高耦合因子變壓器及其制造方法

專利名稱：高耦合因子變壓器及其制造方法
技術領域：
本發明涉及一種變壓器及其制造方法，特別是涉及一種高耦合因子
(coupling factor)變壓器及其制造方法。
背景技術：
在某些應用電路中，例如射頻、壓控^f展蕩、混頻等應用電路，往往具 有一或多個變壓器。在電子產品日益輕薄短小的趨勢下，電子電路中的變 壓器往往需要實施在集成電路中。在變壓器的應用中，耦合因子(coupling factor) k是電路設計中非常重要的參數。較高的k值意味者擁有較高的能
量(或訊號)變換率，以減少能量(或訊號)損耗。
圖7是說明一般變壓器的布局圖。請參照圖7,此現有變壓器700是一 種平面式變壓器(Planar transformer)。 一般而言，為了避免變壓器與集成電 路的其它元件之間的耦合效應，都會讓變壓器盡可能的遠離基底。例如， 若變壓器700的制程具有八個金屬層，則變壓器700的一次側線圈710與 二次側線圈720通常會被配置于第八金屬層M8。圖8A是說明圖7中變壓 器的耦合因子k值特性圖。圖8A是以一次側線圏710與二次側線圈720各 為二圈的變壓器實際測量而得，其測量頻率為0 20GHz。此變壓器700的 外徑為250um，而線寬與線距分別為9um與1.6um。圖8B是說明圖8A中 頻率范圍0 3.5GHz的耦合因子k值特性圖。由圖8B可以清楚看出，變壓 器700在工作頻率lGHz的耦合因子k值約為0.745。
另外，尚有各種文獻揭露各種不同變壓器的實施方式，以期提升耦合 因子k值。例如，電機電子工程師協會(Institute of Electrical and Electronic Engineers, IEEE)于2005年"電子元件會刊"第52巻第7期第1410-1414 頁(Journal of Solid-State Circuit, Vol. 52, No. 7, page 1410-1414, July 2005) 子'J栽的 "Implementation of High-Coupling and Broadband Transformer in RFCMOS Technology"、在2001年"固態電路期刊"第36巻第4期第620-628 頁(Journal of Solid-State Circuit, Vol. 36, No. 4, page 620-628, April 2001)刊
載的 "Stacked Inductors and Transformers in CMOS Technology"、 在2005年 "固態電路期刊"第40巻第3期第652-660頁(Vol. 40, No. 3， page 652-660, March 2005)刊載的"Ultra-Low-Voltage High-Performance CMOS VCOs Using Transformers Feedback".在2005年"微波與無線元件通信"第15巻第11 期第733-735頁(Microwave and Wireless Components Letters, Vol. 15, No. 11, page 733-735, November 2005)刊載的"11-GHz CMOS Differential VCO With Back-Gate Transformer Feedback"、在2003年"固態電路期刊"第38巻第3 期第427-435頁(Vol. 38， No. 3, page 427-435， March 2003)刊載的"A 1-V Transformer-Feedback Low-Noise Amplifier for 5-GHz Wireless LAN in 0.18卞m CMOS"、"國際固態電路研討會"(International Solid-State Circuits Conference, ISSCC98)論文編號FA8.6的"A Fully Integrated CMOS卯OMHz LNA utilizing Monolithic Transformers"，以及美國專利公告第4816784號、 第6577219號、第6608364號、第6927664號等，其分別揭露各種不同變 壓器的實施方式。

