外觀檢查裝置、外觀檢查方法以及可安裝在外觀檢查裝置上的邊緣部檢查單元的制作方法

專利名稱：外觀檢查裝置、外觀檢查方法以及可安裝在外觀檢查裝置上的邊緣部檢查單元的制作方法
技術領域：
本發明涉及檢查工件外觀的外觀檢査裝置、外觀檢査方法以及可安 裝在這種外觀檢査裝置上的用于檢査工件邊緣部的邊緣部檢査單元。
背景技術：
當在半導體晶片等工件上形成電路等圖案時，使用檢查工件正面是 否具有缺陷的外觀檢查裝置。作為這種外觀檢查裝置，具有如下外觀檢 查裝置可自由搖動、旋轉地保持工件，具有使檢査者目視進行工件正 面檢查(宏觀檢查)的宏觀檢查部、以及取得工件的放大圖像來進行檢 查(微觀檢查)的微觀檢查部，可用一臺裝置來進行宏觀檢查和微觀檢 査(例如，參見專利文獻1)。
此外，在工件上形成電路等時，由于熱處理等有時會在工件上產生 毛刺或內部應力。如果這種毛刺或內部應力變大，則晶片有時會在電路 制造過程中破裂，所以已知通過預先放大工件邊緣部進行觀察，來檢查 是否具有以后有可能演變為破裂的裂縫。作為用于檢查工件邊緣部(邊 緣部檢査)的外觀檢查裝置，具有如下外觀檢查裝置其具有可旋轉地 支撐工件的支撐部；連續拍攝工件邊緣部的邊緣部攝像部；以及對邊緣 部進行照明的邊緣部照明部(例如，參見專利文獻2)。
專利文獻l:日本特開2004-96078號公報 專利文獻2:日本特開2003-243465號公報
但是，為了一并實施宏觀檢查、微觀檢査、邊緣部檢査，必須在專 利文獻1所公開的外觀檢査裝置和專利文獻2所公開的外觀檢査裝置之 間，用機械臂或裝載機(loader) —邊交接一邊搬運晶片，具有生產節拍 時間變長的課題。另外，在一個外觀檢査裝置上外置安裝另一個外觀檢
查裝置的情況下，雖然可縮短搬運時間，但該情況下也需要交接工件等。 而且，作為裝置整體的設置面積與單獨設置的情況相比并未改變。

發明內容
本發明正是鑒于上述情況而完成的，其主要目的在于，在進行宏觀 檢查、微觀檢查、邊緣部檢查時，縮短生產節拍時間，并且使裝置變小， 簡化裝置結構。
解決上述課題的本發明提供一種外觀檢查裝置，其特征在于，該外 觀撿查裝置具有外觀檢査部，其用于對工件正面進行外觀檢查；以及 邊緣部檢查部，其取得上述工件的邊緣部的放大像，由上述外觀檢査部 和上述邊緣部檢査部共用在上述外觀檢査部中保持上述工件的保持單 元。
此外，本發明提供一種外觀檢查方法，其特征在于，該外觀檢查方 法具有利用保持單元保持工件并對上述工件正面進行外觀檢查的步驟； 使邊緣部檢查部與上述保持單元相對接近的步驟，其中，該邊緣部檢查 部取得上述工件的邊緣部的放大像；以及在使上述保持單元相對接近的 狀態下，利用邊緣部檢查部取得上述工件的邊緣部的放大像的步驟。
在本發明中，在進行外觀檢査時，將工件保持在保持單元上， 一邊 適當移動保持單元一邊進行檢査。而且，在進行邊緣部檢查時，不進行 工件的移動放置而在將工件保持在該保持單元上的狀態下旋轉工件，利 用邊緣部檢查部取得工件的邊緣部的放大像。
而且，本發明提供一種可安裝在外觀檢査裝置上的邊緣部檢查單元， 其特征在于，該邊緣部檢查單元具有固定部，其相對于外觀檢查部可 自由拆裝，該外觀檢查部在以可自由移動的方式將工件保持在保持單元 上的狀態下對工件正面實施外觀檢查；以及放大像取得部，其被配置成 朝向上述保持單元所保持的上述工件的邊緣部，可取得上述工件的邊緣 部的放大像。
在本發明中，通過將固定部固定在外觀檢查部的規定位置上，可使 用外觀檢查部的保持單元來進行邊緣部檢查。即，不用移動放置被搬入
到外觀檢查部的工件即可實施外觀檢查。
此處，邊緣部是指工件的側面部、倒角部及其正背面的周圍部分。 此外，當工件為晶片的情況下，涂布抗蝕劑后除去了不需要的抗蝕劑的 邊緣切割線部分也包含在邊緣部之內。
根據本發明，在具有用于對工件正面進行外觀檢査的外觀檢査部的 外觀檢査裝置中，由于在工件正面的外觀檢查和進行工件的邊緣部的檢 査的邊緣部檢查中共用保持工件的保持單元，因此，不進行工件的移動 放置，即可在保持在保持單元上的狀態下進行外觀檢查和邊緣部檢查。
因此，與單獨構成裝置的情況相比能減小設置面積。而且，由于可 省略移動工件的距離和移動放置的麻煩，所以能縮短檢査的生產節拍時 間。


圖1是表示本發明的實施方式的外觀檢查裝置的概要結構的俯視圖。
圖2是表示外觀檢查裝置的概要結構的側視圖。
圖3是說明邊緣部檢查部的拆裝的分解圖。
圖4是表示外觀檢査裝置的概要結構的俯視圖。
圖5是表示外觀檢查裝置的概要結構的側視圖。 圖6是表示外觀檢查裝置的概要結構的側視圖。 圖7是表示外觀檢查裝置的概要結構的俯視圖。 圖8是表示從正面觀察第1方式的可變視野方向觀察裝置的結構例 的圖。
圖9A是表示從惻面觀察第1方式的可變視野方向觀察裝置的結構例 的圖。
圖9B是表示從圖9A的箭頭Al側觀察到的鏡凸輪的結構例的圖。 圖IOA是用于說明第1方式的可變視野方向觀察裝置中的可觀察視 野方向的圖。
圖10B是用于說明第1方式的可變視野方向觀察裝置中的可觀察視 野方向的圖。圖11是表示從正面觀察第2方式的可變視野方向觀察裝置的結構例 的圖。圖12A是表示從正面觀察第3方式的可變視野方向觀察裝置的結構例的圖。圖12B是表示從背面觀察第3方式的可變視野方向觀察裝置的結構 例的圖。圖12C是表示從圖12B的箭頭Cl側觀察到的可動型正反觀察鏡的 截面結構例的圖。圖13A是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13B是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13C是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13D是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13E是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13F是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 圖13G是用于說明第3方式的可變視野方向觀察裝置的動作的圖。 符號說明1、 51、 71外觀檢查裝置10宏觀檢査部(外觀檢査部)11微觀檢査部(外觀檢查部)12、 61邊緣部檢查部(邊緣部檢查單元)15、 30、 72安裝板22宏觀檢查單元(保持單元)31、 74、 95檢查臺(保持單元)36A、 79旋轉軸41固定部44放大像取得部45、 96控制裝置73自動宏觀檢查部(外觀檢查部) W晶片(工件)101基座101a電動機安裝板102電動機103滾珠螺桿組件103a滾珠螺桿103b滾珠螺桿導向件104 Z方向移動線性導向件 104a、 106a軌道104b、 106b外殼(case)105 Z移動臺 105a臂106 X方向移動線性導向件107 X移動板 108凸輪108a、 118a凸輪面109、 117凸輪輥111、 120拉伸彈簧112 CCD相機114晶片115旋轉鏡116旋轉軸118鏡凸輪119旋轉臂121a、 121b彈簧掛鉤122成像透鏡200、 201、 202可變視野方向觀察裝置(邊緣部檢査部)具體實施方式
