專利名稱：矩形閘閥的制作方法
技術領域：
本發明大體上涉及矩形真空閘閥，更具體地說，涉及一種具有改進 的驅動動作的矩形真空閘閥，其中，第一引導槽精確地引導閥的向上和 向下的運動，而上端彎曲的倒7'形的第二引導槽精確地引導閥的向前和向后的運動，這樣，可靠地實現了主軸的L形兩級驅動動作。
背景技術：
在由本發明的申請人提交的韓國專利申請No. 10-2003-0071906 (發 明名稱間縫闊(slitvalve))中提出了一種間縫閥，該間縫閥構造成 使得圍繞晶片移動通道布置的密封件的結構得以改進，從而防止可打開 地關閉晶片移動通道的密封件損壞，并且可以利用設置在閥驅動單元中 的指示器觀察閥操作時的狀態。圖1是表示傳統縫隙閥的剖視圖。參照圖1， No. 10-2003-0071906 的縫隙閥包括密封件100，該密封件100打開或關閉晶片移動通道；殼 體支架200，該殼體支架200與密封件100分開地設置；主軸400，該主 軸400在密封件100和殼體支架200之間延伸預定長度；以及閥驅動單 元300，該閥驅動單元300設置在殼體支架200中。該閥驅動單元300包 括氣缸310，該氣缸310通過氣壓操作；活塞320，該活塞320設置在 相應的氣缸310中；活塞桿330，該活塞桿330接合至相應的活塞320; 活動單元340，該活動單元340接合至活塞桿330;以及連桿350，該連 桿350連接在活動單元340和主軸400之間。在具有上述結構的傳統縫隙閥中，設置在殼體支架200中的氣缸310 的活塞320根據供應至氣缸310中的壓縮空氣的壓力變化而向上或向下 運動。此時，活動單元340與活塞320 —起運動。同時，通過連桿350 接合至活動單元340的主軸400也向上或向下運動。由此，密封件100打開或關閉晶片移動通道。另外，如圖2所示，縫隙閥的閥驅動單元300進行使主軸400向上 或向下運動的第一驅動步驟和使主軸400向前或向后運動的第二驅動步 驟，以利用密封件100打開或關閉晶片移動通道，也就是說，進行L形 驅動動作。為了實現L形驅動動作，在閥驅動單元300中形成具有L形 的引導槽。然而，因為在引導槽具有直角的L形，即具有線性移動軌跡的情況 下，連桿350在結構上形成彎曲運動路徑，因此存在難以精確且平滑地 引導閥驅動單元300的L形驅動運動的問題。另外，如圖2所示，在由具有直角的L形的引導槽351引導連桿350 的情況下，由于反復摩擦而在連桿和引導槽的角部引起應力集中。此外， 當插入在引導槽中的連桿圍繞引導槽的角部轉動時，會出現不期望的微 小間隙，如圖2所示。因此，存在不能精確地控制用于打開或關閉晶片 移動通道的密封件的運動的問題。發明內容因而，鑒于現有技術中出現的上述問題而作出了本發明，并且本發 明的目的在于提供一種具有改進的驅動動作的矩形真空閘閥，其中，第 一引導槽精確地引導所述閥的向上和向下的運動，并且上端彎曲的倒'J' 形的第二引導槽精確地引導所述閥的向前和向后的運動，這樣，可靠地 實現了主軸的L形兩級驅動動作。為了實現上述目的，本發明提供了一種矩形真空閘閥，該閘閥包括 用于打開和關閉晶片移動通道的密封件；主軸，該主軸在其上端處接合 至所述密封件，且從該主軸的側壁伸出有引導件；殼體支架，該殼體支 架中具有第一引導槽，該第一引導槽垂直地形成在所述殼體支架中，并且所述主軸的所述引導件插入該第一引導槽中；設置在所述殼體支架中 的閥驅動單元，該閥驅動單元具有通過空氣壓力操作的氣缸、設置在所 述氣缸中的活塞以及接合至所述活塞的活塞桿；接合至所述活塞桿的活 動單元，以及連接在所述活動單元和所述主軸之間的連桿；引導支架，該引導支架具有垂直支架和水平支架，該垂直支架從所述殼體支架的下 表面向下延伸，且在該垂直支架的縱向表面中形成有第二引導槽，該水 平支架接合至所述垂直支架的下端；以及引導連桿，該引導連桿的第一端接合至所述主軸的外周面，并且第二端插入到所述第二引導槽內，該 弓I導連桿沿著所述第二弓I導槽運動以弓I導所述主軸的運動。 優選的是，所述第二引導槽可具有上端彎曲的倒'J'形。 另外，所述矩形閘閥還可包括傳感器，該傳感器設置在所述活動單 元的外周面上以檢測所述活動單元的位置。
