專利名稱:發光元件的制造方法、發光元件、顯示裝置及電子儀器的制作方法
技術領域:
本發明涉及發光元件的制造方法、發光元件、顯示裝置及電子儀器。
背景技術:
至少一層發光性有機層(有機電致發光層)被夾持在陰極和陽極之間的結構的有機電致發光元件(以下稱為“有機EL元件”),與無機EL元件相比能夠大幅度降低施加電壓,能夠制成多彩的發光色的元件(例如參見非專利文獻1~3和專利文獻1~3)。
現在,為了得到更高性能的有機EL元件,以材料的開發和改良為首,提出了各種器件結構,正在進行積極的研究。
而且關于這種有機EL元件已經開發出各種發光顏色的元件、以及具有高亮度和高效率的元件,并且研究了用作顯示裝置的像素,以及用作光源等多種多樣的實際用途。
此外,正在為實用化而進一步提高發光效率進行著各種研究。
非專利文獻1Appl.Phys.Lett.51(12),1987,9.21,p91非專利文獻2Appl.Phys.Lett.71(1),1997,7.7,p3非專利文獻3Nature357,447199專利文獻1特開平10-153967號公報專利文獻2特開平10-12377號公報專利文獻3特開平11-40358號公報發明內容本發明目的在于提供一種能夠制造發光效率優良的發光元件的發光元件的制造方法、通過這種發光元件制造方法制造的發光元件、具備這種發光元件的可靠性高的顯示裝置和電子儀器。
本發明目的可以由以下發明達成。
本發明的發光元件的制造方法,是在一對電極之間插入發光層和與該發光層接觸并以有機聚合物作為主要材料構成的載流子輸送層而成的制造發光元件的發光元件的制造方法,其特征在于,具有第一工序和第二工序,其中所述第一工序,在所述一對電極中,對一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,實施用于提高與所述有機聚合物親和性的親和性提高處理;所述第二工序,向所述一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,供給含有所述發光層構成材料、所述有機聚合物和液體狀介質的液體狀材料后形成液體狀被膜,并一邊從所述液體狀被膜中除去所述液體狀介質,一邊使所述有機聚合物在所述一方的電極側分離,使所述發光層構成材料在另一方的電極側分離,一起形成所述載流子輸送層和所述發光層。
由此,能夠確實使空穴輸送層和發光層分離形成,其結果能夠制造發光效率高的發光元件。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第一工序中的所述親和性提高處理,優選采用向一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,導入含有一部分構成所述有機聚合物的化合物的化學結構的化學修飾處理。
由此,能夠確實使空穴輸送層和發光層分離形成。
本發明的發光元件的制造方法中,所述載流子輸送層優選空穴輸送層。
通過采用以載流子輸送層作為空穴輸送層的發光元件,能夠制造發光效率優良的發光元件。
本發明的發光元件的制造方法中,所述空穴輸送層,在所述一方的電極側,具有以第一有機聚合物為主要材料構成的第一區域,而且在所述發光層側,具有以與所述第一有機聚合物種類不同的第二有機聚合物作為主要材料構成的第二區域,在所述第一工序中的所述親和性提高處理中,對所述一方的電極的所述發光層的形成面側,優選進行提高與所述第一有機聚合物的親和性的處理。
由此,能夠使第一區域與第二區域確實分離形成。
本發明的發光元件的制造方法,在所述第二工序中,優選通過相分離使所述第一區域和所述第二區域與所述發光層一起形成。
由此,第一區域和第二區域能夠分別充分發揮其各自的功能,同時還能增大其界面的密接性,使空穴從第一區域向第二區域的遷移順利地進行。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第一有機聚合物的重均分子量,優選比所述第二有機聚合物的重均分子量大。
由此,第二區域取向性提高,空穴的輸送效率進一步提高。另一方面,能將第一區域制成無定形狀態,使晶粒難于產生,所以能夠防止空穴移動通過晶界的現象產生。其結果,上述現象隨經時間而增大,因而能夠防止或抑制陽極與發光層之間的短路。因此,發光元件是一種發光效率和耐久性均優良的元件。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第一有機聚合物重均分子量優選為10000以上。
由此,能更加確實地使第一區域處于無定形狀態下,能夠進一步防止或抑制陽極與發光層之間的經時短路。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第二有機聚合物的重均分子量優選為8000以下。
通過采用這樣的低分子量的第二有機聚合物,第二區域的取向性更高,能夠進一步提高第二區域中空穴的輸送效率。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第一有機聚合物,優選聚芳胺、芴-芳胺共聚物或其衍生物。
這些物質由于是空穴注入效率優良的材料而特別優選。
本發明的發光元件的制造方法中,所述第二有機聚合物,優選聚芴、芴-聯二噻吩共聚物或其衍生物。
這些物質因空穴輸送能力優良而特別優選。
本發明的發光元件的制造方法中,所述發光層優選主要由無機半導體材料和發光材料的復合材料構成。
這樣能夠進一步提高發光層的耐久性,使發光元件的壽命進一步延長。
本發明的發光元件的制造方法中,所述復合材料優選是所述無機半導體材料的至少一部分被所述發光材料包覆而成的。
這樣能使空穴輸送層與發光材料之間的接觸面積更大,進一步拓寬發光的尺寸。