參照附圖詳細說明用于實施本發明的優選方式。 (第1實施方式)如圖1所示，外觀檢查裝置1在面向檢查者的前面(圖1中的下方) 設有檢查部2，在檢查部2的背面側上連接有裝載機部3。裝載機部3并列連接有晶片托架4A、 4B，該晶片托架4A、 4B收容作為工件的半導體 晶片W (下面稱為晶片W)。另外，晶片托架4A、 4B可在上下方向上以 規定間距收容多個晶片W，例如，在晶片托架4A上收容未檢査的晶片 W，在晶片托架4B上收容己檢查的晶片W。而且，各晶片托架4A、 4B 可相對于裝載機部3獨立地進行拆裝。裝載機部3具有搬運機械臂5。搬運機械臂5由多關節臂構成，在 其前端的手柄5A上設有吸附保持晶片W的吸附孔6。該搬運機械臂5 可自由移動且可自由轉動地構成，使得可在2個晶片托架4A、 4B各自 與檢查部2的宏觀檢查部10之間搬運晶片W。檢查部2具有用于由檢查者以目視方式宏觀地進行檢查(宏觀檢 查)的宏觀檢查部10;以及用于進行通過作為高于目視的高倍率的放大 像而取得晶片W正面的像來實施的檢查(微觀檢査)的微觀檢查部ll， 在微觀檢查部11上安裝有取得晶片W的邊緣部的放大像的邊緣部檢查 部12。在宏觀檢查部10中，在安裝板15上可自由旋轉且可自由升降地設 置有回轉臂16。在回轉臂16中，從旋轉軸17起以等角度水平延伸設置 有3根搬運臂18、 19、 20，在各搬運臂18、 19、 20的前端部分別設有多 個吸附孔(晶片吸盤)21。這些吸附孔21與未圖示的吸引裝置連接。而 且，回轉臂16被轉動控制為使搬運臂18、 19、 20分別配置在位置P1、 P2、 P3上。位置P1是在與裝載機部3之間進行晶片W的轉交的轉交位 置，位置P2是進行宏觀檢查的檢查位置。位置P3是在與微觀檢查部11 之間進行晶片W的轉交的轉交位置。另外，在位置P2上設有宏觀檢查單元22。宏觀檢査單元22具有固 定在安裝板15上的基座部23，在基座部23上，在Z方向(上下方向) 可自由升降且可自由擺動地設有吸附保持晶片W的保持部24，可使位于
位置P2的晶片W向著檢查者立起，旋轉、搖動。而且，在回轉臂16的上方設有對位于位置P2的晶片W進行照明的照明部(未圖示)。照明部例如由光源和光學系統構成，該光學系統可在作為散射光來照射照明光、或進行聚光來照射晶片w之間進行切換。此外，在位置P3上設有進行晶片W的定位的位置檢測傳感器50。 該位置檢測傳感器50通過在將晶片W放置在旋轉臺36上的狀態下使其 旋轉，來檢測晶片W的缺口 (notch)位置和中心位置的偏差。并且，當 檢測出位置偏差的情況下，在用搬運臂18、 19、 20舉起晶片W的狀態 下校正旋轉臺36的位置，使得旋轉臺36的旋轉中心與晶片W的旋轉中 心一致，之后，通過使搬運臂18、 19、 20下降，可進行高精度的定位。如圖1和圖2所示，微觀檢查部11具有設置在被適當的減振機構 減振后的安裝板30上，作為保持晶片W的保持單元的檢查臺31;以及 觀察檢査臺31上的晶片W的顯微鏡32。檢査臺31上下層疊配置有可在 圖1所示的X方向上自由移動的X軸滑塊33和可在Y方向上自由移動 的Y軸滑塊34，在Y軸滑塊34上設有可在Z方向上自由移動的Z軸臺 35。在Z軸臺35上設有旋轉臺36，該旋轉臺36是可在0方向上自由旋 轉的旋轉機構。如圖2所示，旋轉臺36具有與未圖示的電動機連接的旋 轉軸36A，在旋轉軸36A的上端部上固定有圓板上的保持部36B。保持 部36B的外徑小于晶片W的外徑，在其中央部上設有用于吸附晶片W 的吸附孔(未圖示)。該吸附孔與未圖示的吸引裝置連接。而且，在微觀檢査部ll中，在安裝板30的前側的側部上固定有邊 緣部檢查部12。周圍檢查部具有3個放大像取得部，該放大像取得部由 攝像光學系統和CCD等攝像元件等構成，其從上方、側方、下方拍攝晶 片的邊緣部。并且，所拍攝的圖像顯示在顯示部60上，由檢査者進行觀 察和檢查。邊緣部檢查部12位于使用微觀檢查部11的顯微鏡32來觀察 晶片W正面時不會產生妨礙的位置、即假想線所示的微觀檢查區域A的 外側，在微觀檢查時不會干擾晶片W。如圖3所示，邊緣部檢查部12是 與安裝板30獨立的可自由拆裝的邊緣部檢査單元，其具有通過滾珠螺桿 40固定在安裝板30的螺孔30A中的固定部41，基座部42從固定部4113
延伸設置在Z方向上。在該基座部42上，凹部43形成為晶片w的邊緣 部可進入，在此設有放大像取得部44，該放大像取得部44由作為放大光 學系統的顯微鏡和CCD (Charged Coupled Device:電荷耦合器件)構成。 放大像取得部44具有從上方觀察晶片W的邊緣部的上表面(正面) 的放大像取得部44A;從側方觀察晶片W的邊緣部的放大像取得部44B; 以及從下方觀察晶片W的邊緣部的下表面(背面)的放大像取得部44C。 另外，放大像取得部44只要是能取得圖像的結構就不限于CCD。此外， 邊緣部檢査部12可以是可自由移動地具有1個放大像取得部44的1眼 式、以從左右方向夾著放大像取得部44B的方式追加有2個放大像取得 部44的5眼式等各種結構。作為1眼式的例子，可以舉出如下結構其 由光軸方向恒定、且可在XYZ方向上相對移動的顯微鏡和鏡(mirror) 構成，以始終將顯微鏡與觀察對象部位的距離保持為恒定的方式移動鏡 和顯微鏡。作為第2變形例，將在后面敘述其具體結構。而且，作為1眼式的其他例子，還可以舉出如下結構僅具有1個 圖3的邊緣部檢查部12的放大像取得部44，晶片W的端部相對于中心 轉動。并且，如圖2所示，檢査臺31和邊緣部檢査部12與控制裝置45連 接。控制裝置45由CPU (Central Processing Unit:中央處理單元)和存 儲器等構成，用于控制外觀檢査裝置1的整體。除此之外，在控制裝置 45上還連接有宏觀檢查部10、搬運機械臂5和顯示器等顯示裝置(未圖 示)。下面，說明本實施方式的作用。首先，將收容有檢查對象的晶片W的晶片托架4A和空的晶片托架 4B安裝到裝載機部3上。搬運機械臂5從晶片托架4A上取出一個晶片 W，轉交至位于宏觀檢查部10的位置P1上的搬運臂18。回轉臂16在將 晶片W吸附保持于搬運臂18上的狀態下轉動，將晶片W移動到位置P2。 此處，在解除搬運臂18的吸附而用宏觀檢査單元22來保持晶片W使其 上升之后，用擺動機構使晶片W立起，旋轉、搖動。把來自照明部的照明光照射到晶片W正面上，通過目視確認了有無
缺陷以及缺陷的狀態之后，使晶片W下降而再次吸附保持到搬運臂18上。另外，此時在位置P1上通過回轉臂16的轉動來配置搬運臂20，通 過搬運機械臂5在該搬運臂20上放置下一個晶片W。然后，轉動回轉臂16，將位于位置P2的晶片W移動到位置P3，將 位于位置Pl的晶片W移動到位置P2。由于檢查臺31在位置P3上等待， 所以將晶片W從搬運臂18移動放置在檢查臺31的保持部36B上。另外， 此時對移動到位置P2上的下一個晶片W實施與上述相同的宏觀檢查。 此外，還將另一個晶片W放置在移動到位置Pl的搬運臂19上。在微觀檢查部11中，在檢査臺31的旋轉臺36上在位置P2對晶片 W進行定位，控制裝置45使檢查臺31移動，使晶片W中成為檢查對象 的位置移動到顯微鏡32的物鏡32A (參見圖2)的視野內。檢査者窺視 未圖示的目鏡來目視確認由顯微鏡32所取得的放大像。此處，當在顯微 鏡32上設置有攝像裝置的情況下，也可以在目視顯示部60的同時進行 檢查。如果一邊移動檢查臺31—邊對所有檢査對象進行微觀檢查，則控 制裝置45如箭頭B所示使檢查臺31在XY方向上向斜前方移動，使檢 査臺31接近邊緣部檢查部12，然后， 一邊調整高度， 一邊使晶片W的 邊緣部進入邊緣部檢查部12的凹部43內。在邊緣部檢查部12中，例如用上側的放大像取得部44A來取得晶片 W的邊緣部的正面的圖像，用控制裝置45來進行圖像處理而輸出給顯示 部60。此時，控制裝置45旋轉撿査臺31的旋轉軸36A，使晶片W以規 定速度向6方向旋轉。這樣進行一周的晶片W的邊緣部的檢查，確認有 無傷痕等，之后同樣地用放大像取得部44B和放大像取得部44C依次取 得晶片W的邊緣部的側面和背面的圖像，進行邊緣部檢查。另外，也可 以使各放大像取得部44A、 44B、 44C動作一次，同時進行從3個方向的 檢查。另外，邊緣部的檢查優選通過圖像處理來自動進行檢測。例如， 也可以比較合格品的晶片W的邊緣部的亮度信息和預先取得的檢查對象 晶片的亮度信息。此外，由于只要是1個晶片W則邊緣部亮度除去缺口 部之外都恒定，所以也可以將亮度變化超過恒定值的部分作為缺陷提取 出來。
