專利名稱：物品收納用容器的防振機構的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種物品收納用容器(以下，稱之為"Front-Opening Unified Pod: FOUP")的防振機構。除懸垂式升降搬運臺車(以下，稱之為"Overhead Hoist Transport: OHT臺車)、輥式傳送帶外，依靠按此看待的搬運裝置沿規定路徑進 行搬運的FOUP等容器，在搬運過程中往往會受到振動。本發明涉及 一種用于抑制該振動傳遞給FOUP內部插拔自如地收納了多枚晶片、 液晶板等物品的物品收納用容器的防振機構。
背景技術：
近年來，為了沿潔凈室里的工序內以及工序間環狀軌道配置，在 對晶片施行各種表面處理(形成薄膜、光刻、清洗、蝕刻、檢測等) 的一連串處理工作臺施行必要的處理，多半使用OHT臺車搬運收納了 上述晶片的容器(FOUP)。襯底的處理工序按收納襯底的FOUP上安裝的標簽予以管理，標 簽的內容也隨著襯底處理工序的進展逐步更新。襯底處理工序由附著 于FOUP的標簽信息特定，以后的必要處理根據該標簽信息由計算機 進行管理。這樣在多個處理工作臺上，為了逐個搬運襯底依次接受不同種類 的處理，搬運中就要保持氣密狀態并在處理工作臺接受規定的處理， 因此，使用一種前面的門被敞開，且襯底可用機械手逐個插拔這樣結 構的FOUP。迄今通用的FOUP結構用圖6表示如下。在該圖6中，31為主體， 31a為敞開面。從該敞開面31a觀察，在位于兩側的兩側面上，設置有 可用手工實現搬運的側部法蘭31b。 31c為法蘭，并由后述的OHT臺 車鉤爪部夾持，因此，主體31以及安裝于上述敞開面31a的蓋體32 予以整體升降、搬運。
31d為擱片構件，在敞開面31a上形成凹凸狀擱片部，該凹部狀 擱片部可水平地保持多枚(例如，24枚)用未圖示的機械手(設置于 處理工作臺)插拔的襯底(晶片、液晶板等)。
并且，該擱片構件31d整體地固定于FOUP主體31，或者與FOUP 主體31成形為一個整體。
而且，上述蓋體32在搬運FOUP主體31時，對該FOUP主體31 的敞開面31a保持氣密狀態，在處理處理工作臺所收納的襯底之前， 通過配備于該處理工作臺的未圖示的加鎖或解鎖裝置對閉鎖構件32a 施行解鎖(圖示的狀態)，從而與FOUP主體31分離。
接著，在上述處理工作臺上，全部襯底處理完了，收納了處理過 的襯底的FOUP主體31在搬運之前，用蓋體32覆蓋敞開面31a，通過 加鎖或者解鎖裝置對上述閉鎖構件32a施行加鎖。
但是，當搬運晶片等襯底時，襯底會相對襯底搬運用容器的襯底 支撐部移動，使支撐構件與襯底之間產生碰撞、摩擦等，大多會給襯 底帶來不良化的危險。
因此，例如，開發出一種在處理裝置之間的搬運或運到下一道工 序之前的保管晶片等方面使用的晶片托架，并作為下述專利文獻1予 以公開。艮口，專利文獻l的晶片托架，首先，逐個將晶片9的周緣部夾入 形成于托架主體2內壁的一連串槽部3內。
其次，由具有柔性的坯料形成的舌形片5，將晶片9壓緊在上述 槽部3的一個側面上，使晶片9與托架主體2成為一個整體，從而將 槽部3內晶片9維持不移動的穩定狀態。
另一方面，用行駛臺車搬運襯底時，以襯底的防振為目的，已有 下述專利文獻2。