發明內容
本發明的目的在于提供一種變壓器，通過線圈之間多個凸部以提升變 壓器耦合因子(coupling factor)值。
本發明的又一 目的在于提供一種變壓器的制造方法，以形成具有高耦 合因子(coupling factor)值的變壓器。
基于上迷及其它目的，本發明提出一種變壓器，包括第一線圏以及第 二線圈。第二線圏鄰近于第一線圈，并且第二線圈互感于第一線圏。第一 線圏包含多個第一凸部。第二線圈包含多個第二凸部。其中，該些第一凸 部伸向該第二線圈而不電性接觸，并且該些第二凸部伸向該第 一線圈而不 電性接觸。
從另一觀點來看，本發明提出一種變壓器，包括第一線圏以及第二線 圏。此第二線圏鄰近于第一線圈，并且第二線圈互感于第一線圈。第一線 圈包含多個第一凸部以及多個第一鏤空槽。第二線圏包含多個第二凸部以 及多個第二鏤空槽。其中，前述第一凸部伸向該第二線圈的第二鏤空槽中， 且各第一凸部與第二線圈之間不電性接觸；以及前迷第二凸部伸向第一線 圈的第 一 鏤空槽中，且各第二凸部與第 一 線圏之間不電性接觸。 從另一觀點來看，本發明才是出 一種變壓器的制造方法，包括大體上 于一第一平面形成一第一線團，在該第一線團上方形成多個第一凸部以及 多個第二凸部，以及大體上于一第二平面形成一第二線圈。其中，第一線
圈包舍多個第一鏤空槽，而第二線圈包含多個第二鏤空槽。上迷第一凸部 配置于第一線圈上，且第一凸部的第一端電性連接至第一線圏。第一凸部 的第二端配置于第二鏤空槽，且各第一凸部與第二線圈之間沒有電性連接。 上述第二凸部的第一端配置于第一鏤空槽，且各第二凸部與第一線圏之間 沒有電性連接。第二凸部的第二端電性連接至該第二線圈。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述的第 一 凸部與第二凸部可 以是方柱體、圓柱體或其它柱狀體。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述的第 一 凸部與第二凸部可 以是以單排或多排方式分別配置于第一線圈與第二線圈上。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述的第 一 凸部與該些第二凸 部之間是以指插狀方式配置。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述的第一線圏大體上配置于 一第一平面，而第二線圈大體上配置于一第二平面。其中，該第一平面平 行于該第二平面。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述每一 個第 一 凸部是以 一 對
一方式伸向第二鏤空槽其中之一；而每一個第二凸部是以一對一方式伸向 第一鏤空槽其中之一。
本發明另提出一種變壓器，包括第一線團以及第二線圏。第一線圈包 含多個凸部。第二線圈包含多個鏤空槽。此第二線圈鄰近于第一線圈，并 且第二線圏互感于第一線圈。其中，前述凸部伸向該第二線圏的鏤空槽， 且第一線圈不與第二線團電性接觸。
依照本發明的較佳實施例所述變壓器，上述的第 一線團大體上配置于 第一平面與第三平面，而第二線圏大體上配置于第二平面。其中，第二平 面位于第一平面與第三平面之間，且前述三平面相互平行。
本發明另提出一種變壓器的制造方法，包括下述步驟。首先大體上于 第一平面形成第一線圈的部分電性路徑。然后在第一平面的電性路徑上形 成多個凸部，其中上述凸部電性連接至第一線圈。接著大體上于一第二平 面形成一第二線圈。于該第二線圈形成多個鏤空槽，其中上述凸部穿過此
