專利名稱：具有密封機構的樹脂封固成形裝置及設在該裝置上的模具組件的構成零件的拆卸方法
技術領域：
本發明涉及一種對設在使用模具組件對ic (集成電路)等電子器件進行 封固并予以成形的裝置上的密封機構的改進及設在該裝置上的模具組件的構 成零件的拆卸方法。
背景技術：
以往使用一種包括具有上模及下模的模具組件的樹脂封固成形裝置(下面 簡稱"裝置")。在這種裝置中，在模具組件內的空間中殘留有所謂的濕氣等 含有水分的空氣。因此，在樹脂封固成形時，殘留空氣會混入熔融的樹脂材料 中。結果在樹脂成形體的內部及表面會形成空隙(氣泡)。
為了防止上述空隙的產生，設置有密封機構及減壓機構。密封機構用于使 模具組件內的空間成為與外部氣體遮斷的空間(下面稱作"外部氣體遮斷空 間")。另外，減壓機構用于通過強制吸引而將殘留在模具組件內的空間中的 空氣等排出。外部氣體遮斷空間與減壓機構通過真空通路相互連通。
采用上述以往的樹脂封固成形裝置，在模具組件內的空間的真空度被設定 成期望值的狀態下，對設在上模和下模中的一方的型面上的引線框(基板)上
的電子器件進行封固(例如日本專利第3566426號(參照日本專利特開平 9-123205號公報))。
另外，為了將模具組件內的空間與外部氣體遮斷，以往的密封機構包括 以包圍上模的四個側面的形態進行設置的上模側外部氣體遮斷部件、以及以包 圍上模的四個側面的形態進行設置的下模惻外部氣體遮斷部件。由此，在將上 模和下模合上時，上模側外部氣體遮斷部件與下模側外部氣體遮斷部件接觸，
形成所述外部氣體遮斷空間。
另外，上模側外部氣體遮斷部件繞將上模側安裝基板與上模側外部氣體遮 斷部件相連的鉸鏈的轉軸轉動。由此，在轉動后的上模側外部氣體遮斷部件與 安裝有上模的上模側安裝基板之間形成上模側開口。在此狀態下，構成上模的 成形面的上模凹槽單元通過該上模側開口安裝在上模座上，或從上模凹槽單元 上拆下。
另一方面，下模側外部氣體遮斷部件繞將下模側安裝基板與下模側外部氣 體遮斷部件相連的鉸鏈軸轉動。由此，在轉動后的下模側外部氣體遮斷部件與 安裝有下模的下模側安裝基板之間形成下模側開口。在此狀態下，構成下模的 成形面的下模凹槽單元通過下模側開口安裝在下模座上，或從下模座上拆下。
另外，采用上述以往的樹脂封固成形裝置，在對上模和下模各自的型面進 行清理時，可使上模側外部氣體遮斷部件及下模側外部氣體遮斷部件退避到不 會妨礙被插入上模與下模之間的空間中的清理機構的位置。
另外，采用上述裝置，會頻繁地更換內置的模具組件(上模及下模)，但 如上所述，由于上模側外部氣體遮斷部件和下模側外部氣體遮斷部件分別以形 成用于模具組件的安裝及拆卸的開口的形態轉動，因此用于更換模具組件的作 業效率高。
另外，在上述裝置中，為了固定下模側外部氣體遮斷部件與下模側安裝基 板，在模具組件的背面設置有鉸鏈，在正面設置有沖頭鎖(punch lock)。沖 頭鎖也用于固定上模側外部氣體遮斷部件與上模側安裝基板。使用所述沖頭鎖 及鉸鏈的固定方法有助于提高模具組件更換作業的效率。
專利文獻l:日本專利第3566426號(日本專利特開平9-123205號公報)
發明的公開
發明所要解決的技術問題
由于上述以往的密封機構是以用于更換模具組件的作業效率為重而進 行設計的，因此會產生如下問題。
采用以往的密封機構，在開始樹脂封固成形時可保持穩定的氣密性。 但是，若反復進行樹脂封固成形，則殘留在模具組件內的樹脂渣會殘留下
來。該樹脂渣并不殘留在上模內，而是自然落向下模。因此，殘留在模具組 件內的樹脂渣在下模側外部氣體遮斷部件與下模側安裝基板之間的縫隙中堆 積。若樹脂渣在該縫隙中堆積，則會縮短O形圈等密封部件的壽命，加快密封 部件的惡化和損傷。結果無法將模具組件內的空間的真空度維持在期望值。
