專利名稱：開蓋裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種設備的附屬裝置，尤其涉及一種半導體加工設備的開蓋裝置。
背景技術：
半導體設備中某些部件在維護中必須打開，比如平臺腔室的腔室蓋，在需要對腔室內 部進行真空機械手更換及調試或者清理腔室內部時，腔室蓋就需要打開。由于腔室蓋的重 量較大，靠人力難以完成，因此必須借助機械工具才能完成開蓋。
現有技術中，打開腔室蓋的方法主要有兩種
一種是如圖l所示的氣缸式開蓋機構，連桿3—端與氣缸1連接， 一端與蓋板2連接，連桿3在氣缸1作用下帶動蓋板2上升，實現開蓋。由于該機構開或合蓋時，蓋板2垂直運動， 力矩大，有撓度影響，致使合蓋時蓋板2的各部分不能同時接觸腔室4，多次合蓋將導致蓋 板2或腔室4受損；另外，當需要裝配真空機械手時，蓋需要開得非常高，致使氣缸臂導軌 必須非常長，占用較大的空間，容易對設備的其它部件如管線的布置造成影響，外形美觀 上影響較大。
另一種是如圖2所示的氣彈簧式開蓋機構，氣彈簧臂5—端與支撐柱6連接， 一端與蓋 板2連接，蓋板2通過轉軸7與腔室鉸接。當需要維護腔室時，借助人力，在氣彈簧臂5的輔 助下，繞轉軸7旋轉開蓋板2。該機構使用范圍窄，只適用于蓋板2重量較小時的應用，另 外，由于需要借助人力，速度不好控制，不能實現自動化，效率低，安全性不強。
發明內容
本發明的目的是提供一種結構簡單、便于操作、開蓋速度可調整、開蓋安全穩定的開M奨晉
本發明的目的是通過以下技術方案實現的
本發明的開蓋裝置，用于開啟或關閉設備的蓋板，包括驅動裝置、減速裝置和執行機構；
所述的執行機構包括連桿和扇形齒輪，扇形齒輪與設備的機架鉸接，連桿的一端與設 備的機架鉸接，另一端與蓋板固定連接；
所述的減速裝置包括蝸桿、蝸輪，所述蝸輪與扇形齒輪嚙合；
所述驅動裝置與蝸桿連接，可通過減速裝置驅動執行機構的扇形齒輪帶動連桿一同轉 動，開啟或關閉設備的蓋板。
所述的減速裝置還包括齒輪組，所述蝸輪通過齒輪組與扇形齒輪嚙合。 所述的齒輪組為多級齒輪傳動。
所述的齒輪組為二級齒輪傳動，包括第一齒輪、第二齒輪和第三齒輪， 所述第一齒輪與蝸輪固定連接，并與第二齒輪嚙合，組成一級齒輪傳動； 所述第三齒輪與第二齒輪固定連接，并與所述扇形齒輪嚙合，組成另一級齒輪傳動。 所述的驅動裝置包括電機，所述電機的輸出軸與蝸桿連接。 所述的電機為調速電機。
所述的驅動裝置還包括變速器，所述電機的輸出軸通過變速器與蝸桿連接。 所述的驅動裝置包括曲柄，曲柄與蝸桿連接，通過旋轉曲柄可驅動蝸桿轉動。 所述的曲柄包括轉盤與把手，所述轉盤的中心部位與蝸桿連接，所述轉盤的邊緣部位 連接有把手。
由上述本發明提供的技術方案可以看出，本發明所述的開蓋裝置，由于包括驅動裝 置、減速裝置和執行機構。減速裝置包括蝸桿、蝸輪，可通過驅動裝置調整和控制開蓋速 度，通過蝸桿、蝸輪實現大速比減速，并避免反向傳遞運動。
結構簡單、便于操作、開蓋速度可調整、開蓋安全穩定。尤其適用于開啟或關閉半導 體加工設備的平臺腔室蓋板，也可以適用于開啟或關閉其它設備的蓋板。
圖l為現有技術中氣缸式開蓋機構的結構示意圖2為現有技術中氣彈簧式開蓋機構的結構示意圖3為圖2的俯視圖4為本發明開蓋裝置具體實施例一的結構示意圖一； 圖5為本發明開蓋裝置具體實施例一的結構示意圖二； 圖6為本發明開蓋裝置具體實施例二的結構示意圖。
具體實施例方式
本發明的開蓋裝置，用于開啟或關閉設備的蓋板，這里所述的設備主要指半導體加工 設備的平臺腔室，也可以是其它的設備。
其較佳的具體實施例一，如圖4、圖5所示，包括驅動裝置、減速裝置和執行機構。
所述的執行機構通過鉸軸17與設備的機架鉸接，并與蓋板2固定連接，鉸軸17可以固 定在腔室上，也可以固定在半導體加工設備的機架上，執行機構繞鉸軸17轉動可將蓋板2開 啟或關閉。
所述驅動裝置通過減速裝置與執行機構嚙合，可驅動執行機構繞鉸軸17轉動，將蓋板 2打開。通過驅動裝置可調整和控制開蓋速度。
所述的減速裝置包括蝸輪12、蝸桿ll，所述的執行機構包括扇形齒輪16，所述扇形齒 輪16通過鉸軸17與設備的機架鉸接，連桿3的一端通過鉸軸17與設備的機架鉸接，另一端與 蓋板2固定連接。
所述蝸輪12與扇形齒輪16嚙合。所述驅動裝置與蝸桿ll連接。驅動裝置通過蝸桿ll、 蝸輪12減速后，蝸輪12帶動扇形齒輪16轉動，扇形齒輪16帶動連桿3轉動將蓋板2打開。通 過蝸桿、蝸輪可實現大速比減速，并避免反向傳遞運動。
上述的減速裝置還可以包括齒輪組，所述蝸輪12通過齒輪組與扇形齒輪16嚙合。齒輪 組可以為多級齒輪傳動，相互之間依次連接或嚙合。
一個優選的實施例為所述的齒輪組為二級齒輪傳動，包括3個齒輪，分別為第一齒 輪13、第二齒輪14和第三齒輪15，
所述第一齒輪13與蝸輪12固定連接，并與第二齒輪14嚙合，組成一級齒輪傳動；