結合附圖從以下的詳細描述中將更清楚地理解本發明的上述及其它 目的、特征和優點。圖1是表示傳統縫隙閥的結構的剖視圖； 圖2是表示傳統縫隙閥的連桿運動的視圖；圖3是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥在該閥的晶片 移動通道打開時的操作的視圖；圖4是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥在晶片移動通 道關閉時的操作的視圖；以及圖5至圖7是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥的操作 的側剖視圖。
具體實施方式
下面將參照附圖詳細描述本發明的優選實施方式。現在參照附圖， 其中在不同的附圖中使用相同的附圖標記表示相同或相似的部件。圖3和圖4是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥的操作 視圖。圖5至圖7是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥的操 作的側剖視圖。本發明的矩形真空閘閥包括密封件100、殼體支架200、 閥驅動單元300、主軸400、引導支架500以及引導連桿600。該矩形真 空閘閥具有第一引導槽210、氣缸310、活塞320、活塞桿330、活動單元340，連桿350、壓縮空氣入口 360、傳感器370、引導件410、垂直支 架510、水平支架520以及第二引導槽530。密封件100接合至主軸400 (稍后予以介紹)的上端，從而密封件 100根據主軸400沿著L形運動軌跡的運動而打開或關閉晶片移動通道 (未示出)，主軸400在向上和向下方向以及向前和向后方向上沿著該L 形運動軌跡運動。殼體支架200與密封件100分開地設置，并在其中具有閥驅動單元 300 (稍后將對其進行詳細描述)。此外，引導支架500 (稍后將對其進行 詳細描述)設置在殼體支架200的下表面之下。同時，第一引導槽210垂直地形成在殼體支架200中。主軸400的 引導件410插入在相應的第一引導槽210中。第一引導槽210因而用于 引導主軸400的垂直運動。閥驅動單元300包括氣缸310、活塞320、活塞桿330、活動單元340、 連桿350、壓縮空氣入口 360以及傳感器370。各活塞320和各活塞桿330 一起設置在相應的氣缸310中，活塞320通過被吸入相應壓縮空氣入口 360內的空氣的壓力而操作，活塞桿330接合至相應的活塞320并沿著平 行于殼體支架200的縱向的方向垂直地往復運動。另外，活動單元340接合至活塞桿330,因而沿著與活塞桿330相 同的方向，即垂直方向往復運動。傳感器370設置在活動單元340的外 周面上。傳感器370構造成其可以檢測活動單元340的垂直運動。例如， 優選的是構造成可以利用磁體(未示出)，也就是說利用由磁體限定的磁 場來檢測活動單元340的位置。連桿350的第一端接合至活動單元340，而第二端接合至主軸400 (稍后將在這里迸行描述)。