另外，若無法將模具組件內的空間的真空度維持在期望值，則為了除去堆 積在上述縫隙中的樹脂渣，需要人為地進行清理。但是，由于下模側外部氣體 遮斷部件與下模側安裝基板由鉸鏈相連，因此很難從下模側外部氣體遮斷部件 與下模側安裝基板之間的間隙將樹脂渣完全除去。
總之，采用以往的樹脂封固成形裝置，雖可提高用于更換模具組件的作業 效率，但無法防止模具組件內的空間的氣密性下降。
鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種不會導致用于更換模具組件 的作業效率下降、具有可防止模具組件內的空間的氣密性下降的密封機構 的樹脂封固成形裝置以及設在該裝置上的模具組件的構成零件的拆卸方 法。
解決技術問題所采用的技術方案
本發明的樹脂封固成形裝置包括具有上模和與該上模相對的下模的模具 組件、安裝有上模的上模側安裝基板、安裝有下模的下模側安裝基板、以及用 于使模具組件內的空間成為與外部氣體遮斷的狀態的密封機構。
密封機構包括以包圍上模的側面的形態安裝在上模側安裝基板上的上模 側外部氣體遮斷部件、以及以包圍下模的側面的形態安裝在下模側安裝基板上 的下模側外部氣體遮斷部件。另外，密封機構包括將上模側外部氣體遮斷部 件固定在上模側安裝基板上的上模側固定件、將下模側外部氣體遮斷部件固定 在下模側安裝基板上的下模側固定件、以及將上模側外部氣體遮斷部件與上模 側安裝板可轉動地相連的樞軸部件。
另外，只要將下模側固定件從下模側安裝基板和下模側外部氣體遮斷部件 上拆下，下模側外部氣體遮斷部件就成為可從下模側安裝基板上完全拆下的狀 態。
另外，密封機構還可包括限制上模側外部氣體遮斷部件的轉動范圍的轉動
限制部件。
另外，密封機構還包括將上模側外部氣體遮斷部件與上模側安裝基板之 間的縫隙堵塞的上模側密封部件、將下模側外部氣體遮斷部件與下模側安裝基 板之間的縫隙堵塞的下模側密封部件、以及將上模側外部氣體遮斷部件與下模 側外部氣體遮斷部件之間的縫隙堵塞的中間密封部件。
另外，密封機構還可包括用于固定上模側安裝基板與上模側外部氣體遮斷 部件的鎖定部。
本發明的模具組件的構成零件的拆卸方法應用于樹脂封固成形裝置。 所述樹脂封固成形裝置包括具有上模和與該上模相對的下模的模具組 件、安裝有上模的上模側安裝基板、安裝有下模的下模側安裝基板、以及用于 使模具組件內的空間成為與外部氣體遮斷的狀態的密封機構。
所述密封機構包括以包圍上模的側面的形態安裝在上模側安裝基板上的 上模側外部氣體遮斷部件、以包圍下模的側面的形態安裝在下模側安裝基板上 的下模側外部氣體遮斷部件、將上模側外部氣體遮斷部件固定在上模側安裝基 板上的上模側固定件、將下模側外部氣體遮斷部件固定在下模側安裝基板上的 下模側固定件、以及將上模側外部氣體遮斷部件與上模側安裝板可轉動地相連 的樞軸部件。
在本發明的模具組件的構成零件的拆卸方法中，首先將上模側固定件從上 模側安裝基板和上模側外部氣體遮斷部件上拆下。接著，使上模惻外部氣體遮 斷部件以樞軸部件為轉軸轉動，在上模側外部氣體遮斷部件與上模側安裝基板 之間形成開口。之后，通過該開口，將上模的至少一部分從上模安裝基板上拆 下。接著，將下模側固定件從下模側安裝基板和下模側外部氣體遮斷部件上拆 下。之后，將下模側外部氣體遮斷部件從下模側安裝基板上拆下。接著，將下 模的至少一部分從下模側安裝基板上拆下。
另外，在將所述下模外部氣體遮斷部件拆下的步驟中，也可用器具將下模 外部氣體遮斷部件拆下。
發明效果
采用本發明，可提供一種不會導致用于更換模具組件的構成零件的作業
效率下降、具有可防止模具組件內的空間的氣密性下降的密封機構的樹脂 封固成形裝置以及設在該裝置上的模具組件的構成零件的拆卸方法。