在邊緣部檢查結束之后，使檢查臺31從邊緣部檢查部12離開，返回到作為搬運位置的位置P3，移動放置到在位置P3等待的搬運臂18上。 回轉臂16使搬運臂18、 19、 20旋轉，使完成檢查的晶片W返回到位置 Pl。搬運機械臂5搬出完成檢查的晶片W，收容到晶片托架4B中。將 未檢查的晶片W重新移動放置到變空的位置Pl的搬運臂18上。此外， 將在位置P2進行了宏觀檢査的下一個晶片W搬入、移動放置到位于位 置P3的檢査臺31上。然后，同樣地對晶片托架4A內成為檢查對象的所 有晶片W進行檢査，之后卸下晶片托架4A、 4B，安裝接下來進行檢查 的晶片托架。另外，在該外觀檢查裝置1中，結束微觀檢查之后再轉移到邊緣部 檢查，但也可以通過控制裝置45的控制而在任意的定時轉移到微觀檢查 或者邊緣部檢査。而且，還可以不進行宏觀檢査而僅進行微觀檢査和邊 緣部檢查，也可以不進行微觀檢查而僅進行宏觀檢查和邊緣部檢查。根據該實施方式，在進行晶片W的外觀檢查時，將邊緣部檢查部12 安裝在微觀檢査部11上，在微觀檢查和邊緣部檢査雙方中共用微觀檢查 部ll的檢查臺31，所以能減小裝置的設置面積。而且，可無需從微觀檢 查中轉交晶片W就進行邊緣部檢查，且與用獨立裝置構成的情況相比檢 查臺31的移動距離也可大幅度減小，所以能縮短檢查的生產節拍時間。由于邊緣部檢査部12和檢查臺31構成為可自由地相對臨近和離開， 所以能防止微觀檢查時晶片W等與邊緣部檢查部12發生干擾。而且， 由于把邊緣部檢查部12和檢查臺31設置在同一塊安裝板30上，所以高 度方向上的偏差變小，易于調整邊緣部檢查時的高度。特別是在本實施 方式中，在將晶片W轉交給旋轉臺36時能高精度地進行定位，所以在 用邊緣部檢查部12旋轉晶片W進行檢查時，可抑制晶片W在觀察位置 上旋轉而導致的移動，能進行高倍率的檢查。此外，由于位置檢測傳感 器50在位置P3檢測晶片W的缺口位置與中心位置的偏差量，所以即使 不再次放置晶片W，也可以通過在檢查邊緣部時控制檢査臺31，從而在 旋轉晶片W時以不產生偏心的狀態進行檢查。此外，在微觀檢査部11的安裝板30上貫穿設置固定邊緣部檢査部12的螺孔30A，將邊緣部檢查部12作為邊緣部檢査單元，構成為可自由 拆裝于微觀檢查部11，所以僅在具有宏觀檢查部10和微觀檢查部11的 外觀檢查裝置上安裝邊緣部檢查部12即可實施邊緣部檢查。即，僅通過 最小限度的改變，即使是現有的外觀檢査裝置也能取得上述效果。另外， 邊緣部檢査部12也可以一體地固定安裝在安裝板30上。另外，也可以釆用如下結構在邊緣部檢查部12的固定部41與基 座部42之間設置可在B方向自由水平移動的一軸臺，使基座部42可向 晶片W自由進退。此時也能取得與上述相同的效果。而且，通過使邊緣 部檢查部12向檢查臺31移動，能進一步減小生產節拍時間。安裝在固 定部41和基座部42之間的臺不限于一軸臺。例如也可以是還可在與B 方向正交的方向上自由移動的二軸臺、還可向Z方向移動的三軸臺、或 者可在B方向和Z方向上移動的二軸臺。在將顯微鏡32構成為物鏡部 32A可在Z軸方向上移動、將基座部42構成為可在Z方向上自由移動的 情況下，由于無需在檢査臺31上設置Z軸臺35，所以能簡化檢查臺31 的結構。此外，上述實施方式也可以變形為具有如下功能，記錄由微觀檢査 部或者邊緣部檢査部的任意一個檢査部正在進行檢查時的觀察位置的坐 標，當由另一個檢查部進行檢查時，根據所記錄的觀察位置的坐標將觀 察位置移動到另一個檢查部的觀察位置上(第1變形例)。艮P，在該第l變形例中，如圖l、 2所示，具有檢査臺95以取代上 述第1實施方式的外觀檢查裝置1的檢査臺31，該檢査臺95具有與檢查 臺31相同的結構，而且，可檢測晶片W在XYZ各軸方向上的位置的坐 標；并且，具有控制裝置96以取代控制裝置45，該控制裝置96具有與 控制裝置45相同的結構，而且，取得由檢查臺95檢測的晶片的位置的 坐標信息進行存儲，使用該坐標信息來進行外觀檢查裝置1的控制。在檢查臺95上例如安裝有未圖示的步進電動機，作為在各移動方向 驅動與檢查臺31同樣設置的X軸滑塊33、 Y軸滑塊34、 Z軸臺35和旋 轉臺36的動力源。并且，可根據距離該步進電動機的基準位置的旋轉角 的信息，檢測晶片W移動后的位置的坐標。
此處，除了步進電動機之外，檢查臺95的動力源例如可以優選采用伺服電動機、直線檢測元件(linear scale)、線性電動機等可檢測位置坐 標的適當的致動器或檢測元件等。下面，說明該第l變形例的作用。在移動放置在檢查臺95上的晶片W，作為微觀檢查而用顯微鏡32 來觀察晶片W的邊緣部時，為了發現缺陷并確認側面和背面側，有時要 馬上轉移到邊緣部檢查，觀察晶片W的邊緣部。此時，檢査臺95由于可檢測各軸方向的坐標，所以例如按下一個按 鈕等，用操作部70發出指示，將該坐標信息存儲到控制裝置96中。并 且，當使用存儲在控制裝置96中的坐標信息，從正在進行微觀檢查的顯 微鏡32的物鏡的光軸上的點97轉移到邊緣部檢查時，通過控制裝置96 控制檢查臺95，使得即使用邊緣部檢查部也能直接觀察由顯微鏡32觀察 到的點97，移動晶片W以使點97到達邊緣檢査部的攝像光學系統的光 軸上。對于移動后的晶片W，通過操作部70手動地、或者通過預先輸入而 設定的觀察方法自動地觀察各種任意位置的邊緣部，之后轉移到原本的 顯微鏡32進行的晶片W的邊緣部觀察。即，使用存儲在控制裝置96中 的點97的坐標信息控制檢查臺95，將原本晶片W的邊緣部的由顯微鏡 32進行外觀檢査后的點97，移動到可再次由顯微鏡32觀察的位置上。反之，在移動放置在檢査臺95上的晶片W，通過邊緣部檢查來觀察 晶片W的邊緣部時，為了發現缺陷并通過放大后的圖像進行確認，有時 要馬上轉移到基于顯微鏡的微觀檢査，觀察晶片W的邊緣部。此時，使用檢查臺95檢測通過用操作部70進行指示而正在進行邊 緣部檢查的點97的坐標，將該坐標信息存儲到控制裝置96中。然后， 在轉移到基于顯微鏡的微觀檢査時，通過控制裝置96控制檢查臺95，使 得即使在顯微鏡32的邊緣部觀察中也能直接觀察由邊緣部檢查部觀察到 的點97，移動晶片W以使點97到達顯微鏡32的光軸上。當手動地或者自動地對移動后的晶片W進行各種任意位置的基于顯 微鏡的邊緣部觀察之后，轉移到原來的邊緣部檢查部進行的邊緣部觀察。
即，使用存儲在控制裝置96中的點97的坐標信息控制檢查臺95，將原 本晶片W的由邊緣部檢查部進行邊緣部檢査后的點97，再次移動到可通 過邊緣部檢查部觀察的位置上。 說明該第l變形例的效果。根據本變形例，例如當移動放置在檢査臺95上的晶片W，用顯微鏡 32觀察晶片W的邊緣部時，不但想觀察晶片正面，還想直接觀察邊緣部 的情況下或者相反的情況下，即在外觀檢查與邊緣部檢查之間轉移的情 況下，僅通過按下一個操作部70的按鈕來存儲各檢査中觀察到的點的坐 標信息，使用該坐標信息移動晶片W，所以能在各檢查中觀察相同的觀 察的點。因此，例如在觀察從晶片正面延續到邊緣部背面的傷痕和缺口 等的情況下，可通過顯微鏡進行的外觀檢査和邊緣部檢査而沒有位置偏 差地連續觀察這些傷痕和缺口的位置，所以能提高觀察精度和觀察速度。由此，能順利地連續進行晶片W的邊緣部、其他正面的外觀檢查、 邊緣部檢查。(第2實施方式)第2實施方式的特征在于，邊緣部檢查部設置在通過目視進行檢查 的宏觀檢查部上。其他結構和作用與第l實施方式相同。如圖4所示，在外觀檢査裝置51中，邊緣部檢查部61 (外緣部檢 查單元)可自由拆裝地設置在宏觀檢査部10的安裝板15上。邊緣部檢 查部61具有固定在安裝板15上的固定部62、 一軸臺63、安裝有放大像 取得部44的基座部42，基座部42被安裝為可自由接近和離開位置P2。 如圖5所示，在基座部42最接近的檢査位置上，水平保持在宏觀檢查單 元22上的晶片W的邊緣部進入凹部43。此外，如假想線所示，在基座 部42離開最遠的位置上，從宏觀檢查區域C退避，不會妨礙回轉臂16 的轉動和宏觀檢査單元22引起的晶片W的搖動(擺動)。此外，宏觀檢查單元22是除了升降機構、搖動機構之外還設置有旋 轉機構的保持單元，該旋轉機構在使晶片W搖動的狀態下旋轉所保持的 晶片W。在該實施方式下進行晶片W的外觀檢查的情況下，通過宏觀檢查單
