專利名稱：多倒角薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及在一片母基板上配置多個薄膜晶體管的多倒角薄膜晶 體管陣列基板上切出各薄膜晶體管陣列時的工序中的能夠改善成品率 的布線結構。
背景技術：
近年來，液晶顯示裝置的主流是有源矩陣型液晶顯示裝置。通常， 在 一 片母基板上形成多個這種有源矩陣型液晶顯示裝置用的薄膜晶體 管陣列之后，切割母基板作成 一 個個薄膜晶體管陣列。在該切割之后緊接著的工序，為了防止切斷的端面產生缺陷等，會 進行倒角工序。在該倒角工序中，薄膜晶體管陣列上的布線和焊盤等 (Pad)有時會剝落。特別是存在薄膜晶體管陣列和外部電路等的連接 部分即外引腳接合(Outer Lead Bonding;簡稱OLB)焊盤剝落的問題。 下面接合附圖進行說明。圖2是表示從現有技術的一片母基板制作4片薄膜晶體管陣列的情 況下切斷母基板的切斷線與OLB焊盤的位置關系的說明用平面圖。在圖 2中，201是多倒角薄膜晶體管陣列基板，110是縱向的切斷線，203是 橫向的切斷線，107是端面布線，211 214是從母基板上切下之前的薄 膜晶體管陣列。圖6是說明現有技術的多倒角晶體管陣列基板上的一個薄膜晶體管 陣列與切斷線的位置關系說明用部分平面圖。在圖6中，110是用于從 多倒角薄膜晶體管陣列基板切出薄膜晶體管陣列的切斷線，111是所述 切斷后進行倒角工序時作為倒角量基準的倒角基準線，B表示從OLB焊 盤104的端部到倒角基準線111的距離。
為了把薄膜晶體管陣列212從母基板201中取出，按照切斷線110 切斷多倒角薄膜晶體管陣列基板201。接著，為防止在該切斷的切斷端 面發生缺陷等而進行該切斷端面的倒角工序，削去切斷端面的角。這 時，若切斷端面的角削除得過多，則圖6上的端面布線107就會從母基 板上剝離，甚至與端面布線107連接的OLB焊盤104也會剝離。因此， 需要一邊仔細注意倒角量并頻繁地確認距離B,同時一邊進行倒角作 業，因此，該作業需要相當的勞力和細心。因此，如果能夠容易地確認上述倒角量，就能夠提高制造效率。 另外，使布線不容易從基板上剝落，這對于提高制造效率也是有效的。上述現有技術可以參考專利文獻1 (日本特開2001 - 356357 )。 發明內容本發明的目的在于，提供一種具有如下所述布線結構的多倒角薄膜 晶體管陣列基板，即，在從一片母基板制作多個薄膜晶體管陣列的多倒 角薄膜晶體管陣列基板上，為取出各薄膜晶體管陣列而在切斷之后所進行的切斷端面的角的倒角工序中，能夠容易且可靠地進行倒角量的確 認，同時使OLB焊盤不容易從基板上剝離，從而能夠降低倒角工序中OLB 焊盤的剝離率，并且能夠提高薄膜晶體管陣列制造工序的生產效率和成 品率。為了解決上述課題，本發明第1方面所述的發明是一種多倒角薄膜晶體管陣列基板，在一片母基板上配置多個薄膜晶體管陣列，其特征在于，各薄膜晶體管陣列具有在絕緣基板上縱橫列配置的信號線和掃描線； 在所述信號線和掃描線的各交點附近形成的顯示元件；以及 在從所述母基板切斷之后，為與外部連接而形成在所述絕緣基板周邊的多個外引腳接合用焊盤(以下也稱作"OLB焊盤，，)和連接用布線， 在所述0 L B焊盤外，在與表示為將該薄膜晶體管陣列從所述多倒角薄膜晶體管陣列基板切出而切斷所述多倒角薄膜晶體管陣列基板的位 置的線(以下也稱作"切斷線")相交叉的布線(以下也稱作"端面布線，，)的兩側，以規定間隔距離設置分支布線(以下也稱作"刻度兼0LB 保護用分支布線")。又，本發明第2方面的方面是，所述刻度兼OLB保護用分支布線用于 確認所述顯示裝置用基板的端面到所述0LB焊盤的尺寸的刻度并且用于 防止所述0LB焊盤從所述顯示裝置用基板上剝離。又，本發明第3方面的發明是，在上述第1方面的發明的多倒角薄 膜晶體管陣列基板中，其特征在于，所述薄膜晶體管陣列是有源矩陣型 液晶顯示裝置用的薄膜晶體管陣列。又，本發明第4方面的方面是液晶顯示裝置，其特征在于，具有從 第l方面 第3方面的發明所述的多倒角薄膜晶體管陣列基板切出的薄 膜晶體管陣列。根據本發明，為了在一片薄膜晶體管陣列基板母板上制作多個薄膜 晶體管陣列并且取出各薄膜晶體管陣列，能夠以更少的勞動力進行在切 斷后進行的切斷端面的倒角工序，同時能夠降低0LB焊盤剝落的比例， 還能夠謀求降低薄膜晶體管陣列的制造成本并且提高其質量。