本發明的發光元件的制造方法中,所述無機半導體材料優選主要由金屬氧化物構成。
以金屬氧化物為主的無機半導體材料,因耐久性和電子輸送能力強而優選。
本發明的發光元件的制造方法中,所述金屬氧化物優選以氧化鋯為主要成分的。
以氧化鋯為主的無機半導體材料,因耐久性和電子輸送能力強而特別優選。
本發明的發光元件的制造方法中,所述無機半導體材料優選粒狀的。
由此,發光層(發光材料)與空穴輸送層之間的接觸面積進一步增大,可以更加顯著地發揮因上述的接觸面積增大而獲得的效果。
本發明的發光元件的制造方法中,所述粒狀無機半導體材料,其平均粒徑優選為0.5~10納米(nm)。
這樣能夠充分確保發光層與空穴輸送層之間的接觸面積。
本發明的發光元件的制造方法中,所述發光材料優選主要由金屬配位化合物構成。
以金屬配位化合物為主的發光材料,因耐久性和發光效率高而優選。
本發明的發光元件的制造方法中,所述金屬配位化合物優選以銥作為中心離子的配位化合物為主要成分。
以銥配位化合物為主的發光材料,因耐久性和發光效率高而特別優選。
本發明的發光元件的制造方法中,在所述第二工序中,優選在含有極性溶劑的蒸氣的氣氛中進行所述液體狀溶劑的除去。
這樣能夠更加確實地使復合體在液體狀被膜中集中在另一方的電極側。
本發明的發光元件的制造方法中,在所述第二工序中優選一邊使所述液體狀被膜中產生對流一邊進行所述液體狀溶劑的除去。
由此,能夠更加確實地使復合體在液體狀被膜中集中在另一電極側。
本發明的發光元件的制造方法中,優選通過對所述液體狀被膜加熱產生所述對流。
若采用加熱方法,則能夠比較容易對液體狀被膜中的對流進行調整。
本發明的發光元件,其特征在于,通過本發明的發光元件的制造方法制造的。
這樣可以得到發光效率優良的發光元件。
本發明的顯示裝置,其特征在于,其中具備本發明的發光元件。
這樣可以得到可靠性強的顯示裝置。
本發明的電子儀器,其特征在于,其中具備本發明的顯示裝置。
這樣可以得到可靠性強的電子儀器。
圖1是示意表示本發明的發光元件的實施方式的縱剖面圖。
圖2是示意表示圖1所示的發光元件各部分(各層)界面附近的圖。
圖3是表示圖2的進一步放大的圖。
圖4是表示采用了本發明的顯示裝置的顯示裝置的實施方式的縱剖面圖。
圖5是表示適用了本發明的電子儀器的便攜式(或筆記本型)個人計算機之構成的立體圖。
圖6是表示采用了本發明的電子儀器的移動電話機(包括PHS)的構成的立體圖。
圖7是表示采用了本發明的電子儀器的數碼相機的構成的立體圖。圖中1…發光元件,2…基板,3…陽極,4…空穴輸送層,41…第一區域,42…第二區域,5…發光層,51…無機半導體粒子,52…發光材料,6…陰極,7…密封部件,10…顯示裝置,20基體,21…基板,…22…電路部,23…保護層,24…驅動用TFT,241…半導體層,242…柵絕緣層,243…柵電極,244…源電極,245…漏電極,25…第一層間絕緣層,26…第二層間絕緣層,27…配線,31…第一隔壁部,32…第二隔壁部,1100…個人計算機,1102…鍵盤,1104…主體部,1106…顯示單元,1200…移動電話機,1202…操作按鈕,1204…受話口,1206…送話口,1300…數碼相機,1302…殼體(主體),1304…受光單元,1306…快門按鈕,1308…電路基板,1312…視頻信號輸出端子,1314…數據通信用輸入輸出端子,1430…電視監視器,1440…個人計算機。
具體實施例方式
以下參照
本發明的發光元件的制造方法、發光元件、顯示裝置和電子儀器的最佳實施方式。
圖1是示意表示本發明的發光元件的實施方式的縱剖面的圖,圖2是示意表示圖1所示發光元件各部分(各層)界面附近的圖,圖3是表示進一步放大圖2的圖。而且在以下說明中,為了便于說明將圖1~圖3的上側叫作“上”,將下側叫作“下”,以此方式進行說明。
圖1所示的發光元件(電致發光元件)1,由陽極(一方的電極)3、陰極(另一方的電極)6、在陽極3與陰極6之間插入的處于陽極3側的空穴輸送層(載流子輸送層)4、和處于陰極6側的發光層5構成,它被設置在基板2上。而且用密封材料7密封著陽極3、空穴輸送層4、發光層5和陰極6。
基板2是成為發光元件1的支持體的。本實施方式的發光元件1,由于是從基板2一側取出光的構成(底部出射型),所以基板2和陽極3分別被制成實質上透明(無色透明、有色透明或半透明)的。
作為基板2的構成材料,例如可以舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對萘乙二醇酯、聚丙烯、環烯烴聚合物、聚酰胺、聚醚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚芳酯之類樹脂材料,石英玻璃、鈉玻璃等玻璃等,這些物質中可以使用一種或者兩種以上組合使用。
對于這種基板2的平均厚度沒有特別限制,但是優選0.1~30毫米左右,更優選0.1~10毫米左右。
另外,當發光元件1具有從基板2的對側取出光的構成(頂部出射型)的情況下,基板2可以采用透明基板或不透明基板的任一種。
作為不透明基板,例如可以舉出用氧化鋁之類陶瓷材料制成的基板、在不銹鋼之類金屬基板的表面上形成了氧化膜(絕緣膜)的、以及用樹脂材料制成的基板等。
陽極3是向后述的空穴輸送層4注入空穴用的電極。這種陽極3的構成材料,優選采用功函數大、導電性優良的材料。
作為陽極3的構成材料,例如可以舉出ITO(銦錫氧化物)、IZO(銦鋅氧化物)、In3O3、SnO2、含Sb的SnO2、含Al的ZnO等氧化物,Au、Pt、Ag、Cu或含這些的合金等,這些物質中可以使用一種或者兩種以上組合使用。
這種陽極3的平均厚度并無特別限定,但是優選10~200nm左右,更優選50~150nm左右。