該專利文獻2上公開的技術，特別是關于在具有大形化傾向的襯 底搬運中，其特征在于抑制從懸掛支撐該支撐部8的行駛臺車部7 向收納襯底1的支撐部8傳遞振動。
艮P，與被搬運襯底1的大形化相適應，在支撐部8內沿縱向配置 該襯底l，并彈性地支撐行駛臺車部7與支撐部8。
為此作為其具體裝置，設置有防振機構22，該防振機構22可吸 收構成行駛臺車部的垂直、行駛、行駛正交立體的三方向上各自的振 動。
日本專利文獻l:特許第3212890號 日本專利文獻2:特開2004-359436
以往，在處理工作臺，晶片等的襯底逐個接受不同處理的搬運中， 例如，使用圖6所示的FOUP。
在該FOUP中，主體31與擱片構件31d按照規定的配置固定在一 起，因此，搬運時FOUP主體31受到的振動仍然傳遞至擱片構件31d。因而，水平狀態插拔自如地逐個裝載于擱片構件31d里的多枚襯
底，也仍然會受到FOUP主體31搬運時受到的振動。
該振動是由FOUP主體加減速時產生的慣性力所受到的振動與來 自驅動部發生的微振動等合成生成的，所以其發生不能避免。
這樣，施與擱片構件31d的振動，使襯底離開該擱片構件31d的 襯底裝載面彈起，或者使襯底裝載面與襯底之間產生摩擦，從而有可 能給襯底帶來不良化的影響。
發明內容
因此，本發明的目的，在于提供一種容器彈性地支撐擱片構件的 技術，即，在使用OHT臺車等驅動裝置進行搬運，并具有擱片構件以 保持水平狀態逐個插拔自如地支撐多枚晶片等襯底的擱片構件的 FOUP等容器中，在該容器的搬運中，當受到除了加減速時的慣性力 引起的振動外，還有受到來自驅動源引起的微振動時，用作抑制這些 振動向擱片構件傳遞并防止包括支撐于擱片構件的晶片等襯底的各物 品損傷損傷的裝置。
為了解決上述問題，第一方面記載的物品收納用容器的防振機構， 為一種物品收納用容器的防振機構，其特征在于具有，
物品收納用容器，該物品收納用容器通過行駛的搬運裝置沿規定 路徑進行搬運，并具有支撐被搬運物品的擱片構件，和
彈性構件，該彈性構件在上述搬運裝置運作時，抑制上述容器受 到的振動向上述擱片構件傳遞，
上述彈性構件配置于上述物品收納用容器支撐上述擱片構件的適 宜位置，上述容器通過上述彈性構件支撐上述擱片構件。
根據該第一方面涉及的發明，裝載被搬運物品的擱片構件，即使 在內部保有該擱片構件的容器通過OHT除外的搬運裝置而受到各種振動，仍然不會受到上述各種振動而處于被抑制的狀態。
因而，通過對彈性體的規格適當地限定，該彈性體相對容器彈性 地支撐擱片構件從而在容器與擱片構件之間實現振動傳遞抑制的作 用，只要設定不用擔心損傷被搬運物的程度，就能夠不給被搬運物造 成損傷而且安全地搬運。
并且，在抑制受到搬運裝置的振動傳遞給被搬運物品時，只是采 用實施于容器內部的極其簡單的防振裝置，因此，很容易實現采用以 現行的FOUP規格為前提構成的轉載機器與選配。
第二方面記載的物品收納用容器的防振機構為，在第一方面記載 的物品收納用容器的防振機構方面，其特征在于， 上述被搬運物品為晶片，
上述擱片構件為沿水平方向插拔自如地保持上述晶片的構件，
收納上述擱片構件的容器為FOUP。
根據第二方面涉及的發明，先前引用的第一方面涉及的發明效果
自不待言，如果從搬運裝置傳遞至FOUP的振動仍然傳遞至晶片的話， 即使在該晶片達到受到損傷程度的情況下，以插拔自如的狀態裝載于 FOUP內擱片構件上的晶片，也能夠切實地防止受到可能帶來其不良化 影響的的振動。