圖1是用于說明具有本發明的特殊布線結構的多倒角薄膜晶體管陣 列基板的多倒角薄膜晶體管陣列基板的部分平面圖。圖2是表示現有技術的從一片母基板制作4片薄膜晶體管陣列的情 況下進行切斷的切斷線與OLB焊盤的位置關系的說明圖。圖3是用于說明設置本發明的多倒角薄膜晶體管陣列基板的布線結構的情況下的效果的部分平面圖。圖4是根據圖3的切斷線110切斷后的薄膜晶體管陣列基板的部分平面圖。圖5是沿圖4的Y-Y切斷線的剖視圖。圖6是用于說明現有技術中多倒角薄膜晶體管陣列基板上的一個薄 膜晶體管陣列與切斷線的位置關系的說明用部分平面圖。 102掃描線104OLB焊盤105信號線106檢查用布線107端面布線109用于連接掃描線102與OLB焊盤104的通孔110切斷線111倒角基準線121刻度兼OLB保護用分支布線122刻度兼OLB保護用分支布線123刻度兼OLB保護用分支布線124刻度兼OLB保護用分支布線125刻度兼OLB保護用分支布線126刻度兼OLB保護用分支布線127刻度兼OLB保護用分支布線128刻度兼OLB保護用分支布線134OLB焊盤137端面布線141刻度兼OLB保護用分支布線具體實施方式
以下參照
實施本發明的最佳形態。 圖1是用于說明具有本發明的特殊布線結構的多倒角薄膜晶體管陣 列基板的多倒角薄膜晶體管陣列基板的部分平面圖。在圖l中，121 128是刻度兼OLB保護用分支布線，107是端面布 線，104是OLB焊盤，102是掃描線，105是信號線，109是掃描線102 與OLB焊盤104連接用的通孔，110是切斷線，lll是作為倒角量的基 準的倒角基準線，112是配置象素的所謂顯示區域，106是檢查用布線。 圖1中僅表示出薄膜晶體管陣列基板的顯示區域、掃描線、信號線的一
部分。用虛線表示掃描線102的理由是，因為考慮到掃描線102所在的 層與信號線105所在的層不同，位于信號線105所在層的下方。作為刻 度兼0LB保護用分支布線，121 ~ 128中的任一條都是相同的刻度兼0LB 保護用分支布線，但是為了說明的方便標以不同的符號。本發明的多倒角薄膜晶體管陣列基板中，在檢查用布線106與OLB 焊盤104之間的布線，即橫跨切斷線IIO設置的端面布線107的兩側， 每隔規定的間隔樹枝狀地設置分支布線作為刻度兼OLB保護用分支布線 121-128。通過設置該刻度兼OLB保護用分支布線，沿切斷線110切斷 多倒角薄膜晶體管陣列基板之后，在切斷端面的角的倒角工序中，刻度 兼OLB保護用分支布線121-128成為確認倒角量時的刻度。如果能以 該刻度兼OLB保護用分支布線作為基準，就不需要刻度尺等，倒角量的 確認也就容易了。其結果是，提高了工作效率提高。而且由于設置了刻 度兼OLB保護用分支布線，OLB焊盤104也不容易剝落。下面根據附圖 進行說明。圖3是用于說明設置本發明的多倒角薄膜晶體管陣列基板的布線結 構的情況下的效果的部分平面圖。在圖3中，A是相鄰的刻度兼OLB保 護用分支布線的間隔，C是從切斷端面到倒角基準線的距離，B是從OLB 焊盤104到倒角基準線111的距離。圖4是根據圖3的切斷線IIO切斷后的薄膜晶體管陣列基板的部分 平面圖。圖5是沿圖4的Y-Y切斷線的剖視圖。在圖5中，501是表示進行 倒角時被削掉部分的線(以下稱"倒角線")。如果倒角進行到倒角線 5 01處，像從圖5中可以理解的那樣，到倒角線501為止的端面布線107、 刻度兼OLB保護用分支布線126、刻度兼OLB保護用分支布線127，將 被削掉。在這種情況下，如果沒有設置刻度兼OLB保護用分支布線，則 在端面布線107上施加的力原封不動施加于OLB焊盤104， OLB焊盤104 就容易被剝落。