這樣，連桿350根據氣缸310中的壓力變化 而引導主軸400的垂直往復運動。密封件100接合至主軸400的上端。動力通過連桿350從閥驅動單 元300的活動單元340傳輸到主軸400的下端。主軸400通過傳輸給它 的動力而垂直運動。從而接合至主軸400的上端的密封件100與主軸400 一起沿著垂直方向運動。同時，引導連桿600設置在主軸400的下端的外周面上，以引導密 封件100和主軸400的向上、向下、向前和向后的運動。另外，引導件410從主軸400的側壁的各相對部分伸出。引導件410 沿著形成在殼體支架200中的第一引導槽210運動。引導支架500包括垂直支架510和水平支架520，并且在其中具有 第二引導槽530。垂直支架510從殼體支架200的下表面的相應的左右部分向下延伸。 第二引導槽530縱向形成在垂直支架510的彼此面對的相應縱向表面中。 此外，將垂直支架510彼此連接的水平支架520接合至垂直支架510的 下端。水平支架520用于防止垂直支架510由于主軸400和閥驅動單元 300的往復運動所產生的振動而向內或向外彎曲，因而保持垂直支架510 的位置不變。同時，各第二引導槽530具有上端彎曲的倒7，形。引導連桿600 插入到垂直支架510的相應的第二引導槽530中，并沿著第二引導槽530 的彎曲形狀運動，因此引導主軸400和密封件100的向上、向下、向前 和向后運動。連桿用于將直線運動轉變成轉動運動。因為在傳統縫隙閥的連桿的 情況下，連桿在其運動時在結構上形成彎曲的運動路徑，所以難以精確 地引導垂直運動和水平運動，也就是說，難以引導L形的兩級運動，如 圖2所示。然而，在本發明中，因為引導連桿600的轉動運動通過均具 有倒'J'形的第二引導槽530而轉換成向前和向后的直線運動，而不會 形成不希望的間隙，所以主軸400和設置在該主軸400上的密封件100 可以精確地向前或向后運動，從而可靠地打開或關閉晶片移動通道。另外，在傳統的縫隙閥中，為了引導L形的兩級運動，必須在活動 單元340和主軸400之間插設彈簧(未示出)。然而，在這種情況下，因 為彈簧的彈力變化，所以不能精確地控制L形的兩級運動。與傳統技術 不同，本發明的特征在于，因為連桿的轉動運動通過第二引導槽轉換成 直線運動，所以不管是否有彈簧，都可以平滑精確地控制其L形的兩級 運動。引導連桿600的第一端接合至主軸400的外周面。引導連桿600的 第二端插入到上端彎曲成具有倒'J'形的相應的第二引導槽530中，使 得引導連桿600通過主軸400的垂直運動而沿著第二引導槽530運動。下面在這里參照圖5至圖7描述具有上述結構的矩形真空閘閥的操 作。必要時將參照圖3和圖4對矩形真空閘閥的操作進行如下描述。因 為上面已經參照圖3和圖4描述了部件的詳細結構，因此這里省略對其 的描述。首先，將說明密封件關閉晶片移動通道的過程。圖5是表示根據本發明優選實施方式的矩形真空閘閥的操作的剖視 圖，表示晶片移動通道的打開狀態，即閘閥在其操作之前的狀態。在圖5的狀態下，為了關閉晶片移動通道，當壓縮空氣供應到壓縮 空氣入口 360中時，矩形真空閘閥進入圖6的狀態。更詳細地說，設置 在相應氣缸310中的活塞320通過供應到壓縮空氣入口 360內的空氣的 壓力而向上運動。當活塞320向上運動時，接合至各活塞320的活塞桿 330以及接合至活塞桿330的活動單元340同時向上運動。另外，在其第 一端處接合至活動單元340并且在其第二端處接合至主軸400的連桿350 沿著逆時針方向轉動。此時，從活動單元340接收動力的主軸400垂直向上運動。當主軸 400向上運動時，引導件410 (其沿著相對的橫向從主軸400伸出并且插 入到形成在殼體支架200的內表面中的各第一引導槽210內)沿著第一 引導槽210運動。