第三方面記載的物品收納用容器的防振機構為，在第一方面記載
的物品收納用容器的防振機構方面，其特征在于， 擱片構件其上下各端面具有多個突起，
上述物品收納用容器其上下各面的規定處具有該突起可松嵌尺寸
的孔，
上述各突起通過上述彈性構件分別支撐于相對應的上述孔。根據第三方面的發明，先前引用的第一方面或第二方面涉及的發 明效果自不待言，而且，規范設置于擱片構件側的突起與形成于容器 側的孔的相對位置關系，準確地實現擱片構件相對FOUP等容器的定 位。并且，通過位于上述孔與突起之間的彈性構件的材料、尺寸等的 選擇，也可得到所需防振效果。
第四方面記載的物品收納用容器的防振機構為，在第一方面記載 的物品收納用容器的防振機構方面，其特征在于，
上述彈性構件介于上述擱片構件的上下端面部之間，對上述物品 收納用容器彈性支撐上述擱片構件。
根據第四方面的發明，先前引用的第一方面或第二方面涉及的發 明效果自不待言，通過下述這種極其簡單的結構，即，在通用的擱片 構件上下端部與和其相對的容器的上下端部之間介入具有必要防振功 能的彈性構件，被搬運物品的不良化能夠得到切實的防止。
第五方面記載的物品收納用容器的防振機構為，在第四方面記載 的物品收納用容器的防振機構方面，其特征在于，上述彈性構件為板 簧。
根據第五方面的發明，先前引用的第四方面涉及的發明效果自不 待言，而且，可削減對容器固定擱片構件所需的工時。
第六方面記載的物品收納用容器的防振機構為，在第一方面記載 的物品收納用容器的防振機構方面，其特征在于，搬運裝置為在工序 內或者工序間的環狀軌道上行駛的懸垂式升降搬運裝置。
根據第六方面涉及的發明，先前引用的第一方面涉及的發明效果 自不待言，尤其還能夠抑制通過OHT臺車搬運的物品受到的振動。搬 運速度變成高速后，始動、制動時發生的慣性力存在增大的傾向，振動也增大。而且，在OHT臺車中，驅動部與FOUP等的容器可裝卸自 如，因此，難以在其間介入減振構件。但是，根據該第六方面涉及的 方面，可抑制通過OHT臺車搬運的物品受到的振動。
第七方面記載的一種通過行駛的搬運裝置沿規定路徑進行搬運的 物品收納用容器，其特征在于:具有，
擱片構件，該擱片構件支撐被搬運物品，和
彈性構件，該彈性構件在上述搬運裝置運作時抑制上述容器受到 的振動向上述擱片構件傳遞，
上述彈性構件配置于上述物品收納用容器支撐上述擱片構件的適 宜位置，上述容器通過上述彈性構件支撐上述擱片構件。
根據該第七方面涉及的發明，裝載被搬運物品的擱片構件，即使 在內部保有該擱片構件的容器通過OHT除外的搬運裝置而受到各種 振動，仍然不會受到上述各種振動而處于被抑制的狀態。
因而，通過對彈性體的規格適當地限定，該彈性體相對容器彈性 地支撐擱片構件從而在容器與擱片構件之間實現振動傳遞抑制的作 用，只要設定不用擔心損傷被搬運物的程度，就能夠不給被搬運物造 成損傷而安全地搬運。
并且，在抑制受到搬運裝置的振動傳遞給被搬運物品時，只是采 用施加于容器內部的極其簡單的防振裝置，因此，很容易實現采用以 現行的FOUP規格為前提構成的轉載機器與選配。
專利文獻1上公開的晶片托架，在晶片的搬運過程中對受到的各
種振動，即使能夠防止晶片與其支撐面之間的碰撞以及摩擦，但很難 應用于本申請發明。