另一方面,陰極6是向后述的發光層5注入電子用的電極。這種陰極6的構成材料,優選采用功函數小的材料。
作為陰極6的構成材料,例如可以舉出Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rb或含這些的合金等,這些物質中可以使用一種或者兩種以上組合使用。
尤其當采用合金作為陰極6的構成材料的情況下,優選采用含有Ag、Cu、Al的穩定的金屬元素的合金,具體講優選采用MgAg、AlLi、CuLi等的合金。通過采用這種合金作為陰極的構成材料,能夠提高陰極6的電子注入效率和穩定性。
這種陰極6的平均厚度并無特別限定,但是優選100~10000納米(nm)左右,更優選200~500納米左右。
另外,本實施方式的發光元件1,由于是底部出射型的所以對于陰極6的透光性沒有特別要求。
空穴輸送層4是具有將從陽極3注入的空穴輸送到發光層5的功能的層。這種空穴輸送層4,主要由有機聚合物構成。
作為這種有機聚合物可以采用各種p型半導體材料,例如可以舉出聚芳胺、芴-芳胺共聚物、芴-聯二噻吩共聚物、聚(N-乙烯基咔唑)、聚乙烯基芘、聚乙烯基蒽、聚噻吩、聚烷基噻吩、聚己基噻吩、聚(對苯撐乙烯撐)、聚亞噻嗯基亞乙烯基(polythienylene vinylene)、芘甲醛樹脂、乙基咔唑甲醛樹脂或其衍生物等,這些物質中可以使用一種或者兩種以上組合使用。
而且所述化合物,也可以使用與其他化合物的混合物。作為一例,含有聚噻吩的混合物可以舉出聚(3,4-乙烯二氧噻吩/苯乙烯磺酸)(PEDOT/PSS)等。
而且本實施方式的孔穴輸送層4,如圖1和圖2所示,具有與陽極3接觸的第一區域41和與發光層5接觸的第二區域42。
第一區域41由以第一有機聚合物為主要材料所構成,而第二區域42由與第一有機聚合物不同種類的第二有機聚合物為主要材料所構成,這些區域41、42可以通過后述的相分離(垂直相分離)而與發光層一起形成的。
而且這種第一區域41和第二區域42,如圖2所示,在宏觀上來看其界面與陽極3的上面大體平行,如圖3所示,為微觀上看各區域形成凹凸狀互相嵌入(重合)的狀態。
由此,第一區域41和第二區域42,能夠分別充分發揮其各自的功能,同時其界面上的密接性增大,空穴從第一區域41向第二區域42的遷移變得更加順利。
在此,作為第一有機聚合物與第二有機聚合物的組合,例如可以舉出I選擇空穴在第一有機聚合物中注入效率優良的,選擇在第二有機聚合物中取向性強,空穴的輸送效率優良的組合,II與第二有機聚合物相比,選擇在第一有機聚合物中禁帶寬度大的組合等。
I的情況下,空穴從陽極3通過第一區域41高效向第二區域42注入,所注入的空穴將會以更高效率通過第二區域42被輸送;而且II的情況下,空穴從陽極3逐級(圓滑地)朝著發光層5移動,即空穴以更高效率在空穴輸送層中被輸送。其結果在I和II中任何一種情況下,都能提高發光元件1的發光效率。
I的情況下,優選采用聚芳胺、芴-芳基胺共聚物或其衍生物作為第一有機聚合物。這些物質特別優選空穴注入效率優良的材料。
這里舉出由以下化學式1表示的三苯胺系高分子作為聚芳胺衍生物的一例。
化學式1
另一方面,優選采用聚芴、芴-聯二噻吩共聚物或其衍生物作為第二有機聚合物。這些物質特別優選空穴輸送能力優良的。
這里舉出由以下化學式2表示的聚芴系高分子作為聚芴衍生物的一例。
化學式2
而且在I的情況下,第二有機聚合物優選選擇具有較低分子量的,第一有機聚合物優選其重均分子量比第二有機聚合物的重均分子量大的(具有較高分子量的)。由此,可以獲得以下效果。
也就是說,第二區域42取向性提高,空穴輸送效率更加提高。另一方面,能將第一區域41制成無定形狀態,使晶粒難于產生,因而能夠防止空穴(載流子)在晶界(晶粒之間)移動的現象產生。其結果,上述現象經時地增大,能夠防止或抑制陽極3與發光層5之間短路。因此,發光元件1將是發光效率和耐久性均優良的元件。
這種情況下,第一有機聚合物的重均分子量,優選處于10000以上,更優選為15000~50000。由此,能夠更加確實地將第一區域41制成無定形狀態,能夠更加確實地防止或抑制陽極3與發光層5之間的經時短路。
另一方面第二有機聚合物,優選8000以下的,更優選1500~5000左右的。通過采用這種低分子量的第二有機聚合物,第二區域42的取向性更高,能夠進一步提高第二區域42中的空穴輸送效率。
而且,通過將這種重均分子量的第一有機聚合物與第二有機聚合物組合,由于后述的相分離作用,能夠更加確實地分離形成第一區域41和第二區域42,同時還能更加確實地與發光層5一起分離形成第二區域42。
這種空穴輸送層4(第一區域41與第二區域42的合計)的平均厚度雖然沒有特別限制,但是優選10~150nm左右,更優選50~100nm左右。
另外,在本實施方式中,空穴輸送層4的構成雖然具有由不同有機聚合物構成的兩個區域,但是空穴輸送層4也可以由一種有機聚合物作為主要材料構成。
與空穴輸送層4(第二區域42)接觸并設置了發光層5。這種發光層5,在輸送從陰極注入電子的同時,接受來自空穴輸送層4的空穴。于是空穴和電子在該空穴輸送層4的界面附近再結合,由于這種再結合時釋放出的能量生產激發子,當激發子返回到基態時將會釋放出能量(熒光或磷光)而發光。
如上所述,這種發光層5因相分離(垂直相分離)而一起形成著第一區域41和第二區域42。
而且這種發光層5和空穴輸送層4,如圖2所示,在宏觀上看其界面與陽極3的上面大體平行,如圖3所示,在微觀上來看各層處于凹凸狀互相嵌入(重合)的狀態下。
因此,發光層5與空穴輸送層4之間的接觸面積增大,電子與空穴的再結合位點擴展。而且這種再結合位點由于存在于與電極(陽極3和陰極6)分離的部分上,結果發光位點將會擴展(有助于發光的分子數增加)。因此,能使發光元件1的發光效率提高,實現更加長壽命化。