本發明的上述及其它目的、特征、方面及優點通過參照附圖來理解并通過 本發明的下面的詳細說明得以明確。
圖1是概略地表示實施形態的樹脂封固成形裝置的密封機構的側視圖。 圖2是概略地表示實施形態的樹脂封固成形裝置的密封機構的主視圖。
圖3是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的上模凹槽單元的方法
進行說明的側視圖。
圖4是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的上模凹槽單元的方法 進行說明的側視圖。
圖5是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的下模凹槽單元的方法 進行說明的主視圖。
圖6是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的下模凹槽單元的方法 進行說明的主視圖。
圖7是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的下模凹槽單元的方法 進行說明的主視圖。
圖8是用于對更換實施形態的樹脂封固成形裝置的下模凹槽單元的方法 進行說明的主視圖。 (符號說明)
1上模
2下模
3上模凹槽單元
4上模座
5燕尾槽
6固定塊體
7下模凹槽單元
8下模座
9燕尾槽
10外部氣體遮斷空間
11上模側外部氣體遮斷部件
lla轉動后的下模側外部氣體遮斷部件
12下模側外部氣體遮斷部件
13上模側密封部件
14下模側密封部件
15上模側安裝基板
16下模側安裝基板
17中空密封部件
17a膨脹后的中空密封部件
18加壓機構
19加壓路徑
20減壓機構
21真空路徑
22樞軸部件
23轉動限制部件
24上模側固定件
24a螺栓
24b鎖定部
25防止部
26開口
27下模側固定件
27a螺栓
28上模側插入孔
29下模側插入孔
30第一模具組件更換器具
31上模側突出部
32下模側突出部 33通孔
34第二模具組件更換器具
35凹部
36嵌合用零件
50連接桿
60搬運導軌
61凹部
100樹脂封固成形裝置 A指示更換面位置的箭頭
具體實施例方式
下面參照圖1 圖8對實施形態的樹脂封固成形裝置進行說明。另外， 圖1 圖8中的主視圖是沿著用于更換模具組件的路徑的方向看裝置時的 圖。因此，圖中的箭頭A的前端指示模具組件的取出及拆卸路徑中的特定 的面，該面稱作更換面A。
如圖1 圖8所示，本實施形態的樹脂封固成形裝置100(下面簡稱"裝 置100")包括模具組件。模具組件包括位置被固定的上模l、以及以與 上模1相對的形態進行設置的可移動的下模2。
如圖2及圖5 圖8所示，裝置100包括基座(未圖示)和從基座起 沿鉛垂方向延伸的所需數量的連接桿50。另外，在各連接桿50的上端固定 有固定部件(未圖示)。相對各連接桿50可滑動地安裝有可動部件(未圖 示)。
另外，在固定部件上安裝有上模側安裝基板15，在可動部件上安裝有 下模側安裝基板16。裝置100包括搬運導軌60。搬運導軌60用于引導供 給取出機構(未圖示)。供給取出機構向模具組件供給樹脂材料或基板， 或將它們從模具組件中取出。供給取出機構具有將樹脂渣從型面除去的功
能，可進入上模1與下模2之間的空間中，或從該空間中退出。供給取出
機構可與裝置ioo設置成一體，也可以是與裝置IOO分開。
另外，裝置100并不限定于如圖所示的具有一個模具組件的裝置，也
可具有分別可自由裝拆的多個模具組件。
另外，模具組件的構造并不限定于具有上模1及下模2的兩箱構造，
