專利名稱：半導體測試管理系統及方法
技術領域：
此發明是一種半導體產品測試技術，特別是一種半導體元件/產品測試的統計控制/統計限制(Statistic BIN Control/StatisticBin Limit)規則驗證方法及系統。
背景技術：
于半導體制造時，半導體晶圓通常會經過一連串使用各式各樣機臺的制造步驟，諸如曝光(photolithography)、化學機械研磨(chemical-mechanical polishing)或化學氣相沉積(chemicalvapor deposition)。舉例來說，15微米的半導體產品可能會經歷接近600道處理步驟。此自動化制造的成本，受到此流程可被監督或控制的高效的程度所影響，使得良品占所有制造產品的比率(亦即是良率)必須要盡可能達到一個高標的水準。然而，單一制程步驟會有變動或不穩定的情形，例如在最差的情況下，會造成數個晶片或整片晶圓產生瑕疵。因此，應讓各別的晶圓處理步驟都夠穩定，期能確保可接受的良率。
在半導體制造過程中會使用電性針測(circuit probing，CP)測試系統/方法來取得良率數據。針對一個半導體產品，一個使用者或操作人員會提供一個電性針測測試程序。該測試程序中描述一個測試流程，測試流程中可包括多個測試項目，而這些測試項目通常會以最佳化的方式排列，用以降低電性針測測試時間。一個電性針測測試機臺會依循事先定義的測試流程循序地探索一個晶圓上的所有晶粒(dies)，決定每一個晶粒的良窳。在完成了一整個電性針測測試后，可得到晶圓、晶圓批次或半導體產品的測試結果諸如良率、正常晶粒數量、可修復晶粒數量等等。接著將測試結果載入統計控制/統計限制(Statistic BIN Control/StatisticBIN Limit，SBC/SBL)規則，以產生對晶圓、晶圓批次或半導體產品良窳的最后建議，諸如接受、報廢、扣留以待分析、降級等等。
在電性針測以前，統計控制/統計限制規則必須經驗證與協商以確保不會損害利潤。例如，較嚴格的統計控制/統計限制規則會產生更多的報廢，并且需要更進一步的確認。傳統上，操作人員花費甚多時間于溝通各式各樣的統計控制/統計限制規則，此種耗費勞力的管理方法嚴重地阻礙效率。
發明內容
有鑒于此，本發明的目的為提供一種半導體測試管理系統，用以提升管理效率。
本發明的半導體測試管理系統包含一部第一計算機與一部第二計算機。第二計算機從第一計算機接收一報廢規則，取得相應于報廢規則的一個初始報廢設定值，決定報廢規則中的一個報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格，當報廢條件較松于或等于初始報廢設定值時，儲存報廢規則為統計控制/統計限制(StatisticBIN Control/Statistic BIN Limit，SBC/SBL)規則，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生晶圓或晶圓批次的一建議報告，用以將晶圓或晶圓批次根據建議報告進行排序以有利于后續處理。其中當晶圓或晶圓批次的電性針測測試結果滿足報廢規則的報廢條件時，該報廢規則決定此晶圓或晶圓批次報廢。
于其他情況下，第二計算機可透過一網絡服務器接收報廢規則，并且第一計算機可透過一網絡瀏覽器傳遞該報廢規則。第二計算機可從第一計算機接收一個扣留規則并且儲存該扣留規則為一統計控制/統計限制規則，其中的扣留規則決定晶圓或晶圓批次是否被扣留以待分析。第二計算機可從第一計算機接收一個降級規則并且儲存該降級規則為一統計控制/統計限制規則，其中的降級規則決定晶圓或晶圓批次是否被采用以制作較低階的產品。當報廢條件較初始報廢設定值嚴格時，第二計算機可拒絕該報廢規則。當報廢條件較初始報廢設定值嚴格時，第二計算機可發出一拒絕信息給第一計算機。于進行訂單管理時，可協商與產生此初始報廢設定值。
本發明的半導體測試管理系統包含一部第一計算機與一部第二計算機。第二計算機從第一計算機接收一統計控制/統計限制規則，決定該統計控制/統計限制規則是否為報廢規則，當該統計控制/統計限制規則為報廢規則時，取得相應該統計控制/統計限制規則的一個初始報廢設定值，決定統計控制/統計限制規則中的一個報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格，當報廢條件較松于或等于初始報廢設定值時，儲存該統計控制/統計限制規則，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生晶圓或晶圓批次的一建議報告，用以將晶圓或晶圓批次根據建議報告進行排序以有利于后續處理。其中當晶圓或晶圓批次的電性針測測試結果滿足報廢規則的報廢條件時，該報廢規則決定此晶圓或晶圓批次報廢。