元22吸附保持被搬運到位置P2上的晶片W并進行宏觀檢查。當宏觀檢 查結束之后，將晶片W水平保持在規定高度上，把邊緣部檢查部61移 動到檢查位置上。然后， 一邊用宏觀檢查單元22旋轉晶片W， 一邊與第 1實施方式相同地進行邊緣部檢查。當邊緣部檢査結束之后，使邊緣部檢 査部61后退到等待位置，之后將晶片W從宏觀檢査單元22移動放置到 搬運臂19。而且，旋轉回轉臂16而將晶片W搬運到位置P3。然后，將 晶片W移動放置到微觀檢查部11上進行微觀檢查，當微觀檢査結束之 后，使晶片W經由位置P3返回到位置P1，然后將其收容到晶片托架4B 上。另外，在該外觀檢查裝置51中，結束宏觀檢査之后再轉移到邊緣部 檢查，但也可以通過控制裝置45的控制而在任意的定時轉移到宏觀檢查 或者邊緣部檢查。而且，還可以不進行微觀檢查而只進行宏觀檢查和邊 緣部檢查，也可以不進行宏觀檢査而只進行微觀檢査和邊緣部檢查。在本實施方式中，在宏觀檢查部10中設置邊緣部檢査部61，在宏 觀檢查和邊緣部檢査雙方中共用宏觀檢查部10的宏觀檢查單元22，因此， 能減小裝置的設置面積。而且，可無需從宏觀檢查中轉交晶片W就進行 邊緣部檢查，且與用獨立裝置構成的情況相比邊緣部檢查部61的移動距 離也可大幅度減小，所以能縮短檢查的生產節拍時間。另外，將宏觀檢 査單元22與邊緣部檢査部61設置為可相對自由接近離開所帶來的效果、 以及安裝在同一塊安裝板15上所帶來的效果與第1實施方式相同。而且， 將邊緣部檢査部61構成為可自由拆裝于宏觀檢查部10的效果與第1實 施方式相同。(第3實施方式)第3實施方式的特征在于，邊緣部檢查部被設置在自動宏觀檢査部 上，該自動宏觀檢查部通過圖像處理從由攝像裝置拍攝到的圖像中自動 提取缺陷。其他結構和作用與第l實施方式相同。如圖6和圖7所示，外觀檢查裝置71具有經過減振的安裝板72， 在安裝板72上構筑有自動宏觀檢查部73。自動宏觀檢查部73具有檢查 臺74、以在X方向上夾著檢查臺74的方式固定的照明部75和攝像部76。 檢查臺74由X軸臺77、 Z軸臺78和作為旋轉機構的旋轉軸79構成，在 旋轉軸79上固定有吸附保持晶片的保持板80。照明部75具有線光源， 該線光源從斜上方對晶片W的上表面(正面)照射線狀的照明光。線光 源在與X方向正交的Y方向上延伸。同樣地，攝像部76配置有光學系 統，使得拍攝來自照明部75的照明光在晶片W的上表面所反射的線狀 的反射光和衍射光，在其像位置上，在Y方向上呈線狀地排列有攝像元 件。并且，攝像部76的光軸與照明部75的光軸被配置為在晶片W的上 表面上交叉。并且，攝像部76與照明部75被設置在可自由轉動的部件 91、 92上，部件91、 92在各自交叉的晶片W上的線上具有旋轉軸90。 通過攝像部76和照明部75獨立地轉動，可在正反射、±1、 ±2次的衍射 光等適于各種觀察條件的角度下進行拍攝。而且，在安裝板72上固定有邊緣部檢查部12。邊緣部檢查部12設 置在從假想線所示的晶片W的宏觀檢查區域D退避的位置上。另外，檢 査臺74在X方向上的可動范圍大于宏觀檢查區域D，可使晶片W的邊 緣部進入邊緣部檢査部12的凹部43內。說明本實施方式的作用。預先使檢查臺74在位置P4所示的轉交位 置上等待，通過未圖示的搬運機械臂將晶片W搬入轉交位置，將晶片W 吸附保持在檢査臺74上。接著，通過使檢查臺74在X方向上向邊緣部 檢查部12側移動，來自照明部75的線狀的照明光在晶片W上表面反射， 按照每條線被攝像部76取入，拍攝晶片W整體的圖像。控制裝置45取由攝像部76拍攝到的圖像和預先取得的合格品的圖 像的差值，通過圖像處理將亮度差在恒定值以上的區域作為缺陷進行提 取。然后，按照每個晶片W在存儲部中登記提取出的缺陷的位置、大小 的信息和經過自動缺陷分類的分類信息。當晶片W的自動宏觀檢查結束之后，進一步在X方向上移動檢查臺 74，使得其接近邊緣部檢查部12，使晶片W的邊緣部進入邊緣部檢查部 12的凹部43。在該位置上使晶片W在0方向上旋轉，與第l實施方式同 樣地進行邊緣部檢查。當邊緣部檢查結束之后，停止晶片W的旋轉后返 回到位置P4，搬出晶片W。
另外，在該外觀檢查裝置71中，在結束自動宏觀檢查之后再轉移到 邊緣部檢査，但也可以通過控制裝置45的控制在任意的定時轉移到宏觀檢查或者邊緣部檢查。此外，還可以配置邊緣部檢查部12，使得在自動 宏觀檢查結束之后，晶片W的邊緣部進入邊緣部檢查部12的凹部43內。 由于照明部75被配置為可轉動，所以即使在這種位置上配置邊緣部檢查 部12，只要不妨礙自動宏觀檢查就可進行配置。而且，還可以將邊緣部 檢査部12構成為可在X方向上自由移動，邊緣部檢查部12接近自動宏 觀檢查結束之后的晶片W。在本實施方式中，在自動宏觀檢査部73中設置邊緣部檢査部12， 在宏觀檢查和邊緣部檢查兩方中共用自動宏觀檢査部73的檢查臺74，所 以能減小裝置的設置面積。而且，可無需從宏觀檢查中轉交晶片W就進 行邊緣部檢查，且與用獨立裝置構成的情況相比檢查臺74的移動距離也 可大幅度減小，所以能縮短檢查的生產節拍時間。尤其，當移動檢査臺 74而使晶片W的邊緣部進入邊緣部檢査部12的凹部43的情況下，通過 僅使檢查臺74在X方向上延長而能低成本地進行制造。另外，將檢查臺 74和邊緣部檢查部12設置為可自由相對接近離開所帶來的效果、以及安 裝在同一塊安裝板72上所帶來的效果與第1實施方式相同。此外，將邊 緣部檢查部12構成為可自由拆裝于自動宏觀檢查部73的效果與第1實 施方式相同。另外，本發明不限于上述各實施方式而可廣泛應用。例如，在第l實施方式中，邊緣部檢查部12的設置位置不限于圖1 所示的位置，也可以安裝在安裝板30的側緣部。在該結構中，可使安裝 板30的前側變小。在該情況下也將邊緣部檢查部12配置為在微觀檢查 時不會產生妨礙的位置上等待。還可以是如下的外觀檢査裝置不具有宏觀檢査部IO而僅具有微觀 檢查部11和邊緣部檢查部12。同樣地，還可以是如下的外觀檢査裝置 不具有微觀檢查部11而僅具有宏觀檢查部10和邊緣部檢査部12。此外， 還可以是由自動宏觀檢查部73和微觀檢查部11構成的外觀檢査裝置。還可以通過在顯微鏡32上設置晶片W的邊緣部可進入的凹部，并
在該凹部上配置放大像取得部44來形成邊緣部檢查部。在該情況下，能 進一步減小微觀檢查部ll的空間。此外，只要具有配置空間，則既可以在位置Pl上設置旋轉臺和邊緣部檢查部，也可以在位置P3上設置旋轉臺和邊緣部檢査部。工件不限于半導體晶片，還可以應用玻璃基板等各種工件。 此外，在上述邊緣部檢查部的結構中，可采用具有如下說明的可變視野方向觀察裝置的結構。該可變視野方向觀察裝置為具備上述放大像取得部44的1眼式的例子的具體結構的變形例(下面稱作第2變形例)。 下面，以上述工件是作為平板狀試樣的晶片的情況為例進行說明。 首先，說明本變形例的可變視野方向觀察裝置的概念。 對于可變視野方向觀察裝置，例如說明將其安裝在顯微鏡裝置上的 一個例子。本變形例的可變視野方向觀察裝置的實施方式是如下的觀察裝置將由晶片等構成的平板作為試樣(觀察對象物或者標本)進行保持，配置到可向彼此正交的3軸方向移動和旋轉的顯微鏡裝置的臺的附近而觀察試樣的外周端面。例如設晶片為(平板狀)的試樣，則在垂直于晶片 主面的方向上配置觀察光學系統(此處，例如為攝像光學系統)的光軸。使放置在該攝像光學系統固有的從焦點位置到物鏡的距離、即所謂的WD (工作距離)的內側的旋轉鏡旋轉，變更試樣觀察設置方向(視野方向)， 由此使其具有始終將伴隨視野方向變更的物鏡和試樣之間的距離保持為 上述WD的機構。在本變形例中，由放置有觀察光學系統和旋轉鏡的光學系統臺(2 軸臺二ZX臺)、將鏡的旋轉移動到Z方向的旋轉臺以及卡合在這些旋轉臺 上的2個凸輪構成基本的要素。作為本變形例的概念上的結構由下述a、 b、 c、 d、 e構成。a. 在與試樣的面正交的方向(Z方向)和平行的方向(X方向)上可 動的2軸臺；b. 具有使2軸臺在Z方向上移動的驅動部的基座；c. 臺的X方向移動部，其由下列部分構成固定在基座上的X方向