也可以是在上模1與下模2之間具有中間模的三箱構造，或具有由三個以
上的模構成的構造。
這種模具組件可以是連續自動送進成形用的模具組件，或是非連續自
動送進成形(擠壓成形)用的模具組件。另外，模具組件的型面也可被分
模薄膜覆蓋。
另外，作為利用裝置ioo形成的成形品(例如安裝有電子器件的基板)，
可以考慮引線接合基板、倒裝片基板或晶片基板等晶片級封裝體等。基板 的形狀可以是圓形或多邊形等任何形狀。基板可以是金屬制引線框或稱作 PC (印刷電路)板的由塑料、陶瓷、玻璃及其它材質構成的印刷電路板等 任何基板。另一方面，為了封固成形而使用的樹脂材料可以是小片狀樹脂、 液態樹脂、顆粒狀樹脂或粉末狀樹脂等任何形態的樹脂材料。
上模1固定在后述的上模側安裝基板15上。上模側安裝基板15安裝 在固定部件上。即，上模1被間接地固定在固定部件上。另外，下模2固 定在后述的下模側安裝基板16上。下模側安裝基板16安裝在可動部件上。 即，下模2被間接地固定在可動部件上。
可動部件可通過利用設在基座上的油壓機構、氣動機構或電動馬達等 的模具開閉機構(未圖示)沿上下方向移動。該模具開閉機構可使下模2、 后述的下模側外部氣體遮斷部件12及下模側安裝基板16作為一體沿上下 方向移動。
因此，若模具開閉機構使下模2、后述的下模側外部氣體遮斷部件12 及下模側安裝基板16向上方移動，則上模1與下模2合上。結果上模側外 部氣體遮斷部件11與下模側外部氣體遮斷部件12在P. L(分模線)面接合。
另外，上模1包括上模凹槽單元3和上模座4。在上模凹槽單元3的兩個側面分別安裝有上模座4。上模凹槽單元3與兩個上模座4分別通過一 種燕尾槽嵌合而可相互安裝或拆卸。上模凹槽單元3利用兩個固定塊體6 固定在上模座4上。兩個固定塊體6分別固定于上模凹槽單元3和上模座4 的前表面和后表面。
另一方面，下模2具有與上模1相同的構成。即，下模2包括下模凹 槽7和下模座8。在下模凹槽單元7的兩個側面上分別安裝有下模座8。下 模凹槽單元7與兩個下模座8分別通過一種燕尾槽嵌合而可相互安裝或拆 卸。下模凹槽單元7利用兩個固定塊體6固定在下模座8上。兩個固定塊 體6分別固定于下模凹槽單元7和下模座8的前表面和后表面。
另外，如圖2所示，在上模凹槽單元3及下模凹槽單元7上分別設置 有燕尾部9。在上模座4及下模座8上分別設置有與燕尾部9對應的燕尾槽 5。
采用上述構成，若通過箭頭A所示的模具組件的更換面A將上模側的 固定塊體6和下模側的固定塊體6分別拆下，則可將上模凹槽單元3及下 模凹槽單元7分別從上模座4及下模座8上拆下。而且，可將其它的上模 凹槽單元及其它的下模凹槽單元分別安裝在上模座4及下模座8上。艮口， 在使用裝置100時，上模凹槽單元3及下模凹槽單元7分別利用固定塊體6 固定在上模座4及下模座8上，但在它們損耗了時，可置換成其它的上模 凹槽單元及其它的下模凹槽單元(參照圖4及圖8)。
另外，在裝置100上設置有將模具組件內的空間與外部空間遮斷的密 封機構。在本實施形態中，密封機構包括上模側外部氣體遮斷部件ll和下 模側外部氣體遮斷部件12。但是，本發明的密封機構還可包括上模側外部 氣體遮斷部件11和下模側外部氣體遮斷部件12以外的要素。
上模側外部氣體遮斷部件11和下模側外部氣體遮斷部件12都是圓筒 形或方筒形。上模側外部氣體遮斷部件11包圍著上模1的四個側面。下模 側外部氣體遮斷部件12包圍著下模2的四個側面。上模側外部氣體遮斷部 件11安裝在上模側安裝基板15上，而下模側外部氣體遮斷部件12安裝在 下模側安裝基板16上。
另外，在上模側安裝基板15和上模側外部氣體遮斷部件11中的至少 一方上設置有將上模側安裝基板15與上模側外部氣體遮斷部件11之間的