而且由于發光層5和孔穴輸送層4之間的界面不均勻(平坦),呈凹凸狀,所以即使將驅動電壓上升,也能防止空穴和電子一起激發、結合,因而能夠防止發光強度急劇上升。因此,由于能夠根據驅動電壓使亮度穩定上升,所以能夠容易進行發光元件1的發光亮度控制和低亮度的調諧控制。而且還有無需精細控制驅動電壓用的復雜周邊電路的優點。
本實施方式的發光層5,主要由無機半導體粒子(粒狀無機半導體材料)51與發光材料52的復合體構成。在圖示的構成中,發光材料52雖然將無機半導體粒子51全體覆蓋,但是也可以將無機半導體粒子51的一部分覆蓋。通過在無機半導體材料粒子51的表面上這樣覆蓋發光材料52,能使空穴輸送層4與發光材料52間的接觸面積更加增大,從而使發光尺寸進一步增大。
在這種發光層5中,借助于無機半導體粒子51向發光材料52供給電子,使發光材料52發光。也就是說,也可以將無機半導體粒子51的集合體(集合物)叫作電子輸送層。
這樣,通過使用無機半導體材料作為發光層5的構成材料,能使發光層5的耐久性更加提高,實現發光元件1壽命的進一步延長。
作為這種無機半導體材料,例如可以舉出ZrO2、TiO2、TiO、Ti2O3、NbO、SrTiO3、ZnO、SiO2、Al2O3、SnO2之類金屬氧化物,ZnS、CdS之類金屬硫化物,CdSe之類的金屬硒化物,TiC、SiC之類金屬或半導體碳化物,Si3N4、B4N、BN之類半導體氮化物等,這些物質可以使用一種或者兩種以上組合(例如混合物、固溶體等)使用。
這些物質中,無機半導體材料優選主要由金屬氧化物構成,而金屬氧化物中特別優選以ZrO2(氧化鋯)作為主要成分。以金屬氧化物(特別是ZrO2)作為主要成分的無機半導體材料,因其耐久性和電子輸送能力強而優選。
而且正如本實施方式那樣,通過將無機半導體材料制成粒狀,發光層5(發光材料52)與空穴輸送層4間的接觸面積更加增大,因上述接觸面積增大而獲得的效果可以發揮得更加顯著。
這種情況下,無機半導體粒子(粒狀無機半導體材料)51,其平均粒徑優選0.5~10納米左右,更優選1~7納米左右。由此,能夠充分確保發光層5與空穴輸送層4間的接觸面積,使上述效果進一步提高。
而且作為發光材料52,例如可以舉出配位體具有下述化學式3所示的2,2’-聯二吡啶-4,4’-二羧酸的3配位的銥配位化合物、三(2-苯基吡啶)銥(Ir(ppy)3)、8-羥基喹啉鋁(Alq3)、三(4-甲基-8喹啉鹽)鋁(III)(Almq3)、8-羥基喹啉鋅(Znq2)、(1,10-二氮菲繞啉)-三-(4,4,4-三氟-1-(2-噻嗯基)-丁烷-1,3-二甲酸鹽(dionato))銪(III)(Eu(TTA)3(Phen))、2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-21H,23H-卟吩鉑(porphyrin platinum)(II)等各種金屬配位化合物,二苯乙烯基苯(DSB)、二氨基二苯乙烯基苯(DADSB)等苯系化合物,萘、尼羅紅等萘系化合物,菲等菲系化合物,1,2-苯并菲、6-硝基-1,2-苯并菲等1,2-苯并菲系化合物,苝(即二萘嵌苯)、N,N-二(2,5-二叔丁基苯基)-3,4,9,10-苝-二甲酰胺(BPPC)等苝系化合物,暈苯等暈苯系化合物,蒽、二苯乙烯基蒽等蒽系化合物,芘等芘系化合物,4-(二氨基亞甲基)-2-甲基-6-(對二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM)等吡喃系化合物,吖啶等吖啶系化合物,芪(即1,2-二苯乙烯等)1,2-二苯乙烯系化合物,2,5-二苯并噁唑噻吩等噻吩系化合物,苯并噁唑等苯并噁唑系化合物,苯并咪唑等苯并咪唑系化合物,2,2’-(對苯撐乙烯撐)-二苯并噻唑等苯并噻唑系化合物,聯二苯乙烯(1,4-二苯基-1,3-丁二烯)、四苯基丁二烯等丁二烯系化合物,萘酰亞胺等萘酰亞胺系化合物,香豆素等香豆素系化合物,perinone(ペリノン)等perinone系化合物,噁二唑等噁二唑系化合物,醛連氮系化合物,1,2,3,4,5-五苯基-1,3-環戊二烯(PPCP)等環戊二烯系化合物,2,3-喹吖酮、喹吖酮紅等喹吖酮系化合物,吡咯并吡啶、噻二唑并吡啶等吡啶系化合物,2,2’,7,7’-四苯基-9,9’-螺二芴等螺化合物,酞青(H2PC)、酞青銅等金屬或無金屬酞青系化合物,芴等芴系(fluorene series)化合物等,這些物質中可以使用一種或者兩種以上并用。
化學式3
這些物質中發光材料52優選主要由金屬配位化合物構成,而金屬配位化合物中更優選特別以銥作為中心金屬的配位化合物(銥配位化合物)為主要成分的。以金屬配位化合物(特別是銥配位化合物)為主的發光材料52因耐久性和發光效率高而優選。
這種發光層5的平均厚度雖然沒有特別限制,但是優選1~100納米左右,更優選20~50納米左右。
其中對于發光層5而言,作為有助于電子輸送的材料,除可以使用有機半導體材料以代替無機半導體材料以外,還可以省略有助于電子輸送的材料,以上述的發光材料(低分子發光材料)52為主要材料構成。
而且發光層5還能以高分子發光材料為主要材料構成。這種情況下,采用一種有機聚合物作為孔穴輸送層4的構成材料,通過適當選擇發光材料和有機聚合物,通過后述相分離就能一起形成發光層5和空穴輸送層4。這種情況下,作為有機聚合物例如決定選擇其重均分子量比發光材料的重均分子量小的。