艮卩，本申請發明是以沿水平方向插拔自如地收納多枚襯底(晶片除外)的方式，把擱片構件設置在FOUP等容器內的結構作為基礎，在晶 片搬運過程中，要沿縱向使多枚晶片對各支撐面不能位移，除晶片搬 運過程之外，和從容器內逐個取出晶片的專利文獻1的技術用途不同。
若研究將專利文獻1的技術應用本發明申請，則由于晶片的保持/ 敞開機構緣故，使容器整體的尺寸增加，或者使機構更加復雜化，進 而難以生成應用現行的FOUP規格為前提構成的轉載機器與選配。
另一方面，專利文獻2上公開的搬運裝置配備有防振機構22，該 防振機構22在材料(襯底)支撐部8沿縱向收納多枚材料(襯底)1， 并在行駛臺車部7與材料(襯底)支撐部8之間，相對行駛臺車部7 的行駛方向在前后、左右、上下三方向吸收各自的振動。
通過該結構，相對收納于材料(襯底)支撐部8，被搬運的材料 (襯底)而言，行駛臺車部7在行駛時所發生的下列(1) (3)各 項記載的各種振動，借助于防振機構22能夠得到切實的抑制，襯底受 到的振動引起的襯底損傷也能夠得到防止。
(1) 行駛臺車部7的驅動部發生的微振動
(2) 行駛臺車部7在加減速時產生的慣性力而引起的振動
(3) 伴隨行駛臺車部7的行駛產生的風壓而引起的振動 的確，上述專利文獻2上公開的技術，在搬運裝置搬運襯底的過
程中，能夠抑制由搬運裝置的搬運臺車部7發生的各種振動傳遞給被 搬運襯底l，并防止襯底1的振動而引起的損傷。
但是，該專利文獻2的技術中，具有驅動源的搬運臺車部7和保 持材料(襯底)1的材料(襯底)支撐部6通過防振機構22而處于連 結狀態，所以無法解除該連結狀態。
因此，材料(襯底)l在特定位置，集中多枚安裝于材料(襯底)支撐部8，利用搬運臺車部7在其它特定位置從材料(襯底)支撐部 8取出，因此，無法應用在以逐個插拔作為基礎的本申請發明里。
圖1為用于說明本發明實施例1中FOUP與搬運該FOUP的OHT
臺車的關系的側視圖。
圖2為表示本發明實施例1中FOUP主體部的內部結構立體圖。 圖3為表示本發明實施例1中FOUP的主要部分結構剖視圖。 圖4為用于表示本發明實施例2的主要部分結構典型圖。 圖5為用于表示本發明實施例3的主要部分結構典型圖。 圖6為作為本發明實施基礎的通用FOUP立體圖。
標號說明
2 OHT臺車
3、 13、 23 FOUP
3e、 13e、 23e擱片構件
3ex、 13ex、 23ex擱片
3ey 突起
3g、 13g 彈性體
23g板簧
具體實施方式
[實施例1]
以下，邊參照附圖邊說明本發明的優選實施方式。
首先，說明與本實施方式相關的附圖概要，圖1為用于說明應用 本發明的FOUP與搬運該FOUP的OHT臺車的關系的側視圖，圖2為 表示實施本發明的FOUP主體部的內部結構立體圖，圖3為表示FOUP 本發明的主要部分結構剖視圖。接著，參照圖1說明應用本發明的FOUP和作為該FOUP搬運裝 置的OHT臺車的關系。
圖l中，l為行駛軌道，它表示0HT臺車2的工序內或者工序間 環狀軌道的一部分。該OHT臺車2使用其導向、驅動部2a中未圖示 的行駛輪與導向輪，由行駛軌道l設定行駛。
此時，所需動力由公知裝置獲得，該公知裝置為配備于行駛輪的 驅動電動機，或者配備于軌道一側與OHT臺車兩側分別設置的次級 側、初級側的直流線性電動機。