縫隙堵塞的O形圈等上模側密封部件13。在下模側安裝基板16和下模側外 部氣體遮斷部件12中的至少一方上設置有將下模側安裝基板16與下模側 外部氣體遮斷部件12之間的縫隙堵塞的O形圈等下模側密封部件14。
另外，在將上模l及下模2合上了時，上模側外部氣體遮斷部件11的 下表面與下模側外部氣體遮斷部件12的上表面相互接觸。此時，兩個接觸 面分別定位在PL面上。在上模側外部氣體遮斷部件11的PL面(接觸面) 上設置有由可自由伸縮的耐熱性橡膠等構成的管狀的中間密封部件17，而 并不是設置上模側密封部件13及下模側密封部件14那樣的0形圈。中間 密封部件17具有中空構造。裝置IOO包括加壓機構18，該加壓機構18通 過對中間密封部件17的內部空間加壓而使中間密封部件17膨脹。中間密 封部件17與加壓機構18通過加壓路徑19連通。
采用上述構成，如圖1及圖2所示，若加壓機構18使中間密封部件 17膨脹，則中間密封部件17變化成膨脹后的中間密封部件17a。由此，膨 脹后的中間密封部件17a從上模側外部氣體遮斷部件11的PL面突出。另 外，膨脹后的中間密封部件17a在下模側外部氣體遮斷部件12的PL面處 與下模2的型面抵接。
另外，后述的減壓機構20通過吸引作用將空氣等從模具組件內的空間 中強制地向外部空間排出。由此，由上模側外部氣體遮斷部件ll及下模側 外部氣體遮斷部件12和上模側安裝基板15及下模側安裝基板16包覆的空 間與外部氣體遮斷。結果由上模1和下模2形成的空間成為外部氣體遮斷 空間10。
另外，在裝置100上設置有通過吸引作用將殘留在外部氣體遮斷空間 10中的空氣等強制排出的真空泵等減壓機構20。減壓機構20與外部氣體 遮斷空間IO通過真空軟管等真空路徑21連通。雖未圖示，但在上模l的 型面上設置有多個排出口，它們分別構成真空路徑21的一端。
因此，通過使用減壓機構20將模具組件內的外部氣體遮斷空間10的
真空度設定成期望值，可良好地進行包括設在上模1的型面和下模2的型 面中的任一方上的引線框在內的各種基板上的電子器件的樹脂封固成形。
另外，在上模側安裝基板15的背面上設置有構成鉸鏈(hinge)的樞 軸部件22。上模側外部氣體遮斷部件11以樞軸部件22為中心軸轉動。在 上模側安裝基板15上設置有轉動限制部件23，該轉動限制部件23限制上 模側外部氣體遮斷部件11的轉動。上模側外部氣體遮斷部件11與上模側 安裝基板15利用上模側固定件24進行固定。
上模側固定件24用于固定上模側安裝基板15與上模側外部氣體遮斷 部件11，具有螺栓24a。另外，在裝置100的前表面設置有鎖定部24(24b)， 該鎖定部24 (24b)固定上模側外部氣體遮斷部件11的前表面與上模側安 裝基板15的前表面。
若使用所述鎖定部24 (24b)及樞軸部件22，則可在不將上模側外部 氣體遮斷部件11從裝置100上拆下的情況下進行上模1的更換作業，因此 可提高上模1的更換作業效率。
此外，采用上模側固定件24，則可使上模側安裝基板15與上模側外 部氣體遮斷部件11接觸，以使上模側安裝基板15與上模側外部氣體遮斷 部件11之間不產生縫隙。因此，可保持模具組件內的外部氣體遮斷空間10 的氣密性。在將作為上模側固定件24的螺栓24a從上模側安裝基板15上 拆下時，該螺栓24a可能會向下模2落下而與上模1的型面發生碰撞。為 此，需要防止螺栓24a的脫落。因此，在本實施形態的樹脂封固成形裝置 的上模1上設置有防止部25。防止部25通過形成為不讓螺栓24a穿過的大 小的通孔來實現螺栓24a的安裝和拆卸。
下面用圖3及圖4對沿相對更換面A垂直的方向安裝和拆卸作為上模 1的構成零件的上模凹槽單元3的方法進行說明。
更換上模凹槽單元3的方法如下。