凸輪；與安裝在上述2軸臺的X方向移動板上的凸輪卡合的輥；在使基 座和X方向移動板(X臺)接近的方向上作用的拉伸彈簧；d. 在X臺上配置有把光軸調整為與試樣面成直角的觀察(顯微鏡) 光學系統、以及在該顯微鏡的物鏡和該透鏡的焦點位置之間將光軸任意 偏向的旋轉鏡；e. 具有固定在基座上的鏡凸輪和與安裝在從上述旋轉鏡的旋轉軸突 出的旋轉臂上的凸輪卡合的輥，在旋轉臂和設有X臺的拉桿(彈簧掛鉤) 之間配置拉伸彈簧，該拉伸彈簧作用在將輥按壓在凸輪上的方向上，通 過基座的驅動裝置，觀察光學系統的位置和旋轉鏡的角度隨凸輪而變化， 即使移動視野方向，焦點也始終在試樣的端面上。雖然該可變視野方向觀察裝置可以作為檢查(觀察)裝置獨立地構 成，但也可以安裝成將晶片用顯微鏡裝置的晶片作為試樣進行保持，配 置到可向彼此正交的3軸方向移動和旋轉的顯微鏡裝置的臺的附近，可 觀察保持在臺上的試樣的外周端面。當然，如后所述，試樣不限于晶片。 此外，在下面的說明中，將試樣取為晶片，將試樣的正背面的平面部稱 為主面。此外，試樣的外周端面主要是指并非試樣的正背面的平面的邊 緣部，在通過加工實施倒角等后的情況下和涂布了抗蝕劑后、觀察環繞 在除去邊緣部的抗蝕劑后的正面的被稱作邊緣切割線(edge cut line)的 部分背面的周圍部的抗蝕劑等的情況下，假定也包含該周圍部分。下面，詳細說明本變形例的第l方式(以下簡稱為第l方式)。圖8和圖9A、 9B表示可變視野方向觀察裝置200的第1方式。此 處，圖8是表示從正面觀察第1方式的可變視野方向觀察裝置的結構例 的圖，圖9A是表示從側面觀察第1方式的可變視野方向觀察裝置的結構 例的圖，圖9B是表示從圖9A的箭頭Al側(與圖8相對的背面側)觀 察到的鏡凸輪的結構例的圖。說明該可變視野方向觀察裝置200的結構。另外，在下面的說明中，將與作為試樣的晶片的主面相同的方向且與端面的接線正交的方向設為 X方向，將與主面正交的方向設為Z方向。本裝置的基座101是鋼、鋁或者不銹鋼等金屬材料的板形部件。該24
基座101的長度方向被配置在與作為試樣的晶片114的主面正交的方向 上。在該基座101的上端以突出為L字形的方式安裝有電動機安裝板 101a，在該電動機安裝板101a上設有電動機102。電動機102的旋轉軸 (未圖示)通過未圖示的控制器在X方向上旋轉。電動機102的旋轉軸 與滾珠螺桿103a連接。滾珠螺桿103a可自由旋轉地插入嵌合在滾珠螺 桿導向件103b上，該滾珠螺桿導向件103b安裝在臂105a上，該臂105a 從固定在基座101上的Z移動臺105伸出。通過這些滾珠螺桿103a和滾 珠螺桿導向件103b構成滾珠螺桿組件103。通過該結構，借助于電動機 102的旋轉軸的旋轉使滾珠螺桿103a移動，以推起或者按下滾珠螺桿導 向件103b。此外，由固定在Z方向移動臺105上的軌道104a和可滑動地與軌道 104a卡合且固定在基座101上的外殼104b構成Z方向移動線性導向件 104。而且，在基座101上，通過多個支柱固定有凸輪108，該凸輪108 形成有在上方側彎曲為凹形的凸輪面108a。在該基座101的下方側通過 多個支柱固定有鏡凸輪118，該鏡凸輪118形成有彎曲為與凸輪面108a 不同的凹形的凸輪面118a。而且，由固定在Z方向移動臺105上的軌道106a、和可滑動地與軌 道106a卡合且固定在X移動板107上的外殼106b構成X方向移動線性 導向件106。通過該結構，基于X方向移動線性導向件106的Z方向移 動臺105和基于Z方向移動線性導向件104的X移動板107可相對于 X-Z平面二維地進行移動。此外，在X移動板107上可旋轉地固定有凸輪輥109，該凸輪輥109 一邊沿著凸輪108的凸輪面108a旋轉一邊移動。在X移動板107上可轉 動地設有旋轉軸116。以從該旋轉軸116延伸出來的方式一體地固定有旋 轉臂119。在旋轉臂119上可旋轉地安裝有凸輪輥117，該凸輪輥117沿 著作為轉動引導部發揮作用的鏡凸輪118的凸輪面118a移動。旋轉軸116 通過凸輪輥117沿著凸輪面118a移動而旋轉。
在基座101的凸輪108側的上端設有拉桿形狀的彈簧掛鉤121a，在 X移動板107的上端且彈簧掛鉤121a的相反側設有彈簧掛鉤121b。在這 些彈簧掛鉤121a、 121b上懸掛固定有拉伸彈簧111。通過該拉伸彈簧111 的推力，作用為凸輪輥109始終推壓在凸輪108上。如圖9B所示，拉伸 彈簧120懸掛固定在旋轉臂119的孔和設置在X移動板107上的彈簧掛 鉤122A之間。通過拉伸彈簧120的推力，作用為凸輪輥117始終推壓在 鏡凸輪118的凸輪面118a上。而且，在X移動板107上，設置有作為觀察光學系統的攝像部123， 該攝像部123在與安裝在旋轉臺上的狀態的晶片的主面正交的方向上具 有光軸。該攝像部123由成像透鏡122和CCD相機112構成，該CCD 相機112接收在成像透鏡122上成像的光像，生成經過光電轉換的圖像 信號。當然，成像透鏡122既可以像顯微鏡那樣由物鏡和對來自物鏡的 無限遠光束進行成像的透鏡構成，也可以使用變焦透鏡單體。此外，對 焦和變焦變倍機構也可以是電動的。在成像透鏡的WD內具有使成像透 鏡122的光軸偏向的旋轉鏡115，其與安裝在X移動板107上的旋轉軸 116接合。說明安裝在這樣構成的顯微鏡裝置上的可變視野方向觀察裝置200 的動作。說明本裝置在下面的步驟中，即使相對于晶片的端面改變視野方向 (即使旋轉旋轉鏡)也始終對焦的情況。首先參照圖8，按照檢査者(觀察者)的指示，通過未圖示的控制 器的控制來使電動機102旋轉。滾珠螺桿103a也通過該旋轉而旋轉，以 推起或者按下滾珠螺桿導向件103b的方式進行移動。當為按下移動時， Z驅動板105按照Z方向移動線性導向件104的導向方向以接近晶片114 的方式進行移動。在其下降時，Z驅動板105通過拉伸彈簧111的推力使凸輪輥109 按壓在凸輪108上，沿著凸輪面108a右向移動。與此同時，旋轉臂119 也通過拉伸彈簧120使凸輪輥117按壓在鏡凸輪118的凸輪面118a上進 行移動。當凸輪輥117沿著凸輪面118a進行移動時，旋轉臂119在順時
針方向進行轉動。也就是說，成像透鏡122沿著Z方向(光軸方向)以接近晶片114 的方式下降，同時在晶片114的主面方向以離開端部的方式在X方向上 進行移動。如圖8所示，實際上晶片114的端部和旋轉軸116下降相同 距離(WD)。隨著此時旋轉臂119在順時針方向上的轉動，旋轉鏡115 也順時針轉動。即，凸輪面118a的形狀被設計為，成像透鏡122的光軸 在旋轉鏡115上偏向，光軸和晶片114的端面始終一致，且其端面通過 旋轉鏡與成像透鏡的距離WD保持為恒定。其結果，能實現即使改變觀察晶片114的端面的角度(0)，成像透 鏡122的焦點也始終與其端面重合的狀況。不過，在本實施方式中，優 選的是可觀察的視野方向相對于晶片114的主面為±45度左右。其理由 在于，當旋轉鏡115的反射角度接近與成像透鏡122的光軸平行時，必 須使旋轉鏡115的反射面(鏡面)變得極大，所以實質上鏡的反射面的 面積具有限制。參照圖10A、圖10B簡單說明其理由。如圖IOA所示，用實線表示從與晶片114的主面相同的方向"=0) 開始觀察時的成像透鏡122和旋轉鏡115 (^=45度)的位置關系，虛線 表示從上方觀察端面時的成像透鏡122和旋轉鏡115的位置關系。當^為^時，02= (1/2) *^。由此，0越大則&也越大，如單點劃 線所示，反射面與光軸一致，會對觀察產生妨礙。同樣地如圖10B所示， 在從晶片114的下方進行觀察的情況下，晶片114的一部分進入成像透 鏡122和旋轉鏡115之間，會對觀察產生妨礙。進一步補充說明，當0=0時，成像透鏡122的光軸與晶片114的端 面最遠。可知隨著e進一步增大，光軸接近晶片114。由此，要考慮到這 些情況來設計鏡凸輪118。如上所述，根據本變形例的第1方式的可變視野方向觀察裝置200， 相對于晶片等具有2個主面的試樣114的外周端面，在與主面正交的方 向(Z方向)上與試樣114的外周端面保持大致恒定距離，同時移動旋轉 鏡115，所以外周端面到觀察光學系統的距離WD (工作距離)恒定，可