些鏤空槽，且各凸部與該第二線圏之間沒有電性連接。大體上于第三平面 形成第一線圈的另一部分電性路徑。通過該些凸部電性連接第一平面與第 三平面的電性路徑而成為前述第一線圈。其中，第二平面位于第一平面與 第三平面之間，且前述三平面相互平《亍。
本發明因于第 一 線圈與第二線圈之間形成多個凸部，因此可以有效提
升變壓器的耦合因子k，進而改善其能量(或訊號)轉換效率，以減少能量 (或訊號)的損耗。
為讓本發明的上述和其它目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉 較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。


圖1A是依照本發明實施例所繪示一種高耦合因子變壓器中第一線圈 的俯4見圖1B是依照本發明實施例所繪示一種高耦合因子變壓器中第二線圈 的俯視圖1C是依照本發明實施例所繪示一種高耦合因子變壓器的完整俯視
圖1D是依照本發明實施例所繪示一種高耦合因子變壓器的立體圖； 圖2是依照本發明另一實施例說明變壓器的俯視圖； 圖3A是依照本發明另一實施例所繪示一種高耦合因子變壓器中第一 線圈的俯-纟見圖3B是依照本發明另一實施例所繪示一種高耦合因子變壓器中第二 線圈的俯視圖3C是依照本發明另一實施例所繪示一種高耦合因子變壓器的完整 俯視圖4A 圖4D是依照本發明實施例說明另 一種高耦合因子變壓器的俯 視圖5是依照本發明實施例說明圖4D變壓器中于凸部剖面線A的立體 剖面圖6A是說明圖4D中變壓器400于測量頻率0 20GHz的耦合因子k
值特性圖6B是說明圖6A中頻率范圍0 3.5GHz的沖禺合因子k ^直特性圖； 圖7是說明一般變壓器的布局圖8A是說明圖7中變壓器于測量頻率0 20GHz的耦合因子k值特性
圖8B是說明圖8A中頻率范圍0 3.5GHz的耦合因子k值特性圖。 主要元件符號說明
100、200、300、400:高耦合因子變壓器
101、201、301、401:第一線圈
102、202、302、402:第二線圏
m、211、311:第一凸部
112、212、312:第一鏤空槽
121、221、321:第二凸部
122、222、322:第二鏤空槽
331、334:第一線團的部分電性路徑
341、344:第二線團的部分電性路徑
332、333、335、336、 342、 343、 345、 346、
400-1 400-2 400-3 410 420 700 710 720
第 一平面 第二平面 第三平面 凸部 鏤空槽 傳統變壓器 傳統變壓器的 傳統變壓器的
次側線圏 .次側線圈
A:凸部的剖面線
具體實施例方式
圖1A 圖1D是依照本發明實施例所繪示一種高耦合因子(coupling factor)變壓器。其中，圖1A是變壓器100中第一線圈101的俯視圖，圖 1B是變壓器100中第二線團102的俯視圖。圖1C是完整變壓器100的俯 視圖，此變壓器100是由第二線圈102疊于第一線圈101上方而組成。圖ID是完整變壓器100的立體圖。
請參照圖1A 圖1D，變壓器100包括第一線圈101與第二線圏102。 此第二線圈102鄰近于第一線圈101，并且第二線圈102互感于第一線圈
101。 在本實施例中，變壓器100的第一線圏101大體上配置于第一平面， 而第二線圈102大體上配置于第二平面，其中第一平面平行于第二平面。 若前述第一平面是第4金屬層，則第二平面可以是第五金屬層。此領域中 具有通常知識者可視其需求而決定將第一線圏101與第二線圏102配置于 集成電路中的任二個金屬層。
