專利名稱：：電極構造體、電容器和電極構造體的制造方法
技術領域：
：本發明一般涉及電極構造體、電容器和電極構造體的制造方法，特別涉及作為電容器等的電極材料來使用的電極構造體、具有該電極構造體的電容器和電極構造體的制造方法。
背景技術：
：例如特開昭62-222512號公報(專利文獻1)所記載的，具有高介電常數的電介質材料在電容器、半導體元件和發光元件等的電子材料中得到廣泛利用。電容器具有兩個電極，即陽極和陰極。作為電解電容器的陽極材料，使用可在表面生成絕緣氧化膜的鋁、鉭等閥金屬(也稱Valve金屬)。在此，所謂閥金屬，是指經陽極氧化而被氧化膜覆蓋的金屬，可列舉鋁、鉭、鈮、鈦、鉿、鋯、鋅、鎢、鉍和銻等。作為陰極材料，使用電解液、無機半導體、有機導電性物質或金屬薄膜中的任意一種。當陰極材料為電解液時，作為陰極端子，多使用擴大了表面積的鋁箔。為了增加電容器的靜電容量，以前提出了幾種方法。例如，在特開2004-259932號公報(專利文獻2)中，作為擴大陽極和陰極端子的表面積的方法，記載了以下的方法在鋁箔的表面形成含Pb的結晶性氧化物，使之均勻地分布，抑制蝕刻時的表面溶解，從而在蝕刻后獲得擴大了的表面積。另外，例如在特開2003-55796號公報(專利文獻3)中，作為形成高密著性的厚的皮膜的方法，記載了使鈦-磷類復合氧化物皮膜附著在鋁基材的表面的方法。而且，例如在特開平10-182221號公報(專利文獻4)中，作為可用于構成容量性元件的東西，記載了介電常數的溫度系數更小的物品。還有，例如在特開平11-317331號公報(專利文獻5)中，作為增大電解電容器的箔片電極的表面積的方法，記載了一種方法，該方法包括將基材配置在具有約1(^Torr約l(T2T0rr的壓力的惰性氛圍氣內的步驟；和為了在基材上形成表面構造體，在惰性氛圍氣下使閥金屬蒸鍍在基材上的步驟。但是，在借助蒸鍍而形成含有閥金屬的電介質層的方法中，不僅需要保持高真空，而且難以工業性地形成均勻厚度的電介質層。而如果使用溶膠凝膠法，和蒸鍍法相比，容易形成含有閥金屬的電介質層，并能夠工業性地形成均勻厚度的電介質層。但是，用溶膠凝膠法得到的電介質層，因為在對電介質前驅物質進行加熱而形成電介質層的工序中容易產生裂紋等缺陷，所以存在與作為基材的鋁的密著性變差、不能得到預期的耐電壓等問題。作為解決上述問題的方法，例如在國際公開第02/062569號小冊子(專利文獻6)中，記載了在基體上具有氧化物層的構造體的制造方法。該方法具有涂敷液調制工序，調制氧化物層用涂敷液；基體表面預處理工序，和涂敷液調制工序分開而對基體表面進行預處理，得到預處理完的基體；涂敷工序，在預處理完的基體上涂敷氧化物層用涂敷液，得到涂敷基體；和燒制工序，對涂敷基體進行燒制，在基體上形成氧化物層，基體表面預處理工序包含第一處理，該第一處理使基體的表面成為具有一維或二維的規則構造的面。但是，即使是借助該方法，還是難以在保持預期的耐電壓的基礎上，得到密著性優異、可獲得高靜電容量的電極構造體。專利文獻1:特開昭62-222512號公報專利文獻2:特開2004-259932號公報專利文獻3:特開2003-55796號公報專利文獻4:特開平10-182221號公報專利文獻5:特開平11-317331號公報專利文獻6:國際公開第02/062569號小冊子