另一方面， 一旦設置刻度兼OLB保護用分支布線，雖然 刻度兼OLB保護用分支布線126、刻度兼OLB保護用分支布線127被削 掉，但刻度兼OLB保護用分支布線128因為對應于該分支布線的面積的 力被固定在基板上，所以不會從基板上剝離，端面布線107上施加的力 被刻度兼OLB保護用分支布線128所抑制，可以防止OLB焊盤從基板上剝離。另外，為了防止OLB焊盤剝離等，有必要一邊確認倒角量一邊進行 作業，然而，如果設置刻度兼OLB保護用分支布線，就能夠不另外使用 其他刻度尺等而是以刻度兼OLB保護用分支布線為基準進行工作。下面 根據圖3進行說明。當將倒角進行到倒角基準線111附近的情況下，如 果沒有設置刻度兼OLB保護用分支布線，則需要經常確認離OLB焊盤的 距離，并經常確認該距離是B以上的距離。可是，多倒角薄膜晶體管陣 列基板上的這些布線和OLB焊盤是微小的東西，其確認是非常困難的。 另一方面，設置刻度兼OLB保護用分支布線，并且將相鄰的刻度兼OLB 保護用分支布線的間隔A作成預定的值，由此，在設置刻度兼OLB保護 用分支布線的情況下，可以以預先留下從OLB焊盤開始第幾個條刻度兼 OLB保護用分支布線為合適作為基準進行倒角作業。在圖4的情況下， 能夠削切到刻度兼OLB保護用分支布線到127為止，留下刻度兼OLB保 護用分支布線128即可。采用這種作業方法，不需要其他刻度尺等，工 作也簡單可靠。另外，本發明的多倒角薄膜晶體管陣列基板的制造方法因為是公知 的光刻工序。因此其"i兌明省略。而且，如上所述的發明是基于連接在掃描線上的OLB焊盤104相連 接的端面布線的刻度兼OLB保護用分支布線進行的，但是連接于信號線 的圖1所示的OLB焊盤134上連接的端面布線137的情況也相同，如圖 1所示，只要對端面布線137設置刻度兼OLB保護用分支布線141等即 可。而且即使不是信號線或掃描線，也能夠適用于形成與本實施例相同 布線結構的情況下的端面布線。
權利要求
1.一種多倒角薄膜晶體管陣列基板，在一片母基板上配置多個薄 膜晶體管陣列，各薄膜晶體管陣列具有 在絕緣基板上縱橫列配置的信號線和掃描線； 在所述信號線和掃描線的各交點附近形成的顯示元件；以及 在從所述母基板切斷之后，為與外部進行連接而形成在所述絕緣基板周邊的多個外引腳接合用焊盤即下面所稱的0LB焊盤、以及連接用布線，其特征在于，在所述OLB焊盤外，在與表示為將該薄膜晶體管陣列從所述多倒角薄膜晶體管陣列基板切出而切斷所述多倒角薄膜晶體管陣列基板的位置的切斷線相交叉的端面布線的兩側，以規定間隔距離設置分支布線即 刻度兼OLB保護用分支布線。
2. 如權利要求l所述的多倒角薄膜晶體管陣列基板，其特征在于， 所述刻度兼OLB保護用分支布線用于確認所述顯示裝置用基板的端面到所述OLB焊盤的尺寸的刻度并且用于防止所述OLB焊盤從所述顯示裝置用基板上剝離。
3. 如權利要求1所述的多倒角薄膜晶體管陣列基板，其特征在于， 所述薄膜晶體管陣列是有源矩陣型液晶顯示裝置用的薄膜晶體管陣列。
4. 一種液晶顯示裝置，其特征在于，具有從權利要求1 ~ 3任意一項所述的多倒角薄膜晶體管陣列基板切 出的薄膜晶體管陣列。
全文摘要
本發明涉及多倒角薄膜晶體管陣列基板和液晶顯示裝置。提供在從母基板制作多個薄膜晶體管陣列的多倒角薄膜晶體管陣列基板上，為取出各薄膜晶體管陣列而在切斷之后進行的切斷端面的角的倒角工序中，使倒角量的確認容易進行，同時使OLB焊盤不容易從基板上剝離下來，能降低OLB焊盤被剝離的幾率的布線結構。在多倒角薄膜晶體管陣列基板上，在OLB焊盤與切斷邊界線為止的端面布線上，在該布線的兩側以規定間隔配置作為分支布線的刻度兼OLB保護用分支布線，在將薄膜晶體管陣列從母基板上切斷之后進行倒角時，刻度兼OLB保護用分支布線成為確認從基板的端面到OLB用焊盤的尺寸時的刻度，且有使得OLB焊盤不容易從基板上剝離的效果。
文檔編號H01L27/12GK101145565SQ20071015391
公開日2008年3月19日 申請日期2007年9月13日 優先權日2006年9月15日
發明者川野英郎, 砂山英樹 申請人:龍騰光電(控股)有限公司