作為高分子發光材料,例如可以舉出反式聚乙炔、順式聚乙炔、聚(二苯基乙炔)(PDPA)、聚(烷基、苯基乙炔)(PAPA)等聚乙炔系化合物,聚(對苯撐乙烯撐)(PPV)、聚(2,5-二烷氧基-對苯撐乙烯撐)(RO-PPV)、氰基取代的聚(苯撐乙烯撐)(CN-PPV)、聚(2-甲基辛基硅烷基-對苯撐乙烯撐)(DMOS-PPV)、聚(2-甲氧基-5-(2’-乙基己氧基)對苯撐乙烯撐)(MEH-PPV)等聚對苯撐乙烯撐化合物,聚(3-烷基噻吩)(PAT)、聚(氧代丙烯)三醇(POPT)等聚噻吩系化合物,聚(9,9-二烷基芴)(PDAF)、聚(二辛基芴基-鄰苯并噻二唑)(F8BT)、α,ω-雙[N,N’-二(甲基苯基)氨基苯基]-聚[9,9-雙(2-乙基己基)芴-2,7-二基](PF2/6am4)、聚(9,9-二辛基-2,7-二乙烯撐芴基)-鄰(蒽-9,10-二基)等芴系化合物,聚(對苯撐)(PPP)、聚(1,5-二烷氧基-對苯撐)(RO-PPP)等聚對苯撐系化合物,聚(N-乙烯基咔唑)(PVK)等咔唑系化合物,聚(甲基苯基硅烷)(PMPS)、聚(萘基苯基硅烷)(PNPS)、聚(聯苯基苯基硅烷)(PBPS)等聚硅烷系化合物等。
密封部件7被設置得將陽極3、孔穴輸送層4、發光層5和陰極6覆蓋,將其氣密密封,具有遮斷氧或水分的功能。通過設置密封部件7可以得到提高發光元件1的可靠性,并且具有防止變質和劣化(耐久性提高)等效果。
作為密封部件7的構成材料,例如可以舉出Al、Au、Cr、Nb、Ta、Ti或含其的合金、氧化硅、各種樹脂材料等。而且,采用具有導電性的材料作為密封部件7的構成材料的情況下,為防止短路,必要時優選在密封部件7與陽極3、空穴輸送層4、發光層5和陰極6之間設置絕緣膜。
而且密封部件7也可以以平板狀使之與基板2相對向,例如用熱固性樹脂等密封材料將其間密封。
這種發光元件1例如可以制造如下。
首先準備基板2,在此基板2上形成陽極3。
陽極3例如可以采用等離子CVD、熱CVD、激光CVD等化學蒸鍍法(CVD),真空蒸鍍、濺射、離子鍍等干式鍍層法,電鍍、浸鍍、無電解電鍍等濕式電鍍法,金屬噴鍍法、溶膠-凝膠法、MOD法金屬箔焊接法等形成。
接著為提高與第一有機聚合物的親和性而對陽極3的上面(形成空穴輸送層4的面側)實施親和性提高處理(第一工序)。
由此,在下一工序[3]中,能使第一有機聚合物在液體狀被膜中更加確實此集中在陽極3側(下側),因而能夠確實分離形成第一區域41、第二區域42和發光層5。
作為這種親和性提高處理,例如雖然可以舉出導入含有一部分構成第一有機聚合物的化合物的化學結構(結構單元)的化學修飾處理,或在第一有機聚合物顯示親水性的情況下的親水處理,但是優選采用前者。這樣能夠進一步提高上述效果。
例如,當第一有機聚合物具有三苯胺骨架(結構)的情況下,進行化學修飾處理,以便在陽極3的表面上導入末端具有氨基、三苯胺(芳基胺)、苯基、芐基等的烷基鏈。
另外,作為化學修飾處理用的處理劑(試劑),例如陽極3是由以金屬氧化物為主要材料構成的情況下,可以使用一方末端具有應當導入的原子團,另一方末端具有三甲基硅烷、甲基硅烷、三氯硅烷等的化合物(偶合劑),而且當陽極3是由Au、Pt等為主要材料構成的情況下,可以使用一方末端具有應當導入的原子團,另一方末端具有硫醇基等的化合物。
然后利用相分離法在第一區域是由1上一起形成空穴輸送層4(第一區域41、第二區域42)和發光層5(第二工序)。此工序可以進行如下。
首先將第一有機聚合物和第二有機聚合物溶解在溶劑(液體狀溶劑)中,然后將無機半導體粒子51和發光材料52的復合體分散在此溶液中制成液體狀材料。
作為溶劑,例如可以舉出硝酸、硫酸、氨、過氧化氫、水、二硫化碳、四氯化碳、碳酸乙烯酯等無機溶劑,以及甲基乙基酮(MEK)、丙酮、二乙基酮、甲基異丁基酮(MIBK)、甲基異丙基酮(MIPK)、環己酮等酮類溶劑,甲醇、乙醇、異丙醇、乙二醇、二甘醇(DEG)、甘油等醇類溶劑,二乙基醚、二異丙基醚、1,2-二甲氧基乙烷(DME)、1,4-二噁烷、四氫呋喃(THF)、四氫吡喃(THP)、茴香醚、二甘醇二甲基醚(diglyme)、二甘醇乙基醚(卡必醇)等醚類溶劑,甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑等溶纖劑系溶劑,己烷、戊烷、庚烷、環己烷等脂肪族烴類溶劑,甲苯、二甲苯、苯等芳香族烴類溶劑,吡啶、吡嗪、呋喃、吡咯、噻吩、甲基吡咯烷酮等芳香族雜環化合物系溶劑,N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二甲基乙酰胺(DMA)等酰胺系溶劑,氯代苯、二氯甲烷、氯仿、1,2-二氯乙烷等含鹵化合物系溶劑,乙酸乙酯、乙酸甲酯、甲酸乙酯等酯類溶劑,二甲基亞砜(DMSO)、環丁砜等含硫化合物系溶劑,乙腈、丙腈、丙烯腈等腈系溶劑,甲酸、乙酸、三氯乙酸、三氟乙酸等有機酸系溶劑等等有機溶劑,或者含有它們的混合溶劑。
這些溶劑中尤以非極性溶劑適用,例如可以舉出二甲苯、甲苯、環己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等芳香族烴類溶劑,吡啶、吡嗪、呋喃、吡咯、噻吩、甲基吡咯烷酮等芳香族雜環化合物系溶劑,己烷、戊烷、庚烷、環己烷等脂肪族烴類溶劑等,這些溶劑可以單獨使用或者混合使用。
接著向陽極3供給這種液體狀材料,形成液態薄膜。
作為這種液體狀材料的供給方法,例如可以采用旋涂法、澆注法、微轉輪凹印法、凹印法、棒涂法、輥涂法、鋼絲棒涂法、浸涂法、噴涂法、絲網印刷法、橡皮凸版印刷法、膠版印刷法、噴墨法等各種涂布法。采用這種涂布法能夠比較容易形成第一區域41。
然后從液體狀被膜中除去溶劑。一旦除去溶劑,液體狀被膜中在陽極3側按照第一有機聚合物和第二有機聚合物的順序,另一方面在陰極6側就會使復合體分離固化,形成第一區域41、第二區域42和發光層5。也就是說,通過相分離可以一起形成第一區域41、第二區域42和發光層5。