在觀察(拍攝)端面期間始終將焦點對準試樣的端面。此外，支撐攝像部123的X移動板在晶片114的主面方向上只移動維持距離WD的程度，所以可使本實施方式的可變視野方向觀察裝置變小。此外，作為檢查裝置，無需一定單獨構成，也可以配置在現有的顯 微鏡裝置的臺的附近來使用，該現有的顯微鏡裝置可保持試樣而向彼此正交的3軸方向移動和旋轉。當然，不限于用于晶片的顯微鏡裝置，也可安裝在具備其他臺的裝置上。而且，通過與觀察凸輪108、 118的凸輪面108a、 118a的彎曲狀態 的試樣的外周端面的形狀適應，可利用最佳焦點來觀察各種試樣。例如， 還可以采用可自由拆裝凸輪108、 118的結構，構成為適當按照試樣來進 行更換。由此，即使試樣的端面的截面形狀構成為充分變圓的形狀或者 略微變圓的程度的形狀，也能容易地進行攝像部的對焦。通過使上述實施方式的外觀檢查裝置1的邊緣部檢查部12具備這種 可變視野方向觀察裝置200，可將晶片114的端面和與該端面延續的正背 面的觀察像導入到邊緣部檢查部12的顯微鏡，找出產生在晶片端面上的 缺口或裂痕。此外，只要是掩模圖形的檢査，則也能檢査抗蝕劑膜的修 邊狀態和翻轉到晶片背面的情況等。接著參照圖ll，說明本變形例的第2方式(下面簡稱為第2方式) 的可變視野方向觀察裝置的結構例。另外，對于圖ll所示的結構部位， 對于與上述圖8和圖9A、圖9B所示的結構部位同等的部位賦予相同的 參照符號，省略其說明。本方式是在上述第1方式中，在進行觀察的角度上具有限制(±45 度左右)，實現從試樣的正上方或正下方進行觀察的例子。本方式中，通 過進一步設置圖11所示的2個正反觀察鏡，可觀察樣的外周部的正背 面。在該可變視野方向觀察裝置201中，構成為在基座130上形成切口 部B1，晶片114的端部嵌入其中。而且，在將晶片114的端部插入切口 部B1時，在從該端部略微進入內側的位置上配置正反觀察鏡131、 132， 該正反觀察鏡131、 132分別固定在光軸(與晶片114的主面正交的方向)
上的上方和下方。例如，以觀察晶片114的上主面為例，如果假定成像透鏡122的光 軸與旋轉鏡115和正反觀察鏡131的傾斜相同，則與由正反觀察鏡131 偏向的光軸相同。即，由這些正反觀察鏡131、 132彎曲的光軸與晶片114 的各主面正交，所以其結果為可觀察晶片114的外周部的正面和背面。在這種配置中，凸輪135與上述第1方式的凸輪形狀對應地設有凸 輪面135a，該凸輪面135a為了使來自正反觀察鏡的光軸與成像透鏡光軸 一致而延長。通過設置凸輪面135a，可與正反觀察鏡的角度關聯地確定 旋轉鏡角度，使得光軸與成像透鏡光軸一致。當然，為了使LIO、 Lll以 及L12之和與WD —致，同樣在凸輪134上也施加有凸輪面134a的形狀。 另外，由于晶片114的個體差異等導致WD不完全一致的情況下，還能 通過使光圈插入觀察光學系統使得具有充分的被攝場深度、或是設置AF (自動聚焦)裝置來進行應對。另外，以晶片為一個例子說明了作為本變形例的可變視野方向觀察 裝置的觀察對象的試樣，但當然不限于此，例如也可通過將其安裝在用 于液晶顯示面板的玻璃基板的檢查裝置上，來觀察玻璃基板的端面。之 外，還可通過將其安裝在金屬切削裝置上，來觀察所切削的產品的端面。如上所述，根據上述第1、第2方式，能從期望的角度觀察作為試 樣的晶片的外周端面，無需每次進行對焦作業即可簡單地觀察在其整個 外周的端面和正背面產生的缺口和斷裂等傷痕和附著的異物。此外，在 該第2方式中，也與上述第1方式相同地安裝在顯微鏡裝置上，可容易 地安裝到晶片外觀檢查裝置和晶片檢査裝置等上。此外，還可以將其設 置在曝光裝置、涂敷器、顯影器等具有旋轉臺的基板處理裝置中。下面，說明本變形例的第3方式(以下，簡稱為第3方式)的可變視野方向觀察裝置。在上述第2方式中，正反觀察鏡B1、 132是固定的，與旋轉鏡115 的角度無關地朝向恒定方向。因此，在利用旋轉鏡115觀察晶片114的 端面時，如果設定為低倍率觀察則有時正反觀察鏡131、 132會進入旋轉 鏡115的觀察視野中。本方式是設置可動型正反觀察鏡，在觀察試樣的
端面時，使其從旋轉鏡115的觀察視野退避的結構例。圖12A是表示從正面觀察第3方式的可變視野方向觀察裝置的結構 例的圖，圖12B是表示從背面觀察第3方式的可變視野方向觀察裝置的 結構例的圖，圖12C是表示從圖12B的箭頭Cl側觀察到的可動型正反 觀察鏡的截面結構例的圖。另外，關于圖12A、圖12B、圖12C所示的 結構部位，對于與上述圖8和圖9所示的結構部位同等的部位賦予相同 的參照符號，省略其說明。如圖12A所示，可變視野方向觀察裝置202設有可動型正反觀察鏡 171、 172，使得在由旋轉鏡115觀察晶片114的端面時，以晶片114的 主面為基準，相對于旋轉鏡115，鏡面171a、 172a位于具有任意角度&、 ^的俯角(以成像透鏡122的光軸方向為基準收斂于旋轉鏡115的方向) 的規定位置。任意角度&、"是為了防止在晶片114反射的外光(照明 光等)在可動型正反觀察鏡171、 172再次反射并射入到旋轉鏡115而設 置的角度。任意角度&、"被設為，相對于晶片114的正反主面略微傾 斜，相對于旋轉鏡115具有俯角(相對于晶片主面為仰角)。這些可動型正反觀察鏡171、 172為相同結構，如圖12B所示，它們 被配置成相對于晶片114 (光軸方向)線對稱。在這些可動型正反觀察鏡 171、 172之間設有驅動板173，該驅動板173固定在圖9所示的X移動 板107上，伴隨上下移動而轉動可動型正反觀察鏡171、 172中的任意一 個。下面，以可動型正反觀察鏡171為一個例子進行說明。 如圖12C所示，可動型正反觀察鏡171由以下部分構成嵌入軸承 181而可旋轉地安裝在基座101上的鏡主體182;可更換地安裝在鏡主體 182上的鏡臺183;固定在鏡臺183的前端部(在該圖中為下表面側)上 的鏡184;為了規定上述規定位置而設置在基座101上的止動部185;通 過軸承181連接固定在鏡主體182上的桿部186;設置在桿部186的前端 部上伴隨驅動板173的上下移動而轉動鏡主體182的凸輪188;以及施加 用于使鏡主體182返回規定位置的推力的線圈彈簧187。作為將鏡臺183安裝到鏡主體182上的結構，在鏡主體182的安裝 面m上至少設置2個銷189a、 189b與螺孔190，在鏡臺183上，分別使 與這些銷189a、 189b嵌合的孔191a、 191b和螺釘用孔191c開口 。安裝 是在鏡主體182的銷189a、 189b上嵌合鏡臺183的孔191a、 191b，之后 通過螺釘用孔191c把螺釘192擰入螺孔190進行固定。由于這樣構成為 可拆裝鏡臺183，所以即使鏡被污染也能容易地洗凈。止動部185由固定在基座101上的止動柱193和確定卡止桿部186 的規定位置的止動器194構成。線圈彈簧187的一端掛在桿部186上， 另一端掛在基座101上，其推力被設為始終由桿部186按壓止動器194。接著參照圖13A至圖13G，說明如此構成的可動型正反觀察鏡171、 172的動作。該觀察例是從晶片上表面經過端面觀察晶片下表面。圖13A表示觀察從裝置正面觀察到的晶片114的上表面的狀態，圖 7B表示從其背面側觀察到的可動型正反觀察鏡171、 172的轉動狀態。 在該觀察狀態下，旋轉鏡115位于可動型正反觀察鏡172的上方，可動 型正反觀察鏡172的凸輪188被驅動板173拉起。然后，映射在可動型 正反觀察鏡172上的晶片正面(主面上表面)通過旋轉鏡115而沿著成 像透鏡122的光軸被投影。此時可動型正反觀察鏡171為空閑狀態，其 被線圈彈簧187推壓，以鏡面成為上述規定位置的方式保持為任意的角而且，當根據圖13A、圖13B所示的狀態從大致垂直于晶片114的 表面的法線的方向觀察外周端面時，旋轉鏡115 —邊旋轉一邊被按下， 到達晶片114的端面的觀察(參見圖13C、圖13D)。在觀察該端面的狀 態下，可動型正反觀察鏡171、 172的各凸輪188、 195不接觸驅動板173 而為空閑狀態。因此，可動型正反觀察鏡171、 172都為空閑狀態，分別 被線圈彈簧187推壓，它們分別以鏡面成為上述規定位置的方式保持為 任意的角度^、"。此時，如圖13E所示，可動型正反觀察鏡171、 172的鏡184為轉動 的狀態，可使其不進入旋轉鏡115的觀察視野。而且，為了觀察晶片114的背面，旋轉鏡115—邊旋轉一邊被按下， 位于可動型正反觀察鏡171的下方，可動型正反觀察鏡171的凸輪195