于其他情況中，可透過偵測規則中的一個最后建議類型或一個規則中的標記來辨認統計控制/統計限制規則是否為一報廢規則。第二計算機可決定統計控制/統計限制規則為一扣留規則或一降級規則，若是，直接儲存該統計控制/統計限制規則，而不須任何判斷，其中的扣留規則決定晶圓或晶圓批次是否被扣留以待分析，其中的降級規則決定晶圓或晶圓批次是否被采用以制作較低階的產品。
本發明另提供一種半導體測試管理方法。由一部第一計算機執行的半導體測試管理方法的實施例包括從一部第二計算機接收一報廢規則，取得相應于報廢規則的一個初始報廢設定值，決定報廢規則中的一個報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格，當報廢條件較松于或等于初始報廢設定值時，儲存報廢規則為統計控制/統計限制規則之一，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生晶圓或晶圓批次的一建議報告，用以將晶圓或晶圓批次根據建議報告進行排序以有利于后續處理。
于透過一部第一計算機所執行的半導體測試管理方法的另一個實施例，包括從一部第二計算機接收統計控制/統計限制規則，決定該統計控制/統計限制規則是否為一報廢規則，當該統計控制/統計限制規則為報廢規則時，取得相應該統計控制/統計限制規則的一個初始報廢設定值，決定統計控制/統計限制規則中的一個報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格，當報廢條件較松于或等于初始報廢設定值時，儲存該統計控制/統計限制規則，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生晶圓或晶圓批次的一建議報告，用以將晶圓或晶圓批次根據建議報告進行排序以有利于后續處理。
本發明所述半導體測試管理系統及方法，可自動獲取統計控制/統計限制規則并對所獲取的規則進行是否合適的判斷，有效的提高了制程效率。
圖1是表示應用于本發明實施例的半導體測試管理系統的網絡環境架構圖；
圖2是表示依據本發明實施例的半導體測試管理系統的硬件環境架構圖；圖3是表示范例的統計控制/統計限制規則的示意圖；圖4是表示本發明實施例的半導體測試管理方法的方法流程圖；圖5是表示本發明實施例的半導體測試管理的儲存介質示意圖。
具體實施例方式
圖1是表示應用于本發明實施例的半導體測試管理系統網絡環境架構圖。半導體測試管理系統20包含兩部計算機21、22。計算機21在一個網絡環境下運作，使用邏輯的連接聯接一或多部遠端計算機，例如計算機22。當應用于局域網絡(LAN-networking)環境中，計算機21及22通過網絡接口或轉換器連接到局域網絡。當應用于無線局域網絡(WLAN-networking)環境中，計算機21及22通過無線網絡接口或轉換器連接到局域網絡。當應用于廣域網絡(WAN-networking)環境中，計算機21及22通常包含非對稱數字用戶線調制解調器(ADSL modems)或其他型態的通訊元件，用以建立整個區域的溝通網絡，像是因特網(Internet)。本領域技術人員皆知道，計算機21及22可在不同的網絡環境下連接，并且通過各式各樣的中繼裝置在不同的網絡環境下通訊，像是路由器(routers)、網關(gateways)、無線接取點(access points)、基地臺系統(base station systems)等等。
圖2是表示半導體測試管理系統的硬件環境架構圖。圖2欲提供一可讓本發明計算機21、22據以實施的簡潔且共通的計算機硬件以及作業環境描述。圖2的硬件環境包含一處理單元11、一存儲器12、一儲存裝置13、一輸入裝置14、一輸出裝置15和一個通訊裝置16。基于范紐曼架構(Von Neumann architecture)，處理單元11通過總線17連接了存儲器12、儲存裝置13、輸入裝置14、輸出裝置15及通訊裝置16。其或許存在唯一或多個處理單元11，以致使計算機的處理器包含一單一中央處理單元(central-processing unit；CPU)、一微處理單位(MPU)或者是關連于并行處理環境(parallel processing environment)的多個處理單元。