此時通過適當設定溶劑的種類、第一有機聚合物的重均分子量、第二有機聚合物的重均分子量、液體狀材料中第一有機聚合物的含量、液體狀材料中第二有機聚合物的含量、液體狀材料中復合體(發光層5的構成材料)的含量、除去溶劑的速度、除去溶劑時的氣氛、供給液體狀材料的下層的表面狀態中至少一個條件,就能夠控制第一有機聚合物、第二有機聚合物和復合體的相分離狀態。
例如除去溶劑時的氣氛,優選含有極性溶劑之蒸氣的氣氛。這樣能使上述復合體更加確實地集中在液體狀被膜中的上側。而且作為極性溶劑,例如可以舉出水、甲醇、乙醇、異丙醇等醇類。
而且除去溶劑時,優選在液體狀被膜中產生對流的情況下進行。這樣能使上述復合體更加確實地集中在液體狀被膜中的上側。另外,在這種情況下,陽極3的上面由于被施以親和性提高處理,所以能夠防止第一有機聚合物在陽極3側聚集受到阻礙。
另外,這種對流雖然例如可以采用對液體狀被膜加熱的方法、對基板2賦予超聲波的方法、涂布被賦予超聲波的液滴(液體狀材料)等方法進行,但是優選采用加熱方法。若采用加熱法,則液體狀被膜中的對流調整(控制)比較容易進行。
而且這種情況下加熱的溫度,當溶劑的沸點為B[℃]時,優選采用B-100~B-10℃左右,更優選采用B-100~B-25℃左右。
進而在發光層5上形成陰極6。
陰極6例如可以采用真空蒸鍍法、濺射法、金屬箔焊接法等形成。
然后以將陽極3、空穴輸送層4、發光層5和陰極6覆蓋的方式,包覆密封部件7,與基板2結合。
經過以上工序,可以制成本發明的發光元件1。
而且還可以在這種發光元件1上,于陽極3與空穴輸送層4之間、空穴輸送層4與發光層5之間、發光層5與陰極6之間至少一個之間設置任意的目的層。
例如,可以在發光層5與陰極6之間設置具有促進電子向發光層5注入功能的中間層。通過設置中間層,使發光元件1的發光效率更加提高。而且,中間層還可以起著防止或抑制空穴輸送層4與陰極6之間接觸的作功能。
中間層優選用比發光層5的構成材料(本實施方式中是無機半導體材料)具有更高傳導帶能量順序(下端電位)的材料構成。由此,可以使電子從陰極6向發光層5(發光材料)逐級(順利)移動,也就是說,能使電子以高效地注入發光層5。其結果,發光元件1的發光效率將會進一步提高。
作為構成這種中間層的材料,只要能滿足上述條件就無特別限制,例如,可以使用有機或無機半導體材料單體,或者有機或無機半導體材料與具有吸電子基的化合物的復合體等。
另外,采用粒狀物質(半導體材料顆粒)作為半導體材料的情況下,作為上述復合體,可以適當采用由具有吸電子基的化合物將半導體材料顆粒中至少一部分覆蓋(修飾)的物質。
而且通過選擇具有這種吸電子基的化合物的種類,可以調整半導體材料傳導帶的能量順序。
作為具有這種吸電子基的化合物,優選采用例如CF3(CF2)7(CH2)2(CH3)2Si(CH2)5SiCl3:F17、CF3(CF2)3(CH2)2(CH3)2Si(CH2)9SiCl3:F9、CF3(CH2)2(CH3)2Si(CH2)12SiCl3:F3等氟碳系硅烷偶合劑化合物等。
將這種化合物與半導體材料復合(包覆)的方法,例如可以舉出將上述化合物氣化,使半導體材料暴露在該蒸氣中的方法(氣相法),和使含有上述化合物的液體狀與半導體材料接觸的方法(液相法)等。
這種中間層的平均厚度,優選1~50納米左右,更優選5~30納米左右。
其中在本實施方式中,載流子輸送層雖然是以空穴輸送層的情況為代表說明的,但是載流子輸送層也可以是電子輸送層。
這種情況下,作為能在電子輸送層中使用的有機聚合物,例如可以舉出噁二唑系高分子和三唑系高分子等。
這種發光元件1,例如能夠作為光源等使用。而且通過將多個發光元件配置成矩陣狀,能夠構成顯示裝置(本發明的顯示裝置)。
另外,對顯示裝置的驅動方式并無特別限制,可以采用有源矩陣式、無源矩陣式中的任何方式。
以下說明采用本發明的顯示裝置的顯示裝置一例。
圖4是表示采用了本發明的顯示裝置的顯示裝置實施方式的縱剖面圖。
圖4所示的顯示裝置10,由基體20、被設置在此基板20上的多個發光元件1構成。
基體20具有基板21和在基板21上形成的電路部22。
電路部22具有在基板21上形成的例如由氧化硅層組成的保護層23、在保護層23上形成的驅動用TFT(開關元件)24、第一層間絕緣層25和第二層間絕緣層26。
驅動用TFT24具有由硅組成的半導體層241、在半導體層241上形成的柵絕緣層242、在柵絕緣層242上形成的柵電極243、源電極244和漏電極245。
分別與各驅動用TFT24對應地在這種電路部22上設置著發光元件1。而且在相鄰的發光元件1之間被第一隔壁部31和第二隔壁部32所隔開。
本實施方式中,各發光元件1的陽極3,構成像素電極,通過配線27電連接在各驅動用TFT24的漏電極245上。而且各發光元件1的陰極6用作共用電極。
于是以覆蓋發光元件1的方式將密封部件(未圖示)接合在基體20上,密封著各發光元件1。
顯示裝置10既可以單色顯示,也可以通過選擇各發光元件用的發光材料進行彩色顯示。
這種顯示裝置10(本發明的顯示裝置)能夠安裝在各種電子儀器中。
圖5是表示采用了本發明的電子儀器的移動型(或筆記本型)個人計算機之構成的立體圖。
此圖中,個人計算機1100由具備鍵盤1102的主體部1104、具備顯示部的顯示單元1106構成,顯示單元1106借助于合頁結構部件可旋轉地支持在主體部1104上。
這種個人計算機1100中,具備顯示單元1106的顯示部由上述的顯示裝置10構成。
圖6是表示采用了本發明的電子儀器的移動電話機(也包括PHS)的構成的立體圖。