被驅動板173按下。并且，映射在可動型正反觀察鏡171上的晶片背面(主面下表面)通過旋轉鏡115沿著成像透鏡122的光軸被投影。此時 可動型正反觀察鏡172為空閑狀態，其被線圈彈簧187推壓，以鏡面成 為上述規定位置的方式保持為任意的角度^ (參見圖13F、圖13G)。如上所述，根據本實施方式，伴隨旋轉鏡的移動，上下配置的2個 可動型正反觀察鏡中的一個轉動，可通過轉動后的可動型正反觀察鏡和 旋轉鏡將試樣的正面或者背面的觀察像導入到成像透鏡的光軸。此外， 當觀察試樣的端面的情況下，可動型正反觀察鏡從觀察視野一起退避。 因此，可提供僅作為觀察對象的試樣位于觀察視野范圍內的易于觀察的 觀察像。此外，在該第3方式中，也與上述第1方式同樣地安裝在顯微 鏡裝置上，可容易地安裝到晶片外觀檢查裝置和晶片檢査裝置等上。另外，本方式的可變視野方向觀察裝置202是考慮到基于觀察者直 視的目視觀察和使用攝像元件的監視器圖像這兩者的裝置。不過，不限 于該第3方式，例如只要是僅觀察監視器圖像的結構，也可通過如下動 作來實現從拍攝到的觀察圖像中除去混入的正反觀察鏡的圖像，或者 不從攝像元件取入相當于正反觀察鏡的圖像信號而生成為圖像。在上述第2變形例的說明中，以將各方式的可變視野方向觀察裝置 安裝在顯微鏡等檢査裝置上的情況為例，說明了在本發明的外觀檢査裝 置的邊緣部檢査部中具備該可變視野方向觀察裝置時的結構，但上述各 方式的可變視野方向觀察裝置也能以單體的形式優選用作可改變對試樣 的視野方向的觀察裝置。說明該情況下的背景技術。例如，在日本特開平9-269298號公報(專利文獻A)和日本特開 2003-344307號公報(專利文獻B)中公開有如下的端部缺陷檢查裝置 為了檢測產生在晶片端面上的缺口和裂痕等，專門檢査該端面。這種背景技術具有如下課題。在上述晶片邊緣檢查中，為了檢測晶片的端面的缺口和裂痕等，通 常通過對拍攝外周整體的晶片邊緣而得到的圖像進行目視來進行檢測， 或者通過經過光電轉換的檢測值的變化來進行檢測。
專利文獻A的端部缺陷檢查裝置是根據來自晶片端面的衍射光的一 部分檢測缺口和裂痕等的結構，所以是無法觀察與晶片端面連接的正面 側和背面側的結構。同樣地，在專利文獻2所公開的缺陷檢查裝置中， 也是無法對與晶片端面連接的正面側和背面側觀察缺口和裂痕等的結 構。此外，專利文獻A、 B都是無法對除去正面側的邊緣部的抗蝕劑之 后的邊緣切割線進行觀察的結構。此外，用于液晶顯示裝置的玻璃基板也相同，需要確認產生在玻璃 基板端部的缺口和裂痕等所產生的損傷或者不需要的膜等來實施最佳的 處理。于是，要求一種能從期望的角度觀察試樣的外周端面(端面和該端 面所連接的外周緣的正背面)的可變視野方向觀察裝置。 通過如下結構來提供這種可變視野方向觀察裝置。(1) 可變視野方向觀察裝置的特征在于，具有觀察光學系統，其 觀察上述平板狀的試樣的外周端面；以及鏡部，使上述觀察光學系統的 光軸偏向而到達上述試樣的外周端面上，通過上述鏡部的轉動來變更視 野方向，同時將上述觀察光學系統和上述試樣的外周端面的距離保持為 大致恒定，并觀察上述試樣的外周端面。(2) 可變視野方向觀察裝置的特征在于，具有基座部，其固定在 可觀察上述平板狀的試樣的外周端面的位置上；觀察光學系統，其具有 與上述試樣的表面正交的光軸；二軸臺，其支撐上述觀察光學系統，在 上述試樣的上述表面的正交方向和平行方向上可動；鏡部，其可自由轉 動地支撐在上述二軸臺上，使上述觀察光學系統的光軸偏向而到達上述 試樣的外周端面上；以及轉動引導部，其設置在上述基座部上，為了上 述鏡部進行滑動而推壓并抵接，當上述二軸臺在正交方向上移動時，轉 動上述鏡部，使得使上述觀察光學系統的光軸偏向而到達上述試樣的外 周端面上，通過上述鏡部的轉動來變更視野方向，同時將上述觀察光學 系統和上述試樣的外周端面之間的距離保持為恒定，并觀察上述試樣的 外周端面。(3) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，上述33
基座部配置在顯微鏡裝置的臺的附近，該顯微鏡裝置的臺保持上述試樣 而可向彼此正交的3軸方向移動和旋轉。(4) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，上述 轉動引導部由以下部分構成第1凸輪，其設置在上述基座部上，并具 有彎曲凸輪面，使得當上述二軸臺在正交方向上移動時上述鏡部相對于 上述試樣的外周端面為大致恒定間隔；以及第1凸輪輥，其當上述二軸臺在正交方向上移動時，沿著上述凸輪面的彎曲而滑動移動，并且，轉 動上述鏡部，使得上述觀察光學系統的光軸到達上述試樣的外周端面上。(5) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，上述可變視野方向觀察裝置還具有臺引導部，該臺引導部由以下部分構成第2凸輪，其設置在上述基座部上，并具有彎曲凸輪面，該彎曲凸輪面用于當上述二軸臺在正交方向上移動時，按照上述轉動引導部的平行方 向的移動，維持上述觀察光學系統的光軸與上述試樣的表面正交的方向；以及第2凸輪輥，其設置在上述二軸臺上，當在上述正交方向上移動時，沿著上述凸輪面的彎曲而滑動移動。(6) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，在上 述可變視野方向觀察裝置中還具有2個固定鏡，該2個固定鏡以配置在 上述試樣的正背面的上方和下方的方式固定在上述基座上，上述2個固 定鏡把上述觀察光學系統的光軸彎折在上述試樣的外周端面方向上。(7) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，在上 述可變視野方向觀察裝置中還具有2個轉動鏡，該2個轉動鏡設置在上 述試樣的表面的上方和下方，把上述觀察光學系統的光軸彎折在上述試 樣的外周端面方向上，從上方或者下方觀察時被設定為規定角度。(8) 根據(2)所述的可變視野方向觀察裝置，其特征在于，在上 述可變視野方向觀察裝置中還具有2個轉動鏡，該2個轉動鏡按照配置 在上述試樣的表面的上方和下方的方式可轉動地配置在上述基座上，上 述轉動鏡，在觀察上述試樣的上表面或者下表面時，轉動該轉動鏡中的 任意一個，通過上述鏡部將該試樣的觀察像入射到上述觀察光學系統中， 在觀察上述試樣的外周端面時，相對于上述轉動鏡把該轉動鏡的鏡面設
定為俯角，使其退避到上述觀察光學系統的觀察視野外。(9)可變視野方向觀察裝置的特征在于，其是安裝在觀察平板狀的 試樣正面的顯微鏡裝置上的觀察裝置，該可變視野方向觀察裝置具有 二軸臺，其在與上述試樣的表面正交的Z方向和與上述試樣的表面平行 的X方向上可動；基座，其具有使上述二軸臺在Z方向上移動的驅動部； 臺的平行方向移動部，其由固定在上述基座上的第1凸輪、安裝在上述 二軸臺的X方向移動板上且沿著該第1凸輪移動的輥、以及作用在使上 述基座和上述X方向移動板接近的方向上的拉伸彈簧構成；顯微鏡裝置 的觀察光學系統，其光軸在上述二軸臺上與上述試樣的表面正交；鏡部， 其配置在上述觀察光學系統內的物鏡和該物鏡的焦點位置之間，可使上 述光軸任意進行偏向；第2凸輪，其周定在上述基座上；第2輥，其安 裝在從上述鏡部的旋轉軸伸出的旋轉臂上，沿著上述第2凸輪移動；以 及拉伸彈簧，其懸掛固定在上述旋轉臂和上述二軸臺之間，作用在上述 第2輥被上述第2凸輪推壓的方向上，伴隨上述二軸臺向Z方向的移動， 上述觀察光學系統的位置和上述旋轉鏡的角度通過上述第1、第2凸輪而 移動，即使任意改變視野方向，也相對于上述試樣的外周端面和延續到 該外周端面的正背面來變更視野方向，同時將上述物鏡和上述試樣的外 周端面之間的距離保持為恒定。在上述(1) (9)所述的可變視野方向觀察裝置中，通過旋轉引導部來改變觀察光學系統的位置和旋轉鏡的角度，即使變更視野方向， 也能始終對試樣的外周端面和與之延續的主面(上下表面) 一邊進行對 焦一邊進行觀察。因此，可提供一種可變視野方向觀察裝置，其能夠從期望的角度拍 攝或者目視觀察試樣的外周端面(端面及該端面所連接的外周緣的正背 面)。
權利要求
1.一種外觀檢查裝置，其特征在于，該外觀檢查裝置具有外觀檢查部，其用于對工件正面進行外觀檢查；以及邊緣部檢查部，其取得上述工件的邊緣部的放大像，由上述外觀檢查部和上述邊緣部檢查部共用在上述外觀檢查部中保持上述工件的保持單元。
2. 根據權利要求1所述的外觀檢査裝置，其特征在于，將上述保持單元和上述邊緣部檢查部設置成可自由相對接近和離開。
3. 根據權利要求1或2所述的外觀檢査裝置，其特征在于，上述邊 緣部檢查部以可自由拆裝的方式設置在上述外觀檢查部上。