存儲器12于較佳的情況下為動態存取存儲器(RAM)，但也可包含只讀存儲器(ROM)或快閃存儲器(flash ROM)。存儲器12儲存可由處理單元11執行測試管理功能的程序模組。一般而言，程序模組包含常序(routines)、程序(program)、對象(object)、元件(component)等，用以執行特定功能或實作特定抽象數據型態(abstract data type)。除此之外，本領域技術人員也可將本發明實施于其他計算機系統樣態(configuration)上，例如，手持式設備(hand-held devices)、多處理器系統、以微處理器為基礎或可程序化的消費性電子產品(microprocessor-based orprogrammable consumer electronics)、網絡計算機、迷你計算機、大型主機以及類似的設備。本發明亦可以實施于分散式運算環境，其運算工作被一連結于通訊網絡的遠端處理設備所執行。在分散式環境中，程序模組可同時存在于本地以及遠端儲存裝置中，而遠端存取架構包含分散式元件對象模型(DCOM)、通用對象請求中介架構(CORBA)、網頁元件(Web objects)、網絡服務(Web Services)或其他類似架構。儲存裝置13可為一硬盤裝置、磁性裝置、光盤裝置、可攜式儲存裝置或非易失存儲器裝置(nonvolatile memory drive)。這些裝置以及其相關的計算機可讀取介質(computer-readable medium)提供計算機可讀取指令、數據結構、程序模組、統計控制/統計限制(Statistic BINControl/Statistic BIN Limit，SBC/SBL)規則的非易失儲存空間(nonvolatile storage)。處理單元11從存儲器12或經由一操作者透過輸入裝置接收程序模組，用以執行測試管理功能。儲存裝置13可包含數據庫管理系統(database management system)、對象庫管理系統(object base management system)、文件管理系統(file management system)等以儲存多樣的統計控制/統計限制規則。
圖3是表示范例的統計控制/統計限制規則321至326。每一個統計控制/統計限制規則用以決定當晶圓或晶圓批次的電性針測測試屬性值(如良率、正常晶粒數量、可修復晶粒數量等)或電性針測測試屬性值的數學運算結果滿足一個特定條件時的一個最后建議，諸如報廢、扣留以待分析、降級等。所有的統計控制/統計限制規則能根據最后建議類型分為三類，扣留(Hold forAnalysis)、降級(Downgrade)與報廢(Scrap)。另一方面，規則分類可透過儲存于統計控制/統計限制規則中的特定標記(flag)表示，諸如“H”代表扣留規則、“S”代表報廢規則以及“N”代表降級規則。扣留規則用以決定對晶圓、晶圓批次進行扣留以進一步分析。降級規則用以決定將晶圓或晶圓批次進行低階產品的處理，例如，較低速的中央處理器。報廢規則用以決定晶圓或晶圓批次是否報廢。此統計控制/統計限制規則可以法則范本(ruletemplates)、發生于法則的前項(antecedent)或后項(consequent)的最大或最小數量條件(predicates)、測試屬性值的關系、測試屬性值的運算方程式以及/或以上的組合來表示。例如，參考列321，統計控制/統計限制規則可決定在第一階段的測試中，將良率低于0.45的晶圓批次扣留以進行后續分析。參考列324，另一個統計控制/統計限制規則可決定在第二階段的測試中，將良率等于或低于0.30的晶圓降級。參考列326，再另一個統計控制/統計限制規則可決定，將第二階段的良好晶粒數量減掉第一階段的良好晶粒數量，再除以第一階段的可修復晶粒數量所得的值低于0.9的晶圓扣留以進行后續分析。于此須注意的是，當測試結果不滿足任何的統計控制/統計限制規則時，則代表晶圓、晶圓批次或半導體產品可被接受。而本領域技術人員可加上更多或使用不盡相同的統計控制/統計限制規則。
計算機21于較佳的情況下配備有瀏覽器(browser)以存取計算機22中的信息。網絡瀏覽器為客戶端應用程序，或者于較佳的情況下，為一能與計算機22互動的整合操作系統。網絡瀏覽器透過因特網30從計算機22接收信息，該信息通常以超文本標記語言(Hypertext Markup Language，HTML)、可擴展標記語言(Extensible Markup Language，XML)等編碼而成。網絡瀏覽器通常提供另外的元件諸如Java Applets、ActiveX Controls與Plug-Ins以提供統計控制/統計限制規則提交(submission)功能。