如圖3所示，首先將多個螺栓24a各自的緊固解除，多個螺栓24a分 別由多個防止部25保持。此時，為了防止上模1的型面與下模2的型面接 觸，下模2退避到PL面下側的位置。
之后，如圖4所示，在鎖定部24的鎖定被解除的大致同時，上模側外 部氣體遮斷部件11繞樞軸部件22轉動。此時，上模側外部氣體遮斷部件 11的轉動范圍由轉動限制部件23來限制。由此，在轉動后的上模側外部氣 體遮斷部件lla與上模側安裝基板15之間形成開口 26。
在上述狀態下，將上模凹槽單元3通過開口 26從上模座4上取下。之 后，其它的新的上模凹槽單元3通過開口 26安裝在上模座4上。
采用上述方法，可容易且迅速地更換上模凹槽單元3。
另一方面，下模2側的構造并不包括與所述鉸鏈型樞軸部件22、轉動 限制部件23及鎖定部24對應的構造。其原因如下。
若在下模側外部氣體遮斷部件8與下模側安裝基板16之間形成縫隙， 則殘留在模具組件內部的樹脂渣會堆積在所述縫隙中。由此，會促進0形 圈等密封部件的惡化或損傷，其壽命會縮短。因此，極難將模具組件內的 空間的真空度維持在期望值。因此，需要人為地對堆積在所述縫隙中的樹 脂渣進行清理。但是，在下模側外部氣體遮斷部件8與下模側安裝基板16 由鉸鏈型樞軸部件相連的場合，很難將下模側外部氣體遮斷部件8與下模 側安裝基板16的接觸面完全清理干凈。
因此，在本實施形態的樹脂封固成形裝置的下模2側的構造中并未設 置與所述鉸鏈型樞軸部件22、轉動限制部件23及鎖定部24 (24b)對應的 構造。采用這種下模2側的構造，只要將下模側固定件27從下模側安裝基 板16及下模側外部氣體遮斷部件12上拆下，下模側外部氣體遮斷部件12 就能成為完全從下模側安裝基板16上被拆下的狀態。此外，下模側安裝基板 16與下模側外部氣體遮斷部件12僅由具有螺栓27a的下模側固定件27來 固定。
用圖5及圖6對沿相對更換面A垂直的方向安裝和拆卸作為下模2的 構成零件的下模凹槽單元7的方法進行說明。
作為用于更換下模凹槽單元7的工具使用的是如圖5及圖6所示的第 一模具組件更換器具30。如圖5所示，第一模具組件更換器具30具有插 入上模側插入孔28內的上模側突出部31、以及插入下模側插入孔29內的
下模側突出部32。在將下模凹槽單元7更換為新的下模凹槽單元時，上模
側固定件24固定著上模側安裝基板15與上模側外部氣體遮斷部件11,但 下模側固定件27 (27a)被從下模側插入孔29中取出。另外，為了在與上 模1及下模2的型面接觸時不使它們受損，第一模具組件更換器具30在其 中央部具有貫穿部33。
在多個下模側固定件27分別被取出的狀態下，第一模具組件更換器具 30將多個下模側突出部32分別插入對應的下模側插入孔29內。
此時，若多個下模側固定件27中的某一個未從下模側插入孔29中取 出，則多個下模側突出部32中就有一個無法插入對應的下模側插入孔29 內。即，下模側突出部32起著如下的作用防止第一模具組件更換器具30 在與多個下模側插入孔29對應的下模側固定件27未從多個下模側插入孔 29中全部取出的情況下設置在下模2上。
接著，在多個下模側突出部32插入了對應的下模側插入孔29內的狀 態下，下模2向上方移動。由此，模具組件合上。此時，如圖6所示，上 模側突出部31被插入上模側插入孔28內。之后，用于合上模具組件的動 作停止，以不對上模1及下模2的型面造成損傷。
接著，如圖6所示，準備第二模具組件更換器具34。第二模具組件更 換器具34具有嵌合用零件36。將嵌合用零件36沿與更換面A垂直的方向 分別插入搬運導軌60的C字形凹部61和下模側外部氣體遮斷部件12的凹 部35中。