2b為定位機構，該定位機構2b實現后述容器(FOUP)的與上述 行駛軌道l上OHT臺車的行駛方向垂直的方向以及轉動方向的位移調 整。2c為帶狀皮帶，其構造是，在OHT臺車2行駛方向的前后左右設 有4條，通過OHT臺車2內配備的升降機構2d伸縮自如地進行控制， 并可使升降體2e升降。并且，在該帶狀皮帶2c的內部，埋設向升降 體2e供給電力以及交換控制信號的電線(未圖示)。
2f為夾片構件，該夾片構件2f為升降體2e的一個結構要件，沿 圖示的左右方向可位移地被支撐。3為作為被搬運物的FOUP，包括主 體3a、蓋體3b、借助上述夾片構件2f的運作而接受夾持或者解除夾 持的法蘭3c、利用手工搬運裝置的法蘭3d以及從主體開口部一個個插 拔自如地裝載多枚晶片4的擱片構件3e。在該擱片構件3e中，沿上下 方向設置有不讓晶片4相互接觸而逐個裝載的一連串擱片3ex。
接著，參照圖2以及圖3，說明有關在FOUP3的內部彈性支持擱 片構件3e， FOUP3通過OHT臺車2接受搬運、升降控制時，抑制受 到的振動向擱片構件3e傳遞的結構。
需要加以說明的是，圖2以及圖3中，與圖l所示的結構要件相對應的部分標以相同符號而避免重復說明。
圖2所示的結構為在拆卸了蓋體3b (參照圖1)的狀態下，表示
包含FOUP3的內部機構，3f為一連串的孔，它形成于擱片構件3e的 上下端部相對的FOUP的上下部分。
同時參照圖3， 3ey為突起，該突起3ey從擱片構件3e的上下端 面伸出，設置于與上述一連串的孔3f相對的位置，并具有可與對應的 孔松嵌的粗細。
3g為環狀彈性構件，以周圍同等的厚度氣密填充于通過上述一連 串的孔3f與對應的突起3ey的松嵌而形成的間隙內。
而且，上述環狀彈性構件3g在組裝FOUP3的前后任何時期均可 以填充于一連串孔3f內，但突起3ey對一連串孔3f的嵌合，需要在組 裝FOUP3之前進行。
另外，通過適當選擇環狀彈性構件3g的厚度，S卩，突起3ey、與 其對應的孔3f周圍平均間隙相當的長度和環狀彈性構件3g的坯料彈 性系數，以決定環狀彈性構件3g中的抑制振動傳遞的情況。
該環狀彈性構件3g中的抑制振動傳遞情況，在考慮FOUP3的搬 運裝置(OHT臺車2、輥式傳送帶等)的條件下，以不會損傷裝載于 擱片構件3d的擱片3ex上的晶片4為原則而不升高成本，以便獲得需 要以上的抑制振動傳遞，但這并不是上策。
另外，也可以根據保持氣密的需要，將粘結劑等填充材料涂敷于 環狀彈性構件3g的內外各表面。
接著，說明上述圖1以及圖2所示的實施方式的作用。首先，假設處于待機狀態，例如，在未圖示的堆垛器中，對內部
設置了擱片構件3e的一連串擱片3ex上各自依次逐個裝載未處理的晶 片4以后，蓋體3b在主體3a的開口部處于加鎖狀態的FOUP3被搬運 至規定處理工作臺(未圖示)。
其次，通過釋放帶狀皮帶2c使OHT臺車2 —直行駛到待機狀態 的FOUP3位置，讓升降梯2e下降至FOUP3的正上方，使夾片構件 2f夾持FOUP3的法蘭3c。
進而，保持該夾片構件2f夾持FOUP3的法蘭3c的狀態并將帶狀 皮帶2c巻起，FOUP3移到OHT臺車2的內部，行駛至規定的處理工 作臺。
在該處理工作臺(未圖示)上，釋放帶狀皮帶2c，解除夾片構件 2f與FOUP3法蘭3c的扣合，OHT臺車2轉向搬運其它FOUP。