計算機22于較佳的情況下配備有網絡服務器得以與計算機21互動。一般而言，網絡服務器所提供的信息是以網頁呈現，其格式一般來說可為超文本標記語言(HyperText mark-uplanguage，HTML)格式，此為一種以文本為基礎的格式，用以指示計算機21如何顯示個別網頁，可提供通常為ASCII格式的文本內容與壓縮后的圖形信息，其格式諸如“GIF”或“JPEG”，以有利于統計控制/統計限制規則的提交與回應提交結果。
圖4是表示本發明實施例的半導體測試管理方法的方法流程圖，該方法由計算機22中的處理單元11來執行。此方法始于步驟S411，從計算機22接收一新的統計控制/統計限制規則。計算機22可提供一內嵌于至少一個網頁的單一互動界面，以促進統計控制/統計限制規則產生與提交的使用者互動。另一方面，除網絡瀏覽器外，計算機22亦可從非易失儲存裝置中的一文件接收一新的統計控制/統計限制規則，該非易失儲存裝置諸如硬盤裝置、磁性裝置、光盤裝置、可攜式儲存裝置等，或一配備特定客戶端應用程序的遠端計算機。如步驟S421，決定接收到的統計控制/統計限制規則是否為一報廢規則，若是，流程進行至步驟S423，若否，至步驟S431。該決定可透過偵測上述規則中的最后建議類型或其中代表規則類型的標記而得。如步驟S423，取得相應于接收到的報廢規則的初始報廢設定值，此設定值產生于進行訂單管理的協商過程中。初始報廢設定值可儲存于儲存裝置13中或遠端后勤管理系統(未顯示)中。當儲存于遠端后勤管理系統(未顯示)中時，該初始報廢設定值可透過發出一帶有特定參數的請求命令來取得，相關參數諸如測試屬性值(test attribute)、半導體產品號碼、晶圓識別碼(wafer identity)、晶圓批次識別碼或以上任意兩種的結合。如步驟S425，決定接收到的報廢規則中的報廢條件是否較嚴格于初始報廢設定值，若是，流程進行至步驟S427，若否，至步驟S431。例如，若接收到的報廢規則如圖3的325所示，而產品“TCCTA7”產出的初始設定值為10，則接收到的報廢條件較此初始報廢設定值嚴格。如步驟S427，拒絕接收到的報廢規則。該拒絕信息可傳遞至計算機22以及可透過網絡服務器或一客戶端應用程序進行提示。如步驟S431，將接收到的統計控制/統計限制規則儲存于儲存裝置13中。該接收到的統計控制/統計限制規則可儲存于具關連性的數據庫/對象數據庫的一或多個數據表/對象中。如步驟S441，取得電性針測測試結果。電性針測測試結果可從一或多個文件、相關連的數據表、數據對象或其他、或透過網絡30由一或多個電性針測測試站臺而得。如步驟S451，將取得的電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生建議報告，用以將晶圓或晶圓批次進行排序以有利于后續處理諸如封裝、最后測試等。建議報告于較佳的情況下組織成可被排序機臺辨識的數字格式。
圖5是表示本發明實施例的半導體測試管理方法的儲存介質示意圖。此儲存介質70，儲存一可執行上述方法的半導體測試管理計算機程序520。其計算機程序包含接收統計控制/統計限制規則邏輯521、決定接收到的統計控制統計限制規則是否為一報廢規則邏輯522、取得相應于接收到的統計控制/統計限制規則的初始報廢設定值邏輯523、決定接收到的報廢規則中的報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格邏輯524、拒絕接收到的報廢規則邏輯525、儲存接收到的統計控制/統計限制規則邏輯526、取得電性針測測試結果邏輯527以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生建議報告邏輯528。
雖然本發明已通過較佳實施例說明如上，但該較佳實施例并非用以限定本發明。本領域的技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，應有能力對該較佳實施例做出各種更改和補充，因此本發明的保護范圍以權利要求書的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下11處理單元12存儲器13儲存裝置14輸入裝置15輸出裝置16通訊裝置17總線20半導體測試管理系統21、22計算機311、312、313、314、315數據字段321、322、323、324、325、326統計控制/統計限制規則