第一模具組件更換器具30的上模側突出部31及下模側突出部32分別 被插入上模側插入孔28及下模側插入孔29內。為了提高上模1與下模2 之間的相對的定位精度，以代替上模側插入孔28及下模側插入孔29或附 加的方式，在上模側外部氣體遮斷部件11及下模側外部氣體遮斷部件12 上分別設置精度比上模側插入孔28及下模側插入孔29高的定位孔(未圖 示)。
接著，若下模側外部氣體遮斷部件12被從下模側安裝基板16及下模 2、即下模凹槽單元7及下模座8上完全取下，則如圖6所示，會載置在第
二模具組件更換器具34的嵌合用零件36上。在此狀態下，如圖7所示， 僅使下模側安裝基板16及下模2 (下模凹槽單元7及下模座8)向下方移 動。即，下模側外部氣體遮斷部件12由第二模具組件更換器具34的嵌合 用零件36卡合而不向下方移動。因此，下模側密封部件14成為露出的狀 態。此狀態與以往的鉸鏈型樞軸部件旋轉后的狀態完全不同。
接著，將下模凹槽單元7從下模座8上取出。之后，如圖8所示，將 新的下模凹槽單元7設置在下模側安裝基板16上。
如上所述，采用本實施形態的裝置100，在將下模2從裝置上取出時 使用的是第一模具組件更換器具30及第二模具組件更換器具34。因此，在 裝置100上無需為了更換下模2而使用與樞軸部件22相同的構造。
另外，與以往一樣，無需將模具組件整體取出到裝置100的外部。因 此，模具組件的清理時的作業效率以及用于更換模具組件的作業效率與以 往相比不會下降。
如上所述，采用本實施形態的樹脂封固成形裝置，即使反復進行樹脂 封固成形，也可防止模具組件內的空間的氣密性下降，且可讓用于更換模 具組件的作業效率與使用以往的密封機構時用于更換模具組件的作業效率
一樣高。
雖然對本發明進行了詳細說明和表示，但這僅僅是為了例示，并不構 成限制，應當明確理解，本發明的范圍僅由權利要求書的范圍限定。
權利要求
1.一種具有密封機構的樹脂封固成形裝置，包括具有上模(1)和與該上模(1)相對的下模(2)的模具組件(1、2)、安裝有所述上模(1)的上模側安裝基板(15)、安裝有所述下模(2)的下模側安裝基板(16)、以及用于使所述模具組件(1、2)內的空間成為與外部氣體遮斷的狀態的密封機構，其特征在于，所述密封機構包括以包圍所述上模(1)的側面的形態安裝在所述上模側安裝基板(15)上的上模側外部氣體遮斷部件(11)、以包圍所述下模(2)的側面的形態安裝在所述下模側安裝基板(16)上的下模側外部氣體遮斷部件(12)、將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)固定在所述上模側安裝基板(15)上的上模側固定件(24)、將所述下模側外部氣體遮斷部件(12)固定在所述下模側安裝基板(16)上的下模側固定件(27)、以及將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)與所述上模側安裝板(15)可轉動地相連的樞軸部件(22)，只要將所述下模側固定件(27)從所述下模側安裝基板(16)和所述下模側外部氣體遮斷部件(12)上拆下，所述下模側外部氣體遮斷部件(12)就能成為可從所述下模側安裝基板(16)上完全拆下的狀態。
2. 如權利要求1所述的具有密封機構的樹脂封固成形裝置，其特征在于， 所述密封機構還包括限制所述上模側外部氣體遮斷部件(11)的轉動范圍的轉 動限制部件(23)。