發明內容發明要解決的課題因此，本發明的目的在于解決上述的問題，提供一種電極構造體、其制造方法和具有該電極構造體的電容器，在該電極構造體中，作為基材的鋁材和電介質層的密著性優異，可保持預期的耐電壓，并且獲得高的靜電容量。本發明者們為了解決現有技術的問題點而經過反復銳意研究，結果，發現將具有含有閥金屬的電介質前驅物質的鋁材在特定條件下進行加熱，即可獲得可實現上述目的的電極構造體。本發明正是基于發明者的這種見解而進行的。基于本發明的電極構造體具有鋁材；電介質層，在鋁材的表面上形成，含有閥金屬；和中介層，形成于鋁材和電介質層之間，含有鋁和碳。在基于本發明的電極構造體中，閥金屬優選的是選自由鈦、鉭、鉿、鋯和鈮構成的組中的任意一種以上。在基于本發明的電極構造體中，電介質層也可以含有硅氧化物(二氧化硅)。另外，在基于本發明的電極構造體中，中介層優選的是含有結晶化了的鋁的碳化物。而且，在基于本發明的電極構造體中，中介層優選的是含有鋁氧化物。基于本發明的電極構造體的制造方法，具有在鋁材的表面上形成含有閥金屬的電介質前驅物質的工序；將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的工序；和在將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序。在基于本發明的電極構造體的制造方法中，在將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序，優選的是在45(TC以上、不到66(TC的溫度范圍進行。另外，基于本發明的電極構造體的制造方法，優選的是，在將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序之后，還具有對鋁材進行陽極氧化的工序。基于本發明的電容器，具有上述特征中的至少任意一個特征。發明的效果根據本發明，在用于電容器等的電極構造體中，作為基材的鋁材和電介質層的密著性優異，可在保持預期的耐電壓的基礎上，獲得高的靜電容量。圖1表示在實施例5中得到的電極構造體試料的掃描型電子顯微鏡照片。具體實施方式(鋁材)在本發明的一種實施方式中，作為其上形成含有閥金屬的電介質層的基材的鋁材，沒有特別限定，可使用純鋁或鋁合金的箔。該鋁材優選的是，鋁純度為依據"JISH2111"中記載的方法而測定的值在98質量％以上。本發明中使用的鋁材，作為其組成，包含在必要范圍內添加了鉛(Pb)、硅(Si)、鐵(Fe)、銅(Cu)、錳(Mn)、鎂(Mg)、鉻(Cr)、鋅(Zn)、鈦(Ti)、釩(V)、鎵(Ga)、鎳(Ni)和硼(B)中的至少一種合金元素的鋁合金；或限定了上述不可避免的雜質元素含量的鋁。鋁材的厚度沒有特別限定，但是一般優選的是設定為5"m以上、200ym以下的范圍內。所述鋁材可使用借助公知的方法所制造的鋁材。例如，調制具有上述預定組成的鋁或鋁合金的溶液，對將其進行鑄造而得到的鑄塊適當地進行均質化處理。之后，對該鑄塊施行熱軋和冷軋，即可得到成為基材的鋁材。另外，在上述冷軋工序的過程中，還可以在15(TC以上、40(TC以下的溫度范圍內施行中間退火處理。另外，在形成電介質前驅物質的工序之前，還可以對鋁施行適當的預處理。(電介質層)作為閥金屬，沒有特別限定，可列舉鎂、釷、鎘、鎢、錫、鐵、銀、硅、鉭、鈦、鉿、鋁、鋯和鈮等，特別是鈦、鉭、鉿、鋯或鈮適于使用。在作為基材的鋁材的表面上形成含有閥金屬的電介質層的方法沒有特別限定，但是適合采用溶膠凝膠法。例如，利用含有閥金屬的烷氧化物的有機化合物或金屬鹽的加水分解及聚縮合，調制由含有氧化物前驅體粒子的溶液(溶膠)凝膠化而成的涂敷液，將其涂敷在鋁的表面上即可。或者，調制使閥金屬氧化物在溶液中乳膠化而成的涂敷液，將其涂敷在鋁的表面上即可。涂敷的方法沒有特別限定，可適當地采用旋涂法、棒涂法、淋涂法或浸涂法。經涂敷而形成的電介質前驅物質的膜厚可通過涂敷次數、涂敷液的組成和濃度進行控制。另外，如果使溶液(溶膠)或涂敷液中含有碳纖維、碳粒子或碳前驅體等碳成分，則可進一步提高為基材的鋁材與電介質層的密著性。如果使溶液(溶膠)或涂敷液中含有硅氧化物(二氧化硅)粒子，則可提高電介質層的耐電壓，從而不施行陽極氧化工序即可對電介質層賦予耐電壓。