第一線圏101包含多個第一凸部111與多個第一鏤空槽112。第一凸部 111配置于第一線圏101上，且各第一凸部111的第一端電性連接至第一線 圏101。第二線圏102包含多個第二凸部121與多個第二鏤空槽122。在圖 1B中以虛線方框表示第二凸部121是被配置于第二線圏102的下方。第二 凸部121自第二線圈102伸向第一線團101。第二凸部121的第一端配置于 第一鏤空槽112中，且第二凸部121與第一線圈101之間沒有電性連接。 第二凸部121的第二端電性連接至第二線圈102。第一凸部111伸向第二線 圈102。第二鏤空槽122的配置位置恰可容納第一凸部111的第二端，且第 一凸部111與第二線圈102之間沒有電性連接。前述第一凸部111與第二凸 部121可以用介層窗插塞(via)實現之。第一凸部111與第二凸部121可 以是方柱體、圓柱體、或是其它幾何形狀的導電體。在本實施例中，第一 凸部111與第二凸部121均以單排方式各自配置于第一線團101與第二線圏
102。 如圖所示，第一凸部111與第二凸部121是以指插狀方式配置于第一 線圈101與第二線圈102之間。
雖然前述諸實施例中每一個凸部均以"一對一方式"伸向其中一個鏤 空槽中，然而不應以此限制本發明的實施方式。例如，設計者也可使二或 多個凸部伸向同 一個鏤空槽中。
在變壓器中，第一線圈與第二線圈的凸部的排列方式并不限于前述實 施例所采用的方式。此領域中具有通常知識者可視其需求而決定以單排方 式、雙排方式、多排方式、或是其它幾何排列方式來配置第一線圈與第二 線圈的凸部。圖2是依照本發明另一實施例說明變壓器的俯視圖。此變壓 器200是由第二線圈202疊于第一線圈201上方而組成。本實施例相似于 前一 實施例，因此本實施例未述及的部分可以參照前一 實施例的說明實施之。變壓器200的第一線圈201大體上配置于第一平面，而第二線圈202 大體上配置于第二平面，其中第一平面平行于第二平面。第一線圈201包
含多個第一凸部2H與多個第一鏤空槽212。第一凸部211配置于第一線圈 201上，且各第一凸部211的第一端電性連接至第一線圏201。第二線圈202 包含多個第二凸部221與多個第二鏤空槽222。在本實施例中，第一凸部 211與第二凸部221是以雙排方式以及指插狀方式配置于第一線圏101與第 二線圈102之間。
上述第一線圈與第二線圏的圈數并不限制。此領域中具有通常知識者 可視其需求而以任何圈數來實施變壓器。圖3A 圖3C是依照本發明另一 實施例說明一種高耦合因子變壓器的俯視圖。此變壓器300是由第一線圈 301疊于第二線圈302上方而組成。其中，圖3A是變壓器300中第一線圏 301的俯視圖，圖3B是變壓器300中第二線圈302的俯視圖。圖3C是完 整變壓器300的俯視圖。本實施例未述及的部分可以參照前述諸實施例的 說明實施之。
請參照圖3A 圖3C，變壓器300包括第一線圈301與第二線圏302。 此第二線圏302鄰近于第一線圏301，并且第二線圈302互感于第一線圈 301。在本實施例中，變壓器300的第一線圈301大體上配置于第一平面， 而第二線圈302大體上配置于第二平面，其中第一平面平行于第二平面「
請參照圖3A，第一線圈301大體上配置于第一平面。由于第一線圈301 是一個具有3圈數的平面式電感，因此第一線圈301中必須將部分電性路 徑(例如電性路徑331與334)配置于其它平面。例如若前述第一平面是第 4金屬層，則第一線圈301的部分電性路徑331與334可以被配置于第5金 屬層。其中，電性路徑331可以經由介層窗插塞332與333電性連接至第 一線圏301,另外電性路徑334也可經由介層窗插塞335與336電性連接至 第一線圈301。第一線圈301包含多個第一凸部311與多個第一鏤空槽312。 于圖3A中以虛線方框表示第一凸部311是被配置于第一線圈301的下方， 且各第一凸部311的第一端電性連接至第一線圈301。
請參照圖3B，第二線圈302大體上配置于第二平面。由于第二線圈302 也是一個具有三圈數的平面式電感，因此第二線圏302中必須將部分電性 路徑(例如電性路徑341與344)配置于其它平面。例如若前述第二平面是 第三金屬層，則第二線圈302的部分電性路徑341與344可以被配置于第
二金屬層。其中，電性路徑341可以經由介層窗插塞342與343電性連4妄 至第二線圈302，另外電性路徑344也可經由介層窗插塞345與346電性連 接至第二線圈302。此領域中具有通常知識者可視其需求而決定將第一線圈 301與第二線圈302配置于集成電路中的任二個金屬層。