被搬運至處理工作臺并解除與法蘭3c扣合后的FOUP3，蓋體3b 解鎖，對上下排列的一連串擱片3ex上逐個裝載的晶片4順序施行規 定的處理工作臺特有處理，規定處理完了的晶片4再返回規定的擱片 3ex。
這樣一來，全部晶片4施行規定的處理并返回架3ex之后，再施 行蓋體3b的加鎖，FOUP3又用臺車施行與上述相同的操作，搬運至 所需的其它處理工作臺或者堆垛器。
但是，在各種處理工作臺依次接受不同處理的晶片4需要置放在 擱片構件3e的一連串擱片3ex上插拔自如，只是裝載在該架3ex上。
因此，假如伴隨來自OHT臺車2發生的各種振動，特別是在高速搬運處理中，行駛、升降之際的加速減速時發生的慣性力傳遞給FOUP3 的振動仍然向擱片構件3e傳遞的話，則裝載于該擱片構件3e的擱片 3ex上的晶片4會發生因彈起引起的碰撞或者與擱片3ex相摩擦，這些 情況若超過一定限度，晶片4會損傷至造成不良化的程度。
可是，如圖2所示，因為擱片構件3e通過環狀彈性體3g對FOUP 主體3a進行支撐，即使FOUP3在OHT臺車接受行駛、升降運作，其 振動也難以100%切斷，但通過根據FOUP3受到的預計振動，選定環 狀彈性體3的尺寸、材料等，也能夠實現抑制振動，以使晶片4不至 于損傷。
圖4為表示作為上述實施方式改變例的實施例2的主要部分典型 圖，在該圖4中，作為基本結構，FOUP13具有FOUP主體13a、法蘭 13c以及擱片構件13e。
并且，實施例2有特征的結構,在于擱片構件13e對FOUP主體13a
的支撐裝置。
具體地對該支撐裝置加以說明，即，不具有擱片構件13e的擱片 13ex的上下兩端部13ey以彈性體13g保持著。
另外，該彈性件13g固定于在與擱片構件13e的上下兩端部13ey 相對應的位置所形成的支撐部13ax上。
通過上述圖4所示的結構，在FOUP13受到OHT臺車除外的搬 運裝置通過法蘭13c的上述各種振動時，該各種振動通過彈性體Bg， 按與該彈性體13g特性相應的比例衰減。
因而，傳遞給插拔自如地裝載于擱片構件13e的擱片13ex上的晶片(參照圖1的符號4)的振動，即使原理上難以完全消除，但通過 對彈性體13g的適當選擇，也能夠控制在可防止上述晶片不良化的程 度。
圖5為表示作為上述實施方式改變例的實施例3的主要部分典型 圖。在該圖5中，作為基本結構，FOUP23具有FOUP主體23a、法蘭 23c以及擱片構件23e。
并且，實施例3有特征的結構，在于擱片構件23e對FOUP主體 23a的支撐裝置。具體地對該支撐裝置加以說明，即，在擱片構件23e 的上下兩端部附近配置板簧23g，各板簧23g的兩端部各自接合擱片 構件23e與FOUP主體23a的內周面。
在上述結構中，擱片構件23e通過板簧23g對FOUP主體23a給 予彈性支撐，因此，在FOUP主體23a通過OHT臺車除外的搬運裝置 接受行駛升降作用時，通過法蘭23c受到的振動受到與板簧23g的彈 性特性相應的振動抑制作用而傳遞至擱片構件23e。
因而，傳遞至插拔自如地裝載于擱片構件23e的擱片23ex上的晶 片(參照圖1的符號4)的振動，即使原理上難以完全消除，但通過 對板簧23g的適當選擇，也能夠控制到可防止上述晶片不良化的程度。
需要加以說明的是，本申請發明除收納上述硅襯底的半導體襯底 收納容器以外，也可以應用于作為掩模原版搬運容器、液晶板襯底搬 運容器等需要采取防振動措施的其它搬運容器。