根據需要，對如此所得到的在表面形成了電介質前驅物質的鋁材進行干燥，然后，在含有含烴物質的氛圍氣中施行熱處理。(含有鋁和碳的中介層)本發明的電極構造體還具有中介層，該中介層在作為基材的鋁材和電介質層之間形成，含有鋁和碳。含有鋁和碳的中介層是對在表面形成了電介質前驅物質的鋁材在含有含烴物質的氛圍氣中施行熱處理而得到。含有鋁和碳的中介層可提高作為基材的鋁材和電介質層的密著性，并且抑制在作為基材的鋁材和電介質層之間形成的、含有鋁和氧的中介層的生成，降低基材和電介質層之間的電阻值，因此能夠提供具有高靜電容量的電極構造體。而且，含有鋁和碳的中介層優選的是含有結晶化了鋁的碳化物。結晶化了鋁的碳化物具有進一步提高密著性的效果。另外，含有鋁和碳的中介層還可以含有鋁氧化物。鋁氧化物具有填補在電介質層產生的裂紋等缺陷部、防止漏電流增加的效果。但是，因為過度的氧化物的形成會增加基材和電介質層之間的電阻值，所以有可能降低容量。(電極構造體的制造方法)本發明的電極構造體的制造方法具有在鋁材的表面上形成含有閥金屬的電介質前驅物質的工序；然后，將鋁材配置在含有含烴物質的空間的工序；進而，在將鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序。另外，如果在形成了使電介質前驅物質上或電介質前驅物質間含有了碳纖維、碳粒子或碳前驅體等碳成分的組合物層后，將鋁材配置在含有含烴物質的空間進行加熱，就能夠進一步提高作為基材的鋁材和電介質層的密著性、及電極的靜電容量。如果在形成了使電介質前驅物質上或電介質前驅物質間含有了硅氧化物(二氧化硅)粒子的組合物層后，將鋁材配置在含有含烴物質的空間進行加熱，就能夠進一步提高電極構造體的耐電壓。在本發明的電極構造體的制造方法的一種實施方式中，在表面形成了電介質前驅物質的鋁材的熱處理中使用的含烴物質的種類沒有特別限定。作為含烴物質的種類，可列舉例如甲垸、乙垸、丙烷、正丁烷、異丁烷及戊烷等烷烴類烴；乙烯、丙烯、丁烯及丁二烯等烯烴類烴；乙炔等乙炔類烴等，或這些烴的衍生物。在這些烴中，優選的是甲烷、乙烷、丙烷等烷烴類烴，因為它們在對表面上形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱的工序中會成為氣體狀。更優選的是甲烷、乙烷和丙烷之中的任意一種烴。最優選的烴是甲垸。另外，含烴物質在本發明的制造方法中在液體、氣體等狀態下均可使用。只要含烴物質存在于帶電介質被膜預備層的鋁存在的空間即可，以任何方法導入到在表面形成了電介質前驅物質的鋁材配置的空間均可。例如，當含烴物質為氣體狀時(甲烷、乙烷、丙烷等)，將含烴物質單獨、或與惰性氣體一起、或者與氫氣等還原性氣體一起填充到在表面形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱處理的密閉空間中即可。另外，當含烴物質為液體時，也可以將含烴物質單獨、或與惰性氣體一起、或者與氫氣等還原性氣體一起進行填充在該密閉空間中使之氣化。在對表面上形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱的工序中，加熱氛圍氣的壓力沒有特別限定，可以是在常壓、減壓或加壓下。另外，壓力的調整在保持在某一定的加熱溫度的期間、升溫到某一定的加熱溫度的過程中、或者從某一定的加熱溫度降溫的過程中的任何時點均可進行。導入到在表面形成了電介質前驅物質的鋁材配置的空間的含烴物質的重量比例沒有特別限定，但是通常優選的是設定為相對于鋁箔100重量份，按碳換算值為0.1重量份以上、50重量份以下的范圍內，特別優選的是在0.5重量份以上、30重量份以下的范圍內。