請參照圖3A 圖3C，第二線圏302包含多個第二凸部321與多個第 二鏤空槽322。第二凸部321配置于第二線圈302上。第二凸部321自第二 線圈302伸向第一線圈301。第二凸部321的第一端配置于第一鏤空槽312 中，且第二凸部321與第一線圏301之間沒有電性連接。第二凸部321的 第二端電性連接至第二線圈302。第一凸部311伸向第二線圈302。第二鏤 空槽322的配置位置恰可容納第一凸部311的第二端，且第一凸部311與第 二線圏302之間沒有電性連接。前述第一凸部311與第二凸部321可以用 介層窗插塞實現之。第一凸部311與第二凸部321可以是方柱體、圓柱體、 或是其它幾何形狀的導電體。在本實施例中，第一凸部311與第二凸部321 均以單排方式各自配置于第一線圈301與第二線圈302。如圖所示，第一凸 部311與第二凸部321是以指插狀方式配置于第一線圈301與第二線圏302 之間。
雖然前述諸實施例中每一個凸部均以"一對一方式"伸向其中一個鏤 空槽中，然而不應以此限制本發明的實施方式。例如，設計者也可使二或 多個凸部伸向同一個鏤空槽中。在變壓器中，第一線圈與第二線圏的凸部 的排列方式并不限于前述實施例所采用的方式。此領域中具有通常知識者 可視其需求而決定以單排方式、雙排方式、多排方式、或是其它幾何排列 方式來配置第一線圈與第二線圏的凸部。
上述變壓器的制造方法可以包括下列步驟。首先，大體上于第一平面 形成第一線圈，其中第一線圈包含多個第一鏤空槽。然后，在第一線圈上 方形成多個第一凸部以及多個第二凸部。其中，各第一凸部配置于第一線 圈上，且各第一凸部的第一端電性連接至第一線圈；而第二凸部的第一端 配置于第一鏤空槽，且各第二凸部與第一線圈之間沒有電性連接。最后， 大體上于第二平面形成第二線圈，其中第二線圈包含多個第二鏤空槽。前 述第二鏤空槽是被配置于第一凸部的第二端，且各第一凸部與第二線圈之 間沒有電性連接。前述第二凸部的第二端電性均連接至第二線圈。
在本實施例中，上述的第一凸部與第二凸部可以是方柱體、圓柱體或
其它柱狀體。前述第一凸部與第二凸部的配置方式，可以是以單排或多排 方式分別配置于第一線圈與第二線圏上。第一凸部與第二凸部之間可以是 以指插狀方式或是其它方式配置于第一線圈與第二線圈之間。
依照其它較佳實施例所迷，第一線圏大體上配置于一第一平面，而第 二線圈大體上配置于一第二平面。其中，第一平面平行于第二平面。
依照其它較佳實施例所迷，每一個第一凸部是以一對一方式伸向第二 鏤空槽其中之一，而每一個第二凸部也是以一對一方式伸向第一鏤空槽其 中之一。然而，設計者也可使二或多個凸部伸向同一個鏤空槽中。
本發明所屬技術領域中具有通常知識者當可以依據本發明的精神與前
迷實施例的教示、建議而以不同方式實施本發明。例如，圖4A 圖4D是 依照本發明實施例說明另 一種高耦合因子變壓器的俯視圖。此變壓器400 包括第一線圈401與第二線圈402。其中，圖4A是變壓器400中于第三平 面40(K3的布局圖，圖4B是變壓器400中于第二平面400-2的布局圖，而 圖4C則是變壓器400中于第一平面400-1的布局圖。變壓器400的第一線 圈401大體上配置于第一平面400-1與第三平面400-3,而第二線圈402大 體上配置于第二平面400-2，其中第二平面400-2位于第一平面400-1與第 三平面400-3之間，且前述三平面相互平行。前述第一平面400-1、第二平 面400-2與第三平面400-3分別可以是集成電路中任何一層導電層(例如金 屬層、多晶硅層等)。例如，第一平面400-1為第六金屬層M6，第二平面 400-2為第七金屬層M7，而第三平面400-3為第八金屬層M8。圖4D是完 整變壓器400的俯視圖。本實施例未述及的部分可以參照前述諸實施例的 "i兌明實施之。