4. 根據權利要求1至3中的任意一項所述的外觀檢査裝置，其特征 在于，上述外觀檢查部具有取得上述工件正面的放大像的微觀檢查部， 以可自由移動的方式在上述微觀檢查部和上述邊緣部檢查部之間共用上 述微觀檢查部的上述保持單元。
5. 根據權利要求4所述的外觀檢査裝置，其特征在于，該外觀檢査 裝置具有如下功能對利用上述微觀檢査部或者上述邊緣部檢查部中的 任意一個檢查部進行檢査時的觀察位置的坐標進行記錄，在利用另一個 檢查部進行檢查時，根據所記錄的上述觀察位置的坐標，將上述觀察位 置移動到另一個檢査部的觀察位置上。
6. 根據權利要求1至5中的任意一項所述的外觀檢査裝置，其特征 在于，上述保持單元和上述邊緣部檢査部設置在經過減振的同一塊安裝 板上。
7. —種外觀檢查方法，其特征在于，該外觀檢查方法具有 利用保持單元保持工件并對上述工件正面進行外觀檢査的步驟； 使邊緣部檢査部與上述保持單元相對接近的步驟，其中，該邊緣部檢查部取得上述工件的邊緣部的放大像；以及在使上述保持單元相對接近的狀態下，利用邊緣部檢査部取得上述 工件的邊緣部的放大像的步驟。
8. —種可安裝在外觀檢查裝置上的邊緣部檢查單元，其特征在于，該邊緣部檢査單元具有固定部，其相對于外觀檢查部可自由拆裝，該外觀檢查部在以可自 由移動的方式將工件保持在保持單元上的狀態下對工件正面實施外觀檢 查；以及放大像取得部，其被配置成朝向上述保持單元所保持的上述工件的 邊緣部，可取得上述工件的邊緣部的放大像。
9. 根據權利要求8所述的可安裝在外觀檢查裝置上的邊緣部檢查單 元，其特征在于，上述固定部和上述放大像取得部通過可在一軸方向上 自由移動的臺進行連接。
10. 根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，該外觀檢查裝置具有可變 視野方向觀察裝置，其特征在于，上述工件是平板狀的試樣， 上述邊緣部檢查部具有觀察光學系統，其觀察上述平板狀的試樣的外周端面；以及鏡部，使上述觀察光學系統的光軸偏向而到達上述試樣的外周端面上，上述邊緣部檢查部通過上述鏡部的轉動來變更視野方向，同時將上 述觀察光學系統和上述試樣的外周端面的距離保持為大致恒定，并觀察 上述試樣的外周端面。
11. 根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，該外觀檢查裝置具有可變 視野方向觀察裝置，其特征在于，上述工件是平板狀的試樣， 上述邊緣部檢查部具有基座部，其固定在可觀察上述平板狀的試樣的外周端面的位置上； 觀察光學系統，其具有與上述試樣的表面正交的光軸； 二軸臺，其支撐上述觀察光學系統，在上述試樣的上述表面的正交 方向和平行方向上可動；鏡部，其可自由轉動地支撐在上述二軸臺上，使上述觀察光學系統 的光軸偏向而到達上述試樣的外周端面上；以及轉動引導部，其設置在上述基座部上，為了上述鏡部進行滑動而推 壓并抵接，當上述二軸臺在正交方向上移動時，轉動上述鏡部，使得使 上述觀察光學系統的光軸偏向而到達上述試樣的外周端面上，上述邊緣部檢查部通過上述鏡部的轉動來變更視野方向，同時將上 述觀察光學系統和上述試樣的外周端面之間的距離保持為恒定，并觀察 上述試樣的外周端面。
12. 根據權利要求11所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述可變視 野方向觀察裝置的上述基座部配置在顯微鏡裝置的臺的附近，該顯微鏡 裝置的臺保持上述試樣而可向彼此正交的3軸方向移動和旋轉。
13. 根據權利要求11所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述可變視野方向觀察裝置的上述轉動引導部由以下部分構成第1凸輪，其設置在上述基座部上，并具有彎曲凸輪面，使得當上述二軸臺在正交方向上移動時上述鏡部相對于上述試樣的外周端面為大致恒定間隔；以及第1凸輪輥，其當上述二軸臺在正交方向上移動時，沿著上述凸輪面的彎曲而滑動移動，并且，轉動上述鏡部，使得上述觀察光學系統的光軸到達上述試樣的外周端面上。
14.根據權利要求11所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述可變視野方向觀察裝置還具有臺引導部，該臺引導部由以下部分構成第2凸輪，其設置在上述基座部上，并具有彎曲凸輪面，該彎曲凸 輪面用于當上述二軸臺在正交方向上移動時，按照上述轉動引導部的平 行方向的移動，維持上述觀察光學系統的光軸與上述試樣的表面正交的 方向；以及第2凸輪輥，其設置在上述二軸臺上，當在上述正交方向上移動時， 沿著上述凸輪面的彎曲而滑動移動。
15.根據權利要求11所述的外觀檢査裝置，其特征在于， 在上述可變視野方向觀察裝置中還具有2個固定鏡，該2個固定鏡 以配置在上述試樣的正背面的上方和下方的方式固定在上述基座上，上述2個固定鏡把上述觀察光學系統的光軸彎折在上述試樣的外周端面方 向上。
16. 根據權利要求11所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 在上述可變視野方向觀察裝置中還具有2個轉動鏡，該2個轉動鏡設置在上述試樣的表面的上方和下方，把上述觀察光學系統的光軸彎折 在上述試樣的外周端面方向上，從上方或者下方觀察時被設定為規定角 度。
17. 根據權利要求11所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 在上述可變視野方向觀察裝置中還具有2個轉動鏡，該2個轉動鏡按照配置在上述試樣的表面的上方和下方的方式可轉動地配置在上述基 座上，上述轉動鏡，在觀察上述試樣的上表面或者下表面時，轉動該轉動鏡中的任意一 個，通過上述鏡部將該試樣的觀察像入射到上述觀察光學系統中，在觀察上述試樣的外周端面時，相對于上述轉動鏡把該轉動鏡的鏡 面設定為俯角，使其退避到上述觀察光學系統的觀察視野外。
18. 根據權利要求1所述的外觀檢査裝置，該外觀檢査裝置具有可變 視野方向觀察裝置，其特征在于，上述工件是平板狀的試樣，上述邊緣部檢查部是安裝在觀察上述平板狀的試樣正面的顯微鏡裝 置上的觀察裝置，上述邊緣部檢查部具有二軸臺，其在與上述試樣的表面正交的z方向和與上述試樣的表面平行的X方向上可動；基座，其具有使上述二軸臺在Z方向上移動的驅動部； 臺的平行方向移動部，其由固定在上述基座上的第1凸輪、安裝在 上述二軸臺的X方向移動板上且沿著該第1凸輪移動的輥、以及作用在 使上述基座和上述X方向移動板接近的方向上的拉伸彈簧構成；顯微鏡裝置的觀察光學系統，其光軸在上述二軸臺上與上述試樣的表面正交；鏡部，其配置在上述觀察光學系統內的物鏡和該物鏡的焦點位置之 間，可使上述光軸任意進行偏向；第2凸輪，其固定在上述基座上；第2輥，其安裝在從上述鏡部的旋轉軸伸出的旋轉臂上，沿著上述 第2凸輪移動；以及拉伸彈簧，其懸掛固定在上述旋轉臂和上述二軸臺之間，作用在上 述第2輥被上述第2凸輪推壓的方向上，伴隨上述二軸臺向Z方向的移動，上述觀察光學系統的位置和上述 旋轉鏡的角度通過上述第1、第2凸輪而移動，即使任意改變視野方向， 也相對于上述試樣的外周端面和延續到該外周端面的正背面來變更視野 方向，同時將上述物鏡和上述試樣的外周端面之間的距離保持為恒定。
全文摘要
本發明提供一種外觀檢查裝置、外觀檢查方法以及可安裝在外觀檢查裝置上的邊緣部檢查單元。該外觀檢查裝置具有宏觀檢查部(10)和微觀檢查部(11)，在微觀檢查部(11)中，將檢查臺(31)與顯微鏡(32)安裝在安裝板(30)上。檢查臺(31)可分別在X方向、Y方向、Z方向上移動，還可在θ方向上旋轉。而且，在安裝板(30)上固定有邊緣部檢查部(12)，該邊緣部檢查部(12)取得晶片(W)的邊緣部的放大像。邊緣部檢查部(12)被配置為拍攝保持在檢查臺(31)上的晶片(W)的邊緣部。
文檔編號H01L21/66GK101167171SQ20068001401
公開日2008年4月23日 申請日期2006年4月26日 優先權日2005年4月27日
發明者土坂新一, 橫田敦俊, 蛇石廣康 申請人:奧林巴斯株式會社