在對表面上形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱的工序中，加熱溫度與作為加熱對象物的鋁箔的組成等相應地進行適當的設定即可，通常優選的是450。C以上、不到66(TC的范圍內，更優選的是在530。C以上、62(TC以下的范圍內進行。使加熱溫度在45(TC以上，從而可以在含有鋁和碳的中介層中含有結晶化了的鋁的碳化物。但是，在本發明的制造方法中，也不排除在不到45(TC的溫度下對表面上形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱的情況，至少在超過30(TC的溫度下對表面上形成了電介質前驅物質的鋁材進行加熱即可。加熱時間雖然也取決于加熱溫度等，但是一般在l小時以上、100小時以下的范圍內。當加熱溫度為40(TC以上時，優選的是使加熱氛圍氣中的氧濃度在1.0體積％以下。如果加熱溫度在400。C以上、加熱氛圍氣中的氧濃度超過1.0體積％，則鋁材表面的熱氧化膜有可能肥大，鋁材表面的界面電阻增加，從而使電極構造體的內部電阻值增大。另外，本發明的電極構造體也可以是在將鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序之后，進行陽極氧化的工序。借助該工序，可以在含有鋁和碳的中介層中含有鋁氧化物。陽極氧化工序沒有特別限定，例如可在己二酸銨或硼酸銨等溶液中，以2V以上、1000V以下的電壓進行。另外，本發明的電極構造體，不僅可適用于陽極材料，也可以適用于陰極材料。實施例按照以下的實施例122和比較例17，制作了電極構造體。(實施例15、比較例12)將厚度為30um的鋁硬質箔(JISA1070-H18)浸漬在鈦垸氧化合物溶液中，在兩面形成了厚度為0.15um的電介質前驅物質。然后，將在表面形成了電介質前驅物質的鋁材以表1所示的氛圍氣和溫度的條件，加熱12小時，得到了電極構造體。鈦垸氧化合物溶液的組成為，Ti(n-OC4H9)4:0.15摩爾；CH3COCH2COCH3:0.45摩爾；C2H5OH:18摩爾；H20:0.3摩爾。在濕度為40%以下的環境下，將上述鋁材在上述鈦烷氧化合物溶液中浸漬3秒鐘后，在空氣中以IO(TC的溫度加熱IO分鐘，使之干燥。重復上述的浸漬處理和加熱處理三次，形成了電介質前驅物質。在實施例5中得到的電極構造體中，用溴-甲醇混合溶液將鋁材溶解而取得試料，并用掃描型電子顯微鏡(SEM)從背面對試料進行了觀察。如圖1所示，在鋁材和電介質層之間，確認到了板狀的結晶化物。另外，借助X射線電子微探分析儀(EPMA)和X射線衍射，確認了上述板狀結晶化物為碳化鋁。(實施例68、比較例34)將厚度為50nm的鋁硬質箔(JISA1030-H18)浸漬在氧化鈦分散水溶液中，在兩面形成了表2所示厚度的電介質前驅物質。然后，將在表面形成了電介質前驅物質的鋁材，在實施例68中是在甲烷氣體氛圍氣中，在比較例3中是在空氣中，在比較例4中是在氬氣氛圍氣中，分別以55(TC的溫度加熱12小時，得到了電極構造體。氧化鈦分散水溶液是將對硫酸鈦加水分解所得到的氫氧化鈦在氧氛圍氣中進行加熱，得到硫化鈦，并在其中加入少量的硝酸進行調制而成的。并且，該氧化鈦經X射線衍射確認，其具有銳鈦礦型結晶構造。在濕度為40%以下的環境下，將上述鋁材于上述氧化鈦分散水溶液中浸漬3秒鐘后，在空氣中以IO(TC的溫度加熱IO分鐘，使之干燥。重復上述的浸漬處理和加熱處理13次，形成了電介質前驅物質。(實施例913)將厚度為80^n的鋁硬質箔浸漬在含有鈦、鉭、鉿、鋯或鈮的烷氧化合物溶液或溶膠溶液中，在兩面形成了厚度為0.4um的電介質前驅物質。然后，將在表面形成了電介質前驅物質的鋁材在乙炔氣體氛圍氣中，以55(TC的溫度加熱12小時，得到了電極構造體。鋁箔的標稱純度為99.9質量％，組成的質量分析值為硅75ppm、鐵72ppm。