第一線圈401包含多個凸部410。第二線圏402包含多個鏤空槽420。 其中，第一線圈401的凸部410伸向第二線圏402的鏤空槽420，且第一線 圈401不與第二線圈402電性接觸。圖5是依照本發明實施例說明圖4D變 壓器400中于凸部剖面線A的立體剖面圖。第一線圈401于第一平面400-1、 第三平面400-3的電性路徑通過多個凸部410而彼此電性連接。凸部410穿 過鏤空槽420，且凸部410與第二線圈402之間沒有電性連接。前述凸部 410可以用介層窗插塞實現之。凸部410可以是方柱體、圓柱體、或是其它 幾何形狀的導電體，而鏤空槽420可以具有任何幾何形狀。
在本實施例中，凸部410與鏤空槽420均以單排方式各自配置于第一
線圈401與第二線圏402。第一線圈401的凸部410與第二線圏402的鏤空
槽420的排列方式并不限于前述實施例所采用的方式。此領城中具有通常 知識者可視其需求而決定以單排方式、雙排方式、多排方式、或是其它幾 何^l非列方式來配置凸部410與鏤空槽420。
雖然實施例中每一個凸410部均以"一對一方式"伸向其中一個鏤空 槽420中，然而不應以此限制本發明的實施方式。例如，設計者也可使二 或多個凸部伸向同一個鏤空槽中。
此領域中具有通常知識者可視其需求而決定第一線圈401與第二線圏 402的圏數、變壓器400的外徑、線寬與線距。為便于與現有技術做比較， 本實施例中將假設變壓器400的外徑、線寬與線距分別為250um、 9um與 1.6um,第一線圈401與第二線圈402的圏數各為二圏，且第一平面400-l、 第二平面400-2、第三平面400-3分別為金屬層M6、 M7、 M8。圖6A是說 明圖4D中變壓器400于測量頻率0 20GHz的耦合因子k值特性圖。圖6B 是說明圖6A中頻率范圍0 3.5GHz的耦合因子k值特性圖。由圖6B可以 清楚看出，變壓器400在工作頻率lGHz的耦合因子k值約為0.942。與圖 7的傳統變壓器700相比較，本實施例變壓器400的耦合因子k值明顯提升。
以下將舉例說明變壓器400的制造方法。首先大體上于第一平面400-
形成第一線圈401的部分電性路徑與第二線圈402的部分電性路徑(如圖 4C所示)。在第一平面400-1中第一線圈401的電性路徑上形成多個凸部 410,其中各凸部410電性連接至第一平面400-1中第一線圈401的電性路 徑。另外，在第一平面400-1中第二線圈402的電性路徑兩端配置介層窗插 塞403與404。
接下來大體上于第二平面400-2形成第二線圈402 (如圖4B所示)。其 中，在第二平面400-2中第二線圏402的電性路徑經由介層窗插塞403與 404電性連接至第一平面400-1中第二線圈402的電性路徑，而構成二圈線 圈。在第二線圈402形成多個鏤空槽420。前述凸部410穿過鏤空槽420， 且凸部410與第二線圏402之間沒有電性連接。
然后，大體上于第三平面400-3形成第一線圈401的另 一部分電性路徑 (如圖4A所示)。其中，通過該些凸部410電性連接第一平面400-1與第 三平面第三平面400-3的電性路徑而成為第一線圈401。
在變壓器的應用中，耦合因子k是電路設計中非常重要的參數。較高
的k值意味者擁有較高的能量(或訊號)變換率，并意味著此變壓器可以 減少能量(或訊號)損耗。本發明因于第一線圈與第二線圈之間形成多個 凸部，因此可以有效提升變壓器的耦合因子k，進而改善其能量(或訊號) 轉換效率，以減少能量(或訊號)的損耗。
雖然結合以上較佳實施例揭露了本發明，然而其并非用以限定本發明， 任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和范圍內， 可作 一 些的更動與潤飾，因此本發明的保護范圍應以附上的權利要求所界
定的為準。
權利要求
1.一種變壓器，包括一第一線圈，包含多個第一凸部；以及一第二線圈，包含多個第二凸部，此第二線圈鄰近于該第一線圈，并且該第二線圈互感于該第一線圈；其中，該些第一凸部伸向該第二線圈而不電性接觸，并且該些第二凸部伸向該第一線圈而不電性接觸。