S411、S421、...、S441、S451流程步驟50儲存介質520半導體測試管理計算機程序521接收統計控制/統計限制規則邏輯522決定接收到的統計控制統計限制規則是否為一報廢規則邏輯523取得相應于接收到的統計控制/統計限制規則的初始報廢設定值邏輯524決定接收到的報廢規則中的報廢條件是否較初始報廢設定值嚴格邏輯525拒絕接收到的報廢規則邏輯526儲存接收到的統計控制/統計限制規則邏輯527取得電性針測測試結果邏輯528將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生建議報告邏輯。
權利要求
1.一種半導體測試管理系統，所述半導體測試管理系統包括一規則提供者提供一規則；以及一計算機從上述提供者接收上述規則，取得相應于上述規則的一初始設定值，決定上述規則中的一條件是否較上述初始設定值嚴格，當上述條件較松于或等于上述初始設定值時儲存上述規則，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將上述電性針測測試結果載入上述儲存的規則中以產生上述晶圓或晶圓批次的一建議報告，當上述晶圓或晶圓批次的電性針測測試結果滿足上述規則的上述條件時，對上述晶圓或晶圓批次采取進一步行動。
2.根據權利要求1所述的半導體測試管理系統，其特征在于，上述計算機透過一網絡服務器接收上述規則，并且上述規則提供者透過一網絡瀏覽器傳遞上述規則。
3.根據權利要求1所述的半導體測試管理系統，其特征在于，透過上述計算機接收的上述規則為一報廢規則、一扣留規則、一降級規則，或為上述規則的任意結合，其中上述報廢規則決定上述晶圓或晶圓批次是否報廢，上述扣留規則決定上述晶圓或晶圓批次是否被扣留以待分析，以及上述降級規則決定上述晶圓或晶圓批次是否被采用以制作較低階的產品。
4.根據權利要求1所述的半導體測試管理系統，其特征在于，上述晶圓或晶圓批次根據上述建議報告進行排序以有利于后續處理。
5.根據權利要求4所述的半導體測試管理系統，其特征在于，當上述條件較上述初始設定值嚴格時，上述計算機產生一拒絕信息。
6.一種半導體測試管理方法，所述半導體測試管理方法包括下列步驟接收一規則；取得相應于上述規則的一初始設定值；決定上述規則中的一條件是否較上述初始設定值嚴格；當上述條件較松于或等于上述初始設定值時儲存上述規則；以及取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將上述電性針測測試結果載入上述儲存的規則中以產生上述晶圓或晶圓批次的一建議報告，當上述晶圓或晶圓批次的電性針測測試結果滿足上述規則的上述報廢條件時，對上述晶圓或晶圓批次采取進一步行動。
7.根據權利要求6所述的半導體測試管理方法，其特征在于，上述規則為一報廢規則、一扣留規則、一降級規則，或為上述規則的任意結合，其中上述報廢規則決定上述晶圓或晶圓批次是否報廢，上述扣留規則決定上述晶圓或晶圓批次是否被扣留以待分析，以及上述降級規則決定上述晶圓或晶圓批次是否被采用以制作較低階的產品。
8.根據權利要求6所述的半導體測試管理方法，其特征在于，上述規則儲存為多個統計控制/統計限制規則中之一。
9.根據權利要求6所述的半導體測試管理方法，其特征在于，上述晶圓或晶圓批次根據上述建議報告進行排序以有利于后續處理。
10.根據權利要求6所述的半導體測試管理方法，其特征在于，更包括當上述條件較上述初始設定值嚴格時，產生一拒絕信息。
全文摘要
本發明提供一種半導體測試管理系統及方法。一部第二計算機以從一部第一計算機接收一報廢規則，取得相應于報廢規則的一初始報廢設定值，當報廢條件較松于或等于初始報廢設定值時，儲存報廢規則為一統計控制/統計限制規則，取得一晶圓或一晶圓批次的一電性針測測試結果，以及將電性針測測試結果載入儲存的統計控制/統計限制規則中以產生晶圓或晶圓批次的一建議報告。本發明所述半導體測試管理系統及方法，可自動獲取統計控制/統計限制規則并對所獲取的規則進行是否合適的判斷，有效的提高了制程效率。
文檔編號H01L21/66GK1825130SQ20061000782
公開日2006年8月30日 申請日期2006年2月17日 優先權日2005年2月24日
發明者黃舜熙 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司