實施例9中使用的鉭烷氧化合物溶液的組成為，Ta(OC2H5)5:0.15摩爾；CH3COCH2COCH3:0.45摩爾；C2H5OH:18摩爾；H20:0.3摩爾。實施例10中使用的鈦垸氧化合物溶液的組成和實施例15中使用的溶液相同，為Ti(n-OC4H9)4:0.15摩爾；CH3COCH2COCH3:0.45摩爾；C2H5OH:IS摩爾；H20:0.3摩爾。實施例11中使用的鈮垸氧化合物溶液的組成為，Nb(OC2H5)5:0.15摩爾；CH3COCH2COCH3:0.45摩爾；C2H5OH:18摩爾；H20:0.3摩爾。實施例12中使用的鋯垸氧化合物溶液的組成為，Zr(C4H90)4:0.15摩爾；CH3COCH2COCH3:0.45摩爾；C2H5OH:18摩爾；H20:0.3摩爾。實施例13中使用的鉿溶膠溶液如下進行制作將2.0g的HfC14在99.5%乙醇溶液15ml中溶解后，在該溶液中添加0.51g的&0和3.32g的60。/。HNO3，以5(TC的溫度進行加熱。在濕度為40%以下的環境下，將上述鋁材于上述各垸氧化合物溶液中浸漬3秒鐘后，在空氣中以100。C的溫度加熱IO分鐘，使之干燥。重復上述浸漬處理和加熱處理6次，形成了電介質前驅物質。(實施例1419)將在實施例911中得到的電極構造體分別以5V和10V進行陽極氧化，得到了新的電極構造體(實施例1416和實施例1719)。對得到的電極構造體的表面用EPMA進行分析，在電介質層的裂紋部確認到了鋁氧化物。陽極氧化條件是在85。C的15質量。/。己二酸銨溶液中，通入50mA/cn^的直流電流，在電壓達到IOV后保持IO分鐘。另外，把保持IO分鐘后的電流值作為漏電流。(實施例2022)將厚度為80wm的鋁硬質箔浸漬在如下制作的二氧化硅溶膠溶液中，在兩面形成了厚度為0.4um的電介質前驅物質。然后，將表面上形成了電介質前驅物質的鋁材在乙炔氣體氛圍氣中，以55(TC的溫度加熱12小時，得到了電極構造體。鋁箔的標稱純度為99.9質量％，組成的質量分析值為硅75ppm、鐵72ppm。二氧化硅溶膠溶液如下進行制作在用硅垸氧化合物[Si(OC2H5)4]加水分解而得到的二氧化硅(Si02)溶膠中，添加預先調整為金紅石型的鈦氧化物(Ti02)粒子。此時，在實施例2022中，使Ti02粒子和Si02溶膠的配合比例(重量比)按表5所示的方式改變。(比較例57)對厚度為80nm的鋁硬質箔進行交流蝕刻而得到了電極構造體(比較例5)。另外，和實施例1419同樣地以5V和IOV進行陽極氧化，得到了新的電極構造體(比較例6和比較例7)。鋁箔的標稱純度為99.9質量％，組成的質量分析值為硅75ppm、鐵72ppm。交流蝕刻的方法是順次進行了下列條件的一次電解蝕刻、化學蝕刻和二次電解蝕刻。〈一次電解蝕刻〉電解液組成12wty。鹽酸+iwty。硫酸+ioog氯化鋁/升溫度50°C電流波形正弦波交流頻率60Hz電流密度200mA/cm2時間60秒〈化學蝕刻〉電解液組成20wty。鹽酸+3wt。/。硫酸+100g氯化鋁/升溫度60°C時間120秒〈二次電解蝕刻〉電解液組成12wty。鹽酸+lwt。/。硫酸+100g氯化鋁/升溫度30°C電流波形正弦波交流頻率60Hz電流密度160mA/cm2時間300秒對實施例122和比較例16中得到的電極構造體評價了靜電容量；對實施例113和比較例15中得到的電極構造體評價了含有鋁和碳的中介層形成量；另外，對實施例1419和比較例67中得到的電極構造體評價了漏電流；并對實施例2022和比較例67中得到的電極構造體評價了耐電壓。評價條件如下所示。評價結果在表l5中表示。各試料的靜電容量，在己二酸銨水溶液中以測定頻率為120Hz進行了測定。中介層的形成量通過鋁碳化物的定量分析進行了評價。