此圖中,移動電話機1200具備多個操作按鈕1202、受話口1204、以及送話口1206和顯示部。
移動電話機1200中,這種顯示部由上述的顯示裝置10構成。
圖7是表示采用了本發明的電子儀器的數碼相機的構成的立體圖。而且在本圖中,簡單地表示了與外部儀器的連接。
在此,通常的照相機是利用被攝物體的光像使銀鹽照相膠卷感光,而數碼相機1300則是利用CCD(電荷耦合器件)等攝像元件將被攝物體的光像經過光電轉換生成攝像信號(圖像信號)。
在數碼相機1300中的殼體(主體)1302的背面設有顯示部,其構成為基于CCD攝像的信號進行顯示,并使被攝物體作為電子圖像形式顯示的取景器發揮功能。
在數碼相機1300中,這種顯示部由上述的顯示裝置10構成。
在殼體內部設有電路基板1308。這種電路基板1308設為能夠存儲(記憶)攝像信號的存儲器。
而且在殼體1302的正面側(在圖示的構成中是背面側),設有包括光學透鏡(攝影光學系統)和CCD等的受光單元1304。
攝影者確認顯示部所顯示的被攝物體的圖像后,一旦按下快門按鈕1306,就可以將該時刻的CCD攝像信號送入電路基板1308的存儲器中儲存。
另外,在數碼相機1300中,在殼體1302的側面設有視頻信號輸出端子1312和數據通信用的輸入輸出端子1314。而且如圖所示,根據需要,電視監視器1430與視頻信號輸出端子1312,個人計算機1440與數據通信用輸入輸出端子1314分別連接著。此外其構成為通過所定的操作,將被存儲在電路基板1308的存儲器中的攝像信號,向電視監視器1430和個人計算機1440輸出。
此外,本發明的電子儀器,除了可以用于圖5的個人計算機(移動型個人計算機)、圖6的移動電話機、圖7的數碼相機以外,例如還可以用于電視機、攝像機、取景框型、監視直視型磁帶錄像機、筆記本型個人計算機、汽車導航裝置、尋呼機、電子記事本(包括帶有通信功能的)、電子詞典、計算器、電子游戲機、文字處理器、工作站、可視電話、防身用監視器、電子眼鏡、POS終端、具備觸摸屏的儀器(例如金融機構的自動取款機、自動售票機)、醫療器械(例如電子體溫表、血壓計、血糖計、心電顯示裝置、超聲波診斷裝置、內窺鏡用顯示裝置)、魚群探測儀、各種測定儀器、計量儀器(例如車輛、飛機、船舶的計量儀器)、飛行模擬器、其他各種監視器、投影儀等投影型顯示裝置等。
以上雖然基于圖示的實施方式說明了本發明的發光元件的制造方法、發光元件、顯示裝置和電子儀器,但是本發明并不限于這些。
實施例以下說明本發明的具體實施例。
(實施例1)按照以下方式制造了發光元件,并評價了其發光效率和耐久性(壽命)。
(1A)首先準備了平均厚度0.5毫米的透明玻璃基板。
(2A)然后利用濺射法在此基板上形成了平均厚度100納米的ITO電極(陽極)。
(3A)進而利用旋涂法(2000rpm)在此ITO電極上涂布0.1重量%NH2(CH2)5SiCl3(硅烷偶合劑)的乙醇溶液后,進行了干燥。
(4A)接著分別將上述化學式1所示的聚苯胺系高分子(重均分子量40000)作為第一有機聚合物,上述化學式2所示的聚芴系高分子(重均分子量5000)作為第二有機聚合物,和被銥配位化合物包覆的氧化鋯粒子作為發光層構成材料,分別添加在二甲苯中制成了液體狀材料。
另外,聚苯胺系高分子的含量為0.5重量%,聚芴系高分子的含量為0.5重量%,而且被銥配位化合物包覆的氧化鋯粒子的含量為2.0重量%。
而且氧化鋯粒子的平均粒徑使用了5納米的。
此外,在銥配位化合物中采用了配位體具有上述化學式3所示的2,2’-聯二吡啶-4,4’-二羧酸的三配位銥配位化合物。
而且通過旋涂法(2000rpm)將此液體狀材料涂布在ITO電極上之后,進行了干燥。這樣通過相分離形成了孔穴輸送層(第一區域和第二區域)和發光層。
另外,液體狀材料的干燥條件是在異丙醇氣氛中50℃。其中此溫度是在液體狀被膜中產生對流的溫度。
(5A)然后將被F17(氟碳系硅烷偶合劑化合物)覆蓋的氧化鋯粒子作為中間層構成材料分散在異丙醇中,制成了分散液。
而且,通過旋涂法(2000rpm)將此分散液涂布在發光層上后干燥。這樣形成了平均厚度為10納米的中間層。
另外,氧化鋯粒子的平均粒徑使用了5納米的。
(6A)接著,通過真空蒸鍍法在中間層上形成了平均厚度為300納米的AlLi電極(陰極)。
接著包覆聚碳酸酯制的保護膜(密封部件)使形成的各層覆蓋,并通過紫外線固化性樹脂固定、密封后,制成了發光元件。
除了在上述工序(3A)中使用了以下化學式4所示的硅烷偶合劑以外,與上述樣品號1A同樣制造了發光元件。
化學式4
[樣品號3A]除了省略上述工序(3A)以外,與上述樣品號1A同樣制造了發光元件。
而且就樣品號1A~3A的發光元件分別進行了發光效率和壽命的評價。
這種發光效率的評價,采用直流電源電壓從0伏施加到6伏,測定電流,利用亮度計測定亮度的方式進行。而且壽命的評價采用初期亮度為400cd/m2的定電流驅動法進行。
結果確認,樣品號為1A和2A的發光元件(本發明)與樣品號3A(比較例)的發光元件相比,其發光效率都上升了大約1.3倍。
另外,樣品號為1A和2A的發光元件(本發明)與樣品號為3A(比較例)的發光元件相比,其亮度的半衰期均延長了大約1.5倍。
此外,將從聚芳胺、芴-芳胺共聚物或其衍生物中選擇的第一有機聚合物,與從聚芴、芴-聯二噻吩共聚物或其衍生物中選擇的第二有機聚合物加以組合,與上述同樣制造發光元件,則可以得到同樣的結果。
(實施例2)按照以下方式就各樣品號分別各制造五個評價對象物,確認各層的分離狀態,同時測定了膜厚。
進行了與上述樣品號1A中工序(1A)~(4A)同樣的工序,制作了評價對象物。
進行了與上述樣品號2A中工序(1A)~(4A)同樣的工序,制作了評價對象物。