2. 如權利要求1所述的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部均為方柱體o
3. 如權利要求1所迷的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部均為 圓柱體。
4. 如權利要求1所述的變壓器，其中該些第一凸部是以單排方式配置于 該第一線圈上。
5. 如權利要求4所述的變壓器，其中該些第二凸部是以單排方式配置于 該第二線圈上。
6. 如權利要求5所述的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部之間 是以指插狀方式配置。
7. 如權利要求1所述的變壓器，其中該些第一凸部是以多排方式配置于 該第一線圏上。
8. 如權利要求7所述的變壓器，其中該些第二凸部是以多排方式配置于 該第二線圏上。
9. 如權利要求8所述的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部之間 是以指插狀方式配置。
10. 如權利要求1所述的變壓器，其中該第一線圈大體上配置于一第一 平面，該第二線圈大體上配置于一第二平面，其中該第一平面平行于該第 二平面。
11. 一種變壓器，包括一第一線圈，包含多個第一凸部以及多個第一鏤空槽；以及 一第二線圈，包含多個第二凸部以及多個第二鏤空槽，此第二線圈鄰 近于該第一線圈，并且該第二線圈互感于該第一線圈；其中，該些第一凸部伸向該第二線圏的第二鏤空槽中，且該些第一凸 部與該第二線圈之間不電性接觸；以及該些第二凸部伸向該第一線圈的第 一鏤空槽中，且該些第二凸部與該第一線圈之間不電性接觸。
12. 如權利要求11所迷的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部均 為方柱體。
13. 如權利要求11所述的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部均為圓柱體。
14. 如權利要求11所述的變壓器，其中該些第一凸部是以單排方式配置在該第一線圈上。
15. 如權利要求14所述的變壓器，其中該些第二凸部是以單排方式配置 于該第二線圈上。
16. 如權利要求15所述的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部之 間是以指插狀方式配置。
17. 如權利要求11所述的變壓器，其中該些第一凸部是以多排方式配置 于該第一線圈上。
18. 如權利要求17所述的變壓器，其中該些第二凸部是以多排方式配置 于該第二線圈上。
19. 如權利要求18所迷的變壓器，其中該些第一凸部與該些第二凸部之 間是以指插狀方式配置。
20. 如權利要求11所述的變壓器，其中該第 一線圈大體上配置于 一 第一 平面，該第二線圈大體上配置于一第二平面，其中該第一平面平行于該第 二平面。
21. 如權利要求11所述的變壓器，其中每一該些第一凸部是以一對一方 式伸向該些第二鏤空槽其中之一中；以及每一該些第二凸部是以一對一方 式伸向該些第一鏤空槽其中之一中。
22. —種變壓器的制造方法，包括大體上于一第一平面形成一第一線圈，其中該第一線圈包含多個第一 鏤空槽；在該第一線圈上方形成多個第一凸部以及多個第二凸部，其中該些第 一凸部配置于該第一線圈上，且該些第一凸部之第一端電性連接至該第一線圏；而該些第二凸部的第一端配置于該些第一鏤空槽，且該些第二凸部與該第一線圈之間沒有電性連4婁；以及大體上于一第二平面形成一第二線圈，其中該第二線圈包含多個第二 鏤空槽；該些第二鏤空槽配置于該些第一凸部的第二端，且該些第一凸部 與該第二線圈之間沒有電性連4婁；以及該些第二凸部的第二端電性連4妾至 該第二線圈。
23. 如權利要求22所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部與該些 第二凸部均為方柱體。