雖然參照特定的實施方式詳細地說明了本發明，但是很顯然，本 領域的技術人員能夠在不脫離本發明的構思和范圍作出各種變化和修 改。本申請基于2005年10月31日申請的日本專利申請(特愿 2005-316013)，并且其內容結合于此以供參考。
工業方面可應用性
根據本發明的物品收納用容器的防振機構，裝載被搬運物品的擱 片構件，即使在內部保有該擱片構件的容器通過OHT除外的搬運裝置 而受到各種振動，仍然不會受到上述各種振動而處于被抑制的狀態。
因而，通過對彈性體的規格適當地限定，該彈性體對容器彈性地 支撐擱片構件，給容器與擱片構件之間帶來抑制振動傳遞的作用，只 要設定不用擔心損傷被搬運物的程度，就能夠不損傷而安全地搬運被 搬運物。
并且，在抑制來自搬運裝置受到的振動向被搬運物品傳遞時，僅 采用實施于容器內部的極其簡單的防振裝置，因此，很容易實現以現 行的FOUP規格為前提構成的轉載機器與選配。
權利要求
1.一種物品收納用容器的防振機構，其特征在于具有，物品收納用容器，該物品收納用容器通過行駛的搬運裝置沿規定路徑進行搬運，并具有支撐被搬運物品的擱片構件，和彈性構件，該彈性構件在所述搬運裝置運作時，抑制所述容器受到的振動向所述擱片構件傳遞，所述彈性構件配置于所述物品收納用容器支撐所述擱片構件的適宜位置，所述容器通過所述彈性構件支撐所述擱片構件。
2. 如權利要求1所記載的物品收納用容器的防振機構,其特征在于所述被搬運物品為晶片，所述擱片構件為沿水平方向插拔自如地保持所述晶片的構件，收納所述擱片構件的容器為FOUP。
3. 如權利要求1所記載的物品收納用容器的防振機構,其特征在于 擱片構件，其上下各端面上具有多個突起，所述物品收納用容器，其上下各面的規定處具有該突起可松嵌尺寸的孔，所述各突起通過所述彈性構件分別支撐于相對應的所述孔。
4. 如權利要求1所記載的物品收納用容器的防振機構,其特征在于: 所述彈性構件介于所述擱片構件的上下端面部之間，對所述物品收納用 容器彈性支撐所述擱片構件。
5. 如權利要求4所記載的物品收納用容器的防振機構,其特征在于 所述彈性構件為板簧。
6. 如權利要求1所記載的物品收納用容器的防振機構,其特征在于 搬運裝置為在工序內或者工序間的環狀軌道上行駛的懸垂式升降搬運裝置。
7. —種通過行駛的搬運裝置沿規定路徑進行搬運的物品收納用容 器，其特征在于具有，擱片構件，該擱片構件支撐被搬運物品，和彈性構件，該彈性構件在所述搬運裝置運作時，抑制所述容器受到 的振動向所述擱片構件傳遞，所述彈性構件配置于所述物品收納用容器支撐所述擱片構件的適 宜位置，所述容器通過所述彈性構件支撐所述擱片構件。
全文摘要
本發明提供一種物品收納用容器的防振機構，其目的在于抑制振動向擱片構件傳遞，并防止損傷擱片構件上所支撐的襯底。該防振機構的結構為，由另外構件構成FOUP主體(3a)和配備于該FOUP主體(3a)的擱片構件(3e)，彈性體(3g)介于FOUP主體(3a)與擱片構件(3e)之間，使擱片構件(3e)對FOUP主體(3a)進行彈性支撐。
文檔編號H01L21/67GK101300672SQ20068004049
公開日2008年11月5日 申請日期2006年10月31日 優先權日2005年10月31日
發明者村田正直 申請人:日本亞仕帝科技株式會社