進行了與上述樣品號3A中工序(1A)~(4A)同樣的工序,制作了評價對象物。
而且就樣品號1B~3B的評價對象物分別確認了第一區域、第二區域和發光層的各層的分離狀態,同時測定了膜厚。
這是用針將第一區域、第二區域和發光層從發光層側拉下,利用熒光顯微鏡(Olympus(奧林匹斯)公司制造,“BX50”)觀察剝離部分后,再用高度差計(KLA-Tencor公司制造,“P-10”)測定的方式進行的。
各層膜厚的測定結果如下。而且各層的厚度值是五個數據的平均值。
樣品號1B(相當于本發明)第一區域33納米、第二區域35納米、發光層22納米樣品號2B(相當于本發明)第一區域35納米、第二區域34納米、發光層20納米樣品號3B(相當于比較例)第一區域28納米、第二區域45納米、發光層18納米對于樣品號為1B和2B的評價對象物而言,利用熒光顯微鏡觀察都能發現明確的高度差(階差),在膜厚的測定結果中各層都大體形成了目的之膜厚。
與此相比,對于樣品號為3B的評價對象物而言,利用熒光顯微鏡觀察雖然能發現高度差,但是其高度差不明顯,膜厚的測定結果各層與目的膜厚都有較大的偏差。
這些結果說明,實施親和性提高處理能夠實現更加確實的相分離。而且可以推斷,這些結果可以反映上述實施例1所示的發光元件特性的提高。
而且還確認,改變親和性提高處理用的硅烷偶合劑,與上述同樣制造評價對象物后,能使各層的分離狀態發生變化。
權利要求
1.一種發光元件的制造方法,是在一對電極之間插入發光層、和與該發光層接觸并以有機聚合物作為主要材料構成的載流子輸送層而成的發光元件的制造方法,其特征在于,具有第一工序和第二工序,其中所述第一工序,在所述一對電極中,對一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,實施用于提高與所述有機聚合物親和性的親和性提高處理;所述第二工序,向所述一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,供給含有所述發光層構成材料、所述有機聚合物和液體狀介質的液體狀材料而形成液體狀被膜,一邊從所述液體狀被膜中除去所述液體狀介質,一邊使所述有機聚合物在所述一方的電極側分離,使所述發光層構成材料在另一電極側分離,一起形成所述載流子輸送層和所述發光層。
2.根據權利要求1所述的發光元件的制造方法,其中所述第一工序中的所述親和性提高處理,是向所述一方的電極的所述載流子輸送層的形成面側,導入含有一部分構成所述有機聚合物的化合物的化學結構的化學修飾處理。
3.根據權利要求1或2所述的發光元件的制造方法,其中所述載流子輸送層是空穴輸送層。
4.根據權利要求3所述的發光元件的制造方法,其中所述空穴輸送層,具有在所述一方的電極側,以第一有機聚合物作為主要材料構成的第一區域;和在所述發光層側,以與所述第一有機聚合物種類不同的第二有機聚合物作為主要材料構成的第二區域;在所述第一工序中的所述親和性提高處理中,對所述一方的電極的所述發光層的形成面側,進行提高與所述第一有機聚合物的親和性的處理。
5.根據權利要求4所述的發光元件的制造方法,其中在所述第二工序中,通過相分離使所述第一區域和所述第二區域與所述發光層一起形成。
6.根據權利要求4或5所述的發光元件的制造方法,其中所述第一有機聚合物的重均分子量,比所述第二有機聚合物的重均分子量大。
7.根據權利要求6所述的發光元件的制造方法,其中所述第一有機聚合物的重均分子量為10000以上。
8.根據權利要求6或7所述的發光元件的制造方法,其中所述第二有機聚合物的重均分子量為8000以下。
9.根據權利要求4~8的任一項中所述的發光元件的制造方法,其中所述第一有機聚合物,是聚芳胺、芴—芳胺共聚物或其衍生物。
10.根據權利要求4~9的任一項中所述的發光元件的制造方法,其中所述第二有機聚合物,是聚芴、芴—聯二噻吩共聚物或其衍生物。
11.根據權利要求3~10的任一項中所述的發光元件的制造方法,其中所述發光層主要由無機半導體材料和發光材料的復合材料構成。
12.根據權利要求11所述的發光元件的制造方法,其中在所述第二工序中,在含有極性溶劑蒸氣的氣氛中進行所述液體狀溶劑的除去。
13.根據權利要求1~12的任一項中所述的發光元件的制造方法,其中在所述第二工序中,一邊使所述液體狀被膜中產生對流一邊進行所述液體狀溶劑的除去。
14.根據權利要求13所述的發光元件的制造方法,其中通過對所述液體狀被膜加熱來產生所述對流。
15.一種發光元件,通過權利要求1~14的任一項中所述的發光元件的制造方法制造的。
16.一種顯示裝置,其特征在于,其中具備權利要求15所述的發光元件。
17.一種電子儀器,其特征在于,其中具備權利要求16所述的顯示裝置。
全文摘要
提供一種發光元件制造方法、發光元件、顯示裝置和電子儀器。發光元件(1)是在陽極(3)和陰極(6)之間插入發光層(5),和與此發光層(5)接觸并以有機聚合物作為主要材料構成的空穴輸送層(4)構成的。該發光元件(1)具有在陽極(3)的空穴輸送層(4)的形成面側,實施為提高與有機聚合物親和性的親和性提高處理的第一工序,向陽極(3)的空穴輸送層(4)的形成面側供給含有發光層(5)構成材料、有機聚合物和液體狀介質的液體狀材料形成液體狀被膜,一邊從這種液體狀被膜中除去液體狀介質,一邊使有機聚合物在陽極(3)側、使發光層(5)的構成材料在陰極(6)側進行分離,一起形成空穴輸送層(4)和發光層(5)的第二工序。
文檔編號H01L51/50GK1819304SQ200610003618
公開日2006年8月16日 申請日期2006年1月9日 優先權日2005年1月14日
發明者森井克行 申請人:精工愛普生株式會社