此外，當連桿350轉動時，插入到引導支架500的相應的第二引導 槽530中的引導連桿600也沿著第二引導槽530向上運動，并且在上端 彎曲的具有倒7'形的各第二引導槽530的上端處沿著順時針方向轉動。 此時，主軸400和密封件100通過引導連桿600的轉動而向后運動，因 此，關閉晶片移動通道，如圖7所示。接下來，在下面對密封件打開晶片移動通道的過程進行描述。當處于圖7的關閉狀態下時，為了打開晶片移動通道，在通過壓縮 空氣入口 360供應到氣缸310中的壓縮空氣通過壓縮空氣入口 360排出到外部時，氣缸310中的壓力降低。于是，插入在各第二引導槽530中 的引導連桿600沿著逆時針方向轉動。這里，緊接著引導連桿600從第 二引導槽530的彎曲部分運動離開之后，引導連桿600沿著垂直向下方 向運動，并且同時插入在各第一引導槽210中的引導件410沿著垂直向 下方向運動，因而進入圖6的狀態。同樣，當引導連桿600和引導件410向下運動時，活動單元340以 及通過連桿350接合至該活動單元340的主軸400同時沿著垂直向下方 向運動，因而打開晶片移動通道。此時，連桿350沿著順時針方向轉動。如上所述，本發明提供了一種矩形真空閘閥，該閘閥構造成這樣， 即，第一引導槽精確地引導該閥的向上和向下的運動，而倒7'形的第 二引導槽精確地引導該閥的向前和向后的運動。這樣，本發明具有可以 可靠地進行主軸的L形兩級驅動動作的優點。
權利要求
1. 一種矩形閘閥，該矩形閘閥包括密封件，該密封件用于打開和關閉晶片移動通道；主軸，該主軸的上端接合至所述密封件，且從該主軸的側壁伸出有引導件；殼體支架，該殼體支架中具有第一引導槽，該第一引導槽垂直地形成在所述殼體支架中，并且所述主軸的所述引導件插入該第一引導槽中；設置在所述殼體支架中的閥驅動單元，該閥驅動單元包括通過空氣壓力進行操作的氣缸；設置在所述氣缸中的活塞；接合至所述活塞的活塞桿；接合至所述活塞桿的活動單元；以及連接在所述活動單元和所述主軸之間的連桿；引導支架，該引導支架包括垂直支架，該垂直支架從所述殼體支架的下表面向下延伸，且具有形成在該垂直支架的縱向表面中的第二引導槽；以及水平支架，該水平支架接合至所述垂直支架的下端；以及引導連桿，該引導連桿的第一端接合至所述主軸的外周面，并且該引導連桿的第二端插入到所述第二引導槽中，所述引導連桿沿著所述第二引導槽運動以引導所述主軸的運動。
2、 根據權利要求l所述的矩形閘閥，其中，所述第二引導槽具有上 端彎曲的倒'J'形。
3、 根據權利要求l所述的矩形閘閥，該閘閥還包括傳感器，該傳感器設置在所述活動單元的外周面上以檢測所述活動 單元的位置。
全文摘要
本發明提供了一種具有改進的驅動動作的矩形真空閘閥。本發明的矩形閘閥包括打開或關閉晶片移動通道的密封件；接合至密封件并具有引導件的主軸；具有第一引導槽的殼體支架，引導件插入該第一引導槽中。該閘閥還包括設在殼體支架中的閥驅動單元，該閥驅動單元具有氣缸、設在氣缸中的活塞、接合至活塞的活塞桿、接合至活塞桿的活動單元及連接在活動單元和主軸之間的連桿。該閘閥還包括引導支架，該引導支架具有從殼體支架向下延伸的垂直支架、形成在該垂直支架中的第二引導槽及接合至垂直支架的水平支架。該閘閥還包括引導連桿，該引導連桿的第一端接合至主軸并且其第二端插入第二引導槽，使得引導連桿沿第二引導槽運動以引導主軸的運動。
文檔編號H01L21/02GK101276729SQ20071011265
公開日2008年10月1日 申請日期2007年6月26日 優先權日2007年3月29日
發明者金培鎮 申請人:株式會社Sts