所述第三齒輪15與第二齒輪14固定連接，并與所述扇形齒輪16嚙合，組成另一級齒輪 傳動。
蝸輪12依次經過第一齒輪13、第二齒輪14、第三齒輪15驅動扇形齒輪16轉動。 上述的蝸桿、蝸輪的減速比及齒輪的數量根據驅動裝置的轉速及負荷確定。當然，也
不限于蝸桿、蝸輪、齒輪的減速方式，也可以是其它的減速方式，例如擺線針減速、滑輪
組減速等。
本實施例中的驅動裝置包括電機8，電機8的輸出軸與蝸桿11連接，驅動蝸桿ll轉動。 電機可以是調速電機，也可以是普通電機通過變頻器或可編程控制器PLC調速。
根據需要，驅動裝置還可以包括變速器IO，電機8的輸出軸通過聯軸器9與變速器10的 輸入軸連接，變速器10的輸出軸與蝸桿11連接，驅動蝸桿ll轉動。
運用電機驅動可以實現自動控制。通過調節電機8的轉速控制蓋板2繞軸旋轉速度，電 機調速是很成熟的技術，容易實現，操作簡便，而且可以通過調整電機轉速，滿足開蓋過 程不同階段轉速不同的要求。本發明的開蓋裝置體積小，外觀簡潔，適用范圍廣。若開蓋 過程中，突然停電，電機停止工作，由于蝸桿與蝸輪嚙合面設計滿足機械原理要求，腔室 蓋停止不動，不會突然落下，從而滿足安全性的要求。
上述驅動裝置不限于電機，也可以用其它的驅動馬達，或人工驅動。
具體實施例二，如圖6所示，所述的驅動裝置包括曲柄，曲柄與蝸桿12連接，通過人工轉動曲柄驅動蝸桿12轉動。
所述的曲柄包括轉盤18，所述轉盤18的中心部位與蝸桿11連接，所述轉盤18的邊緣部 位連接有把手19，轉動把手19可驅動蝸桿11轉動。
以上所述，僅為本發明較佳的具體實施方式
，但本發明的保護范圍并不局限于此，任 何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都 應涵蓋在本發明的保護范圍之內。
權利要求
1、一種開蓋裝置，用于開啟或關閉設備的蓋板，其特征在于，包括驅動裝置、減速裝置和執行機構；所述的執行機構包括連桿和扇形齒輪，扇形齒輪與設備的機架鉸接，連桿的一端與設備的機架鉸接，另一端與蓋板固定連接；所述的減速裝置包括蝸桿、蝸輪，所述蝸輪與扇形齒輪嚙合；所述驅動裝置與蝸桿連接，可通過減速裝置驅動執行機構的扇形齒輪帶動連桿一同轉動，開啟或關閉設備的蓋板。
2、 根據權利要求l所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的減速裝置還包括齒輪組，所 述蝸輪通過齒輪組與扇形齒輪嚙合。
3、 根據權利要求2所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的齒輪組為多級齒輪傳動。
4、 根據權利要求3所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的齒輪組為二級齒輪傳動，包 括第一齒輪、第二齒輪和第三齒輪，所述第一齒輪與蝸輪固定連接，并與第二齒輪嚙合，組成一級齒輪傳動； 所述第三齒輪與第二齒輪固定連接，并與所述扇形齒輪嚙合，組成另一級齒輪傳動。
5、 根據權利要求l所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的驅動裝置包括電機，所述電 機的輸出軸與蝸桿連接。
6、 根據權利要求5所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的電機為調速電機。
7、 根據權利要求5或6所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的驅動裝置還包括變速 器，所述電機的輸出軸通過變速器與蝸桿連接。
8、 根據權利要求l所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的驅動裝置包括曲柄，曲柄與 蝸桿連接，通過旋轉曲柄可驅動蝸桿轉動。
9、 根據權利要求8所述的開蓋裝置，其特征在于，所述的曲柄包括轉盤與把手，所述 轉盤的中心部位與蝸桿連接，所述轉盤的邊緣部位連接有把手。
全文摘要
本發明公開了一種開蓋裝置，用于開啟設備的蓋板，包括驅動裝置、減速裝置和執行機構，驅動裝置通過減速裝置驅動執行機構轉動，可將蓋板打開。減速裝置包括蝸桿、蝸輪及齒輪組，驅動裝置可以是電機，也可以人工驅動。可通過驅動裝置調整和控制開蓋速度，通過蝸桿、蝸輪實現大速比減速，并避免反向傳遞運動。結構簡單、便于操作、開蓋速度可調整、開蓋安全穩定。尤其適用于開啟或關閉半導體加工設備的平臺腔室蓋板，也可以適用于開啟或關閉其它的設備蓋板。
文檔編號H01L21/00GK101197250SQ200610164849
公開日2008年6月11日 申請日期2006年12月6日 優先權日2006年12月6日
發明者磊 韋 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司