24. 如權利要求22所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部與該些 第二凸部均為圓柱體。
25. 如權利要求22所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部是以單 排方式配置于該第一線圈上。
26. 如權利要求25所述的變壓器的制造方法，其中該些第二凸部是以單 排方式配置于該第二線圈上。
27. 如權利要求26所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部與該些 第二凸部之間是以指插狀方式配置。
28. 如權利要求22所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部是以多 排方式配置于該第一線圈上。
29. 如權利要求28所述確變壓器的制造方法，其中該些第二凸部是以多 排方式配置于該第二線圈上。
30. 如權利要求29所述的變壓器的制造方法，其中該些第一凸部與該些 第二凸部之間是以指插狀方式配置。
31. 如權利要求22所述的變壓器的制造方法，其中每一該些第一凸部是 以一對一方式從該第一線圈伸向該些第二鏤空槽其中之一；以及每一該些 第二凸部是以一對一方式從該第二線圈伸向該些第一鏤空槽其中之一。
32. —種變壓器，包括 一第一線圏，包含多個凸部；以及一第二線圏，包含多個鏤空槽，此第二線團鄰近于該第一線圈，并且 該第二線圈互感于該第一線圈；其中，該些凸部伸向該第二線團的鏤空槽，且該第一線圈不與該第二 線圈電性接觸。
33. 如權利要求32所述的變壓器，其中該些凸部為方柱體。
34. 如權利要求32所述的變壓器，其中該些凸部為圓柱體。
35. 如權利要求32所述的變壓器，其中該些凸部是以單排方式配置于該 第一線圈上。
36. 如權利要求32所述的變壓器，其中該些凸部是以一對一方式伸向該 些鏤空槽。
37. 如權利要求32所迷的變壓器，其中該些凸部是以多排方式配置于該 第一線圈上。
38. 如權利要求32所迷的變壓器，其中該第一線圈大體上配置于一第一 平面與一第三平面，該第二線圈大體上配置于一第二平面，其中該第二平 面位于該第一平面與該第三平面之間，且前述三平面相互平行。
39. —種變壓器的制造方法，包括 大體上于一第一平面形成一第一線圈的部分電性路徑； 在該第一平面的電性路徑上形成多個凸部，其中該些凸部電性連接至該第一線圈；大體上于一第二平面形成一第二線圈；于該第二線圈形成多個鏤空槽，其中該些凸部穿過該些鏤空槽，且該 些凸部與該第二線圈之間沒有電性連接；以及大體上于一第三平面形成該第一線團的另一部分電性路徑，其中通過 該些凸部電性連接該第一平面與該第三平面的電性路徑而成為該第一線 圈；其中該第二平面位于該第一平面與該第三平面之間，且前述三平面相互平行。
40. 如權利要求39所迷的變壓器的制造方法，其中該些凸部為方柱體。
41. 如權利要求39所述的變壓器的制造方法，其中該些凸部均為圓柱體。
42. 如權利要求39所述的變壓器的制造方法，其中該些凸部是以單排方 式配置于該第一線圈。
43. 如權利要求39所述的變壓器的制造方法，其中該些凸部是以一對一 方式伸向該些鏤空槽。
44.如權利要求39所述的變壓器的制造方法，其中該些凸部是以多排方 式配置于該第一線圈。
全文摘要
本發明公開一種高耦合因子變壓器及其制造方法，其中變壓器包括第一線圈以及第二線圈。第二線圈鄰近于第一線圈，并且第二線圈互感于第一線圈。第一線圈包含多個第一凸部。第二線圈包含多個第二凸部。其中，該些第一凸部伸向該第二線圈而不電性接觸，并且該些第二凸部伸向該第一線圈而不電性接觸。
文檔編號H01F27/28GK101178970SQ20061014359
公開日2008年5月14日 申請日期2006年11月9日 優先權日2006年11月9日
發明者廖作祥, 歐俊宏, 許村來 申請人:聯華電子股份有限公司