收集通過使電極構造體的試料在20%氫氧化鈉水溶液中全部溶解而產生的氣體，用帶火焰離子化檢出器的高靈敏度氣相色譜儀對收集氣體進行定量分析，并將其換算成鋁碳化物(A14C3)含有量。將鋁碳化物含有量相對于溶解了的鋁質量的質量比作為中介層形成量的目標值進行了評價。從而確認了在電極構造體中是否形成了含有鋁和碳的中介層。以在15重量％己二酸銨水溶液中通入lmA/cn^的定電流5分鐘后的電壓作為耐電壓進行了評價。而且，在該電壓的測定中，電極構造體的配極使用了鋁箔。<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>[表5]<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>由此可知，根據本發明的實施例122中所得到的電極構造體，與比較例17中所得到的電極構造體相比，呈現高的靜電容量。可以認為，以上公開的實施方式和實施例在所有的方面都是例示，并非限制性的。本發明的范圍不是以上實施方式和實施例，而是由權利要求的范圍來表示，旨在包含在與權利要求的范圍等同的含義和范圍內的所有的修改和變形。工業實用性在電容器等中使用基于本發明的電極構造體，可使得作為基材的鋁材和電介質曾的密著性優異，在保持預期的耐電壓的基礎上，獲得高的靜電容量。權利要求1.一種電極構造體，具有鋁材；電介質層，在所述鋁材的表面上形成，含有閥金屬；和中介層，形成于所述鋁材和所述電介質層之間，含有鋁和碳。2.根據權利要求l所述的電極構造體，其中，所述閥金屬是選自由鈦、鉭、鉿、鋯和鈮構成的組中的任意一種以上。3.根據權利要求l所述的電極構造體，其中，所述電介質層含有硅氧化物。4.根據權利l所述的電極構造體，其中，所述中介層含有結晶化了的鋁的碳化物。5.根據權利l所述的電極構造體，其中，所述中介層含有鋁氧化物。6.—種電極構造體的制造方法，其中具有在鋁材的表面上形成含有閥金屬的電介質前驅物質的工序；將其上形成了所述電介質前驅物質的所述鋁材配置在含有含烴物質的空間的工序；和在將其上形成了所述電介質前驅物質的所述鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下迸行加熱的工序。7.根據權利要求6所述的電極構造體的制造方法，其中，所述在將其上形成了所述電介質前驅物質的所述鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序是在450'C以上、不到660'C的溫度范圍進行。8.根據權利要求6所述的電極構造體的制造方法，其中，在所述在將其上形成了所述電介質前驅物質的所述鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序之后，還具有對所述鋁材進行陽極氧化的工序。9.一種電容器，其中具有權利要求l所述的電極構造體。全文摘要本發明提供一種電極構造體、其制造方法和具有該電極構造體的電容器，在該電極構造體中，作為基材的鋁材和電介質層的密著性優異，可保持預期的耐電壓，并且獲得高的靜電容量。電極構造體具有鋁材；電介質層，在該鋁材的表面上形成，含有閥金屬；和中介層，形成于鋁材和電介質層之間，含有鋁和碳。電極構造體的制造方法具有在鋁材的表面上形成含有閥金屬的電介質前驅物質的工序；將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的工序；和在將其上形成了電介質前驅物質的鋁材配置在含有含烴物質的空間的狀態下進行加熱的工序。文檔編號H01G9/00GK101292309SQ20068003878公開日2008年10月22日申請日期2006年10月30日優先權日2005年11月10日發明者井上英俊,足高善也申請人:東洋鋁株式會社