點、結構或特征 是在本領域熟練技術人員的范圍之內。
盡管已經參照多個示例性實施例描述了本發明，但是應當理解 到，本領域熟練技術人員能想到很多其它變型和實施例，這些都將 落入本公開物原理的精神和范圍內。更具體地，在說明書、附圖和 所附權利要求的范圍內，組成部件和/或組合布置的各種變化和變 型都是可能的。除了組成部件和/或布置的變化和變型之外，替換
使用對于本領域熟練技術人員而言也是很明顯的。
權利要求
1.一種具有門縫打開和關閉裝置的處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載入室本體和從室本體中卸載；至少一個內門，所述內門可旋轉地安裝在門縫的相對開口中的內開口處以便打開和關閉內開口；以及旋轉所述至少一個內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。
2. 根據權利要求1的處理室，還包括止動件，其限制所述至 少一個內門在關閉方向上的旋轉并且確定所述至少一個內門的關 閉位置。
3. 根據權利要求1的處理室，其中所述至少一個內門安裝為 在內開口關閉時與室本體的內壁處于相同的平面中。
4. 根據權利要求3的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室 本體外面的動力源，以及動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過 連接通路將動力從動力源傳遞到所述至少一個內門以便打開和關 閉所述至少一個內門。
5. 根據權利要求1的處理室，其中所述至少一個內門部分地 或整體地包括網眼結構。
6. 根據權利要求5的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室 本體外面的動力源，以及動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過 連接通路將動力源的動力傳遞到所述至少一個內門以便打開和關 閉所述至少一個內門。
7. 根據權利要求1的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在室 本體外面的動力源，以及動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過 連接通路將動力源的動力傳遞到所述至少一個內門以便打開和關 閉所述至少一個內門。
8. 根據權利要求7的處理室，其中動力源包括馬達。
9. 根據權利要求8的處理室，其中動力傳遞設備包括螺桿，其通過馬達在向前/倒轉方向上旋轉并且具有位于其外 周上的外螺紋；可動塊，其擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其相反端部結合至所述至 少一個內門和可動塊。
10. 根據權利要求9的處理室，還包括布置在連接通路內的 密封元件。
11. 根據權利要求8的處理室，其中動力傳遞設備包括螺桿，其通過馬達在向前/倒轉方向上旋轉并且具有位于其外 周上的外螺紋；可動塊，其擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其相反端部借助于連桿結 合至所述至少一個內門和可動塊，所述連桿與所述至少一個內門 和可動塊中的至少一個相結合。
12. 根據權利要求11的處理室，還包括布置在連接通路內的 密封元件。
13. 根據權利要求1的處理室，其中所述至少一個內門包括 至少兩個可旋轉地安裝在內開口中的內門。
14. 根據權利要求13的處理室，其中所述至少兩個內門在其 相對端部處可旋轉地安裝在內開口中。
15. 根據權利要求14的處理室，其中門驅動裝置包括至少兩 個馬達。
16. 根據權利要求15的處理室，其中所述至少兩個馬達嵌在 室本體的壁中。
17. 根據權利要求1的處理室，還包括安裝在門縫的相對開 口中的外開口處的門閥。
18. —種具有門縫打開和關閉裝置的處理室，其包括 室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載和卸載；至少一個內門，其一端可旋轉地安裝在門縫的相對開口中的 內開口中以便打開和關閉內開口；以及旋轉所述至少一個內門以便打開和關閉內開口的門驅動機 構，其中所述至少一個內門安裝為在內開口關閉時與室本體的內 壁處于相同的平面中，并且其中所述至少一個內門部分地或整體 地包括網眼結構。
19. 根據權利要求18的處理室，還包括形成于室本體中的連 接通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅動機構包括安裝在 室本體外面的動力源，以及動力傳遞設備，所述動力傳遞設備通過連接通路將動力源的動力傳遞到所述至少一個內門以便打開和 關閉所述至少一個內門。
20. —種具有門縫打開和關閉裝置的處理室，其包括 室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載和卸載；一對內門，其中一個內門具有可旋轉地安裝的一端以便打開 和關閉門縫的相對開口中的內開口的一側，并且另一個內門具有 可旋轉地安裝的一端以便打開和關閉內開口的另一側；以及旋轉該對內門以便打開和關閉內開口的門驅動機構。
21. 根據權利要求20的處理室，其中該對內門安裝為在內開 口關閉時與室本體的內壁處于相同的平面中。
22. 根據權利要求20的處理室，其中該對內門中的每個部分 地或整體地包括網眼結構。
23. 根據權利要求20的處理室，其中門驅動機構包括至少兩 個馬達。
24. 根據權利要求23的處理室，其中所述至少兩個馬達嵌在 室本體的壁中。
全文摘要
提供了一種使用等離子體的用于蝕刻基片的蝕刻裝置的處理室，比如液晶顯示(LCD)基片。該處理室可包括室本體，其一個壁中形成有門縫；打開和關閉門縫內開口的旋轉內門；以及旋轉內門的門驅動機構。在蝕刻基片時，內門關閉以防止室本體內部與門縫相通。從而，其中形成等離子體的空間可維持對稱，因此等離子體可均勻地分布在室本體內部。
文檔編號H01L21/00GK101179010SQ200710181228
公開日2008年5月14日 申請日期2007年10月25日 優先權日2006年11月10日
發明者孫亨圭 申請人:愛德牌工程有限公司