3. 如權利要求1所述的具有密封機構的樹脂封固成形裝置，其特征在于， 所述密封機構還包括將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)與所述上模側安裝基板(15)之間的縫隙堵塞的上模側密封部件(13)、將所述下模側外部氣體遮斷部件(12)與所述下模側安裝基板(16)之間 的縫隙堵塞的下模側密封部件(14)、以及將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)與所述下模側外部氣休遮斷部件(12)之間的縫隙堵塞的中間密封部件(17)。
4. 如權利要求1所述的具有密封機構的樹脂封固成形裝置，其特征在于， 所述密封機構還包括用于固定所述上模側安裝基板(15)與所述上模側外部氣 體遮斷部件(11)的鎖定部(24)。
5. —種設在樹脂封固裝置上的模具組件的構成零件的拆卸方法， 所述樹脂封固成形裝置包括具有上模(1)和與該上模(1)相對的下模(2)的模具組件(1、 2)、 安裝有所述上模(1)的上模側安裝基板(15)、 安裝有所述下模(2)的下模側安裝基板(16)、以及 用于使所述模具組件(1、 2)內的空間成為與外部氣體遮斷的狀態的密封 機構，所述密封機構包括以包圍所述上模(1)的側面的形態安裝在所述上模側安裝基板(15)上 的上模側外部氣體遮斷部件(11)、以包圍所述下模(2)的側面的形態安裝在所述下模側安裝基板(16)上 的下模側外部氣體遮斷部件(12)、將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)固定在所述上模側安裝基板(15) 上的上模側固定件(24)、將所述下模側外部氣體遮斷部件(12)固定在所述下模側安裝基板(16) 上的下模側固定件(27)、以及將所述上模側外部氣體遮斷部件(11)與所述上模側安裝板(15)可轉動 地相連的樞軸部件(22)，所述拆卸方法的特征在于，包括將所述上模側固定件(24)從所述上模側安裝基板(16)和所述上模側外 部氣體遮斷部件(11)上拆下的步驟；使所述上模側外部氣體遮斷部件(11)以所述樞軸部件(22)為轉軸轉動、 從而在所述上模側外部氣體遮斷部件(11)與所述上模安裝基板(15)之間形 成開口 (26)的步驟；通過所述開口 (26)將所述上模(1)的至少一部分(3)從所述上模安裝基板(15)上拆下的步驟；將所述下模側固定件(27)從所述下模側安裝基板(16)和所述下模側外部氣體遮斷部件(12)上拆下的步驟；將所述下模側外部氣體遮斷部件(12)從所述下模側安裝基板(16)上拆 下的步驟；以及將所述下模(2)的至少一部分(7)從所述下模側安裝基板(16)上拆下 的步驟。
6.如權利要求5所述的設在樹脂封固裝置上的模具組件的構成零件的拆 卸方法，其特征在于，在將所述下模外部氣體遮斷部件(12)拆下的步驟中， 使用器具(34)將所述下模外部氣體遮斷部件(12)拆下。
全文摘要
一種樹脂封固成形裝置，具有密封機構。密封機構包括以包圍上模(1)的側面的形態安裝在上模側安裝基板(15)上的上模側外部氣體遮斷部件(11)、以及以包圍下模(2)的側面的形態安裝在下模側安裝基板(16)上的下模側外部氣體遮斷部件(12)。上模側外部氣體遮斷部件(11)利用上模側固定件(24)固定在上模側安裝基板(15)上。下模側外部氣體遮斷部件(12)利用下模側固定件(27)固定在下模側安裝基板(16)上。上模側外部氣體遮斷部件(11)與上模側安裝板(15)利用樞軸部件(22)可轉動地相連。只要將下模側固定件(27)從下模側安裝基板(16)和下模側外部氣體遮斷部件(12)上拆下，下模側外部氣體遮斷部件(12)就能成為可從下模側安裝基板(16)上完全拆下的狀態。
文檔編號H01L21/02GK101185159SQ20068001820
公開日2008年5月21日 申請日期2006年11月1日 優先權日2005年11月29日
發明者